JPH0577003B2 - - Google Patents
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- JPH0577003B2 JPH0577003B2 JP10308486A JP10308486A JPH0577003B2 JP H0577003 B2 JPH0577003 B2 JP H0577003B2 JP 10308486 A JP10308486 A JP 10308486A JP 10308486 A JP10308486 A JP 10308486A JP H0577003 B2 JPH0577003 B2 JP H0577003B2
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば自動車の車体パネル塗装面
などの曲面を有する被検査物の表面欠陥を検査す
るための表面欠陥検査装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a surface defect inspection device for inspecting surface defects of an object to be inspected having a curved surface, such as a painted surface of an automobile body panel.
車体パネル塗装面などの被検査物の表面におけ
る傷、突起、ブツ、汚れ等の欠陥の検査は、非能
率で個人差のある作業員による目視検査から、指
向性の強いレーザ光を利用した自動検査に移行す
る傾向にある。
Inspection of defects such as scratches, protrusions, lumps, dirt, etc. on the surface of objects to be inspected, such as painted surfaces of car body panels, has changed from visual inspection by inefficient and individual workers to automatic inspection using highly directional laser light. There is a tendency to shift to inspection.
このようなレーザ光を利用した表面欠陥検査装
置としては、第13図に示すように、光源である
レーザスリツト光発生器1から被検査物の表面で
ある被検査面2にスリツト光LSTを投射して、
その反射光LST′を一担拡散板によるスクリーン
3に投影し、そのスクリーン3上の像をカメラ部
の集光レンズ4によつて集光してCCD等のライ
ンセンサ5上に結像させて検出することによつ
て、被検査面2上の表面欠陥を検出するようにし
た装置を本出願人が先に提案している(特願昭59
−83889号、特願昭59−83890号)。 As shown in FIG. 13, a surface defect inspection device using such a laser beam projects a slit light LST from a laser slit light generator 1, which is a light source, onto a surface to be inspected 2, which is the surface of an object to be inspected. hand,
The reflected light LST' is projected onto a screen 3 formed by a diffusion plate, and the image on the screen 3 is focused by a condensing lens 4 of a camera section and formed onto a line sensor 5 such as a CCD. The present applicant has previously proposed a device that detects surface defects on the surface to be inspected 2 by detecting them (Japanese Patent Application No.
-83889, patent application No. 59-83890).
この表面欠陥検査装置によれば、例えば第14
図に示すように、被検査面2上のスリツト光投射
位置に傷やブツ等の欠陥aがあると、レーザスリ
ツト光発生器1から投射されたスリツト光LST
がそこで散乱するため、被検査面2からの正反射
光LST′を受けるスクリーン3上には、図示のよ
うに欠陥aに対応するところで切れたスリツト像
SLが投影されることになる。 According to this surface defect inspection device, for example, the 14th
As shown in the figure, if there is a defect a such as a scratch or a lump on the slit light projection position on the surface to be inspected 2, the slit light LST projected from the laser slit light generator 1
is scattered there, so that on the screen 3 that receives the specularly reflected light LST' from the surface to be inspected 2, there is a slit image cut at the location corresponding to defect a, as shown in the figure.
SL will be projected.
したがつて、このスクリーン3上のスリツト像
SLが投影される位置を常時撮影している第13
図のラインセンサ5のビデオ出力信号は、第15
図aに示すようになり、同図bに示すその包絡像
信号Vsとそれを積分して平均化した比較信号Vr
(スレツシヨルドレベル)とを比較して、同図c
に示すようにVs<Vrの時にのみハイレベル
“H”となり、それ以外ではローレベル“L”に
なる2値化信号を形成すれば、被検査面2上の欠
陥aを、この2値化信号のレベルが“H”になる
ことによつて検出することができ、その欠陥の大
きさもこのパルスの幅Wによつて知ることができ
る。 Therefore, the slit image on this screen 3
The 13th station is constantly photographing the position where the SL is projected.
The video output signal of the line sensor 5 in the figure is the 15th
The result is as shown in Figure a, and the envelope image signal Vs shown in Figure b and the comparison signal Vr that is integrated and averaged.
(threshold level)
If a binary signal is formed that becomes a high level "H" only when Vs<Vr and becomes a low level "L" otherwise, as shown in FIG. It can be detected when the signal level becomes "H", and the size of the defect can also be known from the width W of this pulse.
この場合、第13図のラインセンサ5は集光レ
ンズ4の合焦位置に配置したスクリーン3で拡散
された散乱光SCを受光することによつて、スク
リーン3上の投影スリツト像Sを撮像しているた
め、集光レンズ4の焦点を常時固定することがで
き、しかも拡散によつて投影スリツト像SLが拡
大されるため、表面欠陥の検出分解能が向上す
る。 In this case, the line sensor 5 shown in FIG. 13 captures the projected slit image S on the screen 3 by receiving the scattered light SC diffused by the screen 3 placed at the focal position of the condenser lens 4. Therefore, the focus of the condensing lens 4 can be fixed at all times, and the projected slit image SL is enlarged by diffusion, so that the detection resolution of surface defects is improved.
このような表面欠陥検査装置によつて車体パネ
ル塗装面等の大面積の被検査面を検査するには、
この装置を例えばロボツトのハンドに取付けて、
被検査面に対して常に一定の距離で且つスリツト
光の入射角度も一定になるようにして走査すれば
よい。 In order to inspect a large surface area such as a painted surface of a car body panel using such a surface defect inspection device,
For example, by attaching this device to a robot's hand,
It is sufficient to scan the surface to be inspected at a constant distance and at a constant angle of incidence of the slit light.
