JPS6227636A

JPS6227636A - 圧力変換器

Info

Publication number: JPS6227636A
Application number: JP61163509A
Authority: JP
Inventors: ズビ　シケデイ
Original assignee: Garrett Corp
Current assignee: Garrett Corp
Priority date: 1985-07-26
Filing date: 1986-07-11
Publication date: 1987-02-05
Also published as: EP0210843B1; IL79282A0; JPH0588771B2; EP0210843A2; CA1264419A; BR8602298A; US4689999A; EP0210843A3; DE3684057D1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は気圧の変化などに相応して出力が可変のコンデ
ンサを具備する圧力変換器、特に圧力の検出時における
温度変化に伴う誤差を除去できるような好ましくは石英
でなる圧力変換器に関する。

一般にこの種の圧力変換器は航空工学分野において採用
されており、圧力変換器からの検出圧力を航空機の高度
、速度特に対気速度、飛行角度、片揺れの角度等々の情
報となる電子信号に変換するように構成されている。こ
の場会航空機全般において安全性が求められるから、そ
の情報は高い正確度が求められ、加速あるいは気象特に
気温の変化などによって生じる騒音を除去する必要があ
る。

（従来の技術）一般に用いられている圧力測定装置としては３つのタイ
プが提案されている。第１のタイプは航空機の外部の気
圧を測定し、且航空機の内部（（連通する空気路を有し
たピトー管の形態をとるもの、第２のタイプは米特許第
３，９６２，９２１号等に開示されるような溶接により
一体化される石英を用い。

電子信号を発生可能な圧力変換器の形態をとるもの、第
３のタイプは入力された圧力に応じて静電容量が変化す
る回路を有した、米特許第３，７９０゜９１０号に開示
の石英圧力変換器の形態をとるものが提案されている。

従来の石英圧力変換器は概して米特許＠３，９６２．９
２１号と実質的に同様の技術レベルであシ、個有の振動
周波数を持つ２つのダイアフラムを採用し、加速力が加
わったとき機械的に同位相で同時に働くように構成せし
め、加速力あるいは振動が圧力変換器に加わったとき影
響を低減するように設けられる。この場合ダイアフラム
には磁器、金属などを用いたものも提茶されている。

（発明が解決しようとする問題点）上述の従来の圧力変換装置においては、加速力あるいは
振動に対する検出誤差の補償構成はある程度とられてい
るものの、温度変化に伴う検出誤差について対策が施さ
れてない問題があった。

即ち一般的に石英圧力変換器にあっては、ダイアフラム
の一方の面のみに付設された電極がダイアフラムに加わ
る熱によって歪むこと、あるい（ｒｌコンデンサを構成
する部材が熱によってその物理的特性が変化することに
より検出誤差を生じていた。また石英でなるダイアフラ
ムの一方の面のみに金属製の電極が取り付けられている
場合、ダイアフラムがバイメタルの如く温度変化に応じ
て僅かに屈曲することになる。加えて圧力変換器を構成
する部材の一つが他の部材に比べ厚手にされると、温度
変化に伴なう物理的変化が薄手の構成部材と一致せず、
検出誤差を来たす危惧があった。

一方圧力変換器を改良する場合温度変化に伴う誤差を低
減されると共に、加速力あるいは振動に伴う影響も高度
に抑制し、且また圧力変換器の検出出力の低下若しくは
感度低下を来たすことなく実現する必要があシ、更〈い
わゆる絶対圧力センナ（単一の入力に応動するもの）運
びに差動圧力センサ（２つの入力に応動するもの）のい
ずれにも適用可能な構成を持つことが望まれる。

