JPS62264826A - ワイヤ放電加工機 - Google Patents

ワイヤ放電加工機

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Publication number
JPS62264826A
JPS62264826A JP10469186A JP10469186A JPS62264826A JP S62264826 A JPS62264826 A JP S62264826A JP 10469186 A JP10469186 A JP 10469186A JP 10469186 A JP10469186 A JP 10469186A JP S62264826 A JPS62264826 A JP S62264826A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
wire electrode
workpiece
machining
arm
Prior art date
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Pending
Application number
JP10469186A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayuki Yano
矢野 真之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seibu Electric and Machinery Co Ltd
Original Assignee
Seibu Electric and Machinery Co Ltd
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Publication date
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Priority to JP10469186A priority Critical patent/JPS62264826A/ja
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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、細いワイヤを電極として、該ワイヤにテン
ションを掛けた状態でワイヤを走行させ、工作物すなわ
ちワークとワイヤとの間で放電を発生させて放電エネル
ギーによってワークを糸鋸式に2次元輪郭形状に加工す
るワイヤ放電加工機に関する。
〔従来の技術] 従来、ワイヤ放電加工機については、ワイヤ電極が垂直
方向、言い換えれば、上下方向に走行している部分を使
用してワークを加工しているのが現状である。ワイヤ電
極は、ワイヤ放電加工機本体側に固定されているローラ
に案内されてワイヤガイドを存するワイヤヘッドに供給
されている。
一方、工作物を取付けているテーブルは、NO装置から
の1旨令でワークの加工状況に従ってX方向及びY方向
に移動し、ワイヤヘッドに供給されたワイヤ電極との間
で加工が進行する。加工中はサーボ移動すなわちサーボ
機能を繰り返している。
言い換えれば、ワイヤヘッドは、ワイヤ放電加工中に相
対的に加工方向に進むだけでなく、加工屑等の状況に応
して放電加工が不安定になると、短絡解消のため瞬時の
間、加工軌跡に沿って後退もする。次いで、再び前進し
て放電加工が行われている。そして、N C”A TL
からの指令を受けて、ワークが水平方向すなわちX方向
及びY方向に移動して、両者の移動が合成されて、両者
の相対的運vJによってワークは所定の加工形状に放電
加工されている。また、加工液については、ワークに対
して上下方向に設nされているノズルから噴出されてい
る。両方がハイブリッドに成っているものもある。更に
、ワークが板状である場合には、ワークを複数枚、例え
ば、数枚から数十枚を重ね合わ・已て、場合によっては
ワークの一端部を溶接して一体的に固定し、他端部をク
ランプ金具等で固定して、ワイヤ電極を上方から下方又
はその逆の方向に走行させ、それら板状のワークを放電
加工しているのが現状である。
[発明が解決しようとする問題点〕 しかじながろ、従来のようなワイヤ電極が垂直方向に走
行している部分を使用してワークを加工し、上下方向の
