JPS6248038A - 産業用ロボツト - Google Patents
産業用ロボツトInfo
- Publication number
- JPS6248038A JPS6248038A JP18910385A JP18910385A JPS6248038A JP S6248038 A JPS6248038 A JP S6248038A JP 18910385 A JP18910385 A JP 18910385A JP 18910385 A JP18910385 A JP 18910385A JP S6248038 A JPS6248038 A JP S6248038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- base
- hand
- axis
- moving mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は産業用ロボットに関し、％に半導体製造用カセ
ットのハンドリングロボット！関する。
ットのハンドリングロボット！関する。
（従来技術）
従来、この棟の半導体関係のカセットのクリーンルーム
内でのハンドリングは人手による作業ニ頼っていたり、
自動化されても専用機的なものであった。通常カセット
は他の装置から受は取った後回転させて一定方向に向き
を変え、他の場所へ移載するが、従来の自動ハンドリン
グ装置ではカセットの回転機構はそれぞれの必要なステ
ーション毎に個別的に設けていた。
内でのハンドリングは人手による作業ニ頼っていたり、
自動化されても専用機的なものであった。通常カセット
は他の装置から受は取った後回転させて一定方向に向き
を変え、他の場所へ移載するが、従来の自動ハンドリン
グ装置ではカセットの回転機構はそれぞれの必要なステ
ーション毎に個別的に設けていた。
（発明が解決しようとする問題点）
上述した従来の人手に二る作業は、クリーン度の高いク
リーンルーム内では発塵の点で問題があり、さらに人件
費の高騰から製品コストが高い等の問題があった。又、
専用機の場合（−′ｉ、カセットの回転機構をステーシ
ョンごとに設けるため、復雑化し設備費が高くなること
と、フレキシビリティがなく設置潤整に時間がかかり、
相手装絆側のレイアウト変更にも対処できない等の問題
があった。
リーンルーム内では発塵の点で問題があり、さらに人件
費の高騰から製品コストが高い等の問題があった。又、
専用機の場合（−′ｉ、カセットの回転機構をステーシ
ョンごとに設けるため、復雑化し設備費が高くなること
と、フレキシビリティがなく設置潤整に時間がかかり、
相手装絆側のレイアウト変更にも対処できない等の問題
があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明の産業用ロボットは、半導体製造用カセットを移
載するためカセットをチャックする機構およびカセット
内のウェハの取り出しを容易にする９０°回転機構を有
するハンド部と、レール上を自走する本体部とから構成
され、前記本体部はラックおよびピニオン、ＤＣサーボ
モータ駆動により長距離走行を可能と１−たＸ軸走行機
構と、ＤＣサーボモータとボールネジを使用した前後方
向に移動するＹ （ｉｔ移動機構と、ボールネジ駆動で
上下する２軸上下動機構とを備え、ｘ、ｙ、ｚ軸はサー
ボコントロールされており、これによって動作範囲内で
３次元の空間における半導体製造用カセットの多ポイン
トの位置決めが可能となるように構成したものである。
載するためカセットをチャックする機構およびカセット
内のウェハの取り出しを容易にする９０°回転機構を有
するハンド部と、レール上を自走する本体部とから構成
され、前記本体部はラックおよびピニオン、ＤＣサーボ
モータ駆動により長距離走行を可能と１−たＸ軸走行機
構と、ＤＣサーボモータとボールネジを使用した前後方
向に移動するＹ （ｉｔ移動機構と、ボールネジ駆動で
上下する２軸上下動機構とを備え、ｘ、ｙ、ｚ軸はサー
ボコントロールされており、これによって動作範囲内で
３次元の空間における半導体製造用カセットの多ポイン
トの位置決めが可能となるように構成したものである。
（実施例）
次に本発明について図面を参照して説明する。
図面は本発明の実施例の斜視図である。本体部は、ベー
ス１に固定した２本の直線ガイドレール２の上をＸ軸ベ
ース４１’（固定されたベアリング３が、Ｘ軸駆動モー
タ５の出力軸に設けたピニオン２９とベース１に固定さ
ｔ″Ｌ、タラツク８とのかみ合いにより左右に走行する
Ｘ軸走行機構部と、直線ガイドレール６とベアリング７
が滑合Ｌ Ｙ軸ベース９がＹｌ紬駆動モータ１３により
前後移動するＹＩｐＨ＋移・動機構部と、ｚ ｑｉｈ駆
動モータ１０て連結したボールネジ３０てよりＺ輔支柱
１１にガイドさハ。
ス１に固定した２本の直線ガイドレール２の上をＸ軸ベ
ース４１’（固定されたベアリング３が、Ｘ軸駆動モー
タ５の出力軸に設けたピニオン２９とベース１に固定さ
ｔ″Ｌ、タラツク８とのかみ合いにより左右に走行する
Ｘ軸走行機構部と、直線ガイドレール６とベアリング７
が滑合Ｌ Ｙ軸ベース９がＹｌ紬駆動モータ１３により
前後移動するＹＩｐＨ＋移・動機構部と、ｚ ｑｉｈ駆
動モータ１０て連結したボールネジ３０てよりＺ輔支柱
１１にガイドさハ。
Ｚ＠移動体１２が上下運動をするＺＬＩＩＩｌ上下！７
！／Ｉ機構部とから構成されている。ハンド部は７ ｊ
・由ｑ動体１２に請合したハンドベース１４１／ｃより
支持されて１ｇ１ｒ記本体部の上部に取り付けら几る。
！／Ｉ機構部とから構成されている。ハンド部は７ ｊ
・由ｑ動体１２に請合したハンドベース１４１／ｃより
