JPS62274547A - デカツプリングされたモ−ドを使用するマイクロ波パワ−式無電極光源 - Google Patents
デカツプリングされたモ−ドを使用するマイクロ波パワ−式無電極光源Info
- Publication number
- JPS62274547A JPS62274547A JP61192978A JP19297886A JPS62274547A JP S62274547 A JPS62274547 A JP S62274547A JP 61192978 A JP61192978 A JP 61192978A JP 19297886 A JP19297886 A JP 19297886A JP S62274547 A JPS62274547 A JP S62274547A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cavity
- coupling
- light source
- microwave
- electrodeless light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 35
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 35
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 35
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 1
- 238000006880 cross-coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000021419 vinegar Nutrition 0.000 description 1
- 239000000052 vinegar Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P1/00—Auxiliary devices
- H01P1/20—Frequency-selective devices, e.g. filters
- H01P1/207—Hollow waveguide filters
- H01P1/208—Cascaded cavities; Cascaded resonators inside a hollow waveguide structure
- H01P1/2082—Cascaded cavities; Cascaded resonators inside a hollow waveguide structure with multimode resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の詳細な説明
本発明は改良されたマイクロ波パワー大本本無電極光源
(、microwave powered elect
rodelesslight 5ources)に関す
る。
(、microwave powered elect
rodelesslight 5ources)に関す
る。
近年無電極光源は周知されるに至っておりそして半導体
デバイスの製造、光重合性コーティング及びインキの硬
化に使用されている。更にこのような光源は可視照明用
途に有用である。
デバイスの製造、光重合性コーティング及びインキの硬
化に使用されている。更にこのような光源は可視照明用
途に有用である。
一般に無電極光源はプラズマ形成性媒体を含むエンベロ
ープ又はパルプが配W1されているマイクロ波キャビテ
ィ又はチャンバを含む。励起されると放射するパルプ中
のプラズマを励起するためのスロットを介してキャビテ
ィにカップリングせしめられている磁電管がマイクロ波
エネルギーを発生させるために設けられている。この放
射はマイクロ波エネルギーを通さないがパルプから放出
された放射は通すキャビティの部分を通ってキャビティ
から出る。
ープ又はパルプが配W1されているマイクロ波キャビテ
ィ又はチャンバを含む。励起されると放射するパルプ中
のプラズマを励起するためのスロットを介してキャビテ
ィにカップリングせしめられている磁電管がマイクロ波
エネルギーを発生させるために設けられている。この放
射はマイクロ波エネルギーを通さないがパルプから放出
された放射は通すキャビティの部分を通ってキャビティ
から出る。
成る用途については、大量のマイクロ波パワーをパルプ
にカップリングさせることが望ましい。
にカップリングさせることが望ましい。
例えば成る用途においては非常に明るい光源が必要とさ
れ、その場合には大量のマイクロ波パワーをIトさなノ
ずルプにカップリングさせてパルプにおける比較的高い
パワー密度を生じることが必要である。幾らかのこのよ
うな用途に対しては1個のビティを使用することが可能
であるが、マイクロ波パワーが増加するにつれて先行技
術のシステムは問題及び欠点を生じる傾向がある。例え
ば、マイクロ波パワーがある点を越えるとカップリング
スロットがブレークダウンしてスロットを横切ってアー
クを発生することがあろ、更に、あるパワーレベルでは
磁′Ki管のコストが急激に上昇し、従って1個の高パ
ワー磁電管を使用するのは経済的でないことがある。
れ、その場合には大量のマイクロ波パワーをIトさなノ
ずルプにカップリングさせてパルプにおける比較的高い
パワー密度を生じることが必要である。幾らかのこのよ
うな用途に対しては1個のビティを使用することが可能
であるが、マイクロ波パワーが増加するにつれて先行技
術のシステムは問題及び欠点を生じる傾向がある。例え
ば、マイクロ波パワーがある点を越えるとカップリング
スロットがブレークダウンしてスロットを横切ってアー
クを発生することがあろ、更に、あるパワーレベルでは
磁′Ki管のコストが急激に上昇し、従って1個の高パ
ワー磁電管を使用するのは経済的でないことがある。
マイクロ波キャビティのパルプの如き小さな負荷にカッ
