JPS6228063A - スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法 - Google Patents
スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法Info
- Publication number
- JPS6228063A JPS6228063A JP16509585A JP16509585A JPS6228063A JP S6228063 A JPS6228063 A JP S6228063A JP 16509585 A JP16509585 A JP 16509585A JP 16509585 A JP16509585 A JP 16509585A JP S6228063 A JPS6228063 A JP S6228063A
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- JP
- Japan
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- bonding material
- target
- cooling
- backing plate
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、スパッタリング用ターゲットのターゲット材
とバッキングプレートとを接合しているボンディング材
中の引は巣を除去したスパッタリング溶ターゲットの製
造方法に関する。
とバッキングプレートとを接合しているボンディング材
中の引は巣を除去したスパッタリング溶ターゲットの製
造方法に関する。
（従来の技術）
従来、スパッタリング用ターゲットを作るには、第３図
に示す如くホットプレート１上に、バッキングプレート
２を載置し、この上にボンディング材３を介してターゲ
ット材４を載せ、真空又は不活性ガス雰囲気中で加熱し
てボンディング材３を溶融し、ターゲット材４をバッキ
ングプレート２に接合していた。
に示す如くホットプレート１上に、バッキングプレート
２を載置し、この上にボンディング材３を介してターゲ
ット材４を載せ、真空又は不活性ガス雰囲気中で加熱し
てボンディング材３を溶融し、ターゲット材４をバッキ
ングプレート２に接合していた。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、上記の如くターゲット材４とバッキングプレ
ート２を接合後は、自然冷却によりボンディング材３を
凝固させていた為、外周から凝固が進行し、体積収縮に
よりボンディング材３の中心部に引は巣が発生すると、
スパッタリング時、バフキングプレート２側よりターゲ
ット材４を冷却しても熱を良好に奪わないので、冷却効
率が低（、ターゲット材４が加熱されすぎて溶解、脱落
等が生じ、正常なスパッタリングができなくなることが
ある。
ート２を接合後は、自然冷却によりボンディング材３を
凝固させていた為、外周から凝固が進行し、体積収縮に
よりボンディング材３の中心部に引は巣が発生すると、
スパッタリング時、バフキングプレート２側よりターゲ
ット材４を冷却しても熱を良好に奪わないので、冷却効
率が低（、ターゲット材４が加熱されすぎて溶解、脱落
等が生じ、正常なスパッタリングができなくなることが
ある。
そこで本発明は、ターゲット材とバッキングプレートを
接合しているボンデング材中に発生する或いは発生した
引は巣を簡単に除去できる方法を提供しようとするもの
である。
接合しているボンデング材中に発生する或いは発生した
引は巣を簡単に除去できる方法を提供しようとするもの
である。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するための本発明の技術的手段は、タ
ーゲット材とバッキングプレートとがボンディング材に
て接合し、次に溶融状態のボンディング材又は再び溶融
させたボンディング材を中心部より強制冷却して、ボン
ディング材中の引は巣をターゲット材の接合面の外側に
発生させて除去することを特徴とする。
ーゲット材とバッキングプレートとがボンディング材に
て接合し、次に溶融状態のボンディング材又は再び溶融
させたボンディング材を中心部より強制冷却して、ボン
ディング材中の引は巣をターゲット材の接合面の外側に
発生させて除去することを特徴とする。
（作用）
上記のように溶融状態のボンディング材又は再び溶融さ
せたボンディング材を中心部より強制冷却するので、ボ
ンディング材の冷却凝固が中心部より次第に外周方向に
