JPS6244960A - 薄膜二次電池の製造装置 - Google Patents
薄膜二次電池の製造装置Info
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- JPS6244960A JPS6244960A JP60182961A JP18296185A JPS6244960A JP S6244960 A JPS6244960 A JP S6244960A JP 60182961 A JP60182961 A JP 60182961A JP 18296185 A JP18296185 A JP 18296185A JP S6244960 A JPS6244960 A JP S6244960A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
乙の発明は、固体型の薄膜二次電池、特に薄膜リチウム
二次電池の製造装置に関するものである。
二次電池の製造装置に関するものである。
固体型薄膜リチウム二次電池は、総て固体であるので液
漏れがなく、かつ自己放電の少ない信頼性の高い電池と
して、また充放電可能な高エネルギー密度の電池として
近年注目されてきている。
漏れがなく、かつ自己放電の少ない信頼性の高い電池と
して、また充放電可能な高エネルギー密度の電池として
近年注目されてきている。
従来の薄膜リチウム二次電池は、例えばテレビジロン学
会誌Vo l 、 38. No、 5 (1984)
第440〜445頁に開示さねている[WI膜リチウム
2次電池1によれば、正極をTi5z、電解質を1.1
4Si04 1.13Po4系の非晶質、負極をI、1
とし、それらが積層されt:構成をしている。乙のよう
な電V10を製造する従来の方法は、3つの異なった成
膜プロセスで構成されている。すなわち、まず基板トに
正極としてTiS2を化学蒸着法(CVrl法)で成膜
する。その原料はTi114と+(、Sである。次に高
周波スパッタリング法で電解質を成膜し、次いで蒸着法
により負極を成膜した後、リチウムを蒸着法で成膜17
て薄膜二次電池を製造している。
会誌Vo l 、 38. No、 5 (1984)
第440〜445頁に開示さねている[WI膜リチウム
2次電池1によれば、正極をTi5z、電解質を1.1
4Si04 1.13Po4系の非晶質、負極をI、1
とし、それらが積層されt:構成をしている。乙のよう
な電V10を製造する従来の方法は、3つの異なった成
膜プロセスで構成されている。すなわち、まず基板トに
正極としてTiS2を化学蒸着法(CVrl法)で成膜
する。その原料はTi114と+(、Sである。次に高
周波スパッタリング法で電解質を成膜し、次いで蒸着法
により負極を成膜した後、リチウムを蒸着法で成膜17
て薄膜二次電池を製造している。
子連のJ゛うに従来の薄膜リチウム二次電池製造装置は
、CvD装置、スパッタリング装置および蒸着装置と3
つの異なった原理の薄膜製造装置を使うt:め、全体の
装置が大きくなりその費用も多くなるのみならず、装置
の維持費がQt−成膜装置、1り多くかかる。また、電
解質をスパッタリング法−C成膜するので非晶質の膜し
か得られず、リチウムβアルミナのようなリチウムイオ
ンの良好な導電性を示す特異な結晶構造を有ずろものは
スパッタリング後、加熱処理を施す必要があった。
、CvD装置、スパッタリング装置および蒸着装置と3
つの異なった原理の薄膜製造装置を使うt:め、全体の
装置が大きくなりその費用も多くなるのみならず、装置
の維持費がQt−成膜装置、1り多くかかる。また、電
解質をスパッタリング法−C成膜するので非晶質の膜し
か得られず、リチウムβアルミナのようなリチウムイオ
ンの良好な導電性を示す特異な結晶構造を有ずろものは
スパッタリング後、加熱処理を施す必要があった。
この発明は、1−記の、1うな問題点を解決するl:め
になされたもので、単一の成膜装置で正極、電解質、負
極の薄膜をそわそれ形成して薄膜電池の製造装置を提供
すること、およびこれによってイオン伝導性の良好な結
晶化薄膜を形成することが可能な薄膜二次電池を提供す
ることを目的をする。
になされたもので、単一の成膜装置で正極、電解質、負
極の薄膜をそわそれ形成して薄膜電池の製造装置を提供
すること、およびこれによってイオン伝導性の良好な結
晶化薄膜を形成することが可能な薄膜二次電池を提供す
ることを目的をする。
r問題点を解決するための手段1
この発明に係る薄膜二次電池の製造装置は、クラスタガ
ン部、複数個のクラスタガン、複数個のるつぼ、複数個
のノズルより構成されたクラスターイオンビーム蒸着装
置(以下これをICB装置と略称ずろ)とするとともに
、各るつぼに正極、電解質、負極原料をそれぞれ準備1
7、るつぼ温度。
ン部、複数個のクラスタガン、複数個のるつぼ、複数個
のノズルより構成されたクラスターイオンビーム蒸着装
置(以下これをICB装置と略称ずろ)とするとともに
、各るつぼに正極、電解質、負極原料をそれぞれ準備1
7、るつぼ温度。
加速電圧を制御可能と17なものである。
[作用]
この発明におけろ薄膜二次電池の製造装置は、同一のペ
ルジャー内で、基板を移動することなく正極、電解質、
負極が成膜され、そして加速電圧/J ) を制御することに、1.り良好なイオン導電率を示す結
晶薄膜電解質が成膜される。
ルジャー内で、基板を移動することなく正極、電解質、
負極が成膜され、そして加速電圧/J ) を制御することに、1.り良好なイオン導電率を示す結
晶薄膜電解質が成膜される。
以下、この発明の一実施例による第1図の構成図につい
て説明ずろ。第1図において、(1)はベルジャー部、
(2)は真空排気部、(3)は電源部、(4)はステン
レス板の基板部、(51)〜(54)はクラスタガン部
、(6)はガス供給配管、(7)はガス流量調整器、(
8)はガス供給源、(9)は拡散ボン−f、 (10)
