JPS62261006A - Surface defect inspecting apparatus - Google Patents
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- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 64
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 60
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 25
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 13
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 241000375392 Tana Species 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000005337 ground glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば自動車の車体パネル塗装面などの曲
面を有する被検査物の表面欠陥を検査するための表面欠
陥検査装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a surface defect inspection device for inspecting surface defects of an object to be inspected having a curved surface, such as a painted surface of an automobile body panel.
車体パネル塗装面などの被検査物の表面における傷、突
起、ブッ、汚れ等の欠陥の検査は、非能率で個人差のあ
る作業１１による目視検査から、指向性の強いレーザ光
を利用した自動検査に移行する傾向にある。Inspection of defects such as scratches, protrusions, bumps, dirt, etc. on the surface of objects to be inspected, such as the painted surface of car body panels, can be performed from visual inspection using inefficient and individual differences to automatic inspection using highly directional laser light. There is a tendency to shift to inspection.
このようなレーザ光を利用した表面欠陥検査装置として
は、第１３図に示すように、光源であるレーザスリット
光発生器１から被検査物の表面である被検査面２にスリ
ット光ＬＳＴを投射して、その反射光ＬＳＴ’ を−粗
鉱散板によるスクリーン乙に投影し、そのスクリーン３
上の像をカメラ部の集光レンズ４によって集光してＣＣ
Ｄ等のラインセンサ５上に結像させて検出することによ
って、被検査面２上の表面欠陥を検出するようにした装
置を本出願人が先に提案している（特願昭５９−８３８
８９号、特願昭５９−８３８９０号）。As shown in FIG. 13, a surface defect inspection device using such a laser beam projects slit light LST from a laser slit light generator 1, which is a light source, onto a surface to be inspected, which is the surface of an object to be inspected. Then, the reflected light LST' is projected onto a screen B made of a coarse ore scattering plate, and the reflected light LST' is
The above image is focused by the condensing lens 4 of the camera section and CC
The present applicant has previously proposed a device that detects surface defects on the surface to be inspected 2 by forming an image on a line sensor 5 such as D (Japanese Patent Application No. 59-838).
No. 89, Japanese Patent Application No. 59-83890).
この表面欠陥検査装置によれば、例えば第１４図に示す
ように、被検査面２上のスリット光投射位置に傷やブツ
等の欠陥ａがあると、レーザスリット光発生器１から投
射されたスリット光ＬＳＴがそこで散乱するため、被検
査面２からの正反射光ＬＳＴ’ を受けるスクリーン３
上には、図示のように欠陥ａに対応するところで切れた
スリット像ＳＬが投影されることになる。According to this surface defect inspection device, as shown in FIG. Since the slit light LST is scattered there, the screen 3 receives the specularly reflected light LST' from the surface to be inspected 2.
As shown in the figure, a slit image SL cut at a location corresponding to the defect a is projected onto the image.
したがって、このスクリーン３上のスリット像ＳＬが投
影される位置を常時撮影している第１３図のラインセン
サ５のビデオ出力信号は、第１５図（ａ）に示すように
なり、同図（ｂ）に示すその包絡線信号Ｖｓとそれを積
分して平均化した比較信号Ｖｒ（スレッショルドレベル
）とを比較して、同図（Ｃ）に示すようにＶ ｓ ＜
Ｖ ｒの時にのみハイレベル゛Ｈ“になり、それ以外で
はローレベル゛Ｌ″になる２値化信号を形成すれば、被
検査面２上の欠陥ａを、この２値化信号のレベルがパＨ
“になることによって検出することができ。Therefore, the video output signal of the line sensor 5 shown in FIG. 13, which constantly photographs the position where the slit image SL is projected on the screen 3, becomes as shown in FIG. ) is compared with the comparison signal Vr (threshold level) obtained by integrating and averaging the envelope signal Vs, and as shown in FIG.
By forming a binary signal that becomes high level "H" only when V r and becomes low level "L" at other times, the level of this binary signal PaH
“Can be detected by becoming.
その欠陥の大きさもこのパルスの幅Ｗによって知ること
ができる。The size of the defect can also be known from the width W of this pulse.
この場合、第１３図のラインセンサ５は集光レンズ４の
合焦位置に配置したスクリーン３で拡散された散乱光Ｓ
Ｃを受光することによって、スクリーン３上の投影スリ
ット像ＳＬを撮像しているため、集光レンズ４の焦点を
常時固定にすることができ、しかも拡散によって投影ス
リット像ＳＬが拡大されるため１表面欠陥の検出分解能
が向上する。In this case, the line sensor 5 shown in FIG.
Since the projected slit image SL on the screen 3 is captured by receiving C, the focus of the condensing lens 4 can be fixed at all times, and the projected slit image SL is expanded by diffusion. Detection resolution of surface defects is improved.
このような表面欠陥検査装置によって車体パネル塗装面
等の大面積の被検査面を検査するには、この装置を例え
ばロボットのハンドに取付けて。In order to inspect a large surface to be inspected, such as a painted surface of a car body panel, using such a surface defect inspection device, the device is attached to, for example, a robot hand.
被検査面に対して常に一定の距離で且つスリット光の入
射角度も一定になるようにして走査すればよい。It is sufficient to scan the surface to be inspected at a constant distance and at a constant angle of incidence of the slit light.
その場合、レーザスリット光発生器１とスクリーン３と
被検査面２との相対位置関係を１例えば第１６図に実線
で示す状態にｍｍして、スリット光ＬＳＴの被検査面２
による反射光が、スクリーン３上のラインセンサによっ
て撮像し得る範囲（以下「検出可能範囲」という）３ａ
内にスリット像ＳＬを形成するようにする。In that case, the relative positional relationship between the laser slit light generator 1, the screen 3, and the surface to be inspected 2 is set to 1 mm, for example, as shown by the solid line in FIG.
A range (hereinafter referred to as "detectable range") 3a in which the reflected light can be imaged by the line sensor on the screen 3
A slit image SL is formed within the slit image SL.
しかし、走査中に被検査面２が実線で示す正規の状態に
対して図に破線で示す被検査面２′のように傾斜（傾斜
角度α、β）すると、スリット光ＬＳＴの被検査面への
入射角度及び反射位置が変化し、スクリーン３上に形成
されるスリット像ＳＬ’ が、正真の状態でのスリット
像ＳＬに対してずれて二次元的に傾斜し、検出可能範囲
３ａから外れてしまうため検査不能になる。However, during scanning, if the surface to be inspected 2 is tilted (inclination angles α, β) as shown by the broken line in the figure with respect to the normal state shown by the solid line, the surface to be inspected by the slit light LST is The incident angle and reflection position of the slit image SL' change, and the slit image SL' formed on the screen 3 deviates from the slit image SL in the true state, tilts two-dimensionally, and deviates from the detectable range 3a. This makes it impossible to test.
