JPS6247506A - 曲面形状測定装置 - Google Patents
曲面形状測定装置Info
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- JPS6247506A JPS6247506A JP18744785A JP18744785A JPS6247506A JP S6247506 A JPS6247506 A JP S6247506A JP 18744785 A JP18744785 A JP 18744785A JP 18744785 A JP18744785 A JP 18744785A JP S6247506 A JPS6247506 A JP S6247506A
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- JP
- Japan
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- stylus
- curved surface
- rotation
- measuring
- motor
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、曲面形状測定装置に係り、特に、軸対称の非
球面形状を高精度に測定するのに好適な曲面形状測定装
置に関するものである。
球面形状を高精度に測定するのに好適な曲面形状測定装
置に関するものである。
軸対称の非球面形状のものとして、超音波顕微鏡用レン
ズや、ビデオカメラ用レンズ、あるいはその製造用金型
などの測定精度の向上が望まれている。
ズや、ビデオカメラ用レンズ、あるいはその製造用金型
などの測定精度の向上が望まれている。
従来から、非球面形状を接触方式によシ測定する方法と
しては、3次元測定機を用いるのが一般的であるが、測
定精度1μm程度が通例である。
しては、3次元測定機を用いるのが一般的であるが、測
定精度1μm程度が通例である。
まだ、測定精度の高い、真円変針を利用して、非球面形
状を測定しようとしても、測定範囲がせまいため、球面
からのずれの大きな非球面は、測定が困難であった。
状を測定しようとしても、測定範囲がせまいため、球面
からのずれの大きな非球面は、測定が困難であった。
従来の曲面形状測定上の問題を、第、7図ないし第9図
を参照して説明する。
を参照して説明する。
第7図は、一般的な凹曲面ワークの斜視図、第8図は、
従来の曲面形状測定方法の説明図、第9図は、第8図の
測定方法による記録紙上の測定結果を示す説明図である
。
従来の曲面形状測定方法の説明図、第9図は、第8図の
測定方法による記録紙上の測定結果を示す説明図である
。
第7図に示す被測定体に係るワーク1は、凹面形状を有
する非球面からなり、この曲面AOBは軸C−Cに対し
て対称な形状である。
する非球面からなり、この曲面AOBは軸C−Cに対し
て対称な形状である。
第8図には、前記ワーク1の曲面AOBを真円度計を用
いて測定する状況を示している。すなわち、測定子に係
るスタイラス2を曲面上の点Oに接触させ、曲面の軸C
−Cとスタイラス20針中心線を一致させる。このよう
にしてスタイラス2を回転軸心3を中心として回転させ
る。
いて測定する状況を示している。すなわち、測定子に係
るスタイラス2を曲面上の点Oに接触させ、曲面の軸C
−Cとスタイラス20針中心線を一致させる。このよう
にしてスタイラス2を回転軸心3を中心として回転させ
る。
これにより得られた記録紙4上の測定結果を第9図に示
す。
す。
スタイラス2を回転接触させ、その回転角度がθ度まで
は、曲面形状5が記録されているが、ワーク1の非球面
の程度が大きいため、両端のAとBの近傍では、測定範
囲Wを越えておシ、測定データが得られない。
は、曲面形状5が記録されているが、ワーク1の非球面
の程度が大きいため、両端のAとBの近傍では、測定範
囲Wを越えておシ、測定データが得られない。
スタイラス2の測定倍率を高くすればするほど、測定範
囲がせまくなる。たとえば、倍率を5万倍とすれば測定
分解能0.02μm/divが可能となるが、測定範囲
は1μmとせまくなる。
囲がせまくなる。たとえば、倍率を5万倍とすれば測定
分解能0.02μm/divが可能となるが、測定範囲
は1μmとせまくなる。
このため、上記の真円度計では、球面に近い曲面しか高
精度測定ができなかった。
精度測定ができなかった。
また、曲面形状測定装置の先行技術として、例えば特開