はロータリーポンプ、(11)は排気管、(1211〜
(1231は切替えバルブである。なお、上記クラスタ
ガン部(51)〜(54)はそれぞれクラスタガン、る
つぼ、ノズルを1組として構成さオ]、それらが4組具
備されている。そ17て、前記各るつぼには順にチタン
[1)。
て説明ずろ。第1図において、(1)はベルジャー部、
(2)は真空排気部、(3)は電源部、(4)はステン
レス板の基板部、(51)〜(54)はクラスタガン部
、(6)はガス供給配管、(7)はガス流量調整器、(
8)はガス供給源、(9)は拡散ボン−f、 (10)
はロータリーポンプ、(11)は排気管、(1211〜
(1231は切替えバルブである。なお、上記クラスタ
ガン部(51)〜(54)はそれぞれクラスタガン、る
つぼ、ノズルを1組として構成さオ]、それらが4組具
備されている。そ17て、前記各るつぼには順にチタン
[1)。
硫黄(52)、アルミニウム(53)、リチウム(54
)がそれぞれ充填されている。また、電源部(3)は加
速電源、るつぼ加熱電源を具備し、かつそれぞれ加速電
圧制御型、温度制御器が内臓されている。
)がそれぞれ充填されている。また、電源部(3)は加
速電源、るつぼ加熱電源を具備し、かつそれぞれ加速電
圧制御型、温度制御器が内臓されている。
次にその動作について説明する。まず、切替えバルブ(
121)、 (123)は閉、 (122)は開の状態
で、I’ll ロータリーポンプ(10L拡散ポンプ(9)を運転状態
にする。次に切替えバルブ(122)を閉、 (121
)を開として、ベルジャー部(1)の内部真空を荒引き
する。ここで、ベルジャー部fil内の圧力力0.1T
orr以下になっtことき、切替えバルブ(1211を
閉。
121)、 (123)は閉、 (122)は開の状態
で、I’ll ロータリーポンプ(10L拡散ポンプ(9)を運転状態
にする。次に切替えバルブ(122)を閉、 (121
)を開として、ベルジャー部(1)の内部真空を荒引き
する。ここで、ベルジャー部fil内の圧力力0.1T
orr以下になっtことき、切替えバルブ(1211を
閉。
(122)を開と17で、ベルジャー部(1)内を6x
lO−7Torrまで減圧する。次にクラスタガン部(
51)。
lO−7Torrまで減圧する。次にクラスタガン部(
51)。
(52)を作動させて、チタンおよび硫黄を加熱蒸発さ
せてクラスタガン化し、そして加速電圧を制御して、基
板部(4)上に二硫化チタン(TiS21の結晶化薄膜
(正極)を成膜させる。次にクラスタガン部(51)、
(52)の作動を止め、(53) 、 (54)
を作動させて、アルミニウムおよびリチウムを加熱蒸発
させてこれをクラスタイオン化し、そして加速電圧を制
御するとともに、さらにガス供給源(8)からの酸素を
ガス流量調整器(7)で流量調整した後、ガス供給配管
(6)を経てベルジャー部(+1内へ導入ずろ。その結
果、基板部(4)上にLigO−AI、203化合物(
I、−一βアルミナ)の結晶化薄膜電解質が成膜される
。最後にクラスタガン部(54)のみを作動させて前記
/Gl L i −βアルミツトに1、I薄膜を成11り17、
か<17て薄膜二次電〆1t2を!!1造することがで
きろ。
せてクラスタガン化し、そして加速電圧を制御して、基
板部(4)上に二硫化チタン(TiS21の結晶化薄膜
(正極)を成膜させる。次にクラスタガン部(51)、
(52)の作動を止め、(53) 、 (54)
を作動させて、アルミニウムおよびリチウムを加熱蒸発
させてこれをクラスタイオン化し、そして加速電圧を制
御するとともに、さらにガス供給源(8)からの酸素を
ガス流量調整器(7)で流量調整した後、ガス供給配管
(6)を経てベルジャー部(+1内へ導入ずろ。その結
果、基板部(4)上にLigO−AI、203化合物(
I、−一βアルミナ)の結晶化薄膜電解質が成膜される
。最後にクラスタガン部(54)のみを作動させて前記
/Gl L i −βアルミツトに1、I薄膜を成11り17、
か<17て薄膜二次電〆1t2を!!1造することがで
きろ。
ここで、ベノLンヤ一部(1)内の分圧は10−4〜1
0−”Torrの間の所定の圧力に制御さ11、そして
電解質成欣時の酵素分圧は+0 ’−10−3Torr
の間の所定の圧力に制御さ第1ている。、二1k、加速
電圧は 0.2〜5kVの間の所定の値に制御されてい
る。
0−”Torrの間の所定の圧力に制御さ11、そして
電解質成欣時の酵素分圧は+0 ’−10−3Torr
の間の所定の圧力に制御さ第1ている。、二1k、加速
電圧は 0.2〜5kVの間の所定の値に制御されてい
る。
なお、十記実施例でtit上記の構成を有する薄膜+1
;F−ウムニ次電池(−) 1.i l +、■−β
−Aj 203 l Ti52(1勺について説明17
たが、ヨウ化リチウム蒸発用のりラスタガン部を追加す
ることに、1゛り下記の構成を有する薄膜リチウム二次
電池(−)■、ilT、i+(人e 203) I
Tl52 (」)を製造ずろこともてきる。
;F−ウムニ次電池(−) 1.i l +、■−β
−Aj 203 l Ti52(1勺について説明17
たが、ヨウ化リチウム蒸発用のりラスタガン部を追加す
ることに、1゛り下記の構成を有する薄膜リチウム二次
電池(−)■、ilT、i+(人e 203) I
Tl52 (」)を製造ずろこともてきる。
まt:、クラスタガン部(51)のるつぼに代わりにモ
I+−/デノを充填することに、1゛す、下記の薄膜り
千つムニ次電ン出(−)LilT、菟−β−人e203
0(O82(+)を製造ずろ乙とができる。
I+−/デノを充填することに、1゛す、下記の薄膜り
千つムニ次電ン出(−)LilT、菟−β−人e203
0(O82(+)を製造ずろ乙とができる。
以トのように、この発明によオ]ば、薄膜リチつムニ次
電池を複数のクラスガン部を有するlCB装置を用いて
