JP2017041490A - 搬送装置および制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】サーボモータを用いた搬送において上昇時および下降時の双方で適切なトルクリミットを設定可能な、搬送装置および制御方法を提供する。
【解決手段】異常判定基準としてのトルクリミットに関して、制御部は、サーボモータの第１トルク値を上昇時のトルクリミットとして設定し、第１トルク値よりも小さいサーボモータの第２トルク値を下降時のトルクリミットとして設定する。一般に、上下方向に沿って対象物を搬送する搬送装置では、サーボモータのトルクは下降時に比べて上昇時の方が大きくなる。このため、本発明では、トルクリミットが上昇時と下降時とで同じ大きさの値となるよう設定される他の態様とは異なり、上昇時および下降時の双方で適切なトルクリミットが設定される。その結果、搬送上昇時または搬送下降時のいずれのタイミングで異常が発生したとしても短い期間で緊急停止をすることができる。
【選択図】図７

Description

本発明は、サーボモータを用いて対象物を昇降させる搬送装置およびサーボモータの制御方法に関する。

サーボモータの駆動力を用いて、上下方向に沿って対象物を搬送する搬送装置が知られている。例えば、特許文献１は、この種の搬送装置において、正常な下降搬送時の下降用トルクを正常な上昇搬送時の上昇用トルクに比べて小さくする技術を開示している。

特開２０００−１１４３４２号公報

サーボモータの制御においては、トルク値が異常値に達した際に保持部の搬送を緊急停止するためのトルクリミットが制御部で設定される場合がある。この場合、一般に、特定のトルク率（例えば、トルク率８０％）がトルクリミットとして設定される。ここで、トルク率とは、サーボモータの最大トルク値に対する実際のトルク値の割合を意味する。トルク値は非負値であるため、トルク率は０〜１００％のいずれかとなり、トルクリミットは上昇搬送時と下降搬送時とで同じ大きさの値となる。

より具体的には、正常な上昇時における上昇用トルクの最大値よりも大きな値が上昇時のトルクリミットとして設定され、上昇時のトルクリミットと同じトルク値となるように下降時のトルクリミットも設定される。

その結果、搬送上昇時に異常が発生した場合には比較的短い期間で搬送を緊急停止できるのに対し、搬送下降時に異常が発生した場合には長い期間の経過後でなければ搬送を緊急停止することができないといった問題が生じていた。これにより、搬送下降時に異常が発生した場合には、搬送が緊急停止されるまでの間に各部が衝突して故障が生じたり作業者がケガをしたりするリスクが高くなっていた。

このような状況に鑑み、本発明の目的は、サーボモータを用いた搬送において上昇時および下降時の双方で適切なトルクリミットを設定可能な、搬送装置および制御方法を提供することである。

本発明の第１の態様にかかる搬送装置は、上下方向に沿って対象物を搬送可能な搬送装置であって、対象物を保持可能な保持部と、上下方向に沿って伸びる昇降軸と、前記昇降軸に沿って前記保持部を上昇または下降させるサーボモータと、前記サーボモータの駆動を制御する制御部と、を備え、異常判定基準としてのトルクリミットに関して、前記制御部は、前記サーボモータの第１トルク値を上昇時のトルクリミットとして設定し、前記第１トルク値よりも小さい前記サーボモータの第２トルク値を下降時のトルクリミットとして設定することを特徴とする。

本発明の第２の態様にかかる搬送装置は、本発明の第１の態様にかかる搬送装置であって、正常下降時において、前記サーボモータは、上向きの力を前記保持部に与える下降用トルクを発生することを特徴とする。

本発明の第３の態様にかかる搬送装置は、本発明の第２の態様にかかる搬送装置であって、前記第２トルク値は、上向きの力を前記保持部に与えるトルク値であり、前記下降用トルクの最小値よりも小さいことを特徴とする。

本発明の第４の態様にかかる搬送装置は、本発明の第１の態様ないし第３の態様のいずれかにかかる搬送装置であって、前記対象物は複数の基板を収容した少なくとも１つの収容体であることを特徴とする。

