JPS6228147A - 微動及び速送り可能なリニアモ−タ付ｘｙテ−ブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、たとえば工作＋ｔｑ　ｈａのワークやツール
の位置決め等を精密に行なうＸＹテーブルに関し、特に
駆動部にリニアモータを使用した微動および速送り可能
なＸＹテーブルに関する。

（従来の技術） 従来のＸＹテーブルにおいては、中間サドルを介して基
台に取付けられたテーブル本体が互いに直交するＸ軸、
Ｙ軸方向に摺動自在となるように構成されており、その
送り機構はポールねしとサーボモータもしくはステッピ
ングモータ等の回転モータが組合わされて構成されてい
た（特開昭５８−２１４０１５号）。

すなわち、基台上部には回動自在のねし軸がＸ軸方向へ
配設され、このねじ軸に螺合されるナンドが中間サドル
に固定されていて、ねじ軸端部に連結された回転モータ
の回転により、この中間サドルがねじ軸に沿ってＸ軸方
向に移送されていた。

さらに中間サドル上部にも同様にボールねじのねじ軸が
上記ねし軸と直交するＹ軸方向に配設されており、ねし
軸に螺合されるナツトがテーブル本体下部に固定され、
ねし軸端部に連結された回転モータの回転によりテーブ
ル本体を中間サドルに灯してＹ軸方向に移送するように
なっていた。

またボールねしの回転とともに、ナツトも相対的に回転
するようにして、ボールねしとナツトとの回転の１口と
差によりテーブル本体の微動および速送りを可能とした
移送装置も知られている。

（発明が解決しようとする問題点） しかし、斯かる従来例の場合には、ボールねしのピッチ
を小にすれば、テーブル本体の精密送りができるが、移
送曲間が遅くなる。ボールねしの回転数を大きくすれば
高速送りができるが、ボールわしの回転速度は危険速度
以下にする必要があくり　高速化ろ（図れないという問
題があった。また１、凹・耘モータの回転トルク６、二
よるボールねしのねし１）や、ボールねしとボールナノ
］・とのバノクラノンユ等の機械的誤差により、停止位
置の位置決め精度が悪いという問題があった。また、中
間サドルあるいはテーブル本体等の移動部に、回転モー
タやボールねし等が搭載されるために、移動部の重量は
大きく、慣性力が大きくなって、慣性の影響により停止
時の停止位置がズして、位置決め精度が悪化するという
問題が、あった。さらに中間サドルはテーブル本体等が
搭載されるために、テーブル本体よりも搬送荷重が大き
く、慣性の影響が、テーブル本体の移送の場合よりも大
きくなってＸ軸方向の位置決め精度がＹ軸方向の位置決
め精度よりも１悪いという問題もあった。また、基台と
チー・プル本体間に中間サドル等の取付スペースが必要
となり、テーブル全体の高さが高く、重心が高くなって
安定性が悪く、加えて回転モータがテーブルの側方に出
っ張るために大型化するという問題があった。さらにボ
ールねし、回転モータ等の回転運動から直線ｉ■勅に変
）桑する機構が必要であるので、部品点数が多く、構造
が複雑で、組（Ｊが面倒である等の問題があった。

本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもの
で、その目的とするところは、駆動源に格子状の固定歯
を形成した固定子を備えたリニアモータを使用すること
により、テーブル本体を固定ベッドに対して直接Ｘ軸お
よびＹ軸方向に移動可能として、高速でかつ高精度の位
置決めができ、しかも簡単な構造で薄型コンパクトな微
動および速送り可能なリニアモータ付ＸＹテーブルを提
供４“ろことにある。

（問題点を解決するための手段） 前記の目的を達成するために、本発明にあって１４　、
、　’ｉｉ７勤子と固定子のキ且合せより成る第１リニ
アヒータを介Ｌ７て固定ベッドに中間サドルをＸ軸方１
’１−ＩＴ　ｊｌ　６Ｌび゛１ＩＩ１１１方向に４目対
移・動可能に配設すると共に、同じく可動子と固定子の
組合せより成る第２リニアモータを介して咳中間サドル
にテーブル本体をＸ軸方向およびＹ！、１１方向に相対
移動可能に配設し、さらに上記第１リニアモータおよび
第２リニアモータの各固定子における固定歯を格子状に
配列１．、さらに上記第１リニアモータおよび第２リニ
ア千−夕の固定子にピッチ差を設けたものから成ってい
る。