プリングするときに起こる追加の問題はキャビティの定
在波比が極めて高く、相当な反射パワーを生じるという
ことである。パルプが始動するのを確実にするため(こ
システムのターンオンの時にパルプにできるだけ多くの
パワーをカップリングさせることが望まれる。
プリングするときに起こる追加の問題はキャビティの定
在波比が極めて高く、相当な反射パワーを生じるという
ことである。パルプが始動するのを確実にするため(こ
システムのターンオンの時にパルプにできるだけ多くの
パワーをカップリングさせることが望まれる。
上記の問題及び欠点を解決するために、2個又はそれよ
り多くのマイクロ波パワーソースを使用すること及び
それにより発生したエネルギーをるモード間でマイクロ
波キャビティにおいて実質的にカップリングが無いよう
な方法で前記マイクロ波キャビティにカップリングさせ
ることが本発明により提唱される。幾つかの磁電管が使
用されるので1つの磁電管が非常に高いパワーソースで
ある必要はなく磁電管の全体のコストは1個の高パワー
磁電管が使用される場合より少ない、更にアーク発生に
伴う問題が取り除かれ、磁電管の寿命は増加することが
出来上してパルプは首尾よく始動する。
り多くのマイクロ波パワーソースを使用すること及び
それにより発生したエネルギーをるモード間でマイクロ
波キャビティにおいて実質的にカップリングが無いよう
な方法で前記マイクロ波キャビティにカップリングさせ
ることが本発明により提唱される。幾つかの磁電管が使
用されるので1つの磁電管が非常に高いパワーソースで
ある必要はなく磁電管の全体のコストは1個の高パワー
磁電管が使用される場合より少ない、更にアーク発生に
伴う問題が取り除かれ、磁電管の寿命は増加することが
出来上してパルプは首尾よく始動する。
本発明に従えば、キャビティにおけるエネルギーモード
はお互いにデカップリングせしめられ(decoupl
ed)それにより磁電管からパルプへの最大パワー伝達
をもたらすように構成される。これはキャビティにおけ
る電界が互いに直交するよ)に配列することにより達成
される。このようなデカップリングが達成されない場合
にはそれぞれの磁電管により発生したモードは相互に干
渉しパルプへのパワーのカップリングの減少、磁電管の
離調(de tuning)及び困難なパルプ始動をも
たらす。
はお互いにデカップリングせしめられ(decoupl
ed)それにより磁電管からパルプへの最大パワー伝達
をもたらすように構成される。これはキャビティにおけ
る電界が互いに直交するよ)に配列することにより達成
される。このようなデカップリングが達成されない場合
にはそれぞれの磁電管により発生したモードは相互に干
渉しパルプへのパワーのカップリングの減少、磁電管の
離調(de tuning)及び困難なパルプ始動をも
たらす。
更に以下に詳細に説明するとおり、空間を節約しそして
キャビティの長い寸法を短くする配列が得られるように
キャビティは折れ曲がった構造にすることが出来る6 故に本発明の目的は効果的な方法でパルプに高いマイク
ロ波レベルをカップリングさせるマイクロ波パワー式無
電極光源を提供することである。
キャビティの長い寸法を短くする配列が得られるように
キャビティは折れ曲がった構造にすることが出来る6 故に本発明の目的は効果的な方法でパルプに高いマイク
ロ波レベルをカップリングさせるマイクロ波パワー式無
電極光源を提供することである。
本発明の他の目的は費用効果的な(cost−effe
ctive)方法でパルプに高いパワーレベルをカップ
リングさせるこのような光源を提供することである。
ctive)方法でパルプに高いパワーレベルをカップ
リングさせるこのような光源を提供することである。
本発明の他の目的は効果的な始動が得られるような方法
でパルプにマイクロ波パフ−をカップリングさせること
である。
でパルプにマイクロ波パフ−をカップリングさせること
である。
本発明の他の目的は利用可能な空間をより良く利用する
マイクロ波キャビティ配列を提供することである。
マイクロ波キャビティ配列を提供することである。
本発明を添付図面を参照して更に説明する。
第1図を参照すると、反射器4及び網6から成るマイク
ロ波キャビティを含むマイクロ波パワー式無電極光源2
の大体の断面が示されている。
ロ波キャビティを含むマイクロ波パワー式無電極光源2
の大体の断面が示されている。
パルプ8はキャビティ内に配置されており、網6はキャ
ビティ内にマイクロ波エネルギーを保持するがパルプ8
によって放出される紫外縁又は可視放射が出て行(のを
許容するのに有効である。
ビティ内にマイクロ波エネルギーを保持するがパルプ8
によって放出される紫外縁又は可視放射が出て行(のを
許容するのに有効である。
パルプ8は心棒10によって取り付けられでおり、心棒
10は米国特許第4,485.332号に開示された如
く冷却流体流をパルプに向けながら回転せしめられて効
果的な冷却を行う。
10は米国特許第4,485.332号に開示された如
く冷却流体流をパルプに向けながら回転せしめられて効
果的な冷却を行う。
マイクロ波エネルギーは磁電管12及び14により発生
せしめられそしてそれぞれ送り出し器(Iaunche
rs)16お上118並びに導波路20及ゾ22を通っ
てマイクロ波キャビティにカップリングされる。
せしめられそしてそれぞれ送り出し器(Iaunche
rs)16お上118並びに導波路20及ゾ22を通っ
てマイクロ波キャビティにカップリングされる。
第2図を参照すると、導波路20はキャビティのカップ
リングスロット24に送り、導波路22はカップリング
スロット26に送る。@2図は、成る態様のキャビティ
4はセグメントの各が米国特許出願第707,159号
に更に詳細に説明されている如く比較的平坦化されてい
る複数のセグメント28から成っていて他の態様におい
ては異なる形状であってもよい放出される光の所望の反
射を得ることができることを更に明白に示1.。
リングスロット24に送り、導波路22はカップリング
スロット26に送る。@2図は、成る態様のキャビティ