そのため、ある程度の精度で常に正規の相対位置関係を
保つように補正を行なう必要がある。Therefore, it is necessary to perform correction so as to always maintain a normal relative positional relationship with a certain degree of accuracy.
そこで、このスリット像ＳＬ又はＳＬ’ と交差する方
向に補正用の複数のラインセンサを配置して、その受光
点すなわち交差点位置の差からスリット像のずれ量及び
傾斜（回転）角度を検出し、その検出結果によって被検
査面２に対する検査装置の姿勢を補正するようにしてい
た。Therefore, a plurality of line sensors for correction are arranged in the direction intersecting this slit image SL or SL', and the amount of deviation and inclination (rotation) angle of the slit image are detected from the difference in the light receiving points, that is, the intersection positions. The attitude of the inspection device with respect to the surface to be inspected 2 is corrected based on the detection result.
しかしながら、このような表面欠陥検査装置にあっては
、ラインセンサの検出ライン（受光素子列）が直線であ
るため、被検査物の表面が略平坦なものの検査に限られ
、せいぜい自動車の外板などの比較的曲率の小さな曲面
の欠陥検査にしか適用できないという問題点があった。However, in such a surface defect inspection device, since the line sensor's detection line (light receiving element array) is a straight line, it is limited to inspection of objects whose surfaces are approximately flat, and at most the outer panel of an automobile. There is a problem in that it can only be applied to defect inspection of curved surfaces with relatively small curvature, such as.
この発明は、このような問題点を解決して、ある程度曲
率の大きな曲面の欠陥検査にも使用できる表面欠陥検査
装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve these problems and provide a surface defect inspection device that can be used for defect inspection of curved surfaces with a certain degree of curvature.
そのためこの発明は、被検査物の表面にレーザスリット
光を投射してその反射光を拡散板によるスクリーン上に
投影し、そのスリット状の散乱光をラインセンサによっ
て検出することによって被検査物の表面の欠陥を検査す
る表面欠陥検査′ＪＡ置において、
上記スクリーンからのスリット状の散乱光をビームスプ
リッタによって２方向に分光して、第１の分光方向にそ
の第１のスリット状分光を検出する欠陥検出用ラインセ
ンサをそのスリット方向に沿って配置し、第２の分光方
向にその第２のスリット状分光との交差位置を検出する
３個以上の補正用ラインセンサを間隔を置いて互いに平
行に配置すると共に、この各補正用ラインセンサによる
検出位置データから被検査物の表面形状の曲率を算出し
て、その曲率に応じて欠陥検出用ラインセンサの検出幅
を変更する手段を設けることにより、上記の目的を達成
するものである。Therefore, this invention projects a laser slit light onto the surface of the object to be inspected, projects the reflected light onto a screen formed by a diffuser plate, and detects the slit-shaped scattered light with a line sensor. In the surface defect inspection 'JA system, the slit-shaped scattered light from the screen is split into two directions by a beam splitter, and the first slit-shaped scattered light is detected in the first spectral direction. A detection line sensor is arranged along the slit direction, and three or more correction line sensors that detect the intersection position with the second slit-like spectral light in the second spectral direction are spaced apart and parallel to each other. In addition, by providing a means for calculating the curvature of the surface shape of the object to be inspected from the detection position data of each correction line sensor and changing the detection width of the defect detection line sensor according to the curvature, This achieves the above objectives.
３１１１以上の補正用ラインセンサによる第２のスリッ
ト状分光の各検出位置の差から被検査物の表面形状の曲
率を算出し、その曲率に応じて欠陥検出用ラインセンサ
の検出幅すなわち視野幅を検出可能な最大幅に変更する
ので１曲率の大きい被検査面でも検出幅を狭くすること
により検査可能になる。The curvature of the surface shape of the object to be inspected is calculated from the difference in each detection position of the second slit-like spectroscopy by the correction line sensor of 3111 or more, and the detection width, that is, the field of view width of the defect detection line sensor is determined according to the curvature. Since the detection width is changed to the maximum detectable width, even a surface to be inspected with a large curvature can be inspected by narrowing the detection width.
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第２図は、この発明による表面欠陥検査装置によって自
動車のドアパネルの表面欠陥を検査している状態を示す
斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a surface defect inspection apparatus according to the present invention is inspecting a door panel of an automobile for surface defects.
この図において、６は表面欠陥検査装置の検出ヘッドで
あり、取付盤７を介して走査装置としてのロボット８の
アーム先端部に取付けられている。In this figure, reference numeral 6 denotes a detection head of a surface defect inspection device, which is attached via a mounting plate 7 to the tip of an arm of a robot 8 serving as a scanning device.
この検出ヘッド６は、取付盤７に固定された基部９と、
この基部９に取付けられた第２の調整機構１０と、基部
９に対してブラケット１１．１１を介して矢示θｙ力方
向回動可能に取付けられた可動ステー１２と、この可動
ステー１２の裏面側に矢示Ａ方向に回動可能に取り付け
られた第１の調整機構１３と、可動ステー１２の前面一
端部に軸１４を介して矢示θＸ方向に回動可能に取付け
られたレーザ発生器１５と、可動ステー１２の前面他端
部に固定して取付けられた検出器１日と。This detection head 6 includes a base 9 fixed to a mounting board 7,
A second adjustment mechanism 10 attached to this base 9, a movable stay 12 attached to the base 9 via a bracket 11.11 so as to be rotatable in the arrow θy force direction, and a back surface of this movable stay 12. A first adjustment mechanism 13 is attached to the side so as to be rotatable in the direction of arrow A, and a laser generator is attached to one end of the front surface of the movable stay 12 so as to be rotatable in the direction of arrow θX via a shaft 14. 15, and a detector fixedly attached to the other end of the front surface of the movable stay 12.
可動ステー１２の下端中央部付近に取付けられた欠陥マ
ーカ１７等によって構成されている。It is composed of a defect marker 17 and the like attached near the center of the lower end of the movable stay 12.
第２の調整機構１０は、タコジェネレータ１８を取付け
た駆動モータ１Ｓと、連結部２０を介してこの駆動モー
タＩＳによって回転される平歯車２１と、この平歯車２
１に嗜み合って軸２２を矢示θ１方向に回転させる平歯
車２３等によって構成され、駆動モータ１Ｓの回転を制
御することによって、軸２２に固定したブラケット１１
を介して可動ステー１２を基部日に対して矢示Ｏｙ力方
向回動させることができる。The second adjustment mechanism 10 includes a drive motor 1S to which a tacho generator 18 is attached, a spur gear 21 rotated by the drive motor IS via a connecting portion 20, and a spur gear 21.
