JP2017041490A - 搬送装置および制御方法 - Google Patents
搬送装置および制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017041490A JP2017041490A JP2015160991A JP2015160991A JP2017041490A JP 2017041490 A JP2017041490 A JP 2017041490A JP 2015160991 A JP2015160991 A JP 2015160991A JP 2015160991 A JP2015160991 A JP 2015160991A JP 2017041490 A JP2017041490 A JP 2017041490A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- torque
- servo motor
- time
- lowering
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
【解決手段】異常判定基準としてのトルクリミットに関して、制御部は、サーボモータの第1トルク値を上昇時のトルクリミットとして設定し、第1トルク値よりも小さいサーボモータの第2トルク値を下降時のトルクリミットとして設定する。一般に、上下方向に沿って対象物を搬送する搬送装置では、サーボモータのトルクは下降時に比べて上昇時の方が大きくなる。このため、本発明では、トルクリミットが上昇時と下降時とで同じ大きさの値となるよう設定される他の態様とは異なり、上昇時および下降時の双方で適切なトルクリミットが設定される。その結果、搬送上昇時または搬送下降時のいずれのタイミングで異常が発生したとしても短い期間で緊急停止をすることができる。
【選択図】図7
Description
<1.1 搬送装置1の概要>
図1は、搬送装置1の構成を図解的に示す図である。図2〜図4は、搬送装置1がカセット70を保持して下降し載置台80に載置する様子を示す模式的な正面図である。図5は、搬送装置1がカセット70を保持して下降する際に、該カセット70と障害物90とが衝突する様子を示す模式的な正面図である。
以下では、異常時に搬送を緊急停止するためのトルク制御に関して、比較例(従来例)と本実施形態とを比較しつつ詳細に説明する。
図6に示す比較例(従来例)では、搬送動作に先立って、異常判定基準としてのトルクリミットが上昇時と下降時とで同じ大きさの値となるよう設定される。具体的には、サーボモータ12の負荷率80%が上昇時のトルクリミットとして設定され、サーボモータ12の負荷率−80%が下降時のトルクリミットとして設定されている。このため、サーボモータ12のトルクの負荷率が±80%に達すると、モータ制御部21が異常を検出し、搬送を緊急停止する。
図7に示す本実施形態の例では、搬送動作に先立って、異常判定基準としてのトルクリミットが、上昇時では第1トルク値に設定され(第1設定工程)、下降時では第1トルク値よりも小さい第2トルク値に設定される(第2設定工程)。具体的には、サーボモータ12の負荷率80%が上昇時のトルクリミットとして設定され、サーボモータ12の負荷率10%が下降時のトルクリミットとして設定されている。このため、サーボモータ12のトルクの負荷率が上昇時に80%に達した場合、或いは、サーボモータ12のトルクの負荷率が下降時に10%に達した場合、モータ制御部21が異常を検出し、搬送を緊急停止する。
図8に示す比較例および本実施形態の例では、搬送動作に先立って、サーボモータ12の負荷率80%が上昇時のトルクリミットとして設定される。このため、サーボモータ12のトルクの負荷率が上昇時に80%に達した場合、モータ制御部21が異常を検出し、搬送を緊急停止する。なお、図8では、下降時のトルクリミットの記載を省略している。
一般に、保持部10およびカセット70の重量の影響により、サーボモータ12のトルクは下降時に比べて上昇時の方が大きくなる(図6〜図8)。このため、比較例のように、トルクリミットが上昇時と下降時とで同じ大きさの値となるよう設定される態様では、よりトルクの大きい上昇時のトルクリミットと対応させて、下降時のトルクリミットも設定されることになる。具体的には、図6に示すように、正常な上昇時における上昇用トルク(負荷率65%付近のトルク)の最大値よりも大きな値が上昇時のトルクリミット(負荷率80%)として設定され、これと同じ大きさで逆向きのトルクが下降時のトルクリミット(負荷率−80%)として設定される。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
10 保持部
11 昇降軸
12 サーボモータ
20 制御部
21 モータ制御部
22 ドライバ
30 入力部
70 カセット
71 本体部
72 突起部
73 凹部
80 載置台
90 障害物
101 アーム
102 ハンド
102a 第1部分
102b 第2部分
W 基板
Claims (7)
- 上下方向に沿って対象物を搬送可能な搬送装置であって、
対象物を保持可能な保持部と、
上下方向に沿って伸びる昇降軸と、
前記昇降軸に沿って前記保持部を上昇または下降させるサーボモータと、
前記サーボモータの駆動を制御する制御部と、
を備え、
異常判定基準としてのトルクリミットに関して、前記制御部は、前記サーボモータの第1トルク値を上昇時のトルクリミットとして設定し、前記第1トルク値よりも小さい前記サーボモータの第2トルク値を下降時のトルクリミットとして設定することを特徴とする搬送装置。 - 請求項1に記載の搬送装置であって、
正常下降時において、前記サーボモータは、上向きの力を前記保持部に与える下降用トルクを発生することを特徴とする搬送装置。 - 請求項2に記載の搬送装置であって、
前記第2トルク値は、上向きの力を前記保持部に与えるトルク値であり、前記下降用トルクの最小値よりも小さいことを特徴とする搬送装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の搬送装置であって、
前記対象物は複数の基板を収容した少なくとも1つの収容体であることを特徴とする搬送装置。 - 対象物を保持可能な保持部と上下方向に沿って伸びる昇降軸と前記昇降軸に沿って前記保持部を上昇または下降させるサーボモータとを備える搬送装置に対して、前記サーボモータの駆動を制御する制御方法であって、
異常判定基準としてのトルクリミットに関して、前記サーボモータの第1トルク値を上昇時のトルクリミットとして設定する第1設定工程と、
前記第1トルク値よりも小さい前記サーボモータの第2トルク値を下降時のトルクリミットとして設定する第2設定工程と、
を備えることを特徴とする制御方法。 - 請求項5に記載の制御方法であって、
正常下降時において、前記サーボモータは、上向きの力を前記保持部に与える下降用トルクを発生することを特徴とする制御方法。 - 請求項6に記載の制御方法であって、