4はセグメントの各が米国特許出願第707,159号
に更に詳細に説明されている如く比較的平坦化されてい
る複数のセグメント28から成っていて他の態様におい
ては異なる形状であってもよい放出される光の所望の反
射を得ることができることを更に明白に示1.。
カップリングスロット24及び26は相互に実質的に直
交するように向けられる。これはそれぞれのエネルイー
波は直交偏波している( cross−p。
交するように向けられる。これはそれぞれのエネルイー
波は直交偏波している( cross−p。
larizwd)のでそれぞれの導波路からチャンバに
カップリングさせられるエネルギーモードを実質的にお
互いにデカップリングさせることになる。
カップリングさせられるエネルギーモードを実質的にお
互いにデカップリングさせることになる。
上記した如くこれはそれぞれのエネルギーモードが相互
に干渉又はクロストークしないこと及びパルプ8への最
大のパワーカップリングを生じることを確実にする。更
に2個のカップリングスロットの使用は1個のスロット
が高パワーで使用及び負荷される場合に起こり得るアー
ク発生の問題を取り除き、2個の磁電管の使用は等価の
パワー出力の1個の磁電管を使用する場合よりも経済的
である。更にこの構成は効果的なパルプ始動を提供する
。
に干渉又はクロストークしないこと及びパルプ8への最
大のパワーカップリングを生じることを確実にする。更
に2個のカップリングスロットの使用は1個のスロット
が高パワーで使用及び負荷される場合に起こり得るアー
ク発生の問題を取り除き、2個の磁電管の使用は等価の
パワー出力の1個の磁電管を使用する場合よりも経済的
である。更にこの構成は効果的なパルプ始動を提供する
。
f53図を参照すると直交に配向したカップリングスロ
ット40及び42がシリンダ状キャビティ44内に配置
されている他のランプ構成が示されている。パルプ46
はキャビティ内に位置付けられモしてモータ48により
回転させられることが示されている。磁電管50及び5
2はそれぞれスロット40及び42にカップリングして
いる導波路54及び56に送る。
ット40及び42がシリンダ状キャビティ44内に配置
されている他のランプ構成が示されている。パルプ46
はキャビティ内に位置付けられモしてモータ48により
回転させられることが示されている。磁電管50及び5
2はそれぞれスロット40及び42にカップリングして
いる導波路54及び56に送る。
第4図は直交に配向したスロット60および62がキャ
ビティのシリンダ状壁及v*T6に位置付けられる代わ
りにキャビティの頂部及び底部に位置付けられているこ
とを除いて第3図に示されたのと同様な他の態様を例示
する。
ビティのシリンダ状壁及v*T6に位置付けられる代わ
りにキャビティの頂部及び底部に位置付けられているこ
とを除いて第3図に示されたのと同様な他の態様を例示
する。
[3囲周V第4図に示された構成はキャビティの開口端
部を覆う網及び所望により外部反射器と共に使用する。
部を覆う網及び所望により外部反射器と共に使用する。
更に他の態様において、キャビティはそのすべてが実質
的に相互に直交している3個のスロットにより供給され
ることができる。
的に相互に直交している3個のスロットにより供給され
ることができる。
rj&5図に示された態様においてはシリンダ状キャビ
ティ70はシリンダ状壁の回I)lこ相互に90’変位
した2つの平行なスロット72及び74を有する。スロ
ット72及び74は磁電管80及び82がカップリング
しているそれぞれ導波路76及び78により供給される
。
ティ70はシリンダ状壁の回I)lこ相互に90’変位
した2つの平行なスロット72及び74を有する。スロ
ット72及び74は磁電管80及び82がカップリング
しているそれぞれ導波路76及び78により供給される
。
キャビティはTEIINモードがキャビティにおいて生
じるように設計されておりそしてスロットは90°変位
しているのでキャビティにおいてそれぞれの磁電管によ
り発生させられる電界は相互に直交している。
じるように設計されておりそしてスロットは90°変位
しているのでキャビティにおいてそれぞれの磁電管によ
り発生させられる電界は相互に直交している。
これは第6図に示されている。第6図はシリンダ状TE
、、、モードにおける2つの電界を示す図である。フィ
ールド84はスロット72を通って供給されるエネルギ
ーにより発生させられ、フィールド86はスロット74
を通って供給されるエネルギーにより発生させられる。
、、、モードにおける2つの電界を示す図である。フィ
ールド84はスロット72を通って供給されるエネルギ
ーにより発生させられ、フィールド86はスロット74
を通って供給されるエネルギーにより発生させられる。
、TE、、、モードはフィールドの直交性にとって必要
であり、例えばスロットがシリンダ状壁の何処に配置さ
れていようともフィールドは半径方向においてシリンダ
状のTMoI+モードにありそして周方向(cirau
mferential direction)において
シリンダ状のTEozモードにあるということに留意さ
れたい。
であり、例えばスロットがシリンダ状壁の何処に配置さ
れていようともフィールドは半径方向においてシリンダ
状のTMoI+モードにありそして周方向(cirau
mferential direction)において
シリンダ状のTEozモードにあるということに留意さ
れたい。
第5図の態様において、パルプはスロットから紬縄方向
に変位しておりそして事実スロットの延長上には見られ
ないことが注目される。この配列はスロットの近接によ
り引き起こされる局部歪みが回避されうるのでパルプ出
力の一様さを促進することができる。
に変位しておりそして事実スロットの延長上には見られ
ないことが注目される。この配列はスロットの近接によ
り引き起こされる局部歪みが回避されうるのでパルプ出
力の一様さを促進することができる。
第7図の態様を参照すると、シリンダ状壁の回りに相互
に120°変位したカップリング六ロッ) 92,94