（問題点を解決するための手段）本発明によれば、４つの部材を包有し、４つの部材の内
３つの部材が対でコンデンサをなす電極が付設されたダ
イアフラムでなシ、３つのダイアフラムの内１つの部材
が圧力に応動可能にされ、且残シの２つのダイアフラム
が補助ダイアフラムであシ、動作中に加わる加速力、振
動による誤差を除去するように作用し、３つのダイアフ
ラムは全て同一の加速力、振動による力に応じて同一方
向に同時に作動するように配列され、加速力、振動によ
り生じるダイアフラムの動作から独立した圧力変化に反
応するダイアフラムによって電気的に圧力検出を可能に
する圧力変換器により、上記の問題点が解決される。

（作用）上述の構成をとる本発明の圧力変換器においては２つの
静電容量をもって出力し、一方は圧力変換器に加わる圧
力に応じた出力となシ、他方は基準出力となって、基準
出力の変化を分析し、且圧力に応じた出力を示す信号と
対照させて圧力のみに応じた出力の変化から検出値を読
み取り得、加えて、本発明の圧力変換器においては金属
製の電極がダイアフラムのみに付設され、ダイアフラム
に比べ厚手のハウジングに付設してないから、ダイアフ
ラムに付設された電極に対し、ハウジングＫＷ極が付設
されたときの如く温度変化に応じた不整合の動作を来た
すことがないから、温度変化に伴う誤差を顕著に低減で
きる作用を実現できる。

（実施例）第１図並びに第２図を参照するに、圧力変換器が示され
ておシ、この圧力変換器は石英ガラスあるいは畦土ガラ
スで形成され、且３つの薄いダイアフラムを備えた、１
つあるいは２つのハウジング部を有している。この場合
従来ダイアフラムとハウジング部とは接着剤によ）接合
されて密閉され、圧力変換器に送られる空気等の流体が
漏出し圧力損失が生ずることを防ぐように構成されてい
たが、本発明においては、ダイアフラムとハウジング部
との間が均一に接合されるように永続的に溶接される。

更に第１図を参照して本発明の一実施例による圧力変換
器１０を説明するに、圧力変換器１０はハウジング部１
２と、感圧ダイアフラム１４と２つの補助ダイアフラム
１６．１８とを具備する。

感圧ダイアフラム１４は２つの補助ダイアフラム１６．
１８間ではなく、これらの２つの補助ダイアフラム１６
．１８に隣接して併設され、この場　゛合補助ダイアフ
ラム１６．１８は感圧ダイアフラム１４とハウジング部
１２との間に配列されている。

感圧ダイアフラム１４．補助ダイアフラム１６゜１８並
びにハウジング部１２はディスク状に設けることか好適
であるが、他の形状にもし得る。また感圧ダイアフラム
１４および補助ダイアフラム１６．１８はその直径に比
べて厚さが薄手にされ、通常の振動に敏感に反応するよ
うに構成きれておシ、且感圧ダイアフラム１４並びに補
助ダイアフラム１６．１８は圧力変換器１０が加速力若
しくは振動を受ける隙間−の位相をもって作動するよう
に設けられている。

感圧ダイアフラム１４および補助ダイアフラム１６．１
８には夫々その両側に金属電極が固設され、金属電極は
好ましくは円形に設けられ、各ダイアフラムの縁部を越
えて延出しない程度に設けられる。またこの金属１！極
は圧力変換器１０の組立前に接着若しくは溶接によって
各ダイアフラム１４．１６．１８に固設される。且圧力
変換器１０においては第１図に点線で示される領域にお
いてハウジング部工２と感圧ダイアフラム、補助ダイア
フラム１４．１６．１８が溶接により一体化されること
が好ましい。金属電極には各ダイアフラム１４並びに１
６．１８に対し容易に接着される金などの貴金属が用い
られ得る。

本実施例においては感圧ダイアフラム１４には、その補
助ダイアフラム１６と対面しない側に第１の電極２０が
、且補助ダイアフラム１６と対面する側に第２の電極２
２が具備されておシ、第１の電極２０はコンデンサの形
成にを与することなく、感圧ダイアフラム１４の外面上
における加熱若しくは冷却時に不均一な膨張によって感
圧ダイアフラム１４が屈曲することを防止するように機
能する。従って電極構成上は感圧ダイアフラム１４の、
補助ダイアフラム１６と対面する側のみに電極を具備さ
せたときの状態と同様になる。