その場合、レーザスリツト光発生器1とスクリ
ーン3と被検査面2との相対位置関係を、例えば
第16図に実線で示す状態に調整して、スリツト
光LSTの被検査面2による反射光が、スクリー
ン3上のラインセンサによつて撮像し得る範囲
(以下「検出可能範囲」という)3a内にスリツ
ト像SLを形成するようにする。 In that case, the relative positional relationship between the laser slit light generator 1, the screen 3, and the surface to be inspected 2 is adjusted to the state shown by the solid line in FIG. 16, for example, so that the reflected light from the surface to be inspected 2 of the slit light LST The slit image SL is formed within a range 3a that can be imaged by the line sensor on the screen 3 (hereinafter referred to as "detectable range").
しかし、走査中に被検査面2で実線で示す正規
の状態に対して図に破線で示す被検査面2′のよ
うに傾斜(傾斜角度α、β)すると、スリツト光
LSTの被検査面への入射角度及び反射位置が変
化し、スクリーン3上に形成されるスリツト像
SL′が、正規の状態でのスリツト像SLに対してず
れて二次元的に傾斜し、検出可能範囲3aから外
れてしまうため検査不能になる。 However, if the inspected surface 2 is tilted as shown by the broken line in the figure (at inclination angles α and β) with respect to the normal state indicated by the solid line during scanning, the slit light
A slit image is formed on the screen 3 as the incident angle and reflection position of the LST on the surface to be inspected changes.
SL' deviates from the slit image SL in the normal state and tilts two-dimensionally, leaving the detectable range 3a, making inspection impossible.
そのため、ある程度の精度で常に正規の相対位
置関係を保つように補正を行なう必要がある。 Therefore, it is necessary to perform correction so as to always maintain a normal relative positional relationship with a certain degree of accuracy.
そこで、このスリツト像SL又はSL′と交差する
方向に補正用の複数のラインセンサを配置して、
その受光点すなわち交差点位置の差からスリツト
像のずれ量及び傾斜(回転)角度を検出し、その
検出結果によつて被検査面2に対する検査装置の
姿勢を補正するようにしていた。 Therefore, a plurality of line sensors for correction are placed in the direction intersecting this slit image SL or SL'.
The amount of deviation and inclination (rotation) angle of the slit image are detected from the difference in the light receiving points, that is, the intersection positions, and the attitude of the inspection device with respect to the surface to be inspected 2 is corrected based on the detection results.
しかしながら、このような表面欠陥検査装置に
あつては、ラインセンサの検出ライン(受光素子
列)が直線であるため、被検査物の表面が略平坦
なものの検査に限られ、せいぜい自動車の外板な
どの比較的曲率の小さな曲面の欠陥検査にしか適
用できないという問題点があつた。
However, since the detection line (light receiving element array) of the line sensor is a straight line, such surface defect inspection equipment is limited to inspection of objects whose surfaces are approximately flat, and is limited to inspection of objects whose surfaces are approximately flat, and at most, the surface of an automobile. There was a problem in that it could only be applied to defect inspection of curved surfaces with relatively small curvature, such as.
この発明は、このような問題点を解決して、あ
る程度曲率の大きな曲面の欠陥検査にも使用でき
る表面欠陥検査装置を提供することを目的とす
る。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve these problems and provide a surface defect inspection device that can be used for defect inspection of curved surfaces with a certain degree of curvature.
そのためこの発明は、被検査物の表面にレーザ
スリツト光を投射してその反射光を拡散板による
スクリーン上に投影し、そのスリツト状の散乱光
をラインセンサによつて検出することによつて被
検査物の表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装置
において、
上記スクリーンからのスリツト状の散乱光をビ
ームスプリツタによつて2方向に分光して、第1
の分光方向にその第1のスリツト状分光を検出す
る欠陥検出用ラインセンサをそのスリツト方向に
沿つて配置し、第2の分光方向にその第2のスリ
ツト状分光との交差位置を検出する3個以上の補
正用ラインセンサを間隔を置いて互いに平行に配
置すると共に、この各補正用ラインセンサによる
検出位置データから被検査物の表面形状の曲率を
算出して、その曲率に応じて欠陥検出用ラインセ
ンサの検出幅を変更する手段を設けたことによ
り、上記の目的を達成するものである。
Therefore, this invention projects a laser slit light onto the surface of the object to be inspected, projects the reflected light onto a screen formed by a diffuser plate, and detects the slit-shaped scattered light with a line sensor. In a surface defect inspection device that inspects defects on the surface of an object, the slit-shaped scattered light from the screen is split into two directions by a beam splitter, and a first
A line sensor for defect detection is arranged along the slit direction to detect the first slit-like spectrum in the spectral direction, and detects the intersection position with the second slit-like spectrum in the second spectral direction. At the same time, the curvature of the surface shape of the object to be inspected is calculated from the detection position data of each correction line sensor, and defects are detected according to the curvature. The above object is achieved by providing means for changing the detection width of the line sensor.
3個以上の補正用ラインセンサによる第2のス
リツト状分光の各検出位置の差から被検査物の表
面形状の曲率を算出し、その曲率に応じて欠陥検
出用ラインセンサの検出幅すなわち視野幅を検出
可能な最大幅に変更するので、曲率の大きい被検
査面でも検出幅を狭くすることにより検査可能に
なる。
The curvature of the surface shape of the object to be inspected is calculated from the difference in each detection position of the second slit-shaped spectroscopy by three or more correction line sensors, and the detection width of the defect detection line sensor, that is, the field of view width, is calculated according to the curvature. is changed to the maximum detectable width, so even a surface to be inspected with a large curvature can be inspected by narrowing the detection width.
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第2図は、この発明による表面欠陥検査装置に
よつて自動車のドアパネルの表面欠陥を検査して
いる状態を示す斜視図である。 FIG. 2 is a perspective view showing a state in which a surface defect inspection apparatus according to the present invention is inspecting a door panel of an automobile for surface defects.