.96を有するシリンダ状キャビティ90が示されてい
る。キャビティはシリンダ状のTEIINモードにある
。m5図の態様と異なり、スロットは90’離れている
のではないので電界間で幾らかの交差結合(クロスカッ
プリング)がある。しかしながら、追加のパワーソース
の設置によって相当より多くのエネルギーが供給され、
成る用途に関しては第7図の態様により得られる全体の
パワーとフィールドカップリングとのトレードオフ (
trade−off)が最善の結果をもたらすことが見
出された。
に120°変位したカップリング六ロッ) 92,94
.96を有するシリンダ状キャビティ90が示されてい
る。キャビティはシリンダ状のTEIINモードにある
。m5図の態様と異なり、スロットは90’離れている
のではないので電界間で幾らかの交差結合(クロスカッ
プリング)がある。しかしながら、追加のパワーソース
の設置によって相当より多くのエネルギーが供給され、
成る用途に関しては第7図の態様により得られる全体の
パワーとフィールドカップリングとのトレードオフ (
trade−off)が最善の結果をもたらすことが見
出された。
酢OFFRn II IvvOF71 L 専關−J−
1L M3 k* +lh J+# −hシリンダ状
キャビティ100が示されている。
1L M3 k* +lh J+# −hシリンダ状
キャビティ100が示されている。
折れ曲がったシリンダ状キャビティ”という用語は互い
に90°の角度をなす2つのシリンダ状部分から成るキ
ャビティを指す。
に90°の角度をなす2つのシリンダ状部分から成るキ
ャビティを指す。
故に、キャビティ100はパルプ104をハウジングし
ている部分102とカップリングスロット108及び1
10が配置されている部分106とから成る。これらの
スロットは丸いに90°変位しでいるのでTEllNモ
ードにおいて直交電界が形成される。
ている部分102とカップリングスロット108及び1
10が配置されている部分106とから成る。これらの
スロットは丸いに90°変位しでいるのでTEllNモ
ードにおいて直交電界が形成される。
折れ曲がったキャビティの目的は部分102の長さを短
くすることであり、これはランプをより便利なパフケー
ノにすると共にランプを使用する成る用途にとって物理
的に必要であるか又は望ましいことがある。
くすることであり、これはランプをより便利なパフケー
ノにすると共にランプを使用する成る用途にとって物理
的に必要であるか又は望ましいことがある。
上記キャビティ全体は共振構造であり、出願人が最初に
知った折れ曲がったデザインのキャビティである。この
折れ曲がったデザイン1こよってパルプへのフィールド
の強いカップリングが達成されることが、行なわれた実
験により示された。
知った折れ曲がったデザインのキャビティである。この
折れ曲がったデザイン1こよってパルプへのフィールド
の強いカップリングが達成されることが、行なわれた実
験により示された。
第7図及び第8図に示されたデザインにおいても、バル
ブ104とモータを連絡するシャフトが底部120を通
って延びているので、取り替えるためにパルプ104は
キャビティの底部を通して容易に出し入れできる。
ブ104とモータを連絡するシャフトが底部120を通
って延びているので、取り替えるためにパルプ104は
キャビティの底部を通して容易に出し入れできる。
折れ曲がったキャビティは単一カッブリングスロットが
存在しているデザインにも使用できることが注目される
。
存在しているデザインにも使用できることが注目される
。
第1図及びtJS2図に従う実施される態様は光安定化
vc置(photostabilizaLion ap
paratus)の紫外#a源として使用されている。
vc置(photostabilizaLion ap
paratus)の紫外#a源として使用されている。
実際の態様においては第2図に示された如きセグメント
化された反射器が使用されそして磁?!管は約1.5に
−で2450Mbzのマイクロ波エネルギーを発生する
ヒタチ2M131(旧tachi 28131)である
。チャンバは図における約4インチの最大鉛直方向寸法
及び約8インチの最大水平方向寸法を有する。史にカッ
ツブりングスロット寸法は2.5インチ×、3インチで
ある。
化された反射器が使用されそして磁?!管は約1.5に
−で2450Mbzのマイクロ波エネルギーを発生する
ヒタチ2M131(旧tachi 28131)である
。チャンバは図における約4インチの最大鉛直方向寸法
及び約8インチの最大水平方向寸法を有する。史にカッ
ツブりングスロット寸法は2.5インチ×、3インチで
ある。
平行なカップリングスロットを有するシリンダ状キャビ
ティ構造の例示的態様においては(第5図)、キャビテ
ィの直径は2.90インチであり、ij!−10,10
インチであり、バルブの中心はスクリーンから1.15
インチ、カップリングスロットの中心から6.75イン
チの所に配置されている。
ティ構造の例示的態様においては(第5図)、キャビテ
ィの直径は2.90インチであり、ij!−10,10
インチであり、バルブの中心はスクリーンから1.15
インチ、カップリングスロットの中心から6.75イン
チの所に配置されている。
好ましい例示的態様が開示されているが、当業者は変更
を行うことができること及び本発明の範囲は特許請求の
範囲及びその均等物によってのみ限定されるべきことが
理解されるべきである。
を行うことができること及び本発明の範囲は特許請求の
範囲及びその均等物によってのみ限定されるべきことが
理解されるべきである。
第1図は本発明の1つの態様の断面図である。
第2図は!@1図の態様のそれぞれのカップリンティを
使用する本発明の態様の例示である。 第6図は第5図の態様の電界の図である。 第8図及び第9図は折れ曲がったシリンダ状キャビティ
を使用する態様の例示である。 図において、2・・・マイクロ波パワー式無電極光源、
4・・・反射器、6・・・網、8・・・パルプ、12.