−の補助ダイアフラム１６にはその感圧ダイアフラム１
４と対面する側に＠１の電極２４が、感圧ダイアフラム
１４と対面しない側に第２の電極２６が具備され、この
第１．第２の電極２４　、２６は感圧ダイアフラム１４
の第１．第２の電極２０゜２４とは異なシ、補助ダイア
フラム１６に設けられた通路３０内を延びるコンダクタ
部２８を介して相互に連接されている。また補助ダイア
フラム１６に設けられた通路３０はコンダクタ部２８に
接触することなく、後述の細いＭＬｍを挿通できる大き
さを持たせて、相対的に小さく形成されている。

別の補助ダイアフラム１８には−の補助ダイアフラム１
６に対面する側に第１の電極３２が、且補助ダイアフラ
ム１６と対面しない側には第２の電極３４が具備され、
またーの補助ダイアフラム１６と同様に、別の補助ダイ
アフラム１８にも第１の通路３６と第２の通路３８とが
形成されておシ、この場合第１の進路３６は補助ダイア
フラム１６の通路３０と合致するような位置に設けられ
ている。更に補助ダイアフラム１８の第１．第２電極は
第１の通路３６を挿通するコンダクタ部４０と第２の通
路３８を挿通するコンタ−フタ部４２を介して相互に連
接されている。

ハウジング部１２は別の補助ダイアフラム１８の、−の
補助ダイアフラム１６と対面しない側に隣接するように
配列される。このノ・ウジング部１２には−の補助ダイ
アフラム１６の通路３０および別の補助ダイアフラム１
８の第１の通路３６と合致するような位置に第１の通路
４４が設けられている。またハウジング部１２には別の
補助ダイアフラム１８の第２の通路３８と合致する位置
に第２の通路４６が設けられ、これとは別に第３の通路
４８が形成され、この第３の通路４８に相応する補助ダ
イアフラム１８およびその第２の電極には開孔、通路が
具備されていない。

ハウジング部１２のｇｌの通路４４と、補助ダイアフラ
ム１８の第１の通路３６と補助ダイアフラム１６の通路
３０とに亘ってコンダクタ部４０゜２８に接触するとと
なく細い第１の導線５０が挿通され、この第１の導線５
０が感圧ダイアフラム１４の補助ダイアフラム１６に対
面する側に固設された第２の電極２２に接続されている
。且第１の導線５０の他端はハウジング部１２の、補助
ダイアフラム１８と対面しない側に配設された端子Ａに
接続される。また第２の導線５２が／％ウジング部１２
並びに補助ダイアフラム１８の夫々の第２の通路４６．
３８に挿通され、補助ダイアフラム１６に固設された第
２の電極２６に接続され。

この第２の導線５２の他端はハウジング部１２の。

補助ダイアフラム１８と対面しない側釦配設された端子
ＢＫ接続されている。更に第３の導線５４がハウジング
部１２の第３の通路４８に挿通され、その−寥島は補助
ダイアフラム１８の第２の電極３４に、且他端がハウジ
ング部１２の、補助ダイアフラム１８と対面しない側に
配設された端子Ｃに接続されている。第１．第２．第３
の導線５０　、５２　。

５４には極めて細い導線が用いられ、感圧ダイアフラム
１４並びに２つの補助ダイアフラム１６゜１８の動作を
妨げないように構成される。且また端子Ａ、Ｂ、Ｏはハ
ウジング部１２に固設されることが好ましい。