（ｒ、施例） 以−ド（こ、本発明を図示の実施例に基づいて説明する
。５本発明の一実施例に係る微動および速送り可能なリ
ニアモータ付ＸＹテーブルを示す第１図乃至第３図にお
いて、ｌは固定ベッドで、固定ベッドｌ上に中間サドル
２が、Ｘ軸およびＹ軸方向に相対移動可能に配設され、
さらに中間サドル２上にテーブル本体３が、中間サドル
２に対して、相対的にＸ帖およびＹ軸方向に移動可能に
配設されている。すなわち、中間サドル２のＹ軸方向に
沿う両側端部に、Ｙ軸方向に延びろＹ軸方向軌道台５，
５が配設されている。一方、テーブル本体３は、Ｘ軸方
向に延びて両端部が、上記Ｙ軸方向軌道台５，５にリニ
アヘアリング６、・・・を介して架設されるＸ軸方向レ
ール７．７を在Ｎえており、テーブル本体３は、Ｘ軸方
向レール７．７に案内されてＸ軸方向に移動自在となっ
ている。リニアへアリング６は、第４図に示すよう乙こ
、ヘアリングブロック９の上、下面２箇所にベアリング
部６ａ。

６ｂが直交して配置さ、１′する構成となっており、テ
ーブル本体３がＸ軸方１；；１に移動する際には、Ｘ軸
方向レール７．７かり、＝＝−）’ヘアリング６、・・
・の上部のヘアリング部５ａ、・・・に案内され、Ｘ軸
方向に移動する。またテーブル本体３がＹ軸方向に移動
する際には、Ｘ軸方向レール７．７を支承するリニアベ
アリング６が、Ｙ軸方向軌道台５．５に沿って移動する
ようになっている。

一方、中間サドル２も、テーブル本体３と同様に、固定
へラド１上面にＹ軸方向に配設されたＹ軸方向軌道台５
’、５’上に、リニアベアリング６゜６を介して架設さ
れたＸ軸方向レール７’、７’を備えており、テーブル
本体３と同様に、固定べ、ド１に対してＸ軸およびＹ軸
方向に移動自在となっている。

ここで、第５図には、リニアベアリング６の一部破断下
面図が示されており、下部のヘアリング部６ｂを中心に
リニアベアリング６について説明する。ずなわち、断面
口字状のヘアリング本体９ａが、転動体としての負荷ボ
ール］、０．１０．・・・を介して各軌道台４．　４’
、　　５．　５’に対して長手方向に移動可能に組付け
られている。軌道台４の両側面とヘアリング本体９ａの
内側面に、互いに対向して長手方向に延びる負荷ホール
転走溝１１．ＩＬ・・・、１２．１２．　・・・が形成
されている。ヘアリング本体９ａのスカート部］、３．
１３には、前記負荷ボール転走溝１１．１１．、・・・
；１２．１２．・・・と連絡された、長手方向に延びる
ボール逃げ孔１４゜１４が穿設されている。また、ベア
リング本体９ａの長手方向の両側には、それら負荷ボー
ル転走溝１１．１１．・・・；１２，１２．・・・およ
びボール逃げ孔１４．１４内を連通ずる一対の側ｍ１５
．１５が設けられ、ヘアリング６の軌道台４．・・・に
対する相対移動時に、負荷ボール１０が負荷ポール転走
溝１１．１ｍ　・・・；１２，１２．・・・およびボー
ル逃げ孔１４．１４．・・・内を転勤、循環するように
なっている。また、ヘアリング本体９ａには、負荷ボー
ル１０．・・・を案内すると共に、脱落を防止する保持
器１６が取付けられている。また負荷ボール１０と負荷
ボール転走／＃　１１　、・・・；１２゜・・・との接
触角αは略４５度となっているが、４５度に限定される
ものではなく、３０〜６０度の範囲であればよい。