この図において、6は表面欠陥検査装置の検出
ヘツドであり、取付盤7を介して走査装置として
のロボツト8のアーム先端部に取付けられてい
る。 In this figure, reference numeral 6 denotes a detection head of a surface defect inspection device, which is attached via a mounting plate 7 to the tip of an arm of a robot 8 serving as a scanning device.
この検出ヘツド6は、取付盤7に固定された基
部9と、この基部9に取付けられた第2の調整機
構10と、基部9に対してブラケツト11,11
を介して矢印θy方向に回動可能に取付けられた
可動ステー12と、この可動ステー12の裏面側
に矢示A方向に回動可能に取り付けられた第1の
調整機構13と、可動ステー12の前面一端部に
軸14を介して矢示θx方向に回動可能に取付け
られたレーザ発光器15と、可動ステー12の前
面他端部に固定して取付けられた検出器16と、
可動ステー12の下端中央部付近に取付けられた
欠陥マーカ17等によつて構成されている。 The detection head 6 includes a base 9 fixed to a mounting board 7, a second adjustment mechanism 10 attached to the base 9, and brackets 11, 11 attached to the base 9.
A movable stay 12 is attached to be rotatable in the direction of arrow θy through the movable stay 12, a first adjustment mechanism 13 is attached to the back side of this movable stay 12 so as to be rotatable in the direction of arrow A, and a movable stay 12 a laser emitter 15 rotatably attached to one front end of the movable stay 12 in the direction of arrow θx via a shaft 14; a detector 16 fixedly attached to the other front end of the movable stay 12;
It is composed of a defect marker 17 and the like attached near the center of the lower end of the movable stay 12.
第2の調整機構10は、タコジエネレータ18
を取付けた駆動モータ19と、連結部20を介し
てこの駆動モータ19によつて回転される平歯車
21と、この平歯車21に噛み合つて軸22を矢
示θ1方向に回転させる平歯車23等によつて構成
され、駆動モータ19の回転を制御することによ
つて、軸22に固定したブラケツト11を介して
可動ステー12を基部9に対して矢示θy方向に
回動させることができる。 The second adjustment mechanism 10 includes a tachometer generator 18
A drive motor 19 with a drive motor 19 attached thereto, a spur gear 21 that is rotated by the drive motor 19 via a connecting portion 20, and a spur gear that meshes with the spur gear 21 to rotate the shaft 22 in the direction of arrow θ1 . 23, etc., and by controlling the rotation of the drive motor 19, the movable stay 12 can be rotated in the direction of arrow θy with respect to the base 9 via the bracket 11 fixed to the shaft 22. can.
また第1の調整機構13は、タコジエネレータ
24を取付けた駆動モータ25と、この駆動モー
タ25によつて回転されるボールネジ26と、こ
のボールネジ26の回転によつて送られる駒部2
7と、この駒部27に回転自在に連結され、レー
ザ発生器15の軸14に固着されたレバー28
と、ボールネジ26を支持する支持枠29等によ
つて構成され、この支持枠29が可動ステー12
の裏面側に矢示A方向に回転可能に取り付けられ
ている。 The first adjustment mechanism 13 includes a drive motor 25 to which a tachometer generator 24 is attached, a ball screw 26 rotated by the drive motor 25, and a piece 2 that is fed by the rotation of the ball screw 26.
7, and a lever 28 rotatably connected to this piece 27 and fixed to the shaft 14 of the laser generator 15.
The support frame 29 supports the ball screw 26, and the support frame 29 supports the movable stay 12.
It is rotatably attached to the back side of the camera in the direction of arrow A.
そして、駆動モータ25の回転を制御すること
によつて、軸14を矢示θ2方向に回転させ、それ
によつてレーザ発生器15を矢示θx方向に回動
させることができる。 By controlling the rotation of the drive motor 25, the shaft 14 can be rotated in the direction of arrow θ2 , thereby rotating the laser generator 15 in the direction of arrow θx.
レーザ発生器15は、例えばHe−Neレーザ発
生器であり、発生したレーザビーム光をレーザス
リツト光LSに変換して、被検査物(この例では
自動車用ドアパネル30の塗装面30a)に投射
するレンズ系を具備している。 The laser generator 15 is, for example, a He-Ne laser generator, and has a lens that converts the generated laser beam light into laser slit light LS and projects it onto the object to be inspected (in this example, the painted surface 30a of the automobile door panel 30). It is equipped with a system.
検出器16は、レーザ発生器15から投射され
て塗装面30aから正反射したレーザスリツト光
LSを投影して拡散するすりガラス等の透過型の
拡散板によるスクリーン31を先端に固着した検
出筒32と、そのスクリーン31上の予め定めた
ライン状の部位を撮像する集光レンズ33a及び
ラインセンサ等を有するカメラ部33とからな
り、その詳細は第1図A,Bによつて後述する。 The detector 16 detects laser slit light projected from the laser generator 15 and specularly reflected from the painted surface 30a.
A detection tube 32 has a screen 31 fixed to its tip made of a transmission type diffuser plate such as ground glass that projects and diffuses LS, a condenser lens 33a and a line sensor that image a predetermined line-shaped area on the screen 31. The camera section 33 includes a camera section 33, and the details thereof will be described later with reference to FIGS. 1A and 1B.
17は欠陥マーカであり、レーザスリツト光
LSが照射された塗装面30aの位置にブツや傷
等の欠陥があつてその存在が検出された時に、レ
ーザスリツト光LSと干渉しないように欠陥の近
傍に拭き取り可能なコンパウンド等のマーキング
剤を吹き付けて、欠陥の存在を示すマークを付け
る。 17 is a defect marker, and the laser slit light
When a defect such as a spot or scratch is detected at the position of the painted surface 30a irradiated with LS, a marking agent such as a wipeable compound is sprayed near the defect so as not to interfere with the laser slit light LS. mark to indicate the presence of defects.
次に、第1、第2の調整機構の詳細及びその作
用について第3図乃至第6図によつて説明する。 Next, details of the first and second adjustment mechanisms and their functions will be explained with reference to FIGS. 3 to 6.