支持されて１ｇ１ｒ記本体部の上部に取り付けら几る。
ハンド回転モータ１５はカセット１９を回転するアクチ
ェータであって、タイミングプーリ２５からタイミング
ベルト１７でよりタイミングプーリ１８に伝達され、チ
ャック２１が回転することによりカセット１９を矢印Ａ
の方向に回転させる。カセット１９のチャッキングは、
支持側板２６と支持側板２７をエアシリンダ１６により
開閉することにより行われる。
ェータであって、タイミングプーリ２５からタイミング
ベルト１７でよりタイミングプーリ１８に伝達され、チ
ャック２１が回転することによりカセット１９を矢印Ａ
の方向に回転させる。カセット１９のチャッキングは、
支持側板２６と支持側板２７をエアシリンダ１６により
開閉することにより行われる。
図示の状態は、相手１１４１１装置２３からウェハ２０
の入ったカセット１９をチャッキングして上昇した状態
を示したものであり、次のステップとして本体部が移動
し、位置決めガイド２４と届慟してカセット２８の状態
Ｙｃ置く。図示実施例からも明らかなように、本発明で
は本体部のＹ軸、Ｙ軸。
の入ったカセット１９をチャッキングして上昇した状態
を示したものであり、次のステップとして本体部が移動
し、位置決めガイド２４と届慟してカセット２８の状態
Ｙｃ置く。図示実施例からも明らかなように、本発明で
は本体部のＹ軸、Ｙ軸。
Ｚ軸方向の動作駆動機構は、）・ンド部の回転、チャッ
キング動作、駆動機構の位置、いいかえればカセットの
ハンドリング面の位置よりも下方位置にある。
キング動作、駆動機構の位置、いいかえればカセットの
ハンドリング面の位置よりも下方位置にある。
（発明の効果）
以上説明したように本発明の産業用ロボットは、長距離
を走行可能な＋４造で動作範囲内の３次元の空間を１１
Ｅ確に位置決め可能と（−１Ｉｊ（７，動部を低い位置
に配置した本体部と半導体製造用でウエノ・の入ったカ
セットのチャッキング及び回転機能を有するハンド部と
で構成したので、数ｍに及ぶ装２゛（上のカセットがイ
多＋ｉ＆可能であり、またダウンフロ一式のクリーンル
ーム内ではウエノ１に対しダストの付着を防止できる効
果がある。又本発明の産業用ロボットにより、長時間無
人運転が可能となり省人効果がもたらされる。さらに・
・ンド部に回転機能を備えることにより、相手装＋１”
Ｌ １ｊ：ｌの各ステーンヨンごとにカセット回転機構
を設ける必要がなく、設備全体のコスト低減ができる等
の効果がある。
を走行可能な＋４造で動作範囲内の３次元の空間を１１
Ｅ確に位置決め可能と（−１Ｉｊ（７，動部を低い位置
に配置した本体部と半導体製造用でウエノ・の入ったカ
セットのチャッキング及び回転機能を有するハンド部と
で構成したので、数ｍに及ぶ装２゛（上のカセットがイ
多＋ｉ＆可能であり、またダウンフロ一式のクリーンル
ーム内ではウエノ１に対しダストの付着を防止できる効
果がある。又本発明の産業用ロボットにより、長時間無
人運転が可能となり省人効果がもたらされる。さらに・
・ンド部に回転機能を備えることにより、相手装＋１”
Ｌ １ｊ：ｌの各ステーンヨンごとにカセット回転機構
を設ける必要がなく、設備全体のコスト低減ができる等
の効果がある。
図面は本発明の実施例に係る産業用ロボットの。
斜視図である。
１・・・ベース、 ２・・・ｉ 、ｗ カイ
トレール、３．７・・・ベアリング、 ４・・・Ｘ
紬ヘーｘ、５・・・Ｘ ！ｌ１ｌ−１１＝−タ、
６・・・［α・腺ガイドレール、８・・・ラック、
９・・Ｙ索出ベース、１０・・・ＺＩＩｌｈ
モータ、 １１・・・Ｚ矧１支柱、１２・・・Ｚ軸
移動体、 １３・・・Ｙ軸モータ、１４・・・ハン
ド取付ベース、 １５・・・ハンド回転モータ、 １６・・・エアシリンダ、 １７・・・タイミングベルト、 １８．２５・・・タイミングプーリ。 １９．２８・・・カセット、 ２０・・・ウェハ、２
１・・・チャック、 ２２・・・アジャスタ。 ２３・・・相手側装置、 ２４・・・位置決め）Ｊ
イド、２６・・・支持側板、２７・・・支持側板。 ２９・・・ピニオン、 ３０・・・ボールネジ。
トレール、３．７・・・ベアリング、 ４・・・Ｘ
紬ヘーｘ、５・・・Ｘ ！ｌ１ｌ−１１＝−タ、
６・・・［α・腺ガイドレール、８・・・ラック、
９・・Ｙ索出ベース、１０・・・ＺＩＩｌｈ
モータ、 １１・・・Ｚ矧１支柱、１２・・・Ｚ軸
移動体、 １３・・・Ｙ軸モータ、１４・・・ハン
ド取付ベース、 １５・・・ハンド回転モータ、 １６・・・エアシリンダ、 １７・・・タイミングベルト、 １８．２５・・・タイミングプーリ。 １９．２８・・・カセット、 ２０・・・ウェハ、２
１・・・チャック、 ２２・・・アジャスタ。 ２３・・・相手側装置、 ２４・・・位置決め）Ｊ
イド、２６・・・支持側板、２７・・・支持側板。 ２９・・・ピニオン、 ３０・・・ボールネジ。
Claims (1)
- 半導体製造用カセットの移載を行う産業用ロボットにお
いて、前記カセットのチャッキング機構および回転機構
を有するハンド部と、レール上をラックおよびピニオン
機構により自走する本体部とを有し、前記本体部は前後
移動機構および上下移動機構を有し、前記ハンド部以外
の駆動系を前記半導体製造用カセットのハンドリング面