つぎに固定ベッド１と中間サドル２との間および中間サ
ドル２とテーブル本体３との間には、それぞれ第１リニ
アモータ２０および第２リニアモータ２０′が介在され
ている。第１リニアモータ２０については、中間サドル
２下面に、天板２１を介してＸ軸およびＹ軸方向に沿っ
て第１可動子２２ａおよび第２可動子２２ｂが配設され
ており、固定ベッド１上面には、同一平面内で格子状に
配列された固定歯２３ａを存する固定子２３が、上記第
１および第２可動子２２ａ、２２ｂと対向配置されてい
る。この固定子２３と第１．第２可動子２２ａ、２２ｂ
の配置関係は、固定ベッド１側に第１．第２可動子２２
ａ、　　２２ｂを配設し、中間サドル２側に固定子２３
を配設してもよりｌ。一方、第２リニアモータ２０′に
ついてはテーブル本体３の下面に、天板２１′を介して
Ｘ軸およびＹ軸方向に沿って第１および第２可動子２２
ａ’、２２ｂ’が直交して配設され、中間サドル２上面
に、同一平面内で格子状に配列された固定歯２３３′を
有する固定子２３′が配設されている。この固定子２３
′と第１、第２可動子２２ａ’、２２ｂ’の配置関係に
ついても、中間サドル２、テーブル本体３のいづれに配
置してもよい。

上記した固定子２３．２３’は、第７図ｆａｔ乃至ｆｄ
ｌに、一部を拡大して示すように、Ｘ軸方向に所定ピッ
チで配列された固定歯２３ａとＹ軸方向に所定ビ、チで
配列された固定歯２３ａが直交して格子状に形成されて
いる。

ここで、まず第６図を参照して第１リニアモータ２０の
構成について詳細に説明すると、第１゜第２可動子２２
ａ、２２ｂは、たとえば永久磁石２４を中心に介在させ
てその左右に２つの磁気コア２５．２６を対向配置して
構成されており、一方の（ｉスコア２５には永久磁石２
４によりＮ　Ｉ７＋！に磁化された第１の磁極２７およ
び第２のｉｒｉ極２８が形成され、他方の磁気コア２６
には永久磁石２４によりＳ極に磁化された第３の磁極２
９および第４の磁極３０が形成されている。

固定子２３には、第６図に示すようεご長手方向と略直
交する方向に延びる断面コ字形状の固定歯２３ａが長手
方向に略全長にわたって、同一ビノチＰ１で等間隔に設
けられている。各磁極２７〜３０にも固定子２３と同一
のピッチの磁極歯２７ａ〜３０ａがそれぞれ形成されて
いる。

Ｎ極側の第１の磁極２７および第２の磁極２８には、第
１のコイル３１および第２のコイル３２が巻かれており
、電流が流れた際に互いに逆向きの磁束が発生するよう
に直列に結線されており、パルス発生源（図示せず）に
電気的に接続されている。一方Ｓ極側の第３のＣ■極２
９および第４の磁極３０にも、同様に直列に結線された
第３のコイル３３および第４のコイル３４が巻かれてお
りパルス発生源（図示せず）に接続されている。ここで
、説明の都合上、例えば第１の磁極２７の磁極山２１ａ
に対して第２の磁極２８の磁極歯２８ａの位を目が２ピ
ツチ（ｌ／ｚｐ＋）だけずれており、また第３の磁極２
９の磁極歯２９ａに対して第４の磁極３０の磁極歯３０
ａも同様に位相がＡピッチ（ｌＡＰ、）だけずれている
ものとする。さらにＮ極側の第１の磁極２″および第２
の磁極２８の磁極歯２７ａ、２８ａ＋対してＳ極側の第
３の磁極２９および第４のＣＰＬ極３０の磁極ｍ２９ａ
、３０ａはｌＡヒツチ（％Ｐ、）だけ位相がずれている
ものとする。

ここで本実施例のリニアパルスモークの動作原理につい
て説明する。第８図［ａ＋〜ｆｄ）は、リニアパルスモ
ータの動作原理を示す概略図を示しており、第１のコイ
ル３１と第２のコイル３２には端子ａから、第３のコイ
ル３３と第４のコイル３４には端子すからパルスが入力
されるようになっている。

第８図ｆａ）では、端子ａに第１の磁極２７を励磁する
方向に（モード■）、第８図（ｈｌでは端子すに第４の
磁極３０を励磁する方向に（モード■）、第８図（Ｃ１
では端子ａに第２の（ｎＪＩ２ａをＤＪ磁する方向に（
モード■）、第８図ｆｄ＋では端子すに第３の磁極２９
を励磁する方向に（モード■）、それぞれパルスが人ノ
Ｊされた状！虚を示している。