The bracket 11 is configured by a spur gear 23 and the like that rotates the shaft 22 in the direction of the arrow θ1 by engaging the bracket 11
The movable stay 12 can be rotated in the force direction indicated by the arrow Oy with respect to the base part.
また第１の調整機構１３は、タコジェネレータ２４を取
付けた駆動モータ２Ｓと、この駆動モータ２５によって
回転されるボールネジ２６と、このボールネジ２６の回
転によって送られる駒部２７と、この駒部２７に回転自
在に連結され、レーザ発生器１５の軸１４に固着された
レバー２８と、ボールネジ２６を支持する支持枠２Ｓ等
によって構成され、この支持枠２９が可動ステー１２の
裏面側に矢示Ａ方向に回転可能に取り付けられている。The first adjustment mechanism 13 also includes a drive motor 2S to which a tacho generator 24 is attached, a ball screw 26 rotated by the drive motor 25, a bridge portion 27 that is fed by the rotation of the ball screw 26, and a bridge portion 27 that is rotated by the rotation of the ball screw 26. It consists of a lever 28 that is rotatably connected and fixed to the shaft 14 of the laser generator 15, a support frame 2S that supports the ball screw 26, etc., and this support frame 29 is attached to the back side of the movable stay 12 in the direction of arrow A. is rotatably attached to.
そして、駆動モータ２５の回転を制御することによって
、軸１４を矢示θ２方向に回転させ、それによってレー
ザ発生器１５を矢示θＸ方向に回動させることができる
。By controlling the rotation of the drive motor 25, the shaft 14 can be rotated in the direction of arrow θ2, thereby rotating the laser generator 15 in the direction of arrow θX.
レーザ発生！Ｉｓは１例えばＨｅ−Ｎｅレーザ発生器で
あり１発生したレーザビーム光をレーザスリット光ＬＳ
に変換して、被検査物（この例では自動車用ドアパネル
３０の塗装面３０ａ）に投射するレンズ系を具備してい
る。Laser generation! Is is 1, for example, a He-Ne laser generator, and the generated laser beam light is converted into a laser slit light LS.
The lens system is equipped with a lens system that converts the image into an image and projects the image onto the object to be inspected (in this example, the painted surface 30a of the automobile door panel 30).
検出器１６は、レーザ発生器１５から投射されて塗装面
３０ａから正反射したレーザスリット光ＬＳを投影して
拡散するすりガラス等の透過型の拡散板によるスクリー
ン３１を先端に固着した検出筒３２と、そのスクリーン
３１上の予め定めたライン状の部位を撮像する集光レン
ズ３３ａ及びラインセンサ等を有するカメラ部３３とか
らなり、その詳細は第１図（Ａ）（Ｂ）によって後述す
る。The detector 16 includes a detection tube 32 having a screen 31 fixed to its tip, which is a transmission type diffuser plate such as ground glass, which projects and diffuses the laser slit light LS projected from the laser generator 15 and specularly reflected from the painted surface 30a. , and a camera section 33 having a condensing lens 33a that images a predetermined line-shaped portion on the screen 31, a line sensor, etc., the details of which will be described later with reference to FIGS. 1(A) and 1(B).
１７は欠陥マーカであり、レーザスリット光ＬＳが照射
された塗装面３０ａの位置にブッや傷等の欠陥があって
その存在が検出された時に、レーザスリット光ＬＳと干
渉しないように欠陥の近傍に拭き取り可能なコンパウン
ド等のマーキング剤を吹き付けて、欠陥の存在を示すマ
ークを付ける。Reference numeral 17 is a defect marker, and when a defect such as a bump or scratch is detected at the position of the painted surface 30a irradiated with the laser slit light LS, it is placed near the defect so as not to interfere with the laser slit light LS. A marking agent such as a wipeable compound is sprayed on the surface of the surface to mark the presence of defects.
次に、第１．第２の調整機構の詳細及びその作用につい
て第３図乃至第６図によって説明する。Next, the first. Details of the second adjustment mechanism and its operation will be explained with reference to FIGS. 3 to 6.
なお、第３図は検出ヘッド６の正面図、第４図は第３図
の右側面図、第５図は第１の調整機構１３の正面図、第
Ｓ図は第２の調整機構１０の下面図である。3 is a front view of the detection head 6, FIG. 4 is a right side view of FIG. 3, FIG. 5 is a front view of the first adjustment mechanism 13, and FIG. S is a front view of the second adjustment mechanism 10. It is a bottom view.
先ず、第３図及び第４図に示すように、レーザ発生器１
５と検出器１日とは、レーザ発生器１５の光軸り、と検
出器１６側の光軸であるカメラ部３３の集光レンズ３３
．の光軸Ｌ２が、同一平面内で交差角δで交差するよう
に可動ステー１２に取付けである。First, as shown in FIGS. 3 and 4, the laser generator 1
5 and detector 1 are the optical axis of the laser generator 15 and the condenser lens 33 of the camera unit 33, which is the optical axis on the detector 16 side.
．． are attached to the movable stay 12 so that their optical axes L2 intersect at an intersection angle δ in the same plane.
そして、第１の調整機構１３において、駆動モータ２５
によってボールネジ２６が回転して駒部２７が矢示Ｂ方
向に送られると、第５回に示すブラケット３４を介して
軸３５により可動ステー１２に対して回動自在に枢支し
た支持枠２９が軸３Ｓを中心に矢示Ａ方向に回動しつつ
、駒部２７に＃１３６で回動自在に連結され、軸１４（
第４図）に固定して連結したレバー２８が軸１４を中心
に矢示Ｃ方向に回動するため、第４図に示すように可動
ステー１２の裏面に取付けたブラケット３７に軸受を介
して回転自在に取付けられ、レーザ発生器１５を固定し
た固定盤３８を一端に固着した軸１４が、矢示θ２方向
に回転するようになり、それによってレーザ発生器１５
が第３図に示すように矢示ＯＸ方向に回動する。In the first adjustment mechanism 13, the drive motor 25
When the ball screw 26 rotates and the bridge part 27 is sent in the direction of arrow B, the support frame 29 rotatably supported on the movable stay 12 by the shaft 35 via the bracket 34 shown in the fifth section is rotated. The shaft 14 (
Since the lever 28 fixedly connected to the lever 28 (Fig. 4) rotates in the direction of arrow C around the shaft 14, it is attached to the bracket 37 attached to the back side of the movable stay 12 via a bearing as shown in Fig. 4. The shaft 14, which is rotatably mounted and has a fixed plate 38 to which the laser generator 15 is fixed, is fixed at one end, and rotates in the direction of arrow θ2.
rotates in the direction of arrow OX as shown in FIG.