なお、第3図は検出ヘツド6の正面図、第4図
は第3図の右側面図、第5図は第1の調整機構1
3の正面図、第6図は第2の調整機構10の下面
図である。 3 is a front view of the detection head 6, FIG. 4 is a right side view of FIG. 3, and FIG. 5 is a diagram of the first adjustment mechanism 1.
3 is a front view, and FIG. 6 is a bottom view of the second adjustment mechanism 10.
先ず、第3図及び第4図に示すように、レーザ
発光器15と検出器16とは、レーザ発光器15
の光軸L1と検出器16側の光軸であるカメラ部
33の集光レンズ33aの光軸L2が、同一平面
内で交差角δで交差するように可動ステー12に
取付けてある。 First, as shown in FIGS. 3 and 4, the laser emitter 15 and the detector 16 are
is attached to the movable stay 12 so that the optical axis L 1 of the detector 16 and the optical axis L 2 of the condensing lens 33a of the camera section 33, which is the optical axis on the detector 16 side, intersect at an intersection angle δ in the same plane.
そして、第1の調整機構13において、駆動モ
ータ25によつてボールネジ26が回転して駒部
27が矢示B方向に送られると、第5図に示すブ
ラケツト34を介して軸35により可動ステー1
2に対して回動自在に枢支した支持枠29が軸3
5を中心に矢示A方向に回動しつつ、駒部27に
軸36で回動自在に連結され、軸14(第4図)
に固定して連結したレバー28が軸14を中心に
矢示C方向に回動するため、第4図に示すように
可動ステー12の裏面に取付けたブラケツト37
に軸受を介して回転自在に取付けられ、レーザ発
光器15を固定した固定盤38を一端に固着した
軸14が、矢示θ2方向に回転するようになり、そ
れによつてレーザ発生器15が第3図に示すよう
に矢示θx方向に回動する。 In the first adjustment mechanism 13, when the ball screw 26 is rotated by the drive motor 25 and the bridge part 27 is sent in the direction of arrow B, the movable stay is moved by the shaft 35 via the bracket 34 shown in FIG. 1
A support frame 29 rotatably supported on the shaft 3
5 in the direction of arrow A, and is rotatably connected to the bridge portion 27 by a shaft 36, and the shaft 14 (FIG. 4)
Since the lever 28 fixedly connected to the lever 28 rotates in the direction of arrow C around the shaft 14, a bracket 37 attached to the back side of the movable stay 12 as shown in FIG.
The shaft 14, which is rotatably attached via a bearing to the shaft 14 and has a fixed plate 38 fixed to one end thereof, rotates in the direction of arrow θ2 , thereby causing the laser generator 15 to rotate. As shown in FIG. 3, it rotates in the direction of arrow θx.
このように、レーザ発生器15が矢示θx方向
に回動すると、その光軸L1と検出器16側の光
軸L2との交差角δが調整される。なお、この第
1の調整機構13における駆動モータ25は、後
述する補正用ラインセンサの検出結果に基づいて
回転制御されるが、その詳細は後述する。 In this manner, when the laser generator 15 rotates in the direction of the arrow θx, the intersection angle δ between its optical axis L 1 and the optical axis L 2 on the detector 16 side is adjusted. Note that the rotation of the drive motor 25 in the first adjustment mechanism 13 is controlled based on the detection result of a correction line sensor, which will be described later, and the details thereof will be described later.
次に、第2の調整機構10において、駆動モー
タ19によつて平歯車21が回転すると、第6図
に示すように基部9に軸受を介して回転自在に枢
支され、一端に平歯車21に歯合する平歯車23
を、軸まわりにブラケツト11,11を夫々固着
した軸22が矢示θ1方向に回転するため、ブラケ
ツト11,11を取付けた可動ステー12が第4
図に示すように矢示θy方向に回動する。 Next, in the second adjustment mechanism 10, when the spur gear 21 is rotated by the drive motor 19, the spur gear 21 is rotatably supported on the base 9 via a bearing as shown in FIG. Spur gear 23 meshing with
Since the shaft 22 around which the brackets 11, 11 are respectively fixed rotates in the direction of the arrow θ1 , the movable stay 12 to which the brackets 11, 11 are attached rotates in the fourth direction.
As shown in the figure, it rotates in the direction of arrow θy.
それによつて、検出ヘツド6全体が第4図の矢
示θy方向に回動し、レーザ発生器15と検出器
16の光軸L1,L2によつて形成される平面の塗
装面30aに対する傾斜角εが調整される。 As a result , the entire detection head 6 rotates in the direction of arrow θy in FIG . The tilt angle ε is adjusted.
なお、第2の調整機構10における駆動モータ
19は、傾斜角εがε=90゜、すなわち光軸L1,
L2によつて形成される平面が塗装面30aの法
平面となるように、やはり後述する位置補正用ラ
インセンサの検出結果に基づいて回転制御される
が、その詳細も後述する。 Note that the drive motor 19 in the second adjustment mechanism 10 has an inclination angle ε=90°, that is, the optical axis L 1 ,
The rotation is controlled based on the detection result of the position correction line sensor, which will be described later, so that the plane formed by L 2 becomes the normal plane of the painted surface 30a, and the details will be described later.
次に、検出器16の内部構造及び光学系を第1
図A,Bを参照して説明する。 Next, the internal structure and optical system of the detector 16 are
This will be explained with reference to Figures A and B.
カメラ部33内には、集光レンズ33aの光軸
上にビームスプリツタ33bを設けており、塗装
面30aからの反射レーザスリツト光が拡散スク
リーン31上に投影拡散されることによつて得ら
れるスリツト像から、集光レンズ33aを介して
入射されるスリツト状の散乱光を第1の分光方向
u1と第2の分光方向u2との2方向に分光する。 Inside the camera section 33, a beam splitter 33b is provided on the optical axis of the condensing lens 33a, and the reflected laser slit light from the painted surface 30a is projected and diffused onto the diffusing screen 31 to produce a slit. The slit-shaped scattered light incident from the image through the condensing lens 33a is directed into the first spectral direction.