ここで第１表にモード■ないし■の場合の各磁極の磁気
力発生状態を示す。

第　　　１　　　表 第１表に示すようにモード■の場合にはＮ極側の第１の
磁極２７の磁力が強力で、第１の磁極２７と固定子２３
の固定歯２３ａとの間の吸引力により第１可動子２２ａ
は保持され安定状態にある。一方Ｓ極側の第３および第
４の磁極２９．３０はそれぞれ固定子２３の固定４七２
３ａに対シて１イピノチだけ位相がずれている。モード
■では第１の磁ｐｉＡ２７のコイル３１による磁力はな
くなり、代わってＳ極側の第、１の磁極３００　磁力が
強力になって、可動子２２ａは第４の磁極３０が固定子
２３の固定歯２３ａと位相が合致する方向に相対的に移
動してＡピッチ（シ≦ｐ＋）だ＋ｊ進むことになる。こ
のときＮ極側の第１および第２の磁極２７．２８が騒ピ
ッチ（ＷＰ、）だけ位相がずれる。

さらにモード■ではＮ極側の第２の磁極２８の磁力が強
力になり、第２の磁極２８が固定子Ｚ３の固定歯２３ａ
と位相が合致する方向に第１可動子２２ａは相対的に移
動して％ピッチ（’Ａ　Ｐ、〕進み、Ｓ極側の第３およ
び第４の＆ｆｆｆｉ２９．３０ば×ピッチ（ｌＡＰｌ）
だけ位相がずれる。モード■ではＳ極側の第３の磁極２
９の磁力が強力となり、第３の磁極２９が固定子２３の
固定歯７３ａと位相が合致する方向に第１可動子２２＆
は相対的に移動して２ピツチ（！４Ｐ＋）進む。さらに
再びモード■に戻ってＮｉ側の第】の磁極２７の磁力が
強力となって、第１可動子２２λは％ピッチ（！、５Ｐ
ｌ　’）だけ相対的に進み第８図ｆａ＋の状態となる。

このようにモード■から■のに’ａり返しによって１パ
ルス当りＡピッチ（！４Ｐ＋）ずつｆ多動するようにな
っている。

以上の説明では１相励磁について説明したが、常時２相
の電流を流ず２相励磁により駆動してもよく、また１相
と２相に交互に電流を流す１−２相励磁方弐をとっても
よい。

一方、第２リニアモータ２０′の構成も、第一リニアモ
ータ２０と同様で、Ｘ軸およびＹ軸方向に直交配置され
た第１．第２可動子２２ａ’、２２ｂ’は、永久磁石２
４′によって磁化されたＮ極側の第１の磁極２７′およ
び第２の磁極２８′と、Ｓｌｉ側の第３の磁極２９′お
よび第４の６ｆｆ　ｆｆｉ　３０’が形成されており、
それぞれの磁極に第１のコイル３１′、第２のコイル３
２′、第３のコイル３３′および第４のコイル３４′が
巻かれている。さらにこの第１のコイル３１′、第２の
コイル３２′、第３のコイル３３′および第４のコイル
３４′はパルス発生ａ＜図示せず）に電気的に接続され
ており、パルス発生源からのパルスによりテーブル本体
３を中間サドル２に対してＸ軸およびＹ軸方向に駆動す
るようになっている。また、第９図に示すように固定ベ
ッド１の上面および、中間サドル２上面に配設された第
１および第２リニアモータ２０，２０’の固定子２３．
２３’は、それぞれの固定歯２３ａ、２３ａ’のピッ千
Ｐ１．Ｐ２が異なっている。ここで、説明の都合上、第
２リニアモータ２０′でも、例えば第１の磁極２７′に
対して第２の磁極２８′は磁極歯の位相が２ピッチ（％
Ｐｚ）だけずれており、第３の磁極２９′に対して第４
の磁極３０’も同様に磁極歯の位相が２ピツチ（％Ｐ、
）だけずれているものとし、さらにＮ極側の第１の磁極
２７′および第２の磁極２８′の磁極歯に対してＳ極側
の第３の磁極２９′および第４の磁極３０′の磁極歯は
Ａピッチ（Ｖ４Ｐｚ）だけ位相がずれているものとする
。

