JPS62291719A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は磁気記録媒体に関する。

（従来の技術） 近年、従来の塗イ５型磁気記録媒体とは異なり、蒸着、
スパッタリング法や湿式めっき法のように非磁性基板上
に直接、強磁性層を形成する方法にＪ：す、磁気記５′
１媒体を製造する方法が検討さ゛れでいる。このように
して１１ノられた磁気記録媒体は、塗イ１；型のものに
比べて極めて高い記録密層が達成される。

磁気記録媒体に対してなされる要求は磁性層が薄く、し
かも充分な再生出力が１ｑられることである。このよう
な媒体として最も注目されているのがＮｉを２０〜３０
ａｔ％含有するｃｏ−Ｎｉ系合金やあるいはＣｒを１８
〜２０ａｔ％含有するＣｏ−Ｃｒ系合金を磁性層とする
ものである。この種のｌａ磁気記録媒体通常第２図のよ
うに、非磁性の基板（１）上に平滑層（２）を形成した
上に更にＣｒを主とした下地層（３）を形成し、その上
に磁性層（４）が形成され、最表面に保進・潤滑層（５
）を設りた構造を有している。

Ｃｏ−Ｎｉ系合金を磁性層とする場合、充分な再生出力
を得るために磁性層の厚みは５００乃至２０００人で充
分である。しかし、Ｃｏ−Ｃｒ系合金のみでは耐食性に
劣り、それを補うために磁性層上に更にＣｒ等の耐食性
に優れた非磁性層を１０００人近くムジリなければなら
ない。しかし再生出力を考えた場合、一般にヘッドのデ
ィスクからの浮上ωが２０００乃至３０００人でなけれ
ばならないと言われている。このため、１ｏｏｏ人近い
非ｔｆｉ　４１層の厚みは、ヘッドから磁性層までの距
離がこの分遠ざかる結束、スペーシングロスによる再生
出力の低下につながる。

一方、Ｃｏ−Ｃｒ系合金を磁性層とする場合、耐食性に
関しては優れているものの、材料固有の問題として飽和
磁化但が小さいために充分な再生出力を得るために磁性
層の厚みを１ｏｏｏ乃至４０００人とらなりればならな
い。

このため、Ｃｏ−Ｎｉ系合金は耐食性の点で、またＣｏ
−ｒ系合金は薄膜化に限度がある点で、高密度記録を実
現する磁気記録媒体の実用化の大きなさまたげとなって
いる。

（発明が解決しようとする問題点） 従来の磁気記録媒体では記録の高密度化と耐食性の確保
の両立が困難であった。本発明は、より一層耐食性に優
れ、なおかつ再生出力を１［１うことのない磁性層を有
する磁気記録媒体を提供することを目′的とする。

［発明の構成コ （問題点を解決するための手段） 本発明は非磁性基板上にコバルトを成分元素に有する第
１の磁性層の上に窒化鉄を主成分とする第２の磁性層を
ｖ１層することにより上述の問題点を解決した。

（作用） 第１の磁性層は、膜厚が大きくなるのを抑え、なおかつ
良好な再生出力を得るためのものである。

第２の磁性層は、第１の磁性層の耐食性を向上させると
ともに、磁性を持つことにより膜厚増加によるスペーシ
ングロスを改善するためのものである。

第１の磁性層としては、コバルトを成分元素に右じ、Ｃ
Ｏ及びＮｉからなるもの、Ｃｏ及びＮｉに更にＦｃ、　
Ｐ、　Ｗ、　Ｐｔ、　Ｃｒのなかから選ばれた少なくと
も１つの元素を添加したもの、更にはＣｏとＰｔ、Ｙ、
Ｌａ、Ｃｃ、Ｐｒ、　Ｓｍ、　Ｎｄ、　Ｐｍの内から選
ばれた少なくとも１つの元素とからなるもの、等が挙げ
られる。ｃｏ−ｎｒの場合は、Ｎｉを１０〜３０ａ　ｔ
％金含有、厚さが２０００人を越えないものが用いられ
る。Ｃｏ−Ｎｉに電ｒｉ１変換特性向上のために第３の
元素を添加したものは、Ｃｏ　−Ｎｉのみの磁性層と同
じ厚みの磁性層を形成した場合、飽和磁化あるいは保持
力において優れる。添加元素をＦｅとした場合には、飽
和磁化及び角形比に優れる。また添加元素をｐｔ、ｗあ
るいはＰとした場合には、保持力及び角形比に優れる。

添加元素をＯｒとした場合には、保持力を増強させると
ともに耐食性を向上させることができる。またＣＯとｐ
ｔ、　Ｙ、　Ｌａ、　Ｃｃ、　Ｐｒ、　Ｓｍ、　Ｎｄ、
　Ｐｍの内から選ばれた少なくとも１つの元素とからな
るものは、Ｐｔ、　Ｙ、　Ｌａ、　Ｃｃ、　ｐｒ。

Ｓｍ、Ｎｄ、Ｐｍが５〜４０ａｔ％含有され、２０００
人を越えない厚さで形成される。

第２の磁性層としては、窒化鉄を主成分とする。

窒化鉄は、鉄を原料素材として窒素ガスやアンモニアガ
スを導入しながら形成される、反応性蒸着法や高周波反
応性スパッタ法、高周波反応性イオンブレーティング法
により形成される。通常は、ＦＯｘＮと表記される組成
を有する種々の結晶状態の集合体が形成される。この膜
は恒温、恒湿試験等の耐食性テストで極めて良い耐食性
が得られ、第１の磁性層よりも耐久性に優れる。更に基
体温度等の伯の成膜条件を選択することにＪ：り得られ
るγ−ＦＯＮ、α−ＦＣ３Ｎなどの結晶状態の窒化鉄を
形成したものは、高耐食性は勿論のこと、飽和磁化、保
持力等の磁気特性にも優れていることを確認した。第２
の磁性層は、耐食性を有する限り薄い方が良く、１００
〜１０００人の範囲で選ぶことができる。