昭58−9012号公報記載のものがある。
昭58−9012号公報記載のものがある。
一般に、形状測定装置の測定子の回転中心とテーブル上
の円弧の中心とを一致させることは実際の作業としては
面倒なものであり、当該公報には、測定されるべき円弧
を有するワークをテーブル上に仮にセントしたとき、こ
れをX、Y方向および検出器の測定子半径方向の調整を
どのようにすれば良いのか、それを指示する補正値を表
示できる円弧形状測定装置が開示されている。
の円弧の中心とを一致させることは実際の作業としては
面倒なものであり、当該公報には、測定されるべき円弧
を有するワークをテーブル上に仮にセントしたとき、こ
れをX、Y方向および検出器の測定子半径方向の調整を
どのようにすれば良いのか、それを指示する補正値を表
示できる円弧形状測定装置が開示されている。
しかし、非球面の程度の大きい非球面形状の接触測定に
ついては十分配慮されていなかった。
ついては十分配慮されていなかった。
本発明は、前述の従来技術の実状に鑑みなされたもので
、スタイラスを回転接触させる手段で、非球面量の大き
な曲面を高精度に、かつ、自動的に測定することの可能
な曲面形状測定装置の提供を、その目的としている。
、スタイラスを回転接触させる手段で、非球面量の大き
な曲面を高精度に、かつ、自動的に測定することの可能
な曲面形状測定装置の提供を、その目的としている。
本発明に係る曲面形状測定装置の構成は、測定子先端を
被測定体に回転接触させて、その変位検出値から被測定
体の曲面形状を測定する曲面形状測定装置において、測
定子からの変位検出値が、画数測定子の通常の測定可能
範囲である所定レベルの値に達したときに測定子の回転
を停止させる手段と、測定子の回転停止中に、前記測定
子の変位検出値が中立レベルとなるように前記測定子を
一方向に移動させる。駆動手段と、前記測定子の回転、
停止、および一方向移動を繰返して被測定体の曲面形状
を測定せしめる制御手段とを備えたものである。
被測定体に回転接触させて、その変位検出値から被測定
体の曲面形状を測定する曲面形状測定装置において、測
定子からの変位検出値が、画数測定子の通常の測定可能
範囲である所定レベルの値に達したときに測定子の回転
を停止させる手段と、測定子の回転停止中に、前記測定
子の変位検出値が中立レベルとなるように前記測定子を
一方向に移動させる。駆動手段と、前記測定子の回転、
停止、および一方向移動を繰返して被測定体の曲面形状
を測定せしめる制御手段とを備えたものである。
出力電圧が測定範囲を越えないように、スタイラスの回
転角と、ラジアル方向への送り制御量とを組合わせ、こ
の間に得られたスタイラスからの変位出力電圧、回転角
およびスタイラスのラジアル方向送シ量を総合して、広
範囲の非球面形状を測定するようにしだものである。
転角と、ラジアル方向への送り制御量とを組合わせ、こ
の間に得られたスタイラスからの変位出力電圧、回転角
およびスタイラスのラジアル方向送シ量を総合して、広
範囲の非球面形状を測定するようにしだものである。
以下、本発明の一実施例を第1図ないし第6図を参照し
て説明する。
て説明する。
ここに第1図は、本発明の一実施例に係る曲面形状測定
装置の外観を示す斜視図、第2図は、第1図の装置のよ
シ詳細な構成を示す構成図である。
装置の外観を示す斜視図、第2図は、第1図の装置のよ
シ詳細な構成を示す構成図である。
まず、第1図を参照して装置の全体構成を説明する。
第1図に示す本実施例の曲面形状測定装置は、測定機本
体、制御装置、およびデータ処理装置から構成されてい
る。
体、制御装置、およびデータ処理装置から構成されてい
る。
図において、1は、例えば先の第7図に示したような軸
対称の非曲面形状を有する被測定体(以下ワークム(A
ら)−’)It+刑11中工r探スズクメ→フ6は、ス
タイラス2をワーク曲面の半径方向へ移動させるだめの
テーブル、7はベッド、8は、ベッド7上にあシ、ワー
ク1を載置して位置を調整するためのx −yテーブル
、9は、ワークの取付治具、10は、前記スタイラス2
の回転用スピンドル、11は、そのスピンドル10を支
持するスピンドルサポート、13ば、スピンドル10を
回転させるスタイラス回転用モータ、14ば、前記モー
タ13の回転数を減速させる減速機構部、15は、前記
スピンドル10の回転角、すなわちスタイラス2の回転
角を検出するためのロータリエンコーダであり、これら
で測定機本体を構成している。