このように、レーザ発生器１５が矢示θＸ方向に回動す
ると、その光軸Ｌ１と検出器１日側の光軸Ｌ２との交差
角δが調整される。なお、この第１の調整機構１３にお
ける駆動モータ２５は、後述する補正用ラインセンサの
検出結果に基づいて回転制御されるが、その詳細は後述
する。In this way, when the laser generator 15 rotates in the direction of the arrow θX, the intersection angle δ between its optical axis L1 and the optical axis L2 on the 1st side of the detector is adjusted. Note that the rotation of the drive motor 25 in the first adjustment mechanism 13 is controlled based on the detection result of a correction line sensor, which will be described later, and the details thereof will be described later.
次に、第２の調整機構１０において、駆動モータ１りに
よって平歯車２１が回転すると、第６図に示すように基
部９に軸受を介して回転自在に枢支され、一端に平歯車
２１に歯合する平歯車２３を、軸まわりにブラケット１
１．１１を夫々固着した軸２２が矢示０１方向に回転す
るため、ブラケット１１，１１を取付けた可動ステー１
２が第４図に示すように矢示θｙ力方向回動する。Next, in the second adjustment mechanism 10, when the spur gear 21 is rotated by the drive motor 1, the spur gear 21 is rotatably supported on the base 9 via a bearing as shown in FIG. The meshing spur gear 23 is placed around the shaft with a bracket 1.
Since the shaft 22 to which the brackets 11 and 11 are fixed rotates in the direction of the arrow 01, the movable stay 1 to which the brackets 11 and 11 are attached rotates.
2 rotates in the direction of the force indicated by the arrow θy, as shown in FIG.
それによって、検出ヘッド６全体が第４図の矢示θｙ力
方向回動し、レーザ発生器１５と検出器１日の光軸Ｌ１
＋Ｌ２によって形成される平面の塗装面３０ａに対する
傾斜角εが調整される。As a result, the entire detection head 6 rotates in the force direction indicated by the arrow θy in FIG. 4, and the optical axis L1 of the laser generator 15 and the detector
The inclination angle ε of the plane formed by +L2 with respect to the painted surface 30a is adjusted.
なお、第２の調整機！Ｒ１０における駆動モータ１９は
、傾斜角εがε＝９０°、すなわち光軸Ｌｌ＋Ｌ２によ
って形成される平面が塗装面３０ａの法平面となるよう
に、やはり後述する位置補正用ラインセンサの検出結果
に基づいて回転制御されるが、その詳細も後述する。In addition, the second adjustment machine! The drive motor 19 in R10 is driven so that the inclination angle ε is ε=90°, that is, the plane formed by the optical axis Ll+L2 is the normal plane of the painted surface 30a, also based on the detection result of the position correction line sensor described later. The rotation is controlled by the rotation control, the details of which will be described later.
次に、検出器１６の内部構造及び光学系を第１図（Ａ）
、（Ｂ）を参照して説明する。Next, the internal structure and optical system of the detector 16 are shown in FIG.
, (B).
カメラ部３３内には、集光レンズ３Ｂ、の光軸上にビー
ムスプリッタ３３ｂを設けており、塗装面Ｂｏａからの
反射レーザスリット光が拡散スクリーン３１上に投影拡
散されることによって得られるスリット像から、集光レ
ンズ３３ａを介して入射されるスリン１〜状の散乱光を
第１の分光方向Ｕ里と第２の分光方向ｕ２との２方向に
分光する。Inside the camera section 33, a beam splitter 33b is provided on the optical axis of the condensing lens 3B, and a slit image is obtained by projecting and diffusing the reflected laser slit light from the painted surface Boa onto the diffusion screen 31. , the scattered light in the form of Surin 1 which is incident through the condenser lens 33a is separated into two directions: a first spectral direction Uri and a second spectral direction U2.
そして、このビームスプリッタ３３ｂによる第１の分光
方向ｕ１に対するセンサ配置面３３ｃには、ビームスプ
リッタ３３ｂからの第１のスリット状分光を検出するべ
く、ビームスプリッタ３３ｂ及び集光レンズ３３ａを介
して拡散スクリーン３１上の予め定めたライン状の部位
３１ａを撮像する例えば２０４８ビツト（画素）の欠陥
検出用ラインセンサ（ＣＣＤ又はＭＯＳ型のＰＤＡ）Ｔ
−［。Then, a diffusion screen is provided on the sensor arrangement surface 33c for the first spectral direction u1 by the beam splitter 33b via the beam splitter 33b and the condensing lens 33a in order to detect the first slit-shaped spectral light from the beam splitter 33b. For example, a 2048-bit (pixel) defect detection line sensor (CCD or MOS type PDA) T that images a predetermined line-shaped portion 31a on the 31
−[.
をスリット方向に沿って配置しである６なお、当然のこ
とではあるが、ラインセンサＨｏと拡散スクリーン３１
とは集光レンズ３３ａの合焦位置にある。The line sensor Ho and the diffusion screen 31 are arranged along the slit direction.
is the focal position of the condenser lens 33a.
また、ビームスプリッタ３３ｂによる第２の分光方向ｕ
２に対するセンサ配置面３３ｄ （センサ配置面３３ｃ
と３３ｄは互いに直交している）には、例えば２０４８
ビツト（画素）の３個の補正用ラインセンサ（ＣＣＤ又
はＭＯＳ型のＰＤＡ）Ｈｌ ；Ｈ２ｒ Ｈ３を互いに平
行に、且つ各ラインセンサＦ（、−Ｈ，とビームスプリ
ッタ３３ｂからの第２のスリット状分光とが互いに交差
（この実施例では直交）するように配置している。Moreover, the second spectral direction u by the beam splitter 33b
2 sensor placement surface 33d (sensor placement surface 33c
and 33d are orthogonal to each other), for example, 2048
Three bit (pixel) correction line sensors (CCD or MOS type PDA) Hl; They are arranged so that their spectra intersect with each other (orthogonally in this embodiment).
また、補正用ラインセンサＨ！〜Ｈ３とスクリーン３１
とはやはり集光レンズ３Ｂ、の合焦点位置にある。そし
て、ラインセンサＨＯの受光部の配列に沿った基準線が
ラインセンサＨ１〜Ｈ３の各中央画素（１０２４ビツト
目）と交差する位置関係となっている。In addition, line sensor H for correction! ~H3 and screen 31
This is also the focal point position of the condenser lens 3B. The reference line along the arrangement of the light receiving parts of the line sensor HO intersects each central pixel (1024th bit) of the line sensors H1 to H3.
次に、この実施例による被検査物の表面形状の曲率算出
原理を第７図及び第８図によって説明する。Next, the principle of calculating the curvature of the surface shape of the object to be inspected according to this embodiment will be explained with reference to FIGS. 7 and 8.