（実施例１） 以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は本発明の磁気記録媒体の部分断面図である。

まず、外形９５ａｌ、内径２５Ａｌ１１、板厚１．２７
　ａｍのアルミニウム合金基板（１１）を準備する。こ
の表面には、あらかじめ、Ｓ厚１２μｍのニック゛ル・
リンのめつぎ層が形成され１、表面を鏡面研磨仕上げを
して硬化・平滑層（１２）が形成されている。

次に、二極式高周波スパッタリング装置により下地層、
磁性層、保護・ａ滑層を形成した。成膜方法、条件は次
の通りである。膜厚及び磁気特性を均一にするために基
板装着台は自公転運動が可能で、台を６　ｒ、　ｐ、　
ｍ、で回転させた。成膜は初期到達真空度８．　Ｏｘ　
１０’ｒｏｒｒで、導入アルゴン・ガス圧を４　Ｘ　１
Ｏ−２ＴＯｒｒとし、スパッタリング・パワー３００Ｗ
、室温下に於いて行った。まず、磁性層の結晶性を良く
するための下地層（１３）としてＣｒを３０００人形成
した。その上に第１の磁性層（１５）としてＣｏ−Ｎｉ
を５００八、次に第２の磁性層（１６）としてγ−Ｆ　
ｅ　４Ｎを３００人形成し、２層よりなる磁性層（１４
）を形成した。ここで第２の磁性層（１６）はＦｃをタ
ーゲットとして、窒素ガスを５　ｘ　１０−３丁ｏｒｒ
、導入Ａｒガスと合せＴ　４　Ｘ　１Ｏ−２ＴＯｒｒと
シテスパッタした冑た。また最表面層に２００〜３００
人のカーボン膜からなる保護・潤滑）Ｘｉ（１７）を設
けた。

こうして作成した磁気記録媒体の特性を測定したところ
、面内保磁力８５０エルステツドを冑、また飽和磁化Ｍ
、その他の磁気特性に関しても優れた結果を得た。更に
、電磁変換特性及びヘッドとの摩耗試験及び環境試験を
行った結果、次の特性を得た。電磁変換特性については
２０〜４０ｋｂｐｉの高密度記録が可能であった。ヘッ
ドとの摩耗試験では通常行なわれている２万回のコンタ
クト・スタート・ストップ・テストを行ない、ディスク
表面に傷がつかないことを確認した。また、耐ＩＭＱ性
についても、温度８５℃、相対温度８５％で１５００　
ｆｒ、’ｊ間放置したが外観上の変化は全黙認められず
欠陥箇所の増加も皆無であり、十分なＦＩ４食性が確認
された。

（実施例２） 実施例１と同様にアルミニウム合金基板（１１目二に陽
極酸化法によりアルマイト層を形成し、表面を研磨して
、硬化・平滑層（１２）を形成した。この後、実施例１
と同様に非磁性金属下地層（１３）、第１の磁性層（１
５）、第２の磁性層（１６）、保護層・潤滑層（１７）
の成膜を行った。この実施例にＪ３いても実施例１と同
等以上の諸性性が確認された。

（実施例３） 実施例１の第１の磁性層（１５）としてＮｉを１７ａｔ
％、ＦＯをａａｔ％他をＣｏとする組成で、Ｃｏ−Ｎｉ
　−ｒｅを約７００人形成したちのを作成したところ、
面内保持力９００エルステッドを得、電磁変換特性は低
域出力ＬＯｍＶでＣｏ−Ｎｉと同程度、線記録密度では
約１割の向上を示し、耐久性、耐環境性は実施例１と同
様良好であった。

（実施例４） 実施例１の第１の磁性層（１５）としてＳｍを１６ａｔ
％○有するＣｏ−３ｍを約７００人形成したものを作成
したところ、面内保持力９００エルステッドを冑、電磁
変換特性、耐久ｆ［、耐環境性は実施例１に遜色ないこ
とがわかった。

（実施例５） 実施例１の第２の磁性層（１６）としてα−ＦＣ３Ｎを
約３００Ａ形成したものを作成した。α−Ｆｅして、基
板温度を１２０　’Ｃとしてスパッタして１！７た。

作成した磁気記録媒体は、面内保磁力８７０エルスデッ
ドを１５．電磁変換特性、耐久性、耐環境性は実施例１
に遜色ないことがわかった。

〔発明の効果〕

以上のにうに、本発明によれば、作用の異なる２つの磁
性層を設りることににす、耐食性に優れ、なおかつ高密
度化へ向ての薄膜化可能な磁気記録媒体を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の部分断面図
、第２図は従来技術の磁気記録媒体の部分断面図である
。 （１）（１１）・・・基板、（２）（１２）・・・硬化
・平滑層、（３）（１３）・・・下地層、（’Ｉ）（１
４）・・・磁性層、（１５）・・・第１の磁性層、（１
６）・・・第２の磁性層、（５Ｈ１７）・・・保護・潤
滑層。 代理人　ブ↑埋十　則　近　憲　佑 同　　大胡典人

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性基板上にコバルトを成分元素に有する第１の磁性
   層と窒化鉄を主成分とする第２の磁性層とを有する磁気
   記録媒体。