対称の非曲面形状を有する被測定体(以下ワークム(A
ら)−’)It+刑11中工r探スズクメ→フ6は、ス
タイラス2をワーク曲面の半径方向へ移動させるだめの
テーブル、7はベッド、8は、ベッド7上にあシ、ワー
ク1を載置して位置を調整するためのx −yテーブル
、9は、ワークの取付治具、10は、前記スタイラス2
の回転用スピンドル、11は、そのスピンドル10を支
持するスピンドルサポート、13ば、スピンドル10を
回転させるスタイラス回転用モータ、14ば、前記モー
タ13の回転数を減速させる減速機構部、15は、前記
スピンドル10の回転角、すなわちスタイラス2の回転
角を検出するためのロータリエンコーダであり、これら
で測定機本体を構成している。
16は、スタイラス2の変位出力電圧を検出し、スタイ
ラス2の回転、停止制御と、スタイラス2をワーク曲面
の半径方向へ移動させる移動量を制御するだめの制御装
置である。
ラス2の回転、停止制御と、スタイラス2をワーク曲面
の半径方向へ移動させる移動量を制御するだめの制御装
置である。
さらに、スタイラス2の回転角に対応してスクイラス2
が出力する変位検出値をデータ処理し、曲面形状として
表示し、かつプリントアウトするデータ処理装置として
、パーソナルコンピュータ17、モニターテレビ18、
フロンピー19、プリンタ20を備えている。
が出力する変位検出値をデータ処理し、曲面形状として
表示し、かつプリントアウトするデータ処理装置として
、パーソナルコンピュータ17、モニターテレビ18、
フロンピー19、プリンタ20を備えている。
第2図に、測定機本体のスタイラス回転駆動部とスタイ
ラス移動部の詳細構成を示すとともに、これら各部と制
御装置、データ処理装置との制御系の構成を示す。なお
、第1図と同一符号のものは同一部分を示している。
ラス移動部の詳細構成を示すとともに、これら各部と制
御装置、データ処理装置との制御系の構成を示す。なお
、第1図と同一符号のものは同一部分を示している。
第2図に示すように、スピンドル10の下部て取付けだ
スタイラス2を回転させるため、スピンドル10の上部
に設けたウオームホイル24と、スタイラス回転用モー
タ13のモータ軸に直結するウオーム22とが噛み合っ
て減速機構部14を構成している。
スタイラス2を回転させるため、スピンドル10の上部
に設けたウオームホイル24と、スタイラス回転用モー
タ13のモータ軸に直結するウオーム22とが噛み合っ
て減速機構部14を構成している。
マタ、スピンドル10とロータリエンコーダ15とは、
カンプリフグ23で直結されている。
カンプリフグ23で直結されている。
スタイラス2からの変位検出値に係る出力電圧が通常の
測定範囲を越えた場合に、スタイラスを中立レベルに係
る一定出力電圧(OV)となるように移動させるためス
タイラス移動用モータ12および圧電素子21がテーブ
ル6の側面に配設されているっ 上記のような構成であるから、ワーク1の表面にスタイ
ラス2を接触させ、スタイラス回転用モータ13を回転
させると、スタイラス2の回転角度θに対応して、スタ
イラス2から変位検出値として変位δが検出される。
測定範囲を越えた場合に、スタイラスを中立レベルに係
る一定出力電圧(OV)となるように移動させるためス
タイラス移動用モータ12および圧電素子21がテーブ
ル6の側面に配設されているっ 上記のような構成であるから、ワーク1の表面にスタイ
ラス2を接触させ、スタイラス回転用モータ13を回転
させると、スタイラス2の回転角度θに対応して、スタ
イラス2から変位検出値として変位δが検出される。
その変位δが、スタイラス2の通常の測定可能範囲を越
えるような、非球面形状のワークの場合には、制御装置
16内の制御回路26によって、スタイラス回転用モー
タ13を停止させ、スタイラス2の回転接触を停止させ
る。
えるような、非球面形状のワークの場合には、制御装置
16内の制御回路26によって、スタイラス回転用モー
タ13を停止させ、スタイラス2の回転接触を停止させ
る。
また、スタイラス2の回転停止中に、制御回路26によ
って、スタイラス移動用モータ12および圧電素子21
を作動させて、スタイラス2を取付けだテーブル6を、
スタイラス2からの変位検出値である出力電圧Eが中立
レベルであるOVとなるように矢印の一方向、すなわち
ワーク1の曲面の半径方向に移動させる。
って、スタイラス移動用モータ12および圧電素子21
を作動させて、スタイラス2を取付けだテーブル6を、
スタイラス2からの変位検出値である出力電圧Eが中立