製造するために、単一ベルジャ−内で薄膜リチウム二次
電池を製造する乙とができるので経済的である。Jた、
加速電圧を制御することによね蒸着法とかスパッタ法な
どの通常の成膜装置でl:t 1%られない良好なイオ
ン導電性を有する結晶薄膜電解質が得ら第1るので、第
2図(横軸は電気醍Qを示し、縦軸は電圧■を示す)に
示す31うな性能の、Lい二次電池が得られt−8
電池を複数のクラスガン部を有するlCB装置を用いて
製造するために、単一ベルジャ−内で薄膜リチウム二次
電池を製造する乙とができるので経済的である。Jた、
加速電圧を制御することによね蒸着法とかスパッタ法な
どの通常の成膜装置でl:t 1%られない良好なイオ
ン導電性を有する結晶薄膜電解質が得ら第1るので、第
2図(横軸は電気醍Qを示し、縦軸は電圧■を示す)に
示す31うな性能の、Lい二次電池が得られt−8
第1図は乙の発明の一実施例による薄膜二次電池製造装
置の構成を示した模式図、第2図はその電池の性能を示
17た特性線図である。 図中、(1)はベルジャー部、(2)は真空排気部、(
3)は電源部、(4)は基板部、(51)〜(54)は
クラスタガン部、(6)はガス供給配管、(7)はガス
流電調整器、(8)は酸素ガス供給源、(9)は拡散ポ
ンプ、(10)はロータリーポンプ、(11)は排気管
、(12])〜(123)は切替えパルプである。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第1図 2 糞!1非莞1都 10 D−タリ
ー水′ンフ。 3電5R部 I+241−%堂 4 基 1反 部 51〜54 クフスグカ゛/
部6 がだ力皓配管 121〜123 契替バルフ第
2図 電気量Q
置の構成を示した模式図、第2図はその電池の性能を示
17た特性線図である。 図中、(1)はベルジャー部、(2)は真空排気部、(
3)は電源部、(4)は基板部、(51)〜(54)は
クラスタガン部、(6)はガス供給配管、(7)はガス
流電調整器、(8)は酸素ガス供給源、(9)は拡散ポ
ンプ、(10)はロータリーポンプ、(11)は排気管
、(12])〜(123)は切替えパルプである。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第1図 2 糞!1非莞1都 10 D−タリ
ー水′ンフ。 3電5R部 I+241−%堂 4 基 1反 部 51〜54 クフスグカ゛/
部6 がだ力皓配管 121〜123 契替バルフ第
2図 電気量Q
Claims (5)
- (1)基板上に固体薄膜負極、固体薄膜電解質および固
体薄膜正極を積層して得られる薄膜二次電池をベルジャ
ー部3クラスタガン部、ターゲット部、電源部および真
空排気系で構成されるクラスターイオンビーム蒸着装置
を用いて製造することを特徴とする薄膜二次電池の製造
装置。 - (2)クラスタガン部が複数個のるつぼおよび複数個の
ノズルより構成されているクラスターイオンビーム蒸着
装置を用いたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の薄膜二次電池の製造装置。 - (3)クラスタガン部が4個のクラスタガンおよび4個
のるつぼを含み、各るつぼにはリチウム、アルミニウム
、チタニウム、硫黄がそれぞれ蒸発源として備えられて
いることを特徴とする特許請求の範囲第1項または第2
項記載の薄膜二次電池の製造装置。 - (4)ベルジャー部にガス供給配管が施されていること
を特徴とする特許請求の範囲第1項 〜第3項記載の薄膜二次電池の製造装置。 - (5)電源部にはるつぼ温度制御器、加速電圧制御器を
備えていることを特徴とする特許請求の範囲第1項〜第
4項記載の薄膜二次電池の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60182961A JPS6244960A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 薄膜二次電池の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60182961A JPS6244960A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 薄膜二次電池の製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6244960A true JPS6244960A (ja) | 1987-02-26 |
Family
ID=16127358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60182961A Pending JPS6244960A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 薄膜二次電池の製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6244960A (ja) |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02121688A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-09 | Juki Corp | 千鳥縫いミシンの検出装置の異常検出装置 |
JPH03105853A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-02 | Yuasa Battery Co Ltd | 二酸化マンガン正極の製造法 |
JPH03105854A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-02 | Yuasa Battery Co Ltd | リチウム負極の製造法 |