従って、この場合、第１リニアモーク２０と同様に、第
１．第２可動子２２ａ’、２２ｂ’は固定子２３′に対
して１パルス当りＡピッチ（！４Ｐｚ）ｆつそれぞれＸ
軸方向およびＹ軸方向に移動する。

このような構成のＸＹテーブルを使用して、まずＸ軸方
向に速送りする場合には、第１リニアモータ２０　（中
間サドル２側）の第１可動子２２ａにパルス発生ｔ１．
（図示せず）よりノ・°ルスを入力すると、第１可動子
２２ａは固定ベッド１上面の固定子２３に対してＸ軸方
向に配列された固定歯に沿ってｌパルスにつき２ピツチ
（！４Ｐ＋　）ずつ相対移動し、従って中間サドル２と
ともにテーブル本体３はＸ軸方向に１パルス当り２ピツ
チ（ｌＡＰ＋）ず一つ移送される。一方、第２リニアモ
ータ２０′（テーブル本体３側）の第１可動子２２ａ′
にパルス発生源（図示せず）より同極性のパルスを入力
すると、該第１可動子２２ａ′は、中間サドル２上面の
固定子２３′のＸ軸方向に配列された固定歯に沿ってｌ
パルスにつきＡピッチ（！４Ｐ２）ｆつ第１リニアモー
タ２０と同方向に相対移動し、従ってテーブル本体３は
、中間サドル２に対して第１リニアモータ２０による移
動方向と同方向に相対的に移送される。この結果、テー
ブル本体３は、固定ベッド１に対してＸ軸方向に１パル
スにつき距離（’、４　Ｐ＋　　”　’Ａ　Ｐｚ　）だ
け移送、すなわち速送りされる。

つぎにＹ軸方向に速送りする場合は、第１リニアモータ
２０の第２可動子２２ｂと、第２リニアモータ２０′の
第２可動子２２ｂ′に、それぞれパルス発生源から同極
性のパルスを人力すると、上記したＸ軸方向の速送りの
場合と同様に、テーブル本体３は第１リニアモータ２０
により中間サドル２と共にＹ軸方向に１パルス当りＡピ
ッチ（Ｖ４Ｐ＋）ずつ移送されると共に、第２リニアモ
ータ２０′により、中間サドル２に対してＹ軸方向にＡ
ピッチ（％Ｐｚ　）ずつ移送される。その結果、テーブ
ル本体３は、固定ベッド１に対してＹ軸方向に１パルス
につき距＃（ＭＰ、　　＋％Ｐ２）だけ移送、すなわち
速送りされる。

つぎに微動送りする場合について説明する。まず、Ｘ軸
方向に微動送りする場合には、第１リニアモータ２０の
第１可動子２２ａおよび第２リニアモータ２０′の第１
可動子２２３′に逆極性のパルスを入力すると、第１リ
ニアモータ２０によりテーブル本体３は中間サドル２と
共にＸ軸方向に１パルス当り２ピツチ（ＡＰ＋）ずつ移
送され、一方、第２リニアモータ２０′によりテーブル
本体３は中間サドル２に対して第１リニアモータ２０′
による移動方向と逆向きに１パルス当り×ピッチ（！４
Ｐｚ）ずつ移動されるので、結局テーブル本体３は固定
ベッド１に対して距離Ｃ’Ａ　Ｐ　＋　　　’Ａ　Ｐ　
ｚ）だけ移動、すなわち微動送りされる。つぎにＹ軸方
向に微動送りする場合には、第１リニアモータ２０の第
２可動子２２ｂと、第２リニアモータ２０′の第２可動
子２２ｂ′に、それぞれパルス発生源から逆極性のパル
スを入力する。するとテーブル本体３は、第１リニアモ
ータ２０により中間サドル２と共にＹ軸方向に１パルス
当りＡピッチ（χＰ１）ずつ移送され、一方、第２リニ
アモータ２０′によりテーブル本体３は、中間サドル２
に対して第１リニアモータ２０による移動方向に逆向き
に１パルス当り２ピツチ（！４Ｐｚ）ずつ移動されて、
結局、テーブル本体３はＹ軸方向に固定ベッド１に対し
て距離（Ｖ４Ｐ＋　　　％Ｐｚ）だけ移動、すなわち微
動送りされる。