14・・・磁′?11g、16.18・・・送り出し器
、20.22・・・導波路、24.26・・・カップリ
ングスロット、40.42・・・カップリングスロット
、44・・・シリンダ状キャビティ、46・・・パルプ
、50.52・・・磁電管、54.56・・・導波路、
70・・・シリンダ状キャビティ、72.74・・・平
行なスロット、76豐78・・・導波路、80.82・
・・磁電管、84,86・・・フィールド、90・・・
シリンダ状キャビティ、92゜94.96・・・カップ
リングスロット、100・・・折れ曲がったシリンダ状
キャビティ、104・・・バルブ、108.110・・
・カップリングスロットである。
使用する本発明の態様の例示である。 第6図は第5図の態様の電界の図である。 第8図及び第9図は折れ曲がったシリンダ状キャビティ
を使用する態様の例示である。 図において、2・・・マイクロ波パワー式無電極光源、
4・・・反射器、6・・・網、8・・・パルプ、12.
14・・・磁′?11g、16.18・・・送り出し器
、20.22・・・導波路、24.26・・・カップリ
ングスロット、40.42・・・カップリングスロット
、44・・・シリンダ状キャビティ、46・・・パルプ
、50.52・・・磁電管、54.56・・・導波路、
70・・・シリンダ状キャビティ、72.74・・・平
行なスロット、76豐78・・・導波路、80.82・
・・磁電管、84,86・・・フィールド、90・・・
シリンダ状キャビティ、92゜94.96・・・カップ
リングスロット、100・・・折れ曲がったシリンダ状
キャビティ、104・・・バルブ、108.110・・
・カップリングスロットである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、放射を行なうためのマイクロ波パワー式無電極光源
であって、 マイクロ波エネルギーを実質的に通さないが放出される
放射を実質的に通す部分を少なくとも有しているマイク
ロ波キャビティと、 該キャビティ内に配置されたプラズマ形成性媒体が入つ
ているエンベロープと、 マイクロ波エネルギーを発生させるための第1及び第2
手段と、 前記第1及び第2発生手段からのマイクロ波エネルギー
を、それぞれ前記第1及び第2マイクロ波エネルギー発
生手段により発生せしめられたモード間で該キャビティ
において実質的にカップリングが起こらないような方法
で、該キャビティにカップリングさせる手段とを具備す
ることを特徴とする無電極光源。 2、該第1及び第2発生手段からのマイクロ波エネルギ
ーを該キャビティにカップリングさせるための手段はそ
れぞれの該発生手段により発生した電界が該キャビティ
において相互に直交するように配列されている特許請求
の範囲第1項記載の無電極光源。 3、該マイクロ波エネルギーを該キャビティにカップリ
ングさせるための手段は相互に実質的に直交して配置さ
れている該キャビティにおける第1及び第2カップリン
グスロットを含む特許請求の範囲第2項記載の無電極光
源。 4、該マイクロ波キャビティはシリンダ状キャビティを
具備しそしてキャビティにおける該直交する電界はTE
_1_1_Nモードで存在する特許請求の範囲第2項記
載の無電極光源。 5、該カップリングさせるための手段は該シリンダ状キ
ャビティの壁における第1及び第2の平行なカップリン
グスロットを含み、該第1及び第2カップリングスロッ
トは該シリンダ状壁の回りに互いに約90°変位してお
りそして該キャビティの軸線方向に平行に向けられてい
る特許請求の範囲第4項記載の無電極光源。 6、該カップリングスロットは該エンベロープがスロッ
トの延長上に見られないように該エンベロープの位置か
ら軸線方向に変位している該キャビティ壁の位置に位置
付けられている特許請求の範囲第5項記載の無電極光源
。 7、該シリンダ状キャビティは互いに関して折れ曲がっ
たエンベロープハウジング部分及びフィード部分を具備
し、そして該カップリングさせるための手段は該キャビ
ティのフィード部分に配置されている第1及び第2の平
行なカップリングスロットを含む特許請求の範囲第4項
記載の無電極光源。 8、放射を行なうためのマイクロ波パワー式無電極光源
であって、 マイクロ波エネルギーを実質的に通さないが放出される
放射を実質的に通す部分を少なくとも有しているシリン
ダ状マイクロ波キャビティと、該キャビティ内のプラズ
マ形成性媒体が入つているエンベロープを具備し、 該キャビティは3つの平行なカップリングスロットが配
置されているシリンダ状キャビティ壁を有しており、該
スロットの方向は該キャビティの軸線方向に平行であり
、そして該スロットは該キャビティ壁の回りに相互に約
120°で配置されており、 前記無電極光源はマイクロ波エネルギーを発生させるた
めの3つの手段と、 該3つの発生手段の各からの該発生したマイクロ波エネ
ルギーをそれぞれのカップリングスロットにカップリン
グさせるための手段とを更に具備することを特徴とする
無電極光源。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/865,488 US4749915A (en) | 1982-05-24 | 1986-05-21 | Microwave powered electrodeless light source utilizing de-coupled modes |
US865488 | 1997-05-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62274547A true JPS62274547A (ja) | 1987-11-28 |
Family
ID=25345617
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61192978A Pending JPS62274547A (ja) | 1986-05-21 | 1986-08-20 | デカツプリングされたモ−ドを使用するマイクロ波パワ−式無電極光源 |
JP1994010683U Expired - Lifetime JP2550479Y2 (ja) | 1986-05-21 | 1994-08-29 | マイクロ波駆動型無電極光源装置 |
JP1994010678U Expired - Lifetime JP2586180Y2 (ja) | 1986-05-21 | 1994-08-29 | マイクロ波駆動型無電極光源装置 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1994010683U Expired - Lifetime JP2550479Y2 (ja) | 1986-05-21 | 1994-08-29 | マイクロ波駆動型無電極光源装置 |
JP1994010678U Expired - Lifetime JP2586180Y2 (ja) | 1986-05-21 | 1994-08-29 | マイクロ波駆動型無電極光源装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4749915A (ja) |
JP (3) | JPS62274547A (ja) |
DE (1) | DE3626922A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01217891A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-31 | Orc Mfg Co Ltd | 環状の無電極放電光源装置およびその点灯方法 |
JPH076738A (ja) * | 1992-03-12 | 1995-01-10 | Fusion Syst Corp | 回転場を有するマイクロ波ランプ |
Families Citing this family (58)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4960614A (en) * | 1987-02-06 | 1990-10-02 | Key-Tech, Inc. | Printed circuit board |