進行し、体積収縮により引は巣はターゲット材の接合面
の外側に発生する。
せたボンディング材を中心部より強制冷却するので、ボ
ンディング材の冷却凝固が中心部より次第に外周方向に
進行し、体積収縮により引は巣はターゲット材の接合面
の外側に発生する。
従って、このターゲット材の接合面の外側のボンディン
グ材を切除することより引は巣を除去できる。
グ材を切除することより引は巣を除去できる。
（実施例）
本発明のスパッタリング用ターゲットの引は巣除去方法
の一実施例を第１図よって説明すると、直径１２７ｎ、
厚さ２鶴のＡｕより成るターゲット材１０と直径１７０
鶴、厚さ５鶴のステンレス鋼より成るバッキングプレー
ト１１とがボンディング材（半田）１２にて接合されて
成るスパッタリング用ターゲット１４の、溶融状態にあ
るボンディング材（半田）１２を中心部より強制冷却す
る。即ち図示の如くバッキングプレート１１上の周囲に
ボンディング材プール用のフェンス１５を立設してその
内側に溶融ボンディング材を補充し且つターゲット材１
０の上面中央に直径１２ｎ＋の冷却水流通路１６を有す
る直径７０龍のＣｕ製冷却ブロック１７を載置して、該
冷却ブロック１７の冷却水流通路１６に冷却水を流通さ
せ、ターゲット材１０を介してボンディング材（半田）
１２の中心部より強制冷却する。かくしてボンディング
材（半田）１２の冷却凝固は中心部より次第に外周方向
に進行し、やがて体積収縮によりターゲット材１０の接
合面の外側のボンディング材（半田）１２ａに引は巣が
発生する。そこでこのターゲット材１０の接合面の外側
のボンデング材（半田）１２ａを切除することにより引
は巣は完全に除去される。
の一実施例を第１図よって説明すると、直径１２７ｎ、
厚さ２鶴のＡｕより成るターゲット材１０と直径１７０
鶴、厚さ５鶴のステンレス鋼より成るバッキングプレー
ト１１とがボンディング材（半田）１２にて接合されて
成るスパッタリング用ターゲット１４の、溶融状態にあ
るボンディング材（半田）１２を中心部より強制冷却す
る。即ち図示の如くバッキングプレート１１上の周囲に
ボンディング材プール用のフェンス１５を立設してその
内側に溶融ボンディング材を補充し且つターゲット材１
０の上面中央に直径１２ｎ＋の冷却水流通路１６を有す
る直径７０龍のＣｕ製冷却ブロック１７を載置して、該
冷却ブロック１７の冷却水流通路１６に冷却水を流通さ
せ、ターゲット材１０を介してボンディング材（半田）
１２の中心部より強制冷却する。かくしてボンディング
材（半田）１２の冷却凝固は中心部より次第に外周方向
に進行し、やがて体積収縮によりターゲット材１０の接
合面の外側のボンディング材（半田）１２ａに引は巣が
発生する。そこでこのターゲット材１０の接合面の外側
のボンデング材（半田）１２ａを切除することにより引
は巣は完全に除去される。
こうして引は巣を除去したターゲットをスパッタリング
に使用すると、バッキングプレート１１の冷却によりタ
ーゲット材１０の熱が良好に奪われる。従って、ターゲ
ット材１０の冷却効率が高く、ターゲット材１０が加熱
されすぎて溶解、脱落等が生じることがな（、正常なス
パッタリングが行われる。
に使用すると、バッキングプレート１１の冷却によりタ
ーゲット材１０の熱が良好に奪われる。従って、ターゲ
ット材１０の冷却効率が高く、ターゲット材１０が加熱
されすぎて溶解、脱落等が生じることがな（、正常なス
パッタリングが行われる。
次に本発明の他の実施例を第２図によって説明すると、
幅１２０鶴、長さ３８０日、厚さ３１１のＰｔより成る
ターゲット材１０′と幅１４０鶴、長さ４１０ｍ１ｌ、
厚さ１０ｍｍのＣｕより成るバッキングプレート１１′
とがボンディング材（半田）１２にて接合さて成るスパ
ッタリング用ターゲット１４′をホットプレート１３上
に載せて、不活性ガス雰囲気中で再加熱してボンディン
グ材（半田）１２を溶融した後、該ボンディング材（半
田）１２を中心部より強制冷却する。即ち、図示の如く
バッキングプレート１１′上の周囲にボンディング材プ
ール用のフェンス１５′を立設してその内側に溶融ボン
ディング材を補充し且つターゲット材１０′の上面中央
に直径１２ｍの冷却水流通路１６′を有する幅６０鶴、
長さ２８０ ｍｍのＣｕ製冷却ブロック１７′を載置し
て、該冷却ブロック１７′の冷却水流通路１６′に冷却
水を流通させ、ターゲット材１０’を介してボンディン
グ材（半田）１２の中心部より強制冷却する。かくして
ボンディング材（半田）１２の冷却凝固は中心部より次
第に外周方向に進行し、やがて体積収縮によりターゲッ
ト材ｌＯ′の接合面の外側のボンディング材１２ａに引