The light is dispersed in two directions: u 1 and a second spectral direction u 2 .
そして、このビームスプリツタ33bによる第
1の分光方向u1に対するセンサ配置面33cに
は、ビームスプリツタ33bからの第1のスリツ
ト状分光を検出するべく、ビームスプリツタ33
b及び集光レンズ33aを介して拡散スクリーン
31上の予め定めたライン状の部位31aを撮像
する例えば2048ビツト(画素)の欠陥検出用ライ
ンセンサ(CCD又はMOS型のPDA)H0をスリ
ツト方向に沿つて配置してある。 A beam splitter 33 is placed on the sensor arrangement surface 33c for the first spectral direction u1 by the beam splitter 33b in order to detect the first slit-like spectral light from the beam splitter 33b.
For example, a 2048-bit (pixel) defect detection line sensor (CCD or MOS type PDA) H0 that images a predetermined line-shaped portion 31a on the diffusion screen 31 through the condenser lens 33a and the condenser lens 33a is moved in the slit direction. It is arranged along.
なお、当然のことではあるが、ラインセンサ
H0と拡散スクリーン31とは集光レンズ33a
の合焦位置にある。 Although it is a matter of course, the line sensor
H 0 and the diffusion screen 31 are the condensing lens 33a
is in focus position.
また、ビームスプリツタ33bによる第2の分
光方向u2に対するセンサ配置面33d(センサ配
置面33cと33dは互いに直交している)に
は、例えば2048ビツト(画素)の3個の補正用ラ
インセンサ(CCD又はMOS型のPDA)H1,H2,
H3を互いに平行に、且つ各ラインセンサH1〜H3
とビームスプリツタ33bからの第2のスリツト
状分光とが互いに交差(この実施例では直交)す
るように配置している。 Furthermore, on the sensor arrangement surface 33d (sensor arrangement surfaces 33c and 33d are orthogonal to each other) for the second spectral direction u2 by the beam splitter 33b, there are, for example, three correction line sensors of 2048 bits (pixels). (CCD or MOS type PDA) H 1 , H 2 ,
H 3 parallel to each other, and each line sensor H 1 to H 3
and the second slit-shaped beam from the beam splitter 33b are arranged so that they intersect with each other (orthogonally in this embodiment).
また、補正用ラインセンサH1〜H3とスクリー
ン31とはやはり集光レンズ33aの合焦点位置
にある。そして、ラインセンサH0の受光部の配
列に沿つた基準線がラインセンサH1〜H3の各中
央画素(1024ビツト目)と交差する位置関係とな
つている。 Furthermore, the correction line sensors H 1 to H 3 and the screen 31 are also located at the focal point of the condenser lens 33a. The reference line along the array of light receiving parts of line sensor H0 intersects each center pixel (1024th bit) of line sensors H1 to H3 .
次に、この実施例による被検査物の表面形状の
曲率算出原理を第7図及び第8図によつて説明す
る。 Next, the principle of calculating the curvature of the surface shape of the object to be inspected according to this embodiment will be explained with reference to FIGS. 7 and 8.
第7図に示す3個の補正用ラインセンサH1,
H2,H3に対して、第1図のビームスプリツタ3
3bからの第2のスリツト状分光によるスリツト
像SL′が図示のように湾曲して形成されたとす
る。 Three correction line sensors H 1 shown in FIG.
For H 2 and H 3 , beam splitter 3 in Fig. 1
Assume that the slit image SL' obtained by the second slit-like spectroscopy from 3b is formed in a curved manner as shown in the figure.
この時の各ラインセンサH1,H2,H3によるス
リツト像SL′の検出位置をA、B、C(ビツト)
とし、各ラインセンサの取付ピツチを第8図に示
すようにl0とすれば、このスリツト像SL′の半径
Rは、次式によつて求められる。 At this time, the detection positions of the slit image SL' by each line sensor H 1 , H 2 , H 3 are A, B, C (bit).
Assuming that the mounting pitch of each line sensor is l 0 as shown in FIG. 8, the radius R of this slit image SL' can be determined by the following equation.
R=C0/2sinθ …
ただし、第8図に示すr0とr1を次式により求め
ると、
r0=k(C−B)
r1=k(C−A)
(kはラインセンサのビツトと長さの換算定数)
A−B間の長さC0は次式により算出される。 R=C 0 /2sinθ... However, when r 0 and r 1 shown in Fig. 8 are determined by the following formulas, r 0 = k (C-B) r 1 = k (C-A) (k is the line sensor's Bit and length conversion constant) The length C0 between A and B is calculated by the following formula.
C0=√40 2+(0−1)2 …
ここで、第8図に示すように角度α、βをとる
と、
tanα=(r0−r1)/2l0
tanβ=r0/l0
θ=(β−α)×2
であり、sinθは次式により算出される。 C 0 = √4 0 2 + ( 0 − 1 ) 2 … Here, if we take the angles α and β as shown in Figure 8, tan α = (r 0 − r 1 ) / 2l 0 tan β = r 0 / l 0 θ=(β−α)×2, and sin θ is calculated by the following formula.
sinθ=2(tanβ−tanα)×(1+t
anα×tanβ)/(1+tan2α)×(1+tan2β)…
上記式と式によつてそれぞれ求められる
C0とsinθを、式に入れて算出されるRが被検査
物の表面の曲率半径を示す。なお、その逆数
(1/R)が曲率である。 sinθ=2(tanβ−tanα)×(1+t
anα×tanβ)/(1+tan 2 α)×(1+tan 2 β)... Respectively determined by the above formula and formula
R, which is calculated by putting C 0 and sin θ into the equation, indicates the radius of curvature of the surface of the object to be inspected. Note that the reciprocal number (1/R) is the curvature.