レベルであるOVとなるように矢印の一方向、すなわち
ワーク1の曲面の半径方向に移動させる。
なお、制御装置16内の25は増幅器を示す。
スタイラス2からの出力電圧EがOvとなったところで
、制御回路26により、再びスタイラス回転用モータ1
3を回転させ、上記と同様の操作をくりかえす。
、制御回路26により、再びスタイラス回転用モータ1
3を回転させ、上記と同様の操作をくりかえす。
ここで、スタイラス2の回転角度θと、スタイラス2の
出力電圧Eを記憶させ、一定の手順にもとすいてデータ
処理をする。27は、そのデータ処理部、28は表示と
プリントアウト部を示す。
出力電圧Eを記憶させ、一定の手順にもとすいてデータ
処理をする。27は、そのデータ処理部、28は表示と
プリントアウト部を示す。
このような本実施例の曲面形状測定装置の動作を第3図
ないし第6図を参照して説明する。
ないし第6図を参照して説明する。
ここに第3図は、第2図の制御回路のブロック図、第4
図は、その制御回路の制御対itとスタイラス出力電圧
との関係を示すタイムチャート、第5図は、スタイラス
回転角と変位との関係を示すデータ線図、第6図は、第
5図のデータをつなぎ処理した線図である。
図は、その制御回路の制御対itとスタイラス出力電圧
との関係を示すタイムチャート、第5図は、スタイラス
回転角と変位との関係を示すデータ線図、第6図は、第
5図のデータをつなぎ処理した線図である。
第3図において、29はスタイラス変位信号、25は増
幅器、30はレベル比較回路、31は、スタイラス回転
、停止リレー回路、32ば、スタイラス移動、停止リレ
ー回路を示し、本図は、スタイラス回転用モータ13と
、スタイラス移動用モータ12および圧電素子21を制
御する回路のフローを示すものである。
幅器、30はレベル比較回路、31は、スタイラス回転
、停止リレー回路、32ば、スタイラス移動、停止リレ
ー回路を示し、本図は、スタイラス回転用モータ13と
、スタイラス移動用モータ12および圧電素子21を制
御する回路のフローを示すものである。
このように、スタイラス2からの変位検出値に係る変位
δの信号29は、増幅器25を経て変位出力電圧Eとし
て出力され、その変位出力電圧Eを通常の測定可能範囲
である限界レベル電圧E0とレベル比較回路30で比較
し、変位出力電圧Eが所定の限界レベル電圧E、Bに達
する場合には、スタイラス回転、停止リレー回路31に
よりスタイラス回転用モータ13を停止させる。合わせ
て、スタイラス移動、停止リレー回路32によシスタイ
ラス移動用モータ12および圧電素子21を作動させ、
出力電圧Eが中立レベルの0■となるようにスタイラス
2を移動させる。
δの信号29は、増幅器25を経て変位出力電圧Eとし
て出力され、その変位出力電圧Eを通常の測定可能範囲
である限界レベル電圧E0とレベル比較回路30で比較
し、変位出力電圧Eが所定の限界レベル電圧E、Bに達
する場合には、スタイラス回転、停止リレー回路31に
よりスタイラス回転用モータ13を停止させる。合わせ
て、スタイラス移動、停止リレー回路32によシスタイ
ラス移動用モータ12および圧電素子21を作動させ、
出力電圧Eが中立レベルの0■となるようにスタイラス
2を移動させる。
第4図は、スタイラス回転用モータ13のON。
OFF動作、スタイラス2の出力電圧E、スタイラス移
動用モータ12のON、OFF動作の各関連を横軸に時
間tをとって示したものである。
動用モータ12のON、OFF動作の各関連を横軸に時
間tをとって示したものである。
スタイラス回転用モータ13を起動し、時間t1までス
タイラス2を回転させるにつれて、スタイラス2が検出
する変位出力電圧が限界レベル電圧E、に近い電圧E1
まで増えると、スタイラス用モータ13は停止する。そ
こで、スタイラス移動用モータ21および圧電素子21
を作動させるとtA時間後てスタイラス2の出力電圧は
中立レベルのOVへ低下する。
タイラス2を回転させるにつれて、スタイラス2が検出
する変位出力電圧が限界レベル電圧E、に近い電圧E1
まで増えると、スタイラス用モータ13は停止する。そ
こで、スタイラス移動用モータ21および圧電素子21
を作動させるとtA時間後てスタイラス2の出力電圧は
中立レベルのOVへ低下する。
次いで、スタイラス回転用モータ13を時間t2からt
3まで駆動するとスタイラス2の変位出力電圧はElま
で増える。そこで、t3の時点でスタイラス2の回転を