本発明の第５の態様にかかる制御方法は、対象物を保持可能な保持部と上下方向に沿って伸びる昇降軸と前記昇降軸に沿って前記保持部を上昇または下降させるサーボモータとを備える搬送装置に対して、前記サーボモータの駆動を制御する制御方法であって、異常判定基準としてのトルクリミットに関して、前記サーボモータの第１トルク値を上昇時のトルクリミットとして設定する第１設定工程と、前記第１トルク値よりも小さい前記サーボモータの第２トルク値を下降時のトルクリミットとして設定する第２設定工程と、を備えることを特徴とする。

本発明の第６の態様にかかる制御方法は、本発明の第５の態様にかかる制御方法であって、正常下降時において、前記サーボモータは、上向きの力を前記保持部に与える下降用トルクを発生することを特徴とする。

本発明の第７の態様にかかる制御方法は、本発明の第６の態様にかかる制御方法であって、前記第２トルク値は、上向きの力を前記保持部に与えるトルク値であり、前記下降用トルクの最小値よりも小さいことを特徴とする。

本発明の第１の態様ないし第７の態様では、異常判定基準としてのトルクリミットに関して、サーボモータの第１トルク値が上昇時のトルクリミットとして設定され、第１トルク値よりも小さいサーボモータの第２トルク値が下降時のトルクリミットとして設定される。

一般に、上下方向に沿って対象物を搬送する搬送装置では、サーボモータのトルクは下降時に比べて上昇時の方が大きくなる。このため、本発明では、トルクリミットが上昇時と下降時とで同じ大きさの値となるよう設定される他の態様とは異なり、上昇時および下降時の双方で適切なトルクリミットが設定される。その結果、搬送上昇時または搬送下降時のいずれのタイミングで異常が発生したとしても短い期間で緊急停止をすることができる。

搬送装置の構成を図解的に示す図である。 搬送装置がカセットを保持して下降し載置台に載置する様子を示す模式的な正面図である。 搬送装置がカセットを保持して下降し載置台に載置する様子を示す模式的な正面図である。 搬送装置がカセットを保持して下降し載置台に載置する様子を示す模式的な正面図である。 搬送装置がカセットを保持して下降する際に、該カセットと障害物とが衝突する様子を示す模式的な正面図である。 比較例における下降異常時のトルク制御の一例を示す図である。 本実施形態における下降異常時のトルク制御の一例を示す図である。 比較例および本実施形態における上昇異常時のトルク制御の一例を示す図である。

以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。

＜１ 実施形態＞
＜１．１ 搬送装置１の概要＞
図１は、搬送装置１の構成を図解的に示す図である。図２〜図４は、搬送装置１がカセット７０を保持して下降し載置台８０に載置する様子を示す模式的な正面図である。図５は、搬送装置１がカセット７０を保持して下降する際に、該カセット７０と障害物９０とが衝突する様子を示す模式的な正面図である。

搬送装置１は、鉛直方向に沿って搬送の対象物を搬送可能な装置である。以下では、搬送装置１が、複数の基板Ｗ（例えば、２００枚の半導体ウエハ）を収容したカセット７０を保持して搬送する場合について説明する。なお、以下では、搬送装置１が鉛直方向に沿って昇降駆動する動作を主として説明するが、搬送装置１は鉛直方向とは別に水平方向に沿って駆動可能な装置でも構わない。また、搬送装置１は上下方向を含む斜め方向に沿って駆動可能な装置でも構わない。

搬送装置１は、カセット７０を保持可能な保持部１０と、鉛直方向に沿って伸びる昇降軸１１と、昇降軸１１に沿って保持部１０を上昇または下降させるサーボモータ１２と、搬送装置１の各部の駆動を制御する制御部２０と、を備える。図１では簡略化して描かれているが、昇降軸１１は、例えば、ボールネジ機構およびリニアガイド機構を含んで構成される。

カセット７０は、その内部において複数の基板Ｗを水平方向（図２〜図５における紙面前後方向）に一定間隔で収容する本体部７１と、正面視において本体部７１の上方両側に突設された２つの突起部７２と、２つの突起部７２において下面から上向きに窪んだ２つの凹部７３と、を有する。なお、図２〜図５においては、カセット７０に収容される複数枚の基板Ｗのうち図示手前側の１枚の基板Ｗのみが描かれている。