は巣が発生する。そこでこのターゲット材 １０’の接合面の外側のボンディング材（半田）１２ａ
を除去することにより引は巣は完全に除去される。
幅１２０鶴、長さ３８０日、厚さ３１１のＰｔより成る
ターゲット材１０′と幅１４０鶴、長さ４１０ｍ１ｌ、
厚さ１０ｍｍのＣｕより成るバッキングプレート１１′
とがボンディング材（半田）１２にて接合さて成るスパ
ッタリング用ターゲット１４′をホットプレート１３上
に載せて、不活性ガス雰囲気中で再加熱してボンディン
グ材（半田）１２を溶融した後、該ボンディング材（半
田）１２を中心部より強制冷却する。即ち、図示の如く
バッキングプレート１１′上の周囲にボンディング材プ
ール用のフェンス１５′を立設してその内側に溶融ボン
ディング材を補充し且つターゲット材１０′の上面中央
に直径１２ｍの冷却水流通路１６′を有する幅６０鶴、
長さ２８０ ｍｍのＣｕ製冷却ブロック１７′を載置し
て、該冷却ブロック１７′の冷却水流通路１６′に冷却
水を流通させ、ターゲット材１０’を介してボンディン
グ材（半田）１２の中心部より強制冷却する。かくして
ボンディング材（半田）１２の冷却凝固は中心部より次
第に外周方向に進行し、やがて体積収縮によりターゲッ
ト材ｌＯ′の接合面の外側のボンディング材１２ａに引
は巣が発生する。そこでこのターゲット材 １０’の接合面の外側のボンディング材（半田）１２ａ
を除去することにより引は巣は完全に除去される。
こうして引は巣を除去したターゲットをスパッタリング
に使用すると、バッキングプレート１１′の冷却により
ターゲット材１０′の熱が良好に奪われる。従って、タ
ーゲット材１０′の冷却効率が高く、ターゲット材１０
’が加熱されすぎて溶解、脱落等が生じることがなく、
正常なスパッタリングが行われる。
に使用すると、バッキングプレート１１′の冷却により
ターゲット材１０′の熱が良好に奪われる。従って、タ
ーゲット材１０′の冷却効率が高く、ターゲット材１０
’が加熱されすぎて溶解、脱落等が生じることがなく、
正常なスパッタリングが行われる。
尚、上記各実施例ではボンディング材（半田）を中心部
より強制冷却するのに、冷却ブロックをターゲット材の
上面中央に載置しているが、逆に冷却ブロックをバッキ
ングプレートの下面中央に配し、バッキングプレートを
介して強制冷却するようにしても良いものである。また
強制冷却の際、バ・７キングプレート上の周囲にポンデ
ィング材プール用のフェンスを立設してその内側に溶融
ボンディング材を補充しているが、予め、ボンディング
材がターゲット材の接合面の外側にはみ出す量だけ接合
に用いければ、その必要はないものである。
より強制冷却するのに、冷却ブロックをターゲット材の
上面中央に載置しているが、逆に冷却ブロックをバッキ
ングプレートの下面中央に配し、バッキングプレートを
介して強制冷却するようにしても良いものである。また
強制冷却の際、バ・７キングプレート上の周囲にポンデ
ィング材プール用のフェンスを立設してその内側に溶融
ボンディング材を補充しているが、予め、ボンディング
材がターゲット材の接合面の外側にはみ出す量だけ接合
に用いければ、その必要はないものである。
（発明の効果）
以上の説明で判るように本発明によるスパッタリング用
ターゲットの引は巣除去方法は、ターゲット材とバッキ
ングプレートを接合している溶融状態にあるボンディン
グ材を中心部より強制冷却することにより、ボンディン
グ材冷却凝固が中心部より次第に外周方向に進行し、体
積収縮によりターゲット材の接合面の外側に引は巣を発
生させて簡単に除去できるという効果が、あり、このタ
ーゲットを使用すれば、スパッタリング時十分冷却され
るので、溶解、脱落等が生じることがなく、正常なスパ
ッタリングができる。
ターゲットの引は巣除去方法は、ターゲット材とバッキ
ングプレートを接合している溶融状態にあるボンディン
グ材を中心部より強制冷却することにより、ボンディン
グ材冷却凝固が中心部より次第に外周方向に進行し、体
積収縮によりターゲット材の接合面の外側に引は巣を発
生させて簡単に除去できるという効果が、あり、このタ
ーゲットを使用すれば、スパッタリング時十分冷却され
るので、溶解、脱落等が生じることがなく、正常なスパ
ッタリングができる。
第１図は本発明によるスパッタリング用ターゲットの製
造方法の一実施例を示す概略図、第２図は他の実施例を
示す概略図、第３図は従来のスパッタリング用ターゲッ
トの製造方法を示す概略図である。
造方法の一実施例を示す概略図、第２図は他の実施例を
示す概略図、第３図は従来のスパッタリング用ターゲッ
トの製造方法を示す概略図である。
Claims (1)