第７図に示す３個の補正用ラインセンサＨ１＋Ｈ２＋Ｈ
３に対して、第１図のビームスプリッタ３３ｂからの第
２のスリット状分光によるスリット像ＳＬ’ が図示の
ように湾曲して形成されたとする。Three correction line sensors H1+H2+H shown in FIG.
3, suppose that the slit image SL' by the second slit-like spectroscopy from the beam splitter 33b in FIG. 1 is formed in a curved manner as shown in the figure.
この時の各ラインセンサＨ１＋ Ｈ２＊ Ｈ３によるス
リット像ＳＬ’の検出位置をＡ、Ｃ，Ｂ （ビット）と
し、各ラインセンサの取付ピッチを第８図に示すように
ｆｌｏとすれば、このスリット像ＳＬ’の半径Ｒは１次
式によって求められる。If the detection positions of the slit image SL' by each line sensor H1+H2*H3 at this time are A, C, B (bit), and the mounting pitch of each line sensor is flo as shown in Fig. 8, then this slit The radius R of the image SL' is determined by a linear equation.
Ｒ＝Ｃ□／２ｓｉｎθ ・・・■ただし、第８
図に示す「０と「１を次式により求めると。R=C□/2sinθ...■However, the 8th
``0'' and ``1'' shown in the figure are calculated using the following formula.
ｒｏ＝ｋ（ＣＢ）
ｒｌ ＝ｋ（Ｃ−Ａ）
（ｋはラインセンサのビットと長さの換算定数）Ａ−８
間の長さｃｏは次式により算出される。ro=k(CB) rl=k(C-A) (k is a conversion constant for line sensor bits and length) A-8
The length co between them is calculated by the following formula.
Ｃ□ ＝ ４０（３” ＋（ｒ□ ｒｌ下 ・・・
■ここで、第８図に示すように角度α、βをとると。C□ = 40 (3” + (r□ rl bottom...
■Here, if we take angles α and β as shown in Figure 8.
ｔａｎａ＝ （ｒｏ −ｒｌ ）７２ｎ。tana=(ro-rl)72n.
ｔ−ａｎβ＝ ｒ ｏ ／ ｎ 。t−anβ=r o / n .
θ＝（β−α）×２ であり、ｓｉｎθ は次式により算出される。θ=(β−α)×2 , and sin θ is calculated by the following equation.
上記■式と０式によってそれぞれ求められるＣ、とｓｉ
ｎθを、■式に入れて算出されるＲが被検査物の表面の
曲率半径を示す。なお、その逆数（１／Ｒ）が曲率であ
る。C and si obtained by the above equations ■ and 0, respectively
R, which is calculated by putting nθ into equation (2), indicates the radius of curvature of the surface of the object to be inspected. Note that the reciprocal number (1/R) is the curvature.
次に、このようにして算出したＲに応じて、欠陥検出用
ラインセンサＨｏの検出幅すなわち視野幅の変更と、検
出ヘッドの姿勢補正方法について第Ｓ図乃至第１１図に
よって説明する。Next, a method of changing the detection width of the defect detection line sensor Ho, that is, the field of view width, and a method of correcting the posture of the detection head in accordance with R calculated in this manner will be described with reference to FIGS. S to 11.
第Ｓ図（イ）は、欠陥検出用ラインセンサＨ，を補正用
ラインセンサＨ！〜Ｈ３と同一面に移動したと仮定して
破線で示し、その各ラインセンサＨ８−Ｈ３の検出ライ
ンの配置関係を同図（ロ）及び（ハ）に模式的に示して
おり、欠陥検出用ラインセンサＨ，と補正用ラインセン
サＨ２とは、中心の１０２４ビツト目で直交する関係に
なる。Figure S (a) shows the defect detection line sensor H and the correction line sensor H! ~H3 is assumed to have moved to the same plane as the dashed line, and the arrangement relationship of the detection lines of each line sensor H8-H3 is schematically shown in Figures (B) and (C). The line sensor H and the correction line sensor H2 are orthogonal to each other at the 1024th bit in the center.
図中ＳＬ’は被検査面からの反射スリット光によるスリ
ット像で、（イ）は被検査面の曲面のＲが小さい場合、
（ロ）は同じくＲが大きい場合の例を示す。Ｑｌ、Ｑ３
は位置補正用ラインセンサＨ１＋Ｈ３によるスリット像
ＳＬ’の検出位置（ビット）をそれぞれ示す。Ｓ Ｗは
視野幅、Ｄ。In the figure, SL' is a slit image by the reflected slit light from the surface to be inspected, and (a) is when the curved surface R of the surface to be inspected is small.
(b) also shows an example where R is large. Ql, Q3
indicates the detection position (bit) of the slit image SL' by the position correction line sensors H1+H3, respectively. SW is visual field width, D.
はオフセット値である。is the offset value.
そして、前述の曲率半径Ｒの大きさに対してこの視野幅
Ｓｗとオフセント値Ｄｏを例えば第１０図に示すように
段階的に変更する。Then, the visual field width Sw and the offset value Do are changed stepwise with respect to the above-mentioned radius of curvature R, as shown in FIG. 10, for example.
すなわち、被検査面の曲面の曲率半径が小さくなる（曲
率は大きくなる）に従って、視野幅Ｓｗ■■■のように
順次小さくし、オフセット値は（◇■■ように順次大き
くする。That is, as the radius of curvature of the curved surface of the surface to be inspected becomes smaller (the curvature becomes larger), the field of view width Sw■■■ is gradually decreased, and the offset value is gradually increased as (◇■■).
さらに、第４図の傾斜角εを調整するための傾斜角調整
データＤｙと、第３図の交差角δを調整するための交差
角調整データＤｘをそれぞれ次式によって算出する。Further, inclination angle adjustment data Dy for adjusting the inclination angle ε in FIG. 4 and crossing angle adjustment data Dx for adjusting the crossing angle δ in FIG. 3 are calculated by the following equations.
Ｄ Ｖ ＝Ｑ３−Ｑｔ ・・
・（１）Ｄｘ＝１０２４ （Ｑ３ ＋Ｑｌ）／２＋Ｄ
Ｏ＝・ＬＨ’この傾斜角調整データＤｙは、スリット（
１４Ｓ Ｌ ’の傾き、すなわち第２図乃至第４図に示
した検出ヘッド６のドアパネルの塗装面３Ｏａ （被検
査面）に対する傾きを示すデータであり、この値がゼロ
になるように第２の調整機構１０の駆動モータ１日を回
転させて検出・＼ラドＳの傾きを補正する。D V =Q3-Qt...