保持部１０は、昇降軸１１と連結して設けられサーボモータ１２の駆動によって昇降されるアーム１０１と、アーム１０１から下方に向けて設けられる２つのハンド１０２と、を有する。

２つのハンド１０２はいずれも側面視においてＵ字状の部材である。以下では、Ｕ字状のハンド１０２の各部を特定して説明する際には、Ｕ字の鉛直方向に相当する部分を第１部分１０２ａと呼び、Ｕ字の水平方向に相当する部分を第２部分１０２ｂと呼ぶ。

２つのハンド１０２における各第１部分１０２ａ（合計４つの第１部分１０２ａ）の上端は、いずれも水平方向に伸びるアーム１０１の下面に取り付けられており、固定端となっている。他方、２つのハンド１０２における各第１部分１０２ａ（合計４つの第１部分１０２ａ）の下端および各第２部分１０２ｂ（合計２つの第２部分１０２ｂ）は、自由端となっている。このため、図示しない駆動機構によって２つのハンド１０２を駆動することにより、両ハンド１０２の第２部分１０２ｂ同士を近づけた閉状態（図１に実線で図示）と、両ハンド１０２の第２部分１０２ｂ同士を遠ざけた開状態（図１に二点鎖線で図示）とが、切替えられる。２つのハンド１０２が閉状態とされて、２つの第２部分１０２ｂがそれぞれ２つの凹部７３に引っ掛かることにより、カセット７０が保持部１０によって保持される。他方、２つのハンド１０２が開状態とされていれば、２つの第２部分１０２ｂがそれぞれ２つの凹部７３に引っ掛かることはなく、保持部１０がカセット７０を保持していない状態となる。

アーム１０１の基端の下面は、昇降軸１１の上端に固定されている。昇降軸１１には、アーム１０１を昇降させる昇降駆動機構としてのサーボモータ１２が結合されている。サーボモータ１２には、サーボモータ１２を駆動するためのドライバ２２が接続されている。

搬送装置１の各部は制御部２０に電気的に接続されている。制御部２０は、サーボモータ１２の駆動を制御するためのモータ制御部２１を備えている。モータ制御部２１は、ドライバ２２に対して、搬送動作に係る情報（昇降の向き、昇降距離、および、昇降速度など）を指定するデータを発信する。ドライバ２２は、モータ制御部２１から発信されたデータを受信して、該データを基に生成した制御信号をサーボモータ１２に付与する。そして、サーボモータは、この制御信号を基に、保持部１０の昇降速度を維持しつつ、指定された昇降の向きに沿って指定された昇降距離だけ保持部１０を昇降させるようトルクを自動調整する。

また、実際の昇降中におけるトルク値等の各情報は、サーボモータ１２からドライバ２２を介してモータ制御部２１に送信される。また、モータ制御部２１には、搬送動作に先立って、異常判定基準としてのトルクリミットが設定されている。このため、サーボモータ１２から送信される情報を基にモータ制御部２１が異常を検出した場合（サーボモータ１２のトルクがトルクリミットに達していた場合）には、制御部２０により保持部１０の搬送が緊急停止される。トルクリミットの設定に関しては、後ほど詳細に説明する。

制御部２０のハードウエアとしての構成は、一般的なコンピュータと同様のものを採用できる。すなわち、制御部２０は、例えば、各種演算処理を行うＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ、制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく磁気ディスク、等を備えている。制御部２０において、プログラムに記述された手順に従って主制御部としてのＣＰＵが演算処理を行うことにより、搬送装置１の各部を制御する各種の機能部が実現される。もっとも、制御部２０において実現される一部あるいは全部の機能部は、専用の論理回路などでハードウエア的に実現されてもよい。

また、搬送装置１は、マウス、キーボード、タッチパネル等を含む構成の入力部３０を備えている。このため、装置の操作者は、入力部３０を用いて、上記搬送動作に係る情報を入力することができる。