US4975625A (en) * | 1988-06-24 | 1990-12-04 | Fusion Systems Corporation | Electrodeless lamp which couples to small bulb |
DE3920628A1 (de) * | 1988-06-24 | 1989-12-28 | Fusion Systems Corp | Elektrodenlose leuchte zur kopplung mit einer kleinen lampe |
US4887192A (en) * | 1988-11-04 | 1989-12-12 | Fusion Systems Corporation | Electrodeless lamp having compound resonant structure |
DE3913519C2 (de) * | 1989-04-25 | 1996-06-27 | Rheydt Kabelwerk Ag | UV-Aushärtesystem für optische Fasern |
US5113121A (en) * | 1990-05-15 | 1992-05-12 | Gte Laboratories Incorporated | Electrodeless HID lamp with lamp capsule |
US5070277A (en) * | 1990-05-15 | 1991-12-03 | Gte Laboratories Incorporated | Electrodless hid lamp with microwave power coupler |
US5361274A (en) * | 1992-03-12 | 1994-11-01 | Fusion Systems Corp. | Microwave discharge device with TMNMO cavity |
CN1056466C (zh) * | 1993-10-15 | 2000-09-13 | 熔化照明股份有限公司 | 无电极灯及提供光的方法 |
US5606571A (en) * | 1994-03-23 | 1997-02-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Microwave powered gas laser apparatus |
US5498928A (en) * | 1994-05-24 | 1996-03-12 | Osram Sylvania Inc. | Electrodeless high intensity discharge lamp energized by a rotating electric field |
KR960030307A (ko) * | 1995-01-28 | 1996-08-17 | 켄트 키플링 | 전자기파를 무전극 램프에 커플링하기 위한 장치 |
US5594303A (en) * | 1995-03-09 | 1997-01-14 | Fusion Lighting, Inc. | Apparatus for exciting an electrodeless lamp with an increasing electric field intensity |
US5767626A (en) * | 1995-12-06 | 1998-06-16 | Fusion Systems Corporation | Electrodeless lamp starting/operation with sources at different frequencies |
US5786667A (en) * | 1996-08-09 | 1998-07-28 | Fusion Lighting, Inc. | Electrodeless lamp using separate microwave energy resonance modes for ignition and operation |
US6274984B1 (en) | 1997-10-30 | 2001-08-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | High-frequency energy supply means, and a high-frequency electrodeless discharge lamp device using side resonator coupling |
DE69825546T2 (de) * | 1997-11-28 | 2004-12-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Hochfrequente Leistungsversorgung für elektrodenlose Hochfrequenzlampe |
US6107752A (en) * | 1998-03-03 | 2000-08-22 | Osram Sylvania Inc. | Coaxial applicators for electrodeless high intensity discharge lamps |
US6518703B1 (en) | 1998-03-16 | 2003-02-11 | Matsushita Electrical Industrial Co., Ltd. | Electrodeless discharge energy supply apparatus and electrodeless discharge lamp device using surface wave transmission line |
US20020176796A1 (en) * | 2000-06-20 | 2002-11-28 | Purepulse Technologies, Inc. | Inactivation of microbes in biological fluids |
US6922021B2 (en) * | 2000-07-31 | 2005-07-26 | Luxim Corporation | Microwave energized plasma lamp with solid dielectric waveguide |
US7429818B2 (en) * | 2000-07-31 | 2008-09-30 | Luxim Corporation | Plasma lamp with bulb and lamp chamber |
US6737809B2 (en) * | 2000-07-31 | 2004-05-18 | Luxim Corporation | Plasma lamp with dielectric waveguide |
KR100464057B1 (ko) * | 2003-03-11 | 2005-01-03 | 엘지전자 주식회사 | 무전극 램프 시스템 |
US20050154348A1 (en) * | 2004-01-08 | 2005-07-14 | Daniel Lantz | Breast pump |
US7863547B2 (en) * | 2004-02-03 | 2011-01-04 | Industrial Microwave Systems, L.L.C. | Microwave chamber |
US7906910B2 (en) * | 2005-10-27 | 2011-03-15 | Luxim Corporation | Plasma lamp with conductive material positioned relative to RF feed |
US7994721B2 (en) * | 2005-10-27 | 2011-08-09 | Luxim Corporation | Plasma lamp and methods using a waveguide body and protruding bulb |
US7638951B2 (en) | 2005-10-27 | 2009-12-29 | Luxim Corporation | Plasma lamp with stable feedback amplification and method therefor |