・(1) Dx=1024 (Q3 +Ql)/2+D
O=・LH' This inclination angle adjustment data Dy is the slit (
14S L' is data indicating the inclination of the detection head 6 shown in FIGS. 2 to 4 with respect to the painted surface 3Oa (surface to be inspected) of the door panel. The drive motor of the adjustment mechanism 10 is rotated to correct the inclination of the detection/rad S.
また、交差角調整データｒ）Ｘは、スリット像ＳＬ’が
欠陥検出用ラインセンサＨｏに対して平行移動する方向
の位置ずれ量、すなわち検出ヘッド６とドアパネルの塗
装面３０ａ（被検査面）との間隔の変化によるデータで
あり、第１の調整機＄４１３の駆動モータ２５を回転さ
せて、光軸Ｌ１とＬ２のなす角δを調整し、このデータ
Ｄｘがオフセット値Ｄｏになるようにレーザ発生器１５
の角度を補正する。In addition, the intersection angle adjustment data r) This data is based on the change in the interval between the two, and by rotating the drive motor 25 of the first adjustment device $413, the angle δ formed between the optical axes L1 and L2 is adjusted, and the laser is adjusted so that this data Dx becomes the offset value Do. Generator 15
Correct the angle of
このように、検出ヘッドの姿勢を補正して前述の視野幅
切換えを行なうことにより、第９図（ロ）（ハ）に示す
ように少なくとも視野幅ＳＷ内では。In this way, by correcting the posture of the detection head and performing the above-mentioned field width switching, at least within the field of view width SW, as shown in FIGS. 9(b) and 9(c).
スリット像ＳＬ’ が欠陥検出用ラインセンサＨ０の検
出ライン上に略載るようになる。The slit image SL' comes to be approximately on the detection line of the defect detection line sensor H0.
次に、この表面欠陥検査装置の制御系の一例を第１１図
に示し、これを説明する。Next, an example of the control system of this surface defect inspection apparatus is shown in FIG. 11 and will be explained.
この制御系は、センサ駆動回路４０ａ〜４３ａ。This control system includes sensor drive circuits 40a to 43a.
２値化回路４０ｂ２位置カウンタ４１ｂ〜４３ｂと、制
御五ニット４４と、サーボアンプ５０゜５１等によって
構成されている。It is composed of a binarization circuit 40b, two position counters 41b to 43b, a control unit 44, a servo amplifier 50, 51, and the like.
そして、制御ユニット４４は、演算部４５ａ。The control unit 44 includes a calculation section 45a.
姿勢補正部４５ｂ、及び視野切換部４５ｃの機能をなす
第１のマイクロコンピュータ４５と、欠陥検出部の機能
をなす第２のマイクロコンピュータ４６と、Ｄ／Ａ変換
器４７．４８及び呂カインタフェース回路（ドライバ）
４９がらなり、第２図のロボット８の制御装置との間で
図示のような信号のやりとりをしている。A first microcomputer 45 that functions as an attitude correction section 45b and a field of view switching section 45c, a second microcomputer 46 that functions as a defect detection section, D/A converters 47 and 48, and an interface circuit. (driver)
49, and exchanges signals as shown with the control device of the robot 8 in FIG.
２５．２４は第２図乃至第６図に示した第１の調Ｍ機楕
１３の駆動モータとその回転速度を検出するためにタコ
ジェネレータ、１９．１８は同じく第２の調整機構１ｏ
の駆動モータとその回転速度を検出するタコジェネレー
タである。25.24 is a tachogenerator for detecting the drive motor of the first adjustment mechanism 13 shown in FIGS. 2 to 6 and its rotational speed, and 19.18 is the second adjustment mechanism 1o.
This is a tachogenerator that detects the drive motor and its rotation speed.
ｔた。５３は欠陥マーカ１７を駆動するエアシリンダ１
７ａへの圧縮空気供給路を開閉する電磁弁である。It was. 53 is an air cylinder 1 that drives the defect marker 17
This is a solenoid valve that opens and closes the compressed air supply path to 7a.
次に、この制御系の動作を第１２図も参照して説明する
。Next, the operation of this control system will be explained with reference to FIG. 12 as well.
制御ユニット４４の第１のマイクロコンピュータ４５か
ら計測指令ＳＡが出力されると、各センサ駆動回路４１
ａ〜４３ａが３個の補正用ラインセンサＨ１””’Ｈ３
をそれぞれ駆動して、それぞれ２０４８ビツトの検出信
号を読出し１位置カウンタ４１ｂ〜４３ｂにハイレベル
となっているビットまでのビット数をカウントさせる。When the measurement command SA is output from the first microcomputer 45 of the control unit 44, each sensor drive circuit 41
A to 43a are three correction line sensors H1""'H3
are respectively driven to read the 2048-bit detection signal and cause the 1-position counters 41b to 43b to count the number of bits up to the bit that is at high level.
この各位置カウンタ４１ｂ〜４３ｂによるカウントデー
タＱ１．Ｑ２ 、Ｑａが、第７図及び第８図において各
ラインセンサＨ１＋Ｈ２＋Ｈ３とスリット像ＳＬ’ と
の交差位置Ａ、Ｃ，Ｂに相当する。Count data Q1. from each position counter 41b to 43b. Q2 and Qa correspond to the intersection positions A, C, and B of each line sensor H1+H2+H3 and the slit image SL' in FIGS. 7 and 8.
そこで、第１のマイクロコンピュータ４５は、第１２図
に示すフローチャートを示すように動作して、この各カ
ウントデータＱｔ 、Ｑ２ 、Ｑａを読込んで、演算部
４５ａにおいて前述の式■、■及び■の演算を行なって
（但し、Ａ＝Ｑｔ １Ｂ＝Ｑ３ ｔＣ＝Ｑ２ ） 、塗
装面３ａの曲率半径Ｒを算出する。Therefore, the first microcomputer 45 operates as shown in the flowchart shown in FIG. 12, reads each count data Qt, Q2, and Qa, and calculates the above-mentioned equations By performing calculations (A=Qt 1B=Q3 tC=Q2 ), the radius of curvature R of the painted surface 3a is calculated.
そして、そのＲの値に応じて、予めメモリに格納しであ
る第１１図に示したようなテーブルにより、視野幅Ｓ
Ｗを決定し、オフセット値Ｄｏも決定する。さらに、前
述の式■の演算により傾斜角調整データＤｙを、弐〇の
演算により交差調整データＤｘをそれぞれ計算する。Then, according to the value of R, the field of view width S
W is determined, and an offset value Do is also determined. Furthermore, the inclination angle adjustment data Dy is calculated by the calculation of the above-mentioned formula (2), and the cross adjustment data Dx is calculated by the calculation of the equation (2).