次に、搬送装置１がカセット７０を保持し下降する際の正常な動作について説明する。

図２に示すように、２つのハンド１０２が閉状態とされて、２つの第２部分１０２ｂがそれぞれカセット７０の２つの凹部７３に引っ掛かることにより、カセット７０が保持部１０によって保持される。

また、図２の状態からサーボモータ１２を駆動して保持部１０を下降させることにより、カセット７０が載置台８０上に載置される（図３）。カセット７０が載置台８０上に載置された後もさらに保持部１０を下降させることにより、２つのハンド１０２の第２部分１０２ｂがそれぞれカセット７０の２つの凹部７３よりも下方に移動する。すなわち、第２部分１０２ｂが、凹部７３に引っ掛かった状態から解放される。

その後、２つのハンド１０２が開状態とされ、サーボモータ１２の駆動により保持部１０が上昇する。この一連の動作により、カセット７０が搬送装置１によって下降され、載置台８０上に載置される。

次に、搬送装置１がカセット７０を保持し下降する際に異常が発生するケースについて説明する。

このケースとしては、例えば、搬送装置１が保持中のカセット７０を下降しながら載置台８０に置こうとした際に、その載置台８０に本来存在すべきでない障害物９０（例えば、先行して処理をうけた複数の基板Ｗを収容するカセット）が存在するような場合がある（図５）。この場合、各部の故障等を最小限に抑えるため、カセット７０と障害物９０とが衝突してから速やかに搬送が緊急停止されることが望ましい。

＜１．２ 搬送装置１の緊急停止動作＞
以下では、異常時に搬送を緊急停止するためのトルク制御に関して、比較例（従来例）と本実施形態とを比較しつつ詳細に説明する。

図６は、比較例における下降異常時のトルク制御の一例を示す図である。図７は、本実施形態における下降異常時のトルク制御の一例を示す図である。図８は、比較例および本実施形態における上昇異常時のトルク制御の一例を示す図である。なお、図６〜図８では、横軸が時間を意味し、縦軸がサーボモータ１２におけるトルクの負荷率を意味する。ここで、サーボモータ１２におけるトルクの負荷率とは、サーボモータ１２の回転の向きも考慮した上での、サーボモータ１２の最大トルク値に対する実際のトルク値の割合である。トルクの負荷率は、−１００％〜１００％の値のいずれかであり、正の負荷率は実際のトルクが上向きの力を保持部１０に与えることを示し、負の負荷率は実際のトルクが下向きの力を保持部１０に与えることを示す。

以下では、説明の便宜上、アーム１０１に対して下向きに作用する力（カセット７０、アーム１０１、およびハンド１０２の重量の合計値）と、アーム１０１に対して上向きに作用する力（サーボモータ１２の駆動により昇降軸１１から付与される上向きの力）と、が釣り合う際のサーボモータ１２のトルクの負荷率を＋５０％とする。また、同様に、説明の便宜上、保持部１０を上向きに加速させる際のサーボモータ１２のトルクの負荷率を＋６５％とし、保持部１０を下向きに加速させる際のサーボモータ１２のトルクの負荷率を＋３５％とする。

＜１．２．１ 比較例における搬送下降時の緊急停止動作＞
図６に示す比較例（従来例）では、搬送動作に先立って、異常判定基準としてのトルクリミットが上昇時と下降時とで同じ大きさの値となるよう設定される。具体的には、サーボモータ１２の負荷率８０％が上昇時のトルクリミットとして設定され、サーボモータ１２の負荷率−８０％が下降時のトルクリミットとして設定されている。このため、サーボモータ１２のトルクの負荷率が±８０％に達すると、モータ制御部２１が異常を検出し、搬送を緊急停止する。