ノズルから加工液を噴出させるワイヤ放電加工機につい
ては、工作物であるワークが、例えば、重ね合わせたワ
ーク、中空ワーク等である場合に、それらのワークの加
工に際して、ワイヤ放電加工によって切り落とされた加
工屑が流排出されず、例えば、下方に位置する別のワー
クの上に載置状態になるものがある。この時、これらの
加工屑が下のワークに引っ掛かり、ワークとワイヤ電極
との間で短絡が生じて、ワイヤ電極であるワイヤが断線
する原因となっており、問題点を存していた。また、加
工液が上下のノズルから噴出されるものについては、ワ
ークの中間部に隙間があった場合に、加工液が均等にワ
ーク及びワイヤ電極、例えば、中間部に位置するワーク
にかからないため気中放電を起し、同様にワイヤ電極の
ワイヤが1gI線する原因となり、問題点を有していた
。特に、上記のようなワークが板状で重ね合わせた場合
には、ワークとワークとの間に隙間が発生し、加工液が
均一にかからず、そのため加工屑が流排出されずにその
場所に留まり、それらの加工屑のためにワークとワイヤ
電極との間で短絡が生して、ワイヤ電極であるワイヤが
断線することが度々生じる原因となっていた。
この発明の目的は、上記の問題点を解消することであり
、ワーク、特に重ね合わせた板状のワークを櫛形形状に
加工する場合に、加工屑の排除を円滑に且つ直ちに達成
し、各々のワークに加工液を均一に且つ確実に供給し、
切断された加工屑等が媒体となってワイヤ電極のワイヤ
が断線することがなく、また加工液のかかりが不良にな
って気中放電が生してワイヤが断線することがないよう
なワイヤ放電加工機を堤供することである。
c問題点を解決するための手段〕 この発明は、上記の問題点を解消し、上記の目的を達成
するために、次のように構成されている。
すなわち、この発明は、ワイヤ電極の少なくとも一部分
が水平方向に走行できるように設定し、水平方向に走行
する前記ワイヤ電極とテーブル上に固定されたワークと
が相対的運動を行うように構成し、前記ワークが放電加
工されることを特徴とするワイヤ放電加工機に関し、更
に具体的に詳述すると、前記ワークを加工液に請けるこ
とができる構造であり、前記ワイヤ電極が上下方向移動
のアームに取付けられたワイヤヘッド上を水平方向に走
行し、前記テーブルが前記ワイヤ電極の走行方間に対し
て直角方向に移動でき、又は前記テープルが前記ワイヤ
電極の走行方向に対して直角方向及び上下方向に移動で
きるように構成されており、あるいは前記アームが前記
ワイヤ電極の走行方向に対して直角方向に移動できるよ
うに構成されており、しかも前記アームと前記テーブル
との相対的運動がサーボ機能によって達成されることを
特徴とするワイヤ放電加工機に関する。
〔作用〕
この発明によるワイヤ放電加工機は、上記のように構成
されており、次のように作用する。すなわち、ワイヤ電
極の少なくとも一部分が水平方向に走行できるように設
定され、水平方向に走行する前記ワイヤ電極とテーブル
上に設置されたワークとが相対的運動を行って前記ワー
クが前記ワイヤ電極によって放電加工され、前記ワーク
は加工液に清かっているので、前記加工屑を前記ワーク
の下方へ確実に、流暢にしかも直ちに前記加工液によっ
て流排出することができ、しかも前記加工屑は重力によ
って必然的に下方へ前記加工液と共に確実に落下して排
出され、切断された前記加工屑等が媒体となって前記ワ
イヤ電極のワイヤが断線するような現象はほとんど生じ
ない。また、前記ワークは前記加工液に漬けることがで
きるので、前記ワークに対して前記加工液のかかりが不
良になって気中放電が生じるようなことがない、それ故
に、前記加工屑及び前記加工液が原因で前記ワイヤ電極
のワイヤが断線するようなことはない。
〔実施例〕
以下、図面を参照して、この発明によるワイヤ放電加工
機の実施例を詳述する。
第1図において、この発明によるワイヤ放電加工機の要
部が符号10によって全体的に示されている。このワイ
ヤ放電加工機10は、主として加工液6を収容できる加
工槽16、ワーク2を取付は又は取外し可能に固定する
テーブル3、ワイヤ電極5となるワイヤを掛けて設置す
るためのアーム4等から成る。アーム4は、下端部が二
叉状に分かれた二叉部分14.14を有し、上下方向す
なわちZ方向に往復移動可能に構成されている。
各々の二叉部分14.14の先端部にはワイヤヘッド1
,11がそれぞれ取付けられている。ワイヤヘッド1.