US7791278B2 (en) | 2005-10-27 | 2010-09-07 | Luxim Corporation | High brightness plasma lamp |
US7791280B2 (en) * | 2005-10-27 | 2010-09-07 | Luxim Corporation | Plasma lamp using a shaped waveguide body |
US8022607B2 (en) * | 2005-10-27 | 2011-09-20 | Luxim Corporation | Plasma lamp with small power coupling surface |
US7855511B2 (en) * | 2005-10-27 | 2010-12-21 | Luxim Corporation | Plasma lamp with phase control |
US7701143B2 (en) * | 2005-10-27 | 2010-04-20 | Luxim Corporation | Plasma lamp with compact waveguide |
JP2009532823A (ja) * | 2006-01-04 | 2009-09-10 | ラクシム コーポレーション | 電界集中アンテナ付きプラズマランプ |
US20110043111A1 (en) * | 2006-10-16 | 2011-02-24 | Gregg Hollingsworth | Rf feed configurations and assembly for plasma lamp |
WO2008048968A2 (en) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Luxim Corporation | Electrodeless plasma lamp and fill |
EP2080211A4 (en) * | 2006-10-16 | 2014-04-23 | Luxim Corp | DISCHARGE LAMP BASED ON A SPREADING SPECTRUM |
WO2008048600A2 (en) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Luxim Corporation | Modulated light source systems and methods |
US20100253231A1 (en) * | 2006-10-16 | 2010-10-07 | Devincentis Marc | Electrodeless plasma lamp systems and methods |
US8143801B2 (en) * | 2006-10-20 | 2012-03-27 | Luxim Corporation | Electrodeless lamps and methods |
WO2008051877A2 (en) * | 2006-10-20 | 2008-05-02 | Luxim Corporation | Electrodeless lamps and methods |
US20080211971A1 (en) * | 2007-01-08 | 2008-09-04 | Luxim Corporation | Color balancing systems and methods |
US8159136B2 (en) * | 2007-02-07 | 2012-04-17 | Luxim Corporation | Frequency tunable resonant cavity for use with an electrodeless plasma lamp |
DE102007031628B4 (de) * | 2007-07-06 | 2012-06-21 | Eastman Kodak Co. | UV-Strahlungsquelle |
WO2009014709A1 (en) | 2007-07-23 | 2009-01-29 | Luxim Corporation | Reducing arcing in electrodeless lamps |
US8084955B2 (en) * | 2007-07-23 | 2011-12-27 | Luxim Corporation | Systems and methods for improved startup and control of electrodeless plasma lamp using current feedback |
US20090167201A1 (en) * | 2007-11-07 | 2009-07-02 | Luxim Corporation. | Light source and methods for microscopy and endoscopy |
EP2340691A4 (en) * | 2008-09-18 | 2015-09-16 | Luxim Corp | ELECTRODELESS LOW FREQUENCY PLASMA LAMP |
US8319439B2 (en) * | 2008-09-18 | 2012-11-27 | Luxim Corporation | Electrodeless plasma lamp and drive circuit |
US8304994B2 (en) * | 2008-10-09 | 2012-11-06 | Luxim Corporation | Light collection system for an electrodeless RF plasma lamp |
US20100123396A1 (en) * | 2008-10-09 | 2010-05-20 | Luxim Corporation | Replaceable lamp bodies for electrodeless plasma lamps |
US20100102724A1 (en) * | 2008-10-21 | 2010-04-29 | Luxim Corporation | Method of constructing ceramic body electrodeless lamps |
US20100165306A1 (en) * | 2008-12-31 | 2010-07-01 | Luxmi Corporation | Beam projection systems and methods |
RU2551644C2 (ru) * | 2009-01-06 | 2015-05-27 | Лаксим Корпорейшн | Безэлектродная плазменная лампа (варианты) |
US8188662B2 (en) | 2009-12-18 | 2012-05-29 | Luxim Corporation | Plasma lamp having tunable frequency dielectric waveguide with stabilized permittivity |
DE102010015495B4 (de) * | 2010-04-16 | 2012-04-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zum Erzeugen von UV-Licht |
CN103340018A (zh) | 2010-09-30 | 2013-10-02 | 勒克西姆公司 | 带有集总器件的等离子灯 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4822756U (ja) * | 1971-07-23 | 1973-03-15 | ||