そして、姿勢補正部４Ｓｂがら交差角調整データＤｘと
傾斜角調整データＤｙを出力し、それをそれぞれＤ／Ａ
変換器４７．４８によって電圧信号Ｖｘ、Ｖｙ （補
正方向により正負がある）に変換する。Then, the posture correction unit 4Sb outputs the intersection angle adjustment data Dx and the inclination angle adjustment data Dy, and transfers them to the D/A.
Converters 47 and 48 convert it into voltage signals Vx and Vy (positive and negative depending on the correction direction).
９の電圧信号Ｖｘにより、サーボアンプ５ｏがタコジェ
ネレータ２４がら速度フィードバックをかけられながら
第１の調整機構１３の駆動モータ２５を回転させ、第２
図及び第３図に示したレーザ発生器１５を回動させて光
軸り、とＬ２の交差角δを補正し、Ｄｘ”ＤＯになるよ
うにする。9, the servo amplifier 5o rotates the drive motor 25 of the first adjustment mechanism 13 while receiving speed feedback from the tacho generator 24, and
The laser generator 15 shown in the figures and FIG. 3 is rotated to correct the intersection angle δ between the optical axis and L2 so that it becomes Dx''DO.
また、電圧信号ｖｙにより、サーボアンプ５１がタコジ
ェネレータ１日から速度フィードバックをかけられなが
ら第２の調整機構１０の駆動モータ１日を回転させ、検
出ヘッド６全体を回動させて傾斜角Ｅを補正し、Ｄｙ＝
Ｏになるようにする。Further, in response to the voltage signal vy, the servo amplifier 51 rotates the drive motor 1 of the second adjustment mechanism 10 while receiving speed feedback from the tacho generator 1, and rotates the entire detection head 6 to adjust the inclination angle E. Corrected, Dy=
Make it O.
このようにして検出ヘッド６の姿勢補正が完了すると、
ロボット側からの検出指令により、制御ユニット４４の
第２のマイクロコンピュータ（欠陥検出部）４６がセン
サ駆動回路４０ａへ計」１１指令ＳＢを出力する。When the posture correction of the detection head 6 is completed in this way,
In response to the detection command from the robot side, the second microcomputer (defect detection section) 46 of the control unit 44 outputs a total of 11 commands SB to the sensor drive circuit 40a.
それにより、センサ駆動検出回路４０ａは欠陥検出用ラ
インセンサ■（。を駆動して２０４８ビツトのビデオ信
号を逐次読出し、２値化回路４０ｂに入力して第１５図
によって説明した従来例と同様に浮＠２値化処理して、
塗装面３０ａにおけるブツ等の欠陥の大きさに応じた幅
Ｗ（欠陥がない場合はＷ＝０）のパルスを含む検出信号
Ｓｐを出力する。As a result, the sensor drive detection circuit 40a drives the defect detection line sensor (. Floating@binarization processing,
A detection signal Sp containing a pulse having a width W (W=0 when there is no defect) corresponding to the size of defects such as spots on the painted surface 30a is output.
第２のマイクロコンピュータ４６は、第１のマイクロコ
ンピュータ４５から入力された前述の視野切換信号に応
じて、検出信号Ｓｐの有効範囲を制限し、その有効範囲
内にパルスがあった場合に、そのパルス幅Ｗが予め検出
欠陥幅指令によって設定されている幅より大きいか否か
を判別し、大きい時にのみ欠陥検出信号ＳＭを出力する
。The second microcomputer 46 limits the effective range of the detection signal Sp in accordance with the above-mentioned visual field switching signal inputted from the first microcomputer 45, and when a pulse is within the effective range, the second microcomputer 46 limits the effective range of the detection signal Sp. It is determined whether the pulse width W is larger than a width preset by a detected defect width command, and only when it is larger, a defect detection signal SM is output.
この欠陥検出信号ＳＭが出力されると、出力インタフェ
ース回路４日が電磁弁駆動信号を出力し。When this defect detection signal SM is output, the output interface circuit 4 outputs a solenoid valve drive signal.
それによって電磁弁５３が切換わってエアシリンダｉ７
ａに圧縮空気を送り込み、欠陥マーカ１７のノズルが開
いて塗装面３０．の欠陥位置近傍にコンパウンド等のマ
ーキング材を吹き付ける。As a result, the solenoid valve 53 is switched and the air cylinder i7
Compressed air is sent to a, the nozzle of the defect marker 17 opens, and the painted surface 30. Spray marking material such as compound near the defect location.
このようにして、姿勢補正と視野切換並びに表面欠陥検
出を行ないながら１例えば第２図に２点鎖線で示すよう
に、検出ヘッド６によってドアパネル３０の塗装面３０
ａのような被検査面を走査することによって、それが比
較的曲率の大きい曲面であってもその全面の表面欠陥を
自動的に検出して、マーキングを施すことができる。In this way, while correcting the posture, switching the field of view, and detecting surface defects, the detection head 6 detects the painted surface 30 of the door panel 30, for example, as shown by the two-dot chain line in FIG.
By scanning the surface to be inspected as shown in a, even if the surface is a curved surface with a relatively large curvature, surface defects on the entire surface can be automatically detected and marked.
以上説明してきたように、この発明による表面欠陥検査
装置は、被検査面からの反射スリット光によってスクリ
ーン上に形成されるスリット像からの散乱光を、ビーム
スプリッタによって２方向に分割し、その一方のスリッ
ト状分光をそのスリット方向に沿って欠陥検出用ライン
センサによって検出し、もう一方のスリット状分光との
交差位置を３個以上の補正用ラインセンサによって検出
するようにし、その各補正用ラインセンサによる検出位
置データから被検査面の曲率を算出して、その曲率に応
じて欠陥検出用ラインセンサの検出幅を変更するように
したので、被検査面の曲率が比較的大きい（曲率半径が
小さい）場合でも、上記検出幅を狭くすることによって
欠陥検出用ラインセンサによるスリット像の検出が可能
になり、精度よく表面欠陥を検出することができる。As described above, the surface defect inspection apparatus according to the present invention splits the scattered light from the slit image formed on the screen by the reflected slit light from the surface to be inspected into two directions by the beam splitter, and splits the scattered light from the slit image into two directions. A slit-like spectrum is detected by a defect detection line sensor along the slit direction, and the intersection position with the other slit-like spectrum is detected by three or more correction line sensors, and each correction line The curvature of the surface to be inspected is calculated from the detection position data by the sensor, and the detection width of the line sensor for defect detection is changed according to the curvature. Even if the defect detection width is small, by narrowing the detection width, the defect detection line sensor can detect a slit image, and the surface defect can be detected with high precision.