また、第１．第２リニアモータを単独で駆動することに
より、テーブル本体３を、Ｘ軸及びＹ軸方向に１パルス
当り！４Ｐ＋　、あるいは’Ａ　Ｐ　ｚずつ移送するこ
とができる。

テーブル本体３の移送の際、テーブル本体３および中間
サドル２は軽量になっているので、慣性力は小さく始動
時及び停止時の応答性が速く、迅速に位置決めされると
共に、パルスの周波数を大きくすることにより高速に移
送される。また、停止時の慣性による影響は小さく、位
置決めが正確になされ、第１．第２可動子２２ａ、２２
ａ’。

２２ｂ、２２ｂ’と固定子２３．２３’間の磁力により
、停止位置で保持されている。また、中間サドル２およ
びテーブル本体３は、第１．第２リニアモータ２０．２
０’により、同一平面内でＸ軸およびＹ軸方向に駆動さ
れるので、各リニアモータ２０゜２０′による搬送荷重
はＸ軸およびＹ軸方向に同一で、停止時の慣性による影
響の差はなく、位置決め精度はＸ軸およびＹ軸方向共に
同一となる。

一方、リニアベアリング６、・・・により、テーブル本
体３および中間サドル２が支承されているので、摺動抵
抗は小さく、テーブル本体３および中間サドル２は軽快
に移動すると共に、中間サドル２と固定ベッド１、およ
びテーブル本体３と中間サドル２の間隙は一定に保持さ
れる。その結果、固定ベッド１と中間サドル２、および
中間サドル２とテーブル本体３間に介在される第１．第
２リニアモータ２０，２０’の第１．第２可動子２２ａ
。

２２ａ’、２２ｂ、２２ｂ’と固定子７３．２３’との
ギャップも一定に保持されるので、常に一定の推力で、
安定した走行性能が得られる。さらに、各リニアベアリ
ング６．・・・の負荷ボール１０．・・・に予圧をかけ
れば、剛性は裔くなってテーブルの可搬荷重が大きくな
ると共に、テーブル本体３にかかる衝撃荷重等に対して
も、変形は小さく、第１゜第２可動子２２ａ、２２ｂと
固定子２３間のギャップをより小さくすることができ、
より大きな１１Ｅ力、停止保持力が得られる。また、負
荷ボール転走溝１１．・・・；１２．・・・と負荷ボー
ル１０．・・・との接触角αを、４５度付近にとってい
るので１．！＝下左右の四方向からの荷重を均等に支承
することができる。

（発明の効果） 本発明は、以上の構成および作用から成るもので、テー
ブル本体は、テーブル本体と中間サドルの間、あるいは
中間サドルと固定へノドの間に介在される第１．第２リ
ニアモータにより駆動されるので、従来のようにボール
ねじの危険速度による速度の制限はなく、テーブル本体
を高速に移送できる。また、従来のように回転運動から
直線運動への運動変（Ａ機構がないので、機械的誤差が
無く、さらに重量が軽減されて停止時の慣性による影響
は低減されるので、位置決め精度が向Ｌ′ｌｊ−イ、。