この比較例では、時刻０から時刻ｔ１０までの期間中は、トルクの負荷率が５０％とされており、搬送装置１がカセット７０を保持して静止している。

そして、時刻ｔ１０から時刻ｔ２０までの期間中は、トルクの負荷率が３５％付近とされており、搬送装置１がカセット７０を保持しつつ下向きに加速している。

そして、時刻ｔ２０において、搬送装置１が保持して下降するカセット７０と障害物９０とが衝突し、図５に示す状態となる。

上述のように、サーボモータ１２は、保持部１０の昇降速度を維持しつつ、指定された昇降の向きに沿って指定された昇降距離だけ保持部１０を昇降させるようトルクを自動調整するモータである。このため、図５に示す異常時のケースでは、カセット７０と障害物９０とが衝突した後も、サーボモータ１２は指示された下降速度を維持しようとしてトルクを低下させる。その結果、サーボモータ１２のトルクの負荷率は、時刻ｔ２０における３５％付近から、一旦０になり、さらに低下して時刻ｔ３０における−８０％に達する。これにより、モータ制御部２１が異常を検出し、搬送装置１の搬送動作を緊急停止する。

＜１．２．２ 本実施形態における搬送下降時の緊急停止動作＞
図７に示す本実施形態の例では、搬送動作に先立って、異常判定基準としてのトルクリミットが、上昇時では第１トルク値に設定され（第１設定工程）、下降時では第１トルク値よりも小さい第２トルク値に設定される（第２設定工程）。具体的には、サーボモータ１２の負荷率８０％が上昇時のトルクリミットとして設定され、サーボモータ１２の負荷率１０％が下降時のトルクリミットとして設定されている。このため、サーボモータ１２のトルクの負荷率が上昇時に８０％に達した場合、或いは、サーボモータ１２のトルクの負荷率が下降時に１０％に達した場合、モータ制御部２１が異常を検出し、搬送を緊急停止する。

この本実施形態の例では、時刻０から時刻ｔ１０までの期間中は、トルクの負荷率が５０％とされており、搬送装置１がカセット７０を保持して静止している。

そして、時刻ｔ１０から時刻ｔ２０までの期間中は、トルクの負荷率が３５％付近とされており、搬送装置１がカセット７０を保持しつつ下向きに加速している。

そして、時刻ｔ２０において、搬送装置１が保持して下降するカセット７０と障害物９０とが衝突し、図５に示す状態となる。

上述のように、サーボモータ１２は、保持部１０の昇降速度を維持しつつ、指定された昇降の向きに沿って指定された昇降距離だけ保持部１０を昇降させるようトルクを自動調整するモータである。このため、図５に示す異常時のケースでは、カセット７０と障害物９０とが衝突した後も、サーボモータ１２は指示された下降速度を維持しようとしてトルクを低下させる。その結果、サーボモータ１２のトルクの負荷率は、時刻ｔ２０における３５％付近から、時刻ｔ２１における１０％に達する。これにより、モータ制御部２１が異常を検出し、搬送装置１の搬送動作を緊急停止する。

＜１．２．３ 比較例および本実施形態における搬送上昇時の緊急停止動作＞
図８に示す比較例および本実施形態の例では、搬送動作に先立って、サーボモータ１２の負荷率８０％が上昇時のトルクリミットとして設定される。このため、サーボモータ１２のトルクの負荷率が上昇時に８０％に達した場合、モータ制御部２１が異常を検出し、搬送を緊急停止する。なお、図８では、下降時のトルクリミットの記載を省略している。

この例では、時刻０から時刻ｔ１０までの期間中は、トルクの負荷率が５０％とされており、搬送装置１がカセット７０を保持して静止している。

そして、時刻ｔ１０から時刻ｔ２５までの期間中は、トルクの負荷率が６５％付近とされており、搬送装置１がカセット７０を保持しつつ上向きに加速している。

そして、時刻ｔ２５において、搬送装置１が保持して上昇するカセット７０と、該カセット７０の上昇を妨げる場所に位置する障害物９０とが衝突する。なお、この衝突に関しては図示を省略している。

上述のように、サーボモータ１２は、保持部１０の昇降速度を維持しつつ、指定された昇降の向きに沿って指定された昇降距離だけ保持部１０を昇降させるようトルクを自動調整するモータである。このため、このような衝突時（異常時）のケースでは、カセット７０と障害物９０とが衝突した後も、サーボモータ１２は指示された上昇速度を維持しようとしてトルクを増加させる。その結果、サーボモータ１２のトルクの負荷率は、時刻ｔ２５における６５％付近から、時刻ｔ２６における８０％に達する。これにより、モータ制御部２１が異常を検出し、搬送装置１の搬送動作を緊急停止する。