11には、給電ブラシ12、方向変換ローラ15及びワ
イヤガイド13が取付けられている。また、アーム4に
は適宜にガイドローラ7が設けられている。更に、アー
ム4の先端部である二叉部分14は、加工槽16内に入
ることができるサイズを有する構造である。加工槽16
内には、加工液6が入れられるように構成されており、
更にテーブル3が固定的にあるいは移動可能に取付けら
れて収容されている。テーブル3上には、ワーク2が取
付は又は取外し可能に設置されるように構成されている
ものであり、テーブル3にはそのための適当な固着手段
(図示省略)が設けられている。テーブル3と加工槽1
6とは、ワイヤ電極5が走行する水平方向すなわちX方
向に対して直角方向すなわちY方向に移動できるように
構成されている。また、ワイヤ電極5が設置されている
アーム4は、上下方向すなわちZ方向に移動できるよう
に構成されている。これらのテーブル3、加工槽16及
びアーム4は、NC装置(図示省略)の指令によってサ
ーボ移動できるように構成されている。
第2図において、この発明によるワイヤ放電加工機10
の側面図が示されている。テーブル3及び加工槽16は
、スライドベース17上に取付けられている。スライド
ベース17は、ワイヤ電極5の走行方向すなわち水平方
向に対して直角方向すなわちY方向に、ワイヤ放電加工
機本体18に取付けられているY軸駆動用モータ9によ
って移動できるように構成されている。また、ワイヤ電
極5を設置しているアーム4は、上下方向すなわちZ方
向に、ワイヤ放電加工機本体18に取付け  ゛られて
いるZ軸駆動用モータ8によって移動できるように構成
されている。
第3図において、この発明によるワイヤ放電加工機10
の正面図が示されている。ワイヤ電極5は、ソースボビ
ン22からガイドローラ19,20.21に案内され、
次いでガイドローラ7から一方のワイヤヘッド1へと送
り込まれる。ワイヤ電極5は、一方のワイヤヘッド1か
ら他方のワイヤヘノド11へ向かって水平方向すなわち
X方向に走行する。次いで、ワイヤ電極5はワイヤへン
ド11からガイドローラ23.24.25を経て使用済
みワイヤ電極収容ボックスに溜められる。
図示されていないが、アーム4のX方向の移動に対応し
て、このワイヤ電極5に対してワイヤに一定のテンショ
ンすなわち引張力が働くように構成されていることは勿
論である。例えば、上下運動するアームと固定状態のワ
イヤ放電加工機本体との間に、アームの移動に応答して
揺動できる揺動手段等を介在させたり、あるいはアーム
の移動に応して伸縮可能に長さを換え得るアキュムレー
タ手段を介在させてワイヤ電極のテンションを一定に維
持するように構成すればよい。
この発明によるワイヤ放電加工atOは、以上のように
構成されており、次のように作動する。
テーブル3上にワーク2を固定し、ワイヤ電極5をアー
ム4及びワイヤヘッド1,11に設定する。
例えば、ワーク2を櫛形形状に加工する場合には、ワー
ク2の櫛形の溝部27を下方に向けて、そこにワイヤ電
極5を走行させるように設定する。ワイヤ電極5を走行
させ、次いでNC旋盤からの指令によって、アーム4及
びテーブル3がサーボ移りjすなわちサーボ機能によっ
て互いに相対的運・肋をするように作動する。それによ
ってワイヤ電極5がワーク2を櫛形形状に放電加工する
ことができる。
以上、この発明によるワイヤ放電加工機の実施例につい
て詳述したけれども、この発明は、上記の詳細な構造に
限定されるものでないことは勿論である。例えば、ワー
クの取付けについて、図面ではワークをテーブルの片側
のみによって取付は固定しているが、ワイヤ電極を跨が
ってワークの両端を固定するように取付けてもよい。ま
た、アームについて二叉部分が固定的に構成され、両者
の間の距離は不変に構成されているが、アームの二叉部
分の間の距離がワークに応じて可変になるような構造に
アームを構成してもよい。更に、テーブルとアームとの
移動方向についての一実施例を詳述したけれども、必ず
しもそのような相対的移動に限定されるものでなく、例
えば、アームが固定されて、テーブルが上下方向及びワ
イヤ電極の走行方向に対して直角方向に移動できるよう
に構成されてもよ(、又は、前記ワイヤ電極が走行する
水平方向に対して直角方向に前記アームが移動できるよ
うに構成されてもよいことは勿論である。また、図面で
は、テーブルと加工槽とが一体的に移動するように構成
されているが、加工槽が固定され且つテーブルが移動す
るように構成してもよい。更に、ワークが加工液に必ず
しも清かっている必要がなく、ワークによっては加工液
をワークの上下から噴出する構造に構成してもよいこと
は勿論である。すなわち、ワイヤ電極を水平方向に走行
するように設置し、ワイヤ電極に送り方向に対して所定
のテンションがかかるように構成され、ワークとワイヤ
電極とが相対的運動を行うことができるように構成され
ていれば充分であり、したがって、この発明は、その特