停止し、スタイラス移動用モータ12を時間tA作動さ
せて、スタイラス出力電圧がOVへ低下するようにスタ
イラス2を移動させ、以下同様の動作を繰り返す。
3まで駆動するとスタイラス2の変位出力電圧はElま
で増える。そこで、t3の時点でスタイラス2の回転を
停止し、スタイラス移動用モータ12を時間tA作動さ
せて、スタイラス出力電圧がOVへ低下するようにスタ
イラス2を移動させ、以下同様の動作を繰り返す。
以上の動作を、スタイラス2の回転角度θと、スタイラ
ス2の変位検出値である変位δとの対応で示したものが
第5図である。
ス2の変位検出値である変位δとの対応で示したものが
第5図である。
δ1は、スタイラス2を時点t1まで回転させたときの
回転角度、δ2は、スタイラス2を時点t2からt3ま
で回転させたときの回転角度、δ3は、スタイラス2を
時点t4からt5まで回転させたときの回転角度に相当
し、δ1.δ2゜δ3は、それぞれ回転角度θ1.θ2
.θ3に対応する変位である。
回転角度、δ2は、スタイラス2を時点t2からt3ま
で回転させたときの回転角度、δ3は、スタイラス2を
時点t4からt5まで回転させたときの回転角度に相当
し、δ1.δ2゜δ3は、それぞれ回転角度θ1.θ2
.θ3に対応する変位である。
なお、本図で、変位δ1.δ2.δ3の変位出力電圧は
第4図に示すEl、El、E3に対応する。
第4図に示すEl、El、E3に対応する。
第5図のデータをもとに、ソフト的にデータをつなぎ合
わせた結果を第6図に示す。
わせた結果を第6図に示す。
第5図、第6図のデータ処理2衷示、およびプリントア
ウトは第1図で示したパーソナルコンピュータ17、モ
ニターテレビ18% フロッピー191プリンタ20等
で自動的に処理される。
ウトは第1図で示したパーソナルコンピュータ17、モ
ニターテレビ18% フロッピー191プリンタ20等
で自動的に処理される。
なお、第6図に破線で示すδ1ば、つなぎ処理を行わな
いときのスタイラス2の通常の測定可能範囲を示すもの
で、図から明らかなように、本実施例によれば通常の測
定可能範囲を越えて測定データが得られるものである。
いときのスタイラス2の通常の測定可能範囲を示すもの
で、図から明らかなように、本実施例によれば通常の測
定可能範囲を越えて測定データが得られるものである。
本実施例によれば、測定倍率を高くした状態でも、スタ
イラスの回転角と、スタイラスの移8帯をもとに、非球
面量の大きな曲面を自動的にかつ、高精度に測定が可能
となる。
イラスの回転角と、スタイラスの移8帯をもとに、非球
面量の大きな曲面を自動的にかつ、高精度に測定が可能
となる。
例えば、中心部から外周部へ向うにつれ曲率半径10m
mからのずれ量200μmを有する非球面を、測定精度
0.1μm以内で測定可能となった。。
mからのずれ量200μmを有する非球面を、測定精度
0.1μm以内で測定可能となった。。
なお、従来の真円度針では、このような曲面は測定でき
なかったものである。
なかったものである。
以上述べたように、本発明によれば、スタイラスを回転
接触させる手段で、非球面量の大きな曲面を高精度に、
かつ、自動的に測定することの可能な曲面形状測定装置
を提供することができる。
接触させる手段で、非球面量の大きな曲面を高精度に、
かつ、自動的に測定することの可能な曲面形状測定装置
を提供することができる。
第1図は、本発明の一実施例に係る曲面形状測定装置の
外観を示す斜視図、第2図は、第1図の装置のより詳細
な構成を示す構成図、第3図は、その制御回路のブロッ
ク図、第4図は、その制御回路の制御対象とスタイラス
出力電圧との関係を示すタイムチャート、第5図は、ス
タイラス回転角と変位との関係を示すデータ線図、第6
図は、第5図のデータをつなぎ処理した線図、第7図は
、一般的な凹曲面ワークの斜視図、第8図は、従来の曲
面形状測定方法の説明図、第9図は、第8図の測定方法
による記録紙上の測定結果を示す説明図である。 1・・・ワーク、2・・・スタイラス、6・・・テーブ
ル、10・・・スピンドル、12・・・スタイラス移動
用モータ、13・・・スタイラス回転用モータ、15・
・・ロータリエンコーダ、16・・・制御装置、17・
・・パーツナルコンピュータ、18・・・モニターテレ
ビ、19・・・フロッピー、20・・・プリンタ、21
・・・圧電素子、25・・・増幅器、26・・・制御回
路、30・・・レベル比較回路、31・・・スタイラス
回転、停止リレー回路、′l・ (ほか1名) 罫、5 口