第１図（Ａ）はこの発明の一実施例における検出器の内
部構造を一部破断して示す斜視図。
第１図（Ｂ）は同じくその検出器の光学系を示す光路図
。
第２図はこの発明の実施例である表面欠陥検査装置によ
って自動車のドアパネルの表面欠陥を検査している状態
を示す斜視図。
第３図は第２図における検出ヘッド６の欠陥マーカ１７
を除いた部分の詳細を示す正面図、第４図は同じくその
右側面図。
第５図は同じくその第１の調１１機１ｉ１１Ｂの正面図
。
第６図は同じくその第２の調整機構１０の下面図。
第７図は補正用ラインセンサとスリット像との関係例を
示す正面図、
第８図はこの発明における被検査面の曲率算出式を説明
するための説ｒＪＡ図。
第９図（イ）〜（ハ）は欠陥検出用ラインセンサと補正
用ラインセンサの位置関係及び曲率半径Ｒによる視野幅
及びオフセット値の相違を示す説明図。
第１０図は曲率半径Ｒの値による視野幅とオフセット値
の変更例を示す線図、
第１１ｒｊ！Ｉはこの発明による表面欠陥検査装置の制
御系の一例を示すブロック図。
第１２図は第１１図における第１のマイクロコンピュー
タ４５による演算動作の一例を示すフロー図、
第１３図はこの発明を適用する表面欠陥検査装置の原理
説明図、
第１４図は同じくその作用説明図。
第１５図は同じくそのラインセンサによるビデオ出力信
号の２値化処理を説明するための波形図、
第１６図は検査装置の姿勢補正の原理を説明する第５図
第６図
／ １を
第７因
第８図
ビット
第９図
第１０図
に
第１２図
第１３図
第１４図
第１５図
欠障FIG. 1(A) is a partially cutaway perspective view showing the internal structure of a detector in an embodiment of the present invention. FIG. 1(B) is an optical path diagram showing the optical system of the detector. FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a surface defect inspection device according to an embodiment of the present invention is inspecting a door panel of an automobile for surface defects. FIG. 3 shows a defect marker 17 of the detection head 6 in FIG.
FIG. 4 is a right side view of the same. FIG. 5 is a front view of the 1st key 11 aircraft 1i11B. FIG. 6 is a bottom view of the second adjustment mechanism 10. FIG. 7 is a front view showing an example of the relationship between the correction line sensor and the slit image, and FIG. 8 is an explanatory rJA diagram for explaining the formula for calculating the curvature of the surface to be inspected in the present invention. FIGS. 9A to 9C are explanatory diagrams showing the positional relationship between the defect detection line sensor and the correction line sensor, and differences in the field of view width and offset value due to the radius of curvature R. FIGS. FIG. 10 is a diagram showing an example of changing the visual field width and offset value depending on the value of the radius of curvature R. 11th rj! I is a block diagram showing an example of a control system of a surface defect inspection apparatus according to the present invention. FIG. 12 is a flowchart showing an example of the calculation operation by the first microcomputer 45 in FIG. 11, FIG. 13 is an explanatory diagram of the principle of a surface defect inspection apparatus to which the present invention is applied, and FIG. 14 is an explanation of its operation. figure. FIG. 15 is a waveform diagram for explaining the binarization process of the video output signal by the line sensor, and FIG. 16 is a waveform diagram for explaining the principle of posture correction of the inspection device. Cause Figure 8 Bit Figure 9 Figure 10 Figure 12 Figure 13 Figure 14 Figure 15 Defect
Claims (1)
反射光を拡散板によるスクリーン上に投影し、そのスリ
ツト状の散乱光をラインセンサによつて検出することに
よつて前記被検査物の表面の欠陥を検査する表面欠陥検
査装置において、前記スクリーンからのスリツト状の散
乱光を２方向に分光するビームスプリツタを設け、この
ビームスプリツタによる第１のスリツト状分光を検出す
る欠陥検出用ラインセンサをそのスリツト方向に沿つて
配置し、前記ビームスプリツタによる第２のスリツト状
分光との交差位置を検出する３個以上の補正用ラインセ
ンサを間隔を置いて互いに平行に配置すると共に、この
各補正用ラインセンサによる検出位置データから前記被
検査物の表面形状の曲率を算出して、その曲率に応じて
前記欠陥検出用ラインセンサの検出幅を変更する手段を
設けたことを特徴とする表面欠陥検査装置。1. The surface of the object to be inspected is projected by projecting a laser slit light onto the surface of the object to be inspected, projecting the reflected light onto a screen formed by a diffuser plate, and detecting the slit-shaped scattered light by a line sensor. In a surface defect inspection apparatus for inspecting defects, a defect detection line is provided, which includes a beam splitter that separates the slit-shaped scattered light from the screen into two directions, and detects the first slit-shaped scattered light produced by the beam splitter. A sensor is arranged along the slit direction, and three or more correction line sensors for detecting the intersection position with the second slit-shaped beam splitter by the beam splitter are arranged parallel to each other at intervals, and The present invention is characterized by comprising means for calculating the curvature of the surface shape of the object to be inspected from the detection position data of each correction line sensor, and changing the detection width of the defect detection line sensor in accordance with the curvature. Surface defect inspection equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61103084A JPS62261006A (en) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | Surface defect inspecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61103084A JPS62261006A (en) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | Surface defect inspecting apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62261006A true JPS62261006A (en) | 1987-11-13 |
| JPH0577003B2 JPH0577003B2 (en) | 1993-10-25 |
Family
ID=14344766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61103084A Granted JPS62261006A (en) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | Surface defect inspecting apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62261006A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008046103A (en) * | 2006-07-19 | 2008-02-28 | Shimatec:Kk | Surface inspection apparatus |
| JP4827744B2 (en) * | 2004-02-18 | 2011-11-30 | イスラ ヴィズィオーン アーゲー | Inspection path setting and inspection area determination method |
| JP2015096837A (en) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 株式会社島津製作所 | Surface shape measuring instrument |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5954221U (en) * | 1982-10-04 | 1984-04-09 | ダイハツ工業株式会社 | Dog clutch for switching between 2 and 4 wheels in transfer equipment |
-
1986
- 1986-05-07 JP JP61103084A patent/JPS62261006A/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5954221U (en) * | 1982-10-04 | 1984-04-09 | ダイハツ工業株式会社 | Dog clutch for switching between 2 and 4 wheels in transfer equipment |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4827744B2 (en) * | 2004-02-18 | 2011-11-30 | イスラ ヴィズィオーン アーゲー | Inspection path setting and inspection area determination method |
| JP2008046103A (en) * | 2006-07-19 | 2008-02-28 | Shimatec:Kk | Surface inspection apparatus |
| JP2015096837A (en) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 株式会社島津製作所 | Surface shape measuring instrument |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0577003B2 (en) | 1993-10-25 |
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