次に、このようにして算出したRに応じて、欠
陥検出用ラインセンサH0の検出幅すなわち視野
幅の変更と、検出ヘツドの姿勢補正方法について
第9図乃至第11図によつて説明する。 Next, the method of changing the detection width of the defect detection line sensor H0 , that is, the field of view width, and the posture correction method of the detection head will be explained with reference to FIGS. 9 to 11 according to R calculated in this way. .
第9図イは、欠陥検出用ラインセンサH0を補
正用ラインセンサH1〜H3と同一面に移動したと
仮定して破線で示し、その各ラインセンサH0〜
H3の検出ラインの配置関係を同図ロ及びハに模
式的に示しており、欠陥検出用ラインセンサH0
と補正用ラインセンサH2とは、中心の1024ビツ
ト目で直交する関係になる。 In FIG. 9A, it is assumed that the defect detection line sensor H 0 is moved to the same plane as the correction line sensors H 1 to H 3 , and each of the line sensors H 0 to H 3 is shown by a broken line.
The arrangement relationship of the detection lines of H 3 is schematically shown in B and C of the same figure, and the defect detection line sensor H 0
and correction line sensor H2 are orthogonal at the 1024th bit in the center.
図中SL′は被検査面からの反射スリツト光によ
るスリツト像で、イは被検査面の曲面のRが小さ
い場合、ロは同じくRが大きい場合の例を示す。
Q1,Q3は位置補正用ラインセンサH1,H3による
スリツト像SL′の検出位置((ビツト)をそれぞ
れ示す。SWは視野幅、D0はオフセツト値であ
る。 In the figure, SL' is a slit image by reflected slit light from the surface to be inspected, A shows an example when the curved surface of the surface to be inspected has a small R, and B shows an example when the R is similarly large.
Q 1 and Q 3 indicate the detection position ((bit)) of the slit image SL' by the position correction line sensors H 1 and H 3 , respectively. SW is the field of view width and D 0 is the offset value.
そして、前述の曲率半径Rの大きさに対してこ
の視野幅Swとオフセツト値D0を例えば第10図
に示すように段階的に変更する。 Then, the field width Sw and the offset value D0 are changed in stages as shown in FIG. 10, for example, with respect to the size of the radius of curvature R described above.
すなわち、被検査面の曲面の曲率径が小さくな
る(曲率は大きくなる))に従つて、視野幅Sw
のように順次小さくし、オフセツト値は
ように順次大きくする。 In other words, as the curvature diameter of the curved surface of the surface to be inspected becomes smaller (the curvature becomes larger), the field of view width Sw
The offset value is gradually decreased as in , and the offset value is increased as in .
さらに、第4図の傾斜角εを調整するための傾
斜角調整データDyと、第3図の交差角δを調整
するための交差角調整データDxをそれぞれ次式
によつて算出する。 Further, inclination angle adjustment data Dy for adjusting the inclination angle ε in FIG. 4 and crossing angle adjustment data Dx for adjusting the crossing angle δ in FIG. 3 are calculated by the following equations.
Dy=Q3−Q1 …
Dx=1024−(Q3+Q1)/2+D0 …
この傾斜角調整データDyは、スリツト像SL′の
傾き、すなわち第2図乃至第4図に示した検出ヘ
ツド6のドアパネルの塗装面30a(被検査面)
に対する傾きを示すデータであり、この値がゼロ
になるように第2の調整機構10の駆動モータ1
9を回転させて検出ヘツド6の傾きを補正する。 Dy= Q3 - Q1 ...Dx=1024-( Q3 + Q1 )/2+ D0 ...This inclination angle adjustment data Dy is the inclination of the slit image SL', that is, the detection head shown in Figs. Painted surface 30a of door panel 6 (surface to be inspected)
This data indicates the slope of the drive motor 1 of the second adjustment mechanism 10 so that this value becomes zero.
9 to correct the inclination of the detection head 6.
また、交差角調整データDxは、スリツト像
SL′が欠陥検出用ラインセンサH0に対して平行移
動する方向の位置ずれ量、すなわち検出ヘツド6
とドアパネルの塗装面30a(被検査面)との間
隔の変化によるデータであり、第1の調整機構1
3の駆動モータ25を回転させて、光軸L1とL2
のなす角δを調整し、このデータDxがオフセツ
ト値D0になるようにレーザ発光器15の角度を
補正する。 In addition, the intersection angle adjustment data Dx is the slit image
The amount of positional deviation in the direction in which SL' moves parallel to the defect detection line sensor H0 , that is, the detection head 6
This data is based on a change in the distance between the painted surface 30a (surface to be inspected) of the door panel, and the first adjustment mechanism 1
By rotating the drive motor 25 of No. 3, the optical axes L 1 and L 2
The angle of the laser emitter 15 is corrected so that the data Dx becomes the offset value D0 .
このように、検出ヘツドの姿勢を補正して前述
の視野幅切換えを行なうことにより、第9図ロ,
ハに示すように少なくとも視野幅SW内では、ス
リツト像SL′が欠陥検出用ラインセンサH0の検出
ライン上に略載るようになる。 In this way, by correcting the posture of the detection head and performing the above-mentioned field of view width switching, as shown in FIG.
As shown in Fig. 3C, the slit image SL' comes to substantially lie on the detection line of the defect detection line sensor H0 at least within the field of view width SW.
次に、この表面欠陥検査装置の制御系の一例を
第11図に示し、これを説明する。 Next, an example of the control system of this surface defect inspection apparatus is shown in FIG. 11 and will be explained.