加えてハウジング部１２には開放管５６が固設されてお
シ、この開７Ａ管５６は感圧ダイアフラム１４、補助ダ
イアフラム１６．１８並びにハウジング部１２間に形成
されるチャンバ内の空間と連通せしめられる。またこの
開放管５６は圧力が感圧ダイアフラム１４の８１￥１の
電極２０を固設した側に加わったときチャンバ内の空気
が排除されて閉塞されるように設けられておシ、且また
この開放管５６を介して圧力変換器ｌＯに第２の圧力が
加えられ得るように設けられている。

第１Ａ図には第１図の圧力変換器１００回路図が示され
ておシ、同図から明らかなように圧力変換器１０にあっ
ては端子Ａ、Ｂ間に第１のコンデンサＣＩが、且塙子Ｂ
、Ｏ間に第２のコンデンサＣ２の２つのコンデンサが形
成される。この場合圧力変換器１０のコンデンサａ、　
、　Ｃ２は端子Ｂを共通にしている。

第１図に示した圧力変換器ｌＯにあっては、第１のコン
デンサＣ１が、圧力変換器１０に圧力が加わったとき、
更に加速力あるいは振動力が加わったとき働く。例えば
いま圧力変換器１０に加わる圧力が増大すると、感圧ダ
イアフラム１４が−の補助ダイアフラム１６に向って変
位し、第１のコンデンサＣ１の静電容量が増大する。一
方策２のコンデンサＣ１は圧力変換器１０に圧力が加わ
った状態では通常変位しないから働かず、圧力変換器１
０に加速力あるいは振動が加わったときのみ働く。

この場合第２のコンデンサＣ２は第１のコンデンサＣ８
の静電容量の変化に伴ない加速力あるいは振動の検出誤
差を補償するように働くことは理解されよう。即ち第２
のコンデンサＣ２によ）加速力あるいは振動が加わった
とき圧力を誤検出することが防がれる。且また圧力変換
器１０の各ダイアフラムの各側に電極を取ｐ付け、一方
コンデンサ全形成する電極をハウジング部１２に配置せ
ずに、ダイアフラムのみに取り付けであるので、出力変
換器ｌＯが特に温度変化によって誤動作することが効果
的に低減される。

第２図には第１図に示す圧力変換器１０と同一の技術思
想に基づいて構成された他の実施例の圧力変換器６０が
示される。第２図の圧力変換器６０は第１図の圧力変換
器１０と２点において異なっている。第１の点は圧力変
換器６０に第１のハウジング部６２と第２のハウジング
部６４の、２つのハウジング部が具備される点にある。

第２の点は感圧ダイアフラム６６が第１の補助ダイアフ
ラム６８と第２の補助ダイアフラム７０との間に配設さ
れる点にある。この第２図の圧力変換器６０においても
、第１のハウジング部６２、第２のハウジング部６４、
感圧ダイアフラム６６並びに第１、第２の補助ダイアフ
ラム６８．７０が点線で示された領域において溶接され
、一体化され得る。

感圧ダイアフラム６６には、−の補助ダイアフラム６８
に対面する側に第１の電極７２が、且別の補助ダイアフ
ラム７０に対面する側に第２の電極７４が固設されてい
る。−の補助ダイアフラム６８には感圧ダイアフラム６
６に対面する側に第１の電極７６が、且第２のハウジン
グ部６４に対面する側に第２の電極７８が固設される。

別の補助ダイアフラム７０は感圧ダイアフラム６６に対
面する側に第１の電極８０が、且第１のハウジング部６
２ｉＣ対面する側に第２の電極８２が固設される。

また−の補助ダイアフラム６８には通路８４が具備され
ておシ、この通路８４には補助ダイアフラム６８の各面
に固設された第１の電極７６と第２の電極７８とを連接
させるコンダクタ部８６が挿通される。補助ダイアフラ
ム６８の通路８４は導線１０２がコンダクタ部８６と接
触することなく、挿通される程度の大きさにされている
。同様に別の補助ダイアフラム７０には通路８８が具備
され、この通路８８に挿通されるコンダクタ部９０を介
して補助ダイアフラム７０の各面に固設された第１、第
２の電極８０．８２が連接される。