JPS52116155A (en) * | 1976-03-17 | 1977-09-29 | Fusion Systems Corp | Radio wave generator by microwave |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA1024246A (en) * | 1973-08-22 | 1978-01-10 | Donald M. Spero | Apparatus and method for generating radiation |
US4144436A (en) * | 1976-06-17 | 1979-03-13 | General Electric Company | Microwave oven excitation system for promoting uniformity of energy distribution |
US4359668A (en) * | 1979-03-14 | 1982-11-16 | Fusion Systems Corporation | Method and apparatus for igniting electrodeless discharge lamp |
JPS56126250A (en) * | 1980-03-10 | 1981-10-03 | Mitsubishi Electric Corp | Light source device of micro wave discharge |
JPS596032B2 (ja) * | 1982-05-11 | 1984-02-08 | 三菱電機株式会社 | 高周波放電光源装置 |
US4507587A (en) * | 1982-05-24 | 1985-03-26 | Fusion Systems Corporation | Microwave generated electrodeless lamp for producing bright output |
US4504768A (en) * | 1982-06-30 | 1985-03-12 | Fusion Systems Corporation | Electrodeless lamp using a single magnetron and improved lamp envelope therefor |
US4633140A (en) * | 1984-12-24 | 1986-12-30 | Fusion Systems Corporation | Electrodeless lamp having staggered turn-on of microwave sources |
-
1986
- 1986-05-21 US US06/865,488 patent/US4749915A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-08-08 DE DE19863626922 patent/DE3626922A1/de active Granted
- 1986-08-20 JP JP61192978A patent/JPS62274547A/ja active Pending
-
1994
- 1994-08-29 JP JP1994010683U patent/JP2550479Y2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1994-08-29 JP JP1994010678U patent/JP2586180Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4822756U (ja) * | 1971-07-23 | 1973-03-15 | ||
JPS52116155A (en) * | 1976-03-17 | 1977-09-29 | Fusion Systems Corp | Radio wave generator by microwave |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01217891A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-31 | Orc Mfg Co Ltd | 環状の無電極放電光源装置およびその点灯方法 |
JPH076738A (ja) * | 1992-03-12 | 1995-01-10 | Fusion Syst Corp | 回転場を有するマイクロ波ランプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2550479Y2 (ja) | 1997-10-15 |
DE3626922C2 (ja) | 1989-05-03 |
DE3626922A1 (de) | 1987-11-26 |
JP2586180Y2 (ja) | 1998-12-02 |
US4749915A (en) | 1988-06-07 |
JPH0743725U (ja) | 1995-09-05 |
JPH0722455U (ja) | 1995-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS62274547A (ja) | デカツプリングされたモ−ドを使用するマイクロ波パワ−式無電極光源 | |
US4633140A (en) | Electrodeless lamp having staggered turn-on of microwave sources | |
US4975625A (en) | Electrodeless lamp which couples to small bulb | |
KR100417341B1 (ko) | 회전전계에의해동작되는무전극형고광도방전램프 | |
US4042850A (en) | Microwave generated radiation apparatus | |
JP2583619B2 (ja) | 無電極ランプ | |
US6476557B1 (en) | Non-rotating electrodeless lamp containing molecular fill | |
US5747945A (en) | Electrodeless discharge lamp utilizing induced electric field generated by a high frequency electromagnetic field | |
US7362056B2 (en) | Plasma lamp with dielectric waveguide | |
US4954755A (en) | Electrodeless lamp having hybrid cavity | |
JP2005174928A (ja) | 無電極ランプシステム | |
CN100356504C (zh) | 无电极照明*** | |
US7126282B2 (en) | Electrodeless lighting system | |
JP3173362B2 (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
US7462978B1 (en) | Apparatus and method for generating ultraviolet radiation | |
KR20110025328A (ko) | 원형편파 마이크로파를 이용한 비회전 무전극 고출력 방전램프시스템 | |
JP3209952B2 (ja) | 高周波無電極放電ランプ装置 | |
KR101736364B1 (ko) | 반사판을 포함하는 무전극 조명장치 | |
JPS63250095A (ja) | マイクロ波放電光源装置 | |
KR102054759B1 (ko) | 반도체 구동 플라즈마 램프 시스템 | |
JPS6369198A (ja) | マイクロ波駆動型無電極光源装置 | |
RU2161875C1 (ru) | Свч-возбудитель безэлектродной газоразрядной лампы | |
JPH081800B2 (ja) | 無電極放電灯装置 | |
JP2000348684A (ja) | マイクロ波放電ランプ装置 | |
JPH01189641A (ja) | 原稿読み取り光源装置 |