前記第2トルク値は、上向きの力を前記保持部に与えるトルク値であり、前記下降用トルクの最小値よりも小さいことを特徴とする制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015160991A JP2017041490A (ja) | 2015-08-18 | 2015-08-18 | 搬送装置および制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015160991A JP2017041490A (ja) | 2015-08-18 | 2015-08-18 | 搬送装置および制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017041490A true JP2017041490A (ja) | 2017-02-23 |
Family
ID=58203116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015160991A Pending JP2017041490A (ja) | 2015-08-18 | 2015-08-18 | 搬送装置および制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017041490A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016037386A (ja) * | 2014-08-11 | 2016-03-22 | 村田機械株式会社 | 昇降装置とスタッカークレーン及び昇降台の高さ保持方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6248038A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-02 | Nec Corp | 産業用ロボツト |
JPH033687A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-09 | Fanuc Ltd | サーボモータにより駆動される被駆動体の衝突破損防止方法 |
JPH10257668A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-09-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 駆動装置およびそれを用いた基板処理装置 |
WO1999003139A1 (fr) * | 1997-07-07 | 1999-01-21 | Nikon Corporation | Boitier de rangement et dispositif d'alignement |
-
2015
- 2015-08-18 JP JP2015160991A patent/JP2017041490A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6248038A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-02 | Nec Corp | 産業用ロボツト |
JPH033687A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-09 | Fanuc Ltd | サーボモータにより駆動される被駆動体の衝突破損防止方法 |
JPH10257668A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-09-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 駆動装置およびそれを用いた基板処理装置 |
WO1999003139A1 (fr) * | 1997-07-07 | 1999-01-21 | Nikon Corporation | Boitier de rangement et dispositif d'alignement |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016037386A (ja) * | 2014-08-11 | 2016-03-22 | 村田機械株式会社 | 昇降装置とスタッカークレーン及び昇降台の高さ保持方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20180099726A (ko) | 기판 반송 로봇 및 그 운전 방법 | |
WO2014155535A1 (ja) | 電子回路部品実装システム | |
CN113696182A (zh) | 机器人控制装置、机器人***及其方法 | |
US20190031466A1 (en) | Elevator safety device | |
JP2017041490A (ja) | 搬送装置および制御方法 | |
US20190177130A1 (en) | Operation control apparatus for crane | |
JP2018118815A (ja) | エレベーター | |
JP2019099324A (ja) | エレベーター用制御装置 | |
EP3556698B1 (en) | Elevator machine brake delay control | |
CN104891296B (zh) | 电梯设备及其控制装置 | |
JP2003095546A (ja) | エレベータの制御装置 | |
US12017361B2 (en) | Robot stopping method and robot system | |
JP4419517B2 (ja) | 昇降機械駆動用電動機の制御方法 | |
JP6433406B2 (ja) | 機械式駐車装置 | |
JP6432876B2 (ja) | 昇降装置とスタッカークレーン及び昇降台の高さ保持方法 | |
WO2018154621A1 (ja) | エレベーター | |
JP6727437B2 (ja) | エレベータ装置 | |
JP2018052667A (ja) | エレベーター制御システム | |
KR102247043B1 (ko) | 대상물 이송 장치 및 그 제어 방법 | |
JP6331237B1 (ja) | モータ制御装置及びモータ制御方法 | |
EP3188996B1 (en) | Elevator control apparatus and method for controlling an elevator group based on different counterweight ratios | |
JP2012040665A (ja) | ロボット、ロボットの駆動方法 | |
JP2011153010A (ja) | エレベーター装置 | |
JP6966415B2 (ja) | 制御方法、制御装置及びプログラム | |
US20220241968A1 (en) | Substrate transferring robot and method of controlling the substrate transferring robot |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181109 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190108 |