＜１．３ 効果＞
一般に、保持部１０およびカセット７０の重量の影響により、サーボモータ１２のトルクは下降時に比べて上昇時の方が大きくなる（図６〜図８）。このため、比較例のように、トルクリミットが上昇時と下降時とで同じ大きさの値となるよう設定される態様では、よりトルクの大きい上昇時のトルクリミットと対応させて、下降時のトルクリミットも設定されることになる。具体的には、図６に示すように、正常な上昇時における上昇用トルク（負荷率６５％付近のトルク）の最大値よりも大きな値が上昇時のトルクリミット（負荷率８０％）として設定され、これと同じ大きさで逆向きのトルクが下降時のトルクリミット（負荷率−８０％）として設定される。

その結果、比較例の態様では、搬送上昇時に異常が発生したとしても短い期間（図８における時刻ｔ２５から時刻ｔ２６までの期間）で緊急停止をすることができるが、搬送下降時に異常が発生した場合には長い期間（図６における時刻ｔ２０から時刻ｔ３０までの期間）の経過後でなければ緊急停止をすることができない。また、緊急停止される直前では、アーム１０１の重量、ハンド１０２の重量、カセット７０の重量、および、サーボモータ１２によって付与される下向きの力（負荷率−８０％）が、障害物９０に対して作用する。

これに対して、本実施形態の態様では、モータ制御部２１が、サーボモータ１２の第１トルク値（負荷率８０％）を上昇時のトルクリミットとして設定し、第１トルク値よりも小さいサーボモータ１２の第２トルク値（負荷率１０％）を下降時のトルクリミットとして設定する。

このように、上昇時および下降時の双方で適切なトルクリミットが設定されることにより、搬送上昇時に異常が発生したとしても短い期間（図８における時刻ｔ２５から時刻ｔ２６までの期間）で緊急停止をすることができ、搬送下降時に異常が発生したとしても短い期間（図７における時刻ｔ２０から時刻ｔ２１までの期間）で緊急停止をすることができる。また、緊急停止される直前では、アーム１０１の重量、ハンド１０２の重量、および、カセット７０の重量の合計値からサーボモータ１２によって付与される上向きの力（負荷率１０％）を除いた力しか障害物９０に対して作用せず、比較例に比べて衝突後の作用力が小さい。このため、各部の故障や作業者のけが等のリスクも低減される。

本実施形態の態様において、サーボモータ１２は、正常下降時において、上向きの力を保持部１０に与える下降用トルク（負荷率３５％付近のトルク）を発生する。そして、第２トルク値（負荷率１０％）は、上向きの力を保持部１０に与えるトルク値であり、下降用トルクの最小値（図７から分かるように、負荷率約２６％）よりも小さい。また、上述のように、上昇時のトルクリミット（第１トルク値）は正常上昇時の上昇用トルクの最大値よりも大きく設定される。このように、正常な昇降における上昇用トルクおよび下降用トルクのぶれ幅を考慮して、上昇時のトルクリミットおよび下降時のトルクリミットが設定されることにより、正常な昇降時に誤って搬送が緊急停止される可能性を低減できる。

また、本実施形態では、搬送の対象物が複数の基板Ｗを収容した１つの収容体（カセット７０）であり、搬送の対象物が１枚の基板Ｗである態様に比べて搬送重量が大きくなる。このように搬送重量が大きい場合には、各部の故障等を最小限に抑えるという観点から特に速やかに緊急停止する必要が生じ、上昇時および下降時の双方で適切なトルクリミットを設定する本実施形態の技術が特に好適である。

＜２ 変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。

上記実施形態では、搬送の対象物が１つのカセット７０である態様について説明したが、これに限られるものではない。搬送の対象物は、１枚の基板Ｗであってもよいし、複数のカセット７０であってもよいし、基板Ｗとは無関係の物体であってもよい。