さらに、第１リニアモータと第２リニアモータとの間に
ピッチ差を設けて、ピッチの和と差により微動および速
送り可能としたので、それぞれの第１、第２リニアモー
タの分解能以上の精密送りが可能となり、より高精度の
位置決めができる。また、各第１．第２リニアモータは
、同一平面内で格子状に配列された固定歯を存する固定
子を使用して、テーブル本体および中間サドルが、Ｘ軸
およびＹ軸方向に同一平面内で移送されるので、Ｘ軸、
Ｙ軸方向の搬送荷重は同一で、Ｘ軸、Ｙ軸方向の慣性の
影響は同一となり従来のようにＸ軸およびＹ軸方向の搬
送荷重の違いに起因する慣性の差の影響によるＸ軸とＹ
軸方向の位置決め精度のズレは無くなり、Ｘ軸およびＹ
軸方向の位置決め精度を同〜にできる。また、ボールね
し等の運動変換機構の取付スペースは不要となり、従来
のＸＹテーブルよりも全体の高さを低くでき、薄型コン
パクトで重心位置が低く、安定性の高いＸＹテーブルが
実現できる。さらにボールねじ等の運動変換機構が不要
となることから、構造が簡略化され、部品点数を大幅に
削減することができる等の種々の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る微動及び速送り可能
なリニアモータ付ＸＹテーブルの平面図、第２図は第１
図の装置のｎ−ｎ線断面図、第３図は第１図の装置の■
−■線断面図、第４図は第１図の１　ｚのリニアベアリ
ングの取付状態を示す斜視図、第５図は第４図のリニア
ベアリングの一部破断正面図、第６図はリニアモータの
要部を示す拡大概略断面図、第７図（ａｌは第１リニア
モータの固定子の部分拡大斜視図、第７図中）は第７図
ｆａｔの１３−Ｂ線断面図、第７図ｆｃｌは第７図（ａ
ｌのＣ−Ｃ線断面図、第７図＋ｄｉは第２リニアモータ
の固定子の部分拡大斜視図、第８図（ａ）乃至＋ｄ＋は
リニアモータの動作原理を示す概略構成図である。 符　　号　　の　　説　　明 １・・・固定ベッド　　　　　２・・・中間サドル３・
・・テーブル本体 ２０．２０’・・・第１．第２リニアモータ２２ａ、２
２ａ’・・・第１可動子 ２２ｂ、２２ｂ’・・・第２可動子 ２３．２３’・・・固定子 ２３ａ、２３ａ’・・・固定歯 第４図 第５図 Ｌ糸売負１ｊ正書（自発） 昭和６１年　９月３０日 特１作庁長官　　黒　１）明　Ｉ＆　殿１、・１￥件の
表示 ＩＩ／−（和６０年特許願第１６５２９８号２、発明の
名称 微動及び速送り可能なリニアモータ付ＸＹテーブル３、
補正をする者 ・１９件との関係　　特許出願人 住　所　　東京都助田谷区東玉川２丁目３４番８号４代
理人　〒１０５ 住　所　　東京都港区新橋３−５−２新橋ＯＷＫビル５
階５、補正の対象 （１）明細書の「発明の詳細な説明」の欄６、補正の内
容 （１）明細書の「発明の詳細な説明」を以下の通り補正
する。 ■　明細書第１０頁第７行目の「形成されている。」の
後に次の文章を加入する。 「第７図（ｅ）には固定子２３　、２３　′の他の実施
例が示されている。すなわち固定子２３．２３′の北面
に略方形の歯片 ２３　ｂ　、　２３　ｂ　′、　・・・がＸ軸方向、ｆ
−ＪヨびＹ軸方向に所定ピッ千Ｐｌ、Ｐ２　でもって整
然と格子状に配列されており、この歯片２３ｂ、・・・
、２３ｂ’、・・・によって固定歯２３ａ、２３ａ′を
構成している。このような構成とすると、固定歯 ２３ａ、２３ａ′の形成がたとえばＸ軸方向およびＹ軸
方向にそれぞれ溝を形成するだけでよいので製造が極め
て容易となる。 また第７図（ａ）、（ｄ）の場合のようにＸ軸方向に配
列される固定歯２３ａ、２３ａ′とＹ軸方向に配列され
る固定歯 ２３ａ、２３ａ′とがつながっていないので、固定歯２
３ａ、２３ａ′と後記する可動子２２ａ、２２ｂ；２２
ａ’、２２ｂ′の磁極歯２７ａ、２８ａ、・・・間の磁
束が集中して、磁気吸引力が強くなる。従って大荷重が
加わった場合でも位置決め保持力が強く、テーブル本体
２を一層正確に位置決めすることができる。」 （２）明細書の「図面の簡単な説明」を以下の通り補正
する。 ■　明細書第２４頁第１５行目の「斜視図、」の後に 「第７図（ｅ）は固定子の他の実施例を示す部分拡大斜
視図、」を加入する。 （３）図面に別紙の通り第７図（ｅ）を追加する。 以　　−ヒ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 可動子と固定子の組合せより成る第１リニアモータを介
   して固定ベッドに中間サドルをＸ軸方向およびＹ軸方向
   に相対移動可能に配設すると共に、同じく可動子と固定
   子の組合せより成る第２リニアモータを介して該中間サ
   ドルにテーブル本体をＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移
   動可能に配設し、さらに上記第１リニアモータおよび第
   ２リニアモータの各固定子における固定歯を格子状に配
   列し、さらに上記第１リニアモータおよび第２リニアモ
   ータの固定子にピッチ差を設けたことを特徴とする微動
   及び速送り可能なリニアモータ付ＸＹテーブル。