- ターゲット材とバッキングプレートとボンディング材に
て接合し、次に溶融状態のボンディング材を中心部より
強制冷却することを特徴とするスパッタリング用ターゲ
ットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16509585A JPS6228063A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16509585A JPS6228063A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6228063A true JPS6228063A (ja) | 1987-02-06 |
Family
ID=15805789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16509585A Pending JPS6228063A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6228063A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100468454B1 (ko) * | 2000-08-24 | 2005-01-29 | 주식회사 포스코 | 박판과 파이프의 아크 브레이징장치 및 그 방법 |
| JP2012201979A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Mitsubishi Materials Corp | スパッタリングターゲットの製造方法 |
| CN103192152A (zh) * | 2012-01-09 | 2013-07-10 | 日立金属株式会社 | 接合装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5116260A (ja) * | 1974-07-31 | 1976-02-09 | Hitachi Ltd | Rosetsuho |
| JPS5956971A (ja) * | 1982-09-27 | 1984-04-02 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法 |
| JPS5964154A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-04-12 | シ−メンス・アクチエンゲゼルシヤフト | タ−ゲツト材料の固定方法 |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP16509585A patent/JPS6228063A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5116260A (ja) * | 1974-07-31 | 1976-02-09 | Hitachi Ltd | Rosetsuho |
| JPS5964154A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-04-12 | シ−メンス・アクチエンゲゼルシヤフト | タ−ゲツト材料の固定方法 |
| JPS5956971A (ja) * | 1982-09-27 | 1984-04-02 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | スパツタリング用タ−ゲツトの製造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100468454B1 (ko) * | 2000-08-24 | 2005-01-29 | 주식회사 포스코 | 박판과 파이프의 아크 브레이징장치 및 그 방법 |
| JP2012201979A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Mitsubishi Materials Corp | スパッタリングターゲットの製造方法 |
| CN103192152A (zh) * | 2012-01-09 | 2013-07-10 | 日立金属株式会社 | 接合装置 |
| JP2013142200A (ja) * | 2012-01-09 | 2013-07-22 | Hitachi Metals Ltd | ボンディング装置 |
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