また、搬送装置の構成も上記実施形態の搬送装置１の構成には限られない。本発明は、サーボモータを用いて上下方向に沿って対象物を搬送可能な種々の搬送装置に適用可能である。

また、上記実施形態では、正常下降時において、サーボモータ１２が上向きの力を保持部１０に与える下降用トルクを発生する態様について説明したが、これに限られるものではない。例えば、正常下降時において、サーボモータ１２が保持部１０に回転力を付与しない態様でも構わないし、サーボモータ１２が下向きの力を保持部１０に与える下降用トルクを発生する態様でも構わない。また、サーボモータ１２の下降時のトルクリミットが下向きの力を保持部１０に与えるトルク値であっても構わない。

また、上記実施形態では、対象物の搬送を妨げる箇所に位置する障害物９０が対象物と同種のもの（カセット７０）である態様について説明したが、これに限られるものではない。障害物が対象物とは異なる物である場合や障害物が作業者の身体の一部である場合においても本発明は適用可能である。

また、上記実施形態では、異常時の例として対象物が障害物に衝突する態様を説明したが、これに限られるものではない。本発明は、衝突以外の場合であっても、サーボモータのトルクがトルクリミットに達する種々の異常時に適用可能である。

以上、実施形態およびその変形例に係る、搬送装置および制御方法について説明したが、これらは本発明に好ましい実施形態の例であって、本発明の実施の範囲を限定するものではない。本発明は、その発明の範囲内において、各実施形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施形態において任意の構成要素の省略が可能である。

１ 搬送装置
１０ 保持部
１１ 昇降軸
１２ サーボモータ
２０ 制御部
２１ モータ制御部
２２ ドライバ
３０ 入力部
７０ カセット
７１ 本体部
７２ 突起部
７３ 凹部
８０ 載置台
９０ 障害物
１０１ アーム
１０２ ハンド
１０２ａ 第１部分
１０２ｂ 第２部分
Ｗ 基板

Claims (7)

1. 上下方向に沿って対象物を搬送可能な搬送装置であって、
   対象物を保持可能な保持部と、
   上下方向に沿って伸びる昇降軸と、
   前記昇降軸に沿って前記保持部を上昇または下降させるサーボモータと、
   前記サーボモータの駆動を制御する制御部と、
   を備え、
   異常判定基準としてのトルクリミットに関して、前記制御部は、前記サーボモータの第１トルク値を上昇時のトルクリミットとして設定し、前記第１トルク値よりも小さい前記サーボモータの第２トルク値を下降時のトルクリミットとして設定することを特徴とする搬送装置。
2. 請求項１に記載の搬送装置であって、
   正常下降時において、前記サーボモータは、上向きの力を前記保持部に与える下降用トルクを発生することを特徴とする搬送装置。
3. 請求項２に記載の搬送装置であって、
   前記第２トルク値は、上向きの力を前記保持部に与えるトルク値であり、前記下降用トルクの最小値よりも小さいことを特徴とする搬送装置。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の搬送装置であって、
   前記対象物は複数の基板を収容した少なくとも１つの収容体であることを特徴とする搬送装置。
5. 対象物を保持可能な保持部と上下方向に沿って伸びる昇降軸と前記昇降軸に沿って前記保持部を上昇または下降させるサーボモータとを備える搬送装置に対して、前記サーボモータの駆動を制御する制御方法であって、
   異常判定基準としてのトルクリミットに関して、前記サーボモータの第１トルク値を上昇時のトルクリミットとして設定する第１設定工程と、
   前記第１トルク値よりも小さい前記サーボモータの第２トルク値を下降時のトルクリミットとして設定する第２設定工程と、
   を備えることを特徴とする制御方法。
6. 請求項５に記載の制御方法であって、
   正常下降時において、前記サーボモータは、上向きの力を前記保持部に与える下降用トルクを発生することを特徴とする制御方法。
7. 請求項６に記載の制御方法であって、
   前記第２トルク値は、上向きの力を前記保持部に与えるトルク値であり、前記下降用トルクの最小値よりも小さいことを特徴とする制御方法。

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