WO2001073864A3 (en) * | 2000-03-24 | 2002-07-04 | Cymbet Corp | Thin-film battery having ultra-thin electrolyte and associated method |
US6641863B2 (en) | 2000-12-13 | 2003-11-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of forming thin film of inorganic solid electrolyte |
US6656233B2 (en) | 2000-07-19 | 2003-12-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of producing negative electrode for lithium secondary cell |
US6713216B2 (en) | 2000-07-19 | 2004-03-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Thin alkali metal film member and method of producing the same |
JP2009009905A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 薄膜リチウム二次電池およびその製造方法 |
JP2009009897A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 全固体薄膜電池、その製造方法およびその製造装置 |
JP2009070591A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 正極、全固体電池および全固体電池の製造方法 |
US20090098459A1 (en) * | 2007-03-16 | 2009-04-16 | Hideharu Takezawa | Electrochemical element, and method and apparatus for manufacturing electrode thereof |
JP2012023032A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-02-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 蓄電装置の作製方法 |
US8461051B2 (en) | 2008-08-18 | 2013-06-11 | Iwatani Corporation | Cluster jet processing method, semiconductor element, microelectromechanical element, and optical component |
US9853325B2 (en) | 2011-06-29 | 2017-12-26 | Space Charge, LLC | Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices |
US10601074B2 (en) | 2011-06-29 | 2020-03-24 | Space Charge, LLC | Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices |
US10658705B2 (en) | 2018-03-07 | 2020-05-19 | Space Charge, LLC | Thin-film solid-state energy storage devices |
US11527774B2 (en) | 2011-06-29 | 2022-12-13 | Space Charge, LLC | Electrochemical energy storage devices |
US11996517B2 (en) | 2011-06-29 | 2024-05-28 | Space Charge, LLC | Electrochemical energy storage devices |
-
1985
- 1985-08-22 JP JP60182961A patent/JPS6244960A/ja active Pending
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02121688A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-09 | Juki Corp | 千鳥縫いミシンの検出装置の異常検出装置 |
JPH03105853A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-02 | Yuasa Battery Co Ltd | 二酸化マンガン正極の製造法 |
JPH03105854A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-02 | Yuasa Battery Co Ltd | リチウム負極の製造法 |
JP2701477B2 (ja) * | 1989-09-19 | 1998-01-21 | 株式会社ユアサコーポレーション | 二酸化マンガン正極の製造法 |
JP2701476B2 (ja) * | 1989-09-19 | 1998-01-21 | 株式会社ユアサコーポレーション | リチウム負極の製造法 |