外観を示す斜視図、第2図は、第1図の装置のより詳細
な構成を示す構成図、第3図は、その制御回路のブロッ
ク図、第4図は、その制御回路の制御対象とスタイラス
出力電圧との関係を示すタイムチャート、第5図は、ス
タイラス回転角と変位との関係を示すデータ線図、第6
図は、第5図のデータをつなぎ処理した線図、第7図は
、一般的な凹曲面ワークの斜視図、第8図は、従来の曲
面形状測定方法の説明図、第9図は、第8図の測定方法
による記録紙上の測定結果を示す説明図である。 1・・・ワーク、2・・・スタイラス、6・・・テーブ
ル、10・・・スピンドル、12・・・スタイラス移動
用モータ、13・・・スタイラス回転用モータ、15・
・・ロータリエンコーダ、16・・・制御装置、17・
・・パーツナルコンピュータ、18・・・モニターテレ
ビ、19・・・フロッピー、20・・・プリンタ、21
・・・圧電素子、25・・・増幅器、26・・・制御回
路、30・・・レベル比較回路、31・・・スタイラス
回転、停止リレー回路、′l・ (ほか1名) 罫、5 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、測定子先端を被測定体に回転接触させて、その変位
検出値から被測定体の曲面形状を測定する曲面形状測定
装置において、測定子からの変位検出値が、当該測定子
の通常の測定可能範囲である所定レベルの値に達したと
きに測定子の回転を停止させる手段と、測定子の回転停
止中に、前記測定子の変位検出値が中立レベルとなるよ
うに前記測定子を一方向に移動させる駆動手段と、前記
測定子の回転、停止、および一方向移動を繰返して被測
定体の曲面形状を測定せしめる制御手段とを備えたこと
を特徴とする曲面形状測定装置。 2、特許請求の範囲第1項記載のものにおいて、測定子
の回転、停止、および一方向移動を繰返して被測定体の
曲面形状を測定せしめる制御手段は、被測定体に対する
測定子の回転接触にともなう回転角と、その回転角にお
ける変位検出値とを、前記測定子の回転、停止、および
一方向移動の繰返しに応じて連続的につなぎ合わせるた
めのデータ処理装置を備えたものである曲面形状測定装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18744785A JPS6247506A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 曲面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18744785A JPS6247506A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 曲面形状測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6247506A true JPS6247506A (ja) | 1987-03-02 |
Family
ID=16206230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18744785A Pending JPS6247506A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 曲面形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6247506A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011017573A (ja) * | 2009-07-08 | 2011-01-27 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定装置および真円度測定装置 |
-
1985
- 1985-08-28 JP JP18744785A patent/JPS6247506A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011017573A (ja) * | 2009-07-08 | 2011-01-27 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定装置および真円度測定装置 |
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