許請求の範囲に記載された事項により構成される技術的
思想の精神を逸脱しない範囲内で、種々の設計変更を行
い得るものである。
〔発明の効果〕
この発明によるワイヤ放電加工機は、上記のように構成
されており、次のような効果を奏する。
すなわち、ワイヤ電極の少なくとも一部分が水平方向に
走行できるように設定され、水平方向に走行する前記ワ
イヤ電極とテーブル上に設置されたワークとが相対的運
動を行って前記ワークが前記ワイヤ電極によって放電加
工されるので、前記加工屑を前記ワークの下方へ確実に
且つ流暢に前記加工液によって直ちに液排出することが
でき、しかも前記加工屑は重力によって必然的に下方へ
前記加工液と共に確実に落下して排出される。しかも、
前記ワークは加工液に漬かるように構成することができ
、更に一層石育実に加工屑は円滑に疏排出される。また
、加工屑が確実に且つ直ちにIJr出されるので、切断
された前記加工屑等が媒体となって短絡するようなこと
がなく、前記加工屑が原因で前記ワイヤ電極のワイヤが
断線する現象は全く生しない。また、前記ワークは前記
加工液に清かっているので、前記加工液のかかりが不良
になって気中放電が生じるようなことがなく、前記ワイ
ヤ電極のワイヤが断線するようなこともない等、種々の
効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明によるワイヤ放電加工機の実施例を示
す斜視図、第2図は第1図の側面図、及び第3図は第1
図の正面図である。 1.11−・・−・ワイヤヘッド、2・・−・・−ワー
ク、3−−−−一一−テーブル、4−・−・−アーム、
5・−一−−−−ワイヤ電極、6−m−・・−一加工ン
1(;]、  7.  12.  19.  20. 
 21.  23.24.25・・−・−ガイドローラ
、8・・・−・・Z軸駆動用モータ、9・・−・−・Y
軸駆動用モータ、10−−−一・−ワイヤ放電加工機、
12−・−・給電ブラシ、13・・−−ワイヤガイド、
14−・−・−二叉部分、15−一一一一・一方向変換
ローラ、16・−−−−−一加工槽、17・−・−スラ
イドベース、18−−−−−・−ワイヤ放電加工機本体
、22・〜・−ソースボビン、X−・・・・・・ワイヤ
電極の走行方向、Y、Z・−・・・テーブル及び/又は
アームの移動方向。 填  2  図 第  3  図

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ワイヤ電極の少なくとも一部分が水平方向に走行
    できるように設定し、水平方向に走行する前記ワイヤ電
    極とテーブル上に固定されたワークとが相対的運動を行
    うように構成し、前記ワークが放電加工されることを特
    徴とするワイヤ放電加工機。
  2. (2)前記ワークを加工液に漬けることができることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のワイヤ放電加
    工機。
  3. (3)前記ワイヤ電極が上下方向移動のアームに取付け
    られたワイヤヘッド上を走行することを特徴とする特許
    請求の範囲第1項に記載のワイヤ放電加工機。
  4. (4)前記テーブルが前記ワイヤ電極の走行方向に対し
    て直角方向に移動できることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項に記載のワイヤ放電加工機。
  5. (5)前記テーブルが前記ワイヤ電極の走行方向に対し
    て直角方向及び上下方向に移動できることを特徴とする
    特許請求の範囲第1項に記載のワイヤ放電加工機。
  6. (6)前記アームが前記ワイヤ電極の走行方向に対して
    直角方向に移動できることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項に記載のワイヤ放電加工機。
  7. (7)前記アームと前記テーブルとの相対的運動はサー
    ボ機能によって達成されることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項に記載のワイヤ放電加工機。
JP10469186A 1986-05-09 1986-05-09 ワイヤ放電加工機 Pending JPS62264826A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130240487A1 (en) * 2010-11-24 2013-09-19 Mitsubishi Electric Corporation Wire-cut electrical discharge machining apparatus and semiconductor wafer manufacturing method
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