且第１の・・ウジング部６２には第１の通路９２が具備
され、この第１の通路９２は補助ダイアフラム７０の通
路８８と合致するような位置に設けられている。また第
１のノ翫つジング部６２には第２の通路９４が具備され
、この第２の通路９４の上方には補助ダイア７ラム７０
に固着された第２の電極８２の一部が装置されている。

一方第２のハウジング部６４には第１の通路９６が具備
され、この第１の通路９６は補助ダイアフラム６８に設
けた通路８４と合致するような位置に設けられている。

且第２のハウジング部６４には第２の通路９８が具備さ
れ、この第２の通路９８の下方には補助ダイアフラム６
８に固着された第２の電極の一部が近接している。

更に細い第１の導線１００が第２のハウジング部６４の
第２の通路９Ｂを介し、補助ダイアフラム６８の第２の
電極７８と第２のハウジング部６４の外面に４４役され
た端子Ａとの間に延設される。

且第２の導線１０２が第２のハウジング部６４の第１の
通路９６並びに補助ダイアフラム６８の通路８４を介し
て延び、感圧ダイアフラム６６の第１の電極７２と第２
のハウジング部６４の外面に付設された端子Ｂとに接続
される。同様に第３の導線１０４が第１のハウジング部
６２の第１の通路９２並びに補助ダイアフラム７０の通
路８８を介して延び、感圧ダイアフラム６６の第２の電
極７４と第１のハウジング部６２の外面に付設された端
子Ｃとに接続され、且また第４の導線１０６が第１のハ
ウジング部６２の第２の通路９４を介して延び、補助ダ
イア７ラム７０の第２の電極８２と第１のハウジング部
６２の外面に付設された端子りとに接続されている。且
第１図の圧力変換器１０と同様に、第２図の圧力変換器
６０の端子Ａ−Ｄは第１、第２のハウジング部６２．６
４に固定されることが好ましい。

この圧力変換器６０にあっては圧力（例えば圧液、圧気
などの態様で）が第２のノ・クジング部６４の開孔１０
８から圧力変換器６０に与えられたとき。

第２のハウジング部６４、補助ダイアフラム６８並びに
感圧ダイアフラム６６間に形成されたチャンバ内に加わ
るように設けられている。一方第１のハウジング部６２
には、これを貫通する開孔を有した開放管１１０が具備
されておシ、この開放管１１０は感圧ダイアフラム６６
、補助ダイアフラム７０並びに第１のハウジング部６２
間に形成されるチャンバが真空になったとき閉塞される
ように設けられる。感圧を上げるため、２次的な圧力が
開放管１１０から圧力変換器６０に与えられ、感圧ダイ
アフラム６６、補助ダイアフラム７０並びに第１のハウ
ジング部６２で形成されるチャンバ内に加えられる。

第２Ａ図には第２図の圧力変換器６０の回路図が示され
ており、圧力変換器６０にあっては端子Ａ、Ｂ間に第１
のコンデンサＣ１が、且端子Ｃ，Ｄ間に第２のコンデン
サＣ２が形成されるが、第２図の圧力変換器６０におい
ては第１．第２のコンデンサＣ，、Ｃ２が接続されず、
互いに独立せしめられている。

しかして本実施例においては感圧ダイアフラム６６は補
助ダイアフラム６８．７０間に位置しているから圧力変
換器６０に加わる圧力が変化したとき第１．第２のコン
デンサＣ，、ａ、からの出力が共に変化する。即ち圧力
変換器６０に加わる圧力が増大すると、感圧ダイアフラ
ム６６が補助ダイアフラム７０に接近し、補助ダイアフ
ラム６８から離間するから笛２のコンデンサＣ２の静電
容量が増大する反面、第１のコンデンサＣ１の静電容量
が減少することになる。