この制御系は、センサ駆動回路40a〜43
a、2値化回路40b、位置カウンタ41b〜4
3bと、制御ユニツト44と、サーボアンプ5
0,51等によつて構成されている。 This control system includes sensor drive circuits 40a to 43.
a, binarization circuit 40b, position counters 41b-4
3b, control unit 44, and servo amplifier 5
0, 51, etc.
そして、制御ユニツト44は、演算部45a、
姿勢補正部45b、及び視野切換部45cの機能
をなす第1のマイクロコンピユータ45と、欠陥
検出部の機能をなす第2のマイクロコンピユータ
46と、D/A変換器47,48及び出力インタ
フエース回路(ドライバ)49からなり、第2図
のロボツト8の制御装置との間で図示のような信
号のやりとりをしている。 The control unit 44 includes a calculation section 45a,
A first microcomputer 45 that functions as an attitude correction section 45b and a field of view switching section 45c, a second microcomputer 46 that functions as a defect detection section, D/A converters 47 and 48, and an output interface circuit. (driver) 49, which exchanges signals as shown with the control device of the robot 8 shown in FIG.
25,24は第2図乃至第6図に示した第1の
調整機構13の駆動モータとその回転速度を検出
するためにタコジエネレータ、19,18は同じ
く第2の調整機構10の駆動モータとその回転速
度を検出するタコジエネレータである。 Reference numerals 25 and 24 indicate the drive motor of the first adjustment mechanism 13 shown in FIGS. 2 to 6, and a tachometer generator for detecting its rotational speed. Reference numerals 19 and 18 indicate the drive motor of the second adjustment mechanism 10 and its rotation speed. This is a tachogenerator that detects rotational speed.
また、53は欠陥マーカ17を駆動するエアシ
リンダ17aへの圧縮空気供給路を開閉する電磁
弁である。 Further, 53 is a solenoid valve that opens and closes a compressed air supply path to the air cylinder 17a that drives the defect marker 17.
次に、この制御系の動作を第12図も参照して
説明する。 Next, the operation of this control system will be explained with reference to FIG. 12 as well.
制御ユニツト44の第1のマイクロコンピユー
タ45から計測指令SAが出力されると、各セン
サ駆動回路41a〜43aが3個の補正用ライン
センサH1〜H3をそれぞれ駆動して、それぞれ
2048ビツトの検出信号を読出し、位置カウンタ4
1b〜43bにハイレベルとなつているビツトま
でのビツト数をカウントさせる。 When the measurement command SA is output from the first microcomputer 45 of the control unit 44, each sensor drive circuit 41a to 43a drives the three correction line sensors H1 to H3 , respectively.
Read out the 2048-bit detection signal and register the position counter 4.
Count the number of bits from 1b to 43b that are at high level.
この各位置カウンタ41b〜43bによるカウ
ントデータQ1,Q2,Q3が、第7図及び第8図に
おいて各ラインセンサH1,H2,H3とスリツト像
SL′との交差位置A、C、Bに相当する。 The count data Q 1 , Q 2 , Q 3 from each of the position counters 41b to 43b is applied to each line sensor H 1 , H 2 , H 3 and the slit image in FIGS. 7 and 8.
This corresponds to the intersection positions A, C, and B with SL'.
そこで、第1のマイクロコンピユータ45は、
第12図に示すフローチヤートを示すように動作
して、この各カウントデータQ1,Q2,Q3を読込
んで、演算部45aにおいて前述の式、及び
の演算を行なつて(但し、A=Q1、B=Q3、
C=Q2)、塗装面3aの曲率半径Rを算出する。 Therefore, the first microcomputer 45
Operating as shown in the flowchart shown in FIG. 12, each count data Q 1 , Q 2 , Q 3 is read, and the calculation section 45a calculates the above-mentioned formula and (however, A = Q 1 , B = Q 3 ,
C=Q 2 ), and the radius of curvature R of the painted surface 3a is calculated.
そして、そのRの値に応じて、予めメモリに格
納してある第11図に示したようなテーブルによ
り、視野幅SWを決定し、オフセツト値D0も決定
する。さらに、前述の式の演算により傾斜角調
整データDyを、式の演算により交差調整デー
タDxをそれぞれ計算する。 Then, according to the value of R, the visual field width SW is determined using a table as shown in FIG. 11, which is stored in the memory in advance, and the offset value D0 is also determined. Furthermore, the tilt angle adjustment data Dy is calculated by calculating the above-mentioned formula, and the cross adjustment data Dx is calculated by calculating the formula.
そして、姿勢補正部45bから交差角調整デー
タDxと傾斜角調整データDyを出力し、それをそ
れぞれD/A変換器47,48によつて電圧信号
Vx,Vy(補正方向により正負がある)に変換す
る。 Then, the posture correction section 45b outputs the intersection angle adjustment data Dx and the inclination angle adjustment data Dy, which are converted into voltage signals by the D/A converters 47 and 48, respectively.
Convert to Vx, Vy (positive or negative depending on the correction direction).
この電圧信号Vxにより、サーボアンプ50が
タコジエネレータ24から速度フイードバツクを
かけられながら第1の調整機構13の駆動モータ
25を回転させ、第2図及び第3図に示したレー
ザ発光器15を回動させて光軸L1とL2の交差角
δを補正し、Dx=D0になるようにする。 Using this voltage signal Vx, the servo amplifier 50 rotates the drive motor 25 of the first adjustment mechanism 13 while receiving speed feedback from the tacho generator 24, thereby rotating the laser emitter 15 shown in FIGS. 2 and 3. The intersection angle δ between the optical axes L 1 and L 2 is corrected so that Dx=D 0 .
また、電圧信号Vyにより、サーボアンプ51
がタコジエネレータ18から速度フイードバツク
をかけられながら第2の調整機構10の駆動モー
タ19を回転させ、検出ヘツド6全体を回動させ
て傾斜角εを補正し、Dy=0になるようにする。 In addition, the voltage signal Vy causes the servo amplifier 51 to
The drive motor 19 of the second adjustment mechanism 10 is rotated while receiving speed feedback from the tachometer generator 18, and the entire detection head 6 is rotated to correct the inclination angle ε so that Dy=0.