WO2001073883A3 (en) * | 2000-03-24 | 2003-02-20 | Cymbet Corp | Low-temperature fabrication of thin-film energy-storage devices |
WO2001073864A3 (en) * | 2000-03-24 | 2002-07-04 | Cymbet Corp | Thin-film battery having ultra-thin electrolyte and associated method |
US6656233B2 (en) | 2000-07-19 | 2003-12-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of producing negative electrode for lithium secondary cell |
US6713216B2 (en) | 2000-07-19 | 2004-03-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Thin alkali metal film member and method of producing the same |
US6641863B2 (en) | 2000-12-13 | 2003-11-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of forming thin film of inorganic solid electrolyte |
US8273136B2 (en) * | 2007-03-16 | 2012-09-25 | Panasonic Corporation | Electrochemical element, and method and apparatus for manufacturing electrode thereof |
US20090098459A1 (en) * | 2007-03-16 | 2009-04-16 | Hideharu Takezawa | Electrochemical element, and method and apparatus for manufacturing electrode thereof |
JP2009009905A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 薄膜リチウム二次電池およびその製造方法 |
JP2009009897A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 全固体薄膜電池、その製造方法およびその製造装置 |
JP2009070591A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 正極、全固体電池および全固体電池の製造方法 |
US8461051B2 (en) | 2008-08-18 | 2013-06-11 | Iwatani Corporation | Cluster jet processing method, semiconductor element, microelectromechanical element, and optical component |
TWI406329B (zh) * | 2008-08-18 | 2013-08-21 | Iwatani Corp | 團簇噴射式加工方法、半導體元件、微機電元件及光學零件 |
JP2012023032A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-02-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 蓄電装置の作製方法 |
US9109286B2 (en) | 2010-06-18 | 2015-08-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing power storage device |
US9853325B2 (en) | 2011-06-29 | 2017-12-26 | Space Charge, LLC | Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices |
US10199682B2 (en) | 2011-06-29 | 2019-02-05 | Space Charge, LLC | Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices |
US10601074B2 (en) | 2011-06-29 | 2020-03-24 | Space Charge, LLC | Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices |
US11527774B2 (en) | 2011-06-29 | 2022-12-13 | Space Charge, LLC | Electrochemical energy storage devices |
US11996517B2 (en) | 2011-06-29 | 2024-05-28 | Space Charge, LLC | Electrochemical energy storage devices |
US10658705B2 (en) | 2018-03-07 | 2020-05-19 | Space Charge, LLC | Thin-film solid-state energy storage devices |
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