加えて第２図の実施例の圧力変換器６０も圧力値の検出
に第１．第２のコンデンサａ、　、　Ｃ２の静電容量差
の比を用いること釦なり、また第２図の圧力変換器６０
において加速力あるいは振動により生ずる誤差は感圧ダ
イアフラム６６並びに２つの補助ダイアフラム６８．７
０に加速力あるいは振動が加わるように構成しであるか
ら、第１図の圧力変換器１０と同様に補償され得る。

しかして第２図の圧力変換器６０は第１の圧力変換器１
０に対し、構成上上記の如く感圧ダイア７ラム６６が２
つの補助ダイアフラム６８　、７０間に配列される点並
びに第２のハウジング部６４を具備する点に加え、機能
上第１．第２のコンデンサＯ，、Ｃ２の両者の静電容量
が共に圧力の変化に伴ない変化する点が異なる。尚、第
１図の構成の圧力変換器１０に第２のハウジング部を付
加することもできる。

（発明の効果）上述のように構成された本発明による圧力変換器は圧力
値を正確に高感度に検出する上、温度変化による誤差を
有効に除去でき、特に航空工学の電子技術分野に適用し
て効果的に利用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による変換器の一実施例の断面図、第１
Ａ図は第１図の圧力変換器の回路図、第２図は本発明に
よる変換器の他の実施例の断面図、第２Ａ図は第２図の
圧力変換器の回路図である。１０・・・圧力変換器、１２・・・ハウジング部、１４
・・・感圧ダイアフラム、１６　、１８・・・補助ダイ
アフラム、２０・・・第１の電極、２２・・・第２の電
極、２４・・・第１の電極、２６・・・第２の電極、２
８・・・コンダクタ部、３０・・・通路、３２・・・第
１の電極、３４・・・第２の電極、３６・・・第１の通
路、３８・・・第２の通路、４０　、４２・・・コンダ
クタ部、４４・・・第１の通路、４６・・・第２の通路
、４８・・・第３の通路、５ｏ・・・第１の導線、５２
・・・第２の導線、５４・・・第３の導線、５６・・・
開放管、６０・・・圧力変換器、６２・・・第１のハウ
ジング部、６４・・・第２のハウジング部、６６・・・
感圧ダイアフラム、６８　、７０・・・補助ダイアフラ
ム、７２・・・第１の電極、７４・・・第２の電極、７
６・・・第１の電極、７８・・・第２の電極、８ｏ・・
・第１の電極、８２・・・第２の電極、８４・・・通路
、８６・・・コンダクタ部、８８・・・通路、９０川コ
ンダクタ部、９２・・・第１の通路、９４・・・第２の
通路、９６・・・第１の通路、９８・・・第２の通路、
１００・・・第１の導線。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ハウジング部と、少なくとも一面に電極が取り付
けられた第１のダイアフラムと、少なくとも一面に電極
が取り付けられた第２のダイアフラムと、少なくとも一
方の面に電極が取り付けられた第３のダイアフラムとを
備え、相互に隣接するダイアフラムの対向面間において
対をなす電極により容量を持つ出力を送出可能に設けら
れ、第１のダイアフラム、第２のダイアフラム、第３の
ダイアフラム並びにハウジング部が相互にわずかに離間
して配列され、３つのダイアフラムの一に圧力が加えら
れるように構成されてなる圧力変換器。
（２）ハウジング部と第１、第２、第３のダイアフラム
とを具備し、一定でない圧力が加えられたときこの圧力
をこの圧力に相応する容量を持つ電気出力に変換する圧
力変換器において、第１のダイアフラムは、一方の面に
第１の電極を且他方の面に第２の電極を有し、第１の電
極を有した面をハウジング部に対面させ第２の電極を有