よりも低い位置に設けたことを特徴とする産業用ロボッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18910385A JPS6248038A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 産業用ロボツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18910385A JPS6248038A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 産業用ロボツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6248038A true JPS6248038A (ja) | 1987-03-02 |
Family
ID=16235406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18910385A Pending JPS6248038A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 産業用ロボツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6248038A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5536128A (en) * | 1988-10-21 | 1996-07-16 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for carrying a variety of products |
| US6923085B2 (en) | 2001-03-13 | 2005-08-02 | Denso Corporation | Self-moved robot |
| US7108121B2 (en) | 2003-03-12 | 2006-09-19 | Seiko Epson Corporation | Intermediate product transferring apparatus and carrying system having the intermediate product transferring apparatus |
| US7182201B2 (en) | 2003-03-12 | 2007-02-27 | Seiko Epson Corporation | Wafer carrying apparatus and wafer carrying method |
| US7308757B2 (en) | 2003-03-10 | 2007-12-18 | Seiko Epson Corporation | Intermediate product manufacturing apparatus, and intermediate product manufacturing method |
| JP2017041490A (ja) * | 2015-08-18 | 2017-02-23 | 株式会社テックインテック | 搬送装置および制御方法 |
| US20210332259A1 (en) * | 2018-10-16 | 2021-10-28 | Dow Global Technologies Llc | Aqueous dispersion of polymeric particles |
-
1985
- 1985-08-28 JP JP18910385A patent/JPS6248038A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5536128A (en) * | 1988-10-21 | 1996-07-16 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for carrying a variety of products |
| US6923085B2 (en) | 2001-03-13 | 2005-08-02 | Denso Corporation | Self-moved robot |
| US7308757B2 (en) | 2003-03-10 | 2007-12-18 | Seiko Epson Corporation | Intermediate product manufacturing apparatus, and intermediate product manufacturing method |
| US7108121B2 (en) | 2003-03-12 | 2006-09-19 | Seiko Epson Corporation | Intermediate product transferring apparatus and carrying system having the intermediate product transferring apparatus |
| US7182201B2 (en) | 2003-03-12 | 2007-02-27 | Seiko Epson Corporation | Wafer carrying apparatus and wafer carrying method |
| JP2017041490A (ja) * | 2015-08-18 | 2017-02-23 | 株式会社テックインテック | 搬送装置および制御方法 |
| US20210332259A1 (en) * | 2018-10-16 | 2021-10-28 | Dow Global Technologies Llc | Aqueous dispersion of polymeric particles |
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