した面をハウジング部に対面させずに且ハウジング部か
ら離間して配置され、第２のダイアフラムは、一方の面
に第３の電極を且他方の面に第４の電極を有し、第３の
電極を有する面を第１のダイアフラムを有する第２の電
極を有する面に対面させ且第１のダイアフラムから離間
して配置され、第３のダイアフラムは、一方の面に第５
の電極を且他方の面に第６の電極を有し、第５の電極を
有する面が第２のダイアフラムの第４の電極を有する面
に対面させ且第２のダイアフラムから離間して配置され
てなり、第４の電極と第５の電極との間に第１のコンデ
ンサが、且第２の電極と第３の電極との間に第２のコン
デンサが形成され、第１のダイアフラム、第２のダイア
フラム並びに第３のダイアフラムの１つが一定でない圧
力に応答して、第１のコンデンサ並びに第２のコンデン
サの少なくとも一方の電気出力が変換されるように設け
られてなる圧力変換器。
（３）ハウジング部、第１のダイアフラム、第２のダイ
アフラム、第３のダイアフラムが石英でなる特許請求の
範囲第２項記載の圧力変換器。
（４）ハウジング部、第１のダイアフラム、第２のダイ
アフラム、第３のダイアフラムが実質的に円形である特
許請求の範囲第２項記載の圧力変換器。
（５）ハウジング部、第１のダイアフラム、第２のダイ
アフラム並びに第３のダイアフラムの端部が溶着により
密閉されてなる特許請求の範囲第４項記載の圧力変換器
。
（６）第１の電極、第２の電極、第３の電極、第４の電
極、第５の電極並びに第６の電極は各々溶着可能な貴金
属の薄膜である特許請求の範囲第２項記載の圧力変換器
。
（７）貴金属は金である特許請求の範囲第６項記載の圧
力変換器。
（８）第３のダイアフラムが一定でない圧力に応答可能
である特許請求の範囲第２項記載の圧力変換器。
（９）第１の電極と第２の電極、並びに第３の電極と第
４の電極とが各々電気的に接続されている特許請求の範
囲第８項記載の圧力変換器。
（１０）第１の導線、第２の導線並びに第３の導線が具
備され、第１の導線は第２のダイアフラムの第１の通路
、第１のダイアフラムの第２の通路並びにハウジング部
の第３の通路に挿通されて第１の導線を介し第５の電極
がハウジング部に付設された第１の端子に接続され、第
２の導線は第１のダイアフラムの第４の通路、並びにハ
ウジング部の第５の通路に挿通されて第２の導線を介し
第３の電極がハウジング部に付設された第２の端子に接
続され、第３の導線はハウジング部の第６の通路に挿通
されて第３の導線を介し第１の電極がハウジング部に付
設された第３の端子に接続されてなる特許請求の範囲第
９項記載の圧力変換器。
（１１）第１の端子、第２の端子並びに第３の端子はハ
ウジング部に固設されてなる特許請求の範囲第１０項記
載の圧力変換器。
（１２）第１の導線、第２の導線並びに第３の導線は第
１のダイアフラム、第２のダイアフラム並びに第３のダ
イアフラムの動作に影響を与えない細さを有してなる特
許請求の範囲第１０項記載の圧力変換器。
（１３）第１のコンデンサが一定でない圧力に応答して
変化可能である特許請求の範囲第８項記載の圧力変換器
。
（１４）第２のコンデンサは加速力、振動に因る誤差の
補償用である特許請求の範囲第１３項記載の圧力変換器
。
（１５）第３のダイアフラムの第６の電極を有する面に
対面させ、且第３のダイアフラムから離間させて第２の
ハウジング部が配置されてなる特許請求の範囲第２項記
載の圧力変換器。
（１６）第２のダイアフラムが一定でない圧力に応答可
能である特許請求の範囲第１５項記載の圧力変換器。
（１７）第１の電極と第２の電極、並びに第５の電極と
第６の電極とが各々電気的に接続されてなる特許請求の
範囲第１６項記載の圧力変換器。
（１８）第１の導線、第２の導線、第３の導線並びに第
４の導線を具備し、第１の導線は第２のハウジング部の
第１の通路に挿通されて第１の導線を介し第５、第６の
電極が別のハウジング部に付設された第１の端子に接続
され、第２の導線は第３のダイアフラムの第２の通路並
びに第２のハウジングの第３の通路に挿通されて第２の
導線を介し第４の電極が第２のハウジング部に付設され
た第２の端子に接続され、第３の導線は第１のダイアフ
ラムの第４の通路並びに第１のハウジング部の第５の通
路に挿通されて第３の導線を介し第３の電極が第１のハ
ウジングに付設された第３の端子に接続され、第４の導
線は第１のハウジング部の第６の通路に挿通されて第４
の導線を介し第１、第２の電極が第１のハウジング部に
付設された第４の端子に接続されてなる特許請求の範囲
第１７項記載の圧力変換器。
（１９）第１の端子並びに第２の端子が第２のハウジン
グ部に固設され、第３の端子並びに第４の端子は第１の
ハウジング部に固設されている特許請求の範囲第１８項
記載の圧力変換器。
（２０）第１の導線、第２の導線、第３の導線並びに第
４の導線は第１のダイアフラム、第２のダイアフラム並
びに第３のダイアフラムの動作に影響を与えない細さを
有してなる特許請求の範囲第１８項記載の圧力変換器。
（２１）第１のコンデンサおよび第２のコンデンサの一
方は一定でない圧力の増加に伴い電気出力が上昇され、
他方は電気出力が低下されるように設けられてなる特許
請求の範囲第１６項記載の圧力変換器。
（２２）圧力値が第１のコンデンサと第２のコンデンサ
の比の関数として算出されるように構成されてなる特許
請求の範囲第２項記載の圧力変換器。
（２３）圧力値が第１のコンデンサと第２のコンデンサ
の差の関数として算出されるように構成されてなる特許
請求の範囲第２項記載の圧力変換器。
（２４）第１のダイアフラム、第２のダイアフラム並び
に第３のダイアフラムの内の一定でない圧力に応答する
ダイアフラムの各側に、夫々第１の圧力並びに第２の圧
力が加えられてなる特許請求の範囲第２項記載の圧力変
換器。
（２５）ハウジング部と、ハウジング部に対し離間して
配置された第１のダイアフラムと、第１のダイアフラム
の、ハウジング部に対面する側に取り付けられた第１の
電極と、第１のダイアフラムの、ハウジング部と対面し
ない側に取り付けられた第２の電極と、第１のダイアフ
ラムの第１の電極の取り付けられた側に対し離間して配
置された第２のダイアフラムと、第２のダイアフラムの
、第１のダイアフラムに対面する側に取り付けられた第
３の電極と、第２のダイアフラムの、第１のダイアフラ
ムと対面しない側に取り付けられた第４の電極と、第２
のダイアフラムの、第４の電極の取り付けられた側に対
し離間して配置された第３のダイアフラムと、第３のダ
イアフラムの、第２のダイアフラムに対面する側に取り
付けられた第５の電極と、第３のダイアフラムの、第２
のダイアフラムと対面しない側に取り付けられた第６の
電極とを備え、第１のダイアフラム、第２のダイアフラ
ム並びに第３のダイアフラムの各端部とハウジング部の
間の領域が密閉され、一定でない圧力が第１のダイアフ
ラム、第２のダイアフラム並びに第３のダイアフラムの
少なくとも１つに加えられるように設けられ、第４の電
極と第５の電極との間において第１の静電容量が、且第
２の電極と第３の電極との間において第２の静電容量が
各々測定可能に設けられてなる、一定でない圧力が加え
られたとき、この圧力をこの圧力に相応する容量を持つ
電気出力に変換する圧力変換器。