このようにして検出ヘツド6の姿勢補正が完了
すると、ロボツト側からの検出指令により、制御
ユニツト44の第2のマイクロコンピユータ(欠
陥検出部)46がセンサ駆動回路40aへ計測指
令SBを出力する。 When the posture correction of the detection head 6 is completed in this manner, the second microcomputer (defect detection section) 46 of the control unit 44 outputs a measurement command SB to the sensor drive circuit 40a in response to a detection command from the robot side.
それにより、センサ駆動検出回路40aは欠陥
検出用ラインセンサH0を駆動して2048ビツトの
ビデオ信号を逐次読出し、2値化回路40bに入
力して第15図によつて説明した従来例と同様に
浮動2値化処理して、塗装面30aにおけるブツ
等の欠陥の大きさに応じた幅W(欠陥がない場合
W=0)のパルスを含む検出信号Spを出力する。 As a result, the sensor drive detection circuit 40a drives the defect detection line sensor H0 to sequentially read out the 2048-bit video signal and input it to the binarization circuit 40b, similar to the conventional example explained in FIG. A floating binarization process is performed to output a detection signal Sp containing a pulse having a width W (W=0 if there is no defect) depending on the size of defects such as spots on the painted surface 30a.
第2のマイクロコンピユータ46は、第1のマ
イクロコンピユータ45から入力された前述の視
野切換信号に応じて、検出信号Spの有効範囲を
制限し、その有効範囲内にパルスがあつた場合
に、そのパルス幅Wが予め検出欠陥幅指令によつ
て設定されている幅より大きいか否かを判別し、
大きい時にのみ欠陥検出信号SMを出力する。 The second microcomputer 46 limits the effective range of the detection signal Sp in accordance with the above-mentioned visual field switching signal inputted from the first microcomputer 45, and when a pulse falls within the effective range, the second microcomputer 46 limits the effective range of the detection signal Sp. Determine whether the pulse width W is larger than the width preset by the detected defect width command,
The defect detection signal SM is output only when the value is large.
この欠陥検出信号SMが出力されると、出力イ
ンタフエース回路49が電磁弁駆動信号を出力
し、それによつて電磁弁53が切換わつてエアシ
リンダ17aに圧縮空気を送り込み、欠陥マーカ
17のノズルが開いて塗装面30aの欠陥位置近
傍にコンパウンド等のマーキング材を吹き付け
る。 When this defect detection signal SM is output, the output interface circuit 49 outputs a solenoid valve drive signal, which switches the solenoid valve 53 and sends compressed air to the air cylinder 17a, causing the nozzle of the defect marker 17 to It is opened and a marking material such as a compound is sprayed near the defect location on the painted surface 30a.
このようにして、姿勢補正と視野切換並びに表
面欠陥検出を行ないながら、例えば第2図に2点
鎖線で示すように、検出ヘツド6によつてドアパ
ネル30の塗装面30aのような被検査面を走査
することによつて、それが比較的曲率の大きい曲
面であつてもその全面の表面欠陥を自動的に検出
して、マーキングを施すことができる。 In this way, while performing posture correction, field of view switching, and surface defect detection, the detection head 6 detects the surface to be inspected, such as the painted surface 30a of the door panel 30, as shown by the two-dot chain line in FIG. By scanning, even if the surface has a relatively large curvature, surface defects can be automatically detected and marked on the entire surface.
以上説明してきたように、この発明による表面
欠陥検査装置は、被検査面からの反射スリツト光
によつてスクリーン上に形成されるスリツト像か
らの散乱光を、ビームスプリツタによつて2方向
に分割し、その一方のスリツト状分光をそのスリ
ツト方向に沿つて欠陥検出用ラインセンサによつ
て検出し、もう一方のスリツト状分光との交差位
置を3個以上の補正用ラインセンサによつて検出
するようにし、その各補正用ラインセンサによる
検出位置データから被検査面の曲率を算出して、
その曲率に応じて欠陥検出用ラインセンサの検出
幅を変更するようにしたので、被検査面の曲率が
比較的大きい(曲率半径が小さい)場合でも、上
記検出幅を狭くすることによつて欠陥検出用ライ
ンセンサによるスリツト像の検出が可能になり、
精度よく表面欠陥を検出することができる。
As explained above, the surface defect inspection apparatus according to the present invention uses a beam splitter to split scattered light from a slit image formed on a screen by reflected slit light from a surface to be inspected into two directions. One of the slit-like spectra is detected by a defect detection line sensor along the slit direction, and the intersection position with the other slit-like spectra is detected by three or more correction line sensors. Then, calculate the curvature of the surface to be inspected from the detection position data of each correction line sensor,
Since the detection width of the line sensor for defect detection is changed according to the curvature, even if the curvature of the surface to be inspected is relatively large (the radius of curvature is small), defects can be detected by narrowing the detection width. It is now possible to detect the slit image using the detection line sensor,
Surface defects can be detected with high precision.
第1図Aはこの発明の一実施例における検出器
の内部構造を一部破断して示す斜視図、第1図B
は同じくその検出器の光学系を示す光路図、第2
図はこの発明の実施例である表面欠陥検査装置に
よつて自動車のドアパネルの表面欠陥を検査して
いる状態を示す斜視図、第3図は第2図における
検出ヘツド6の欠陥マーカ17を除いた部分の詳
細を示す正面図、第4図は同じくその右側面図、
第5図は同じくその第1の調整機構13の正面
図、第6図は同じくその第2の調整機構10の下
面図、第7図は補正用ラインセンサとスリツト像
との関係例を示す正面図、第8図はこの発明にお
ける被検査面の曲率算出式を説明するための説明
図、第9図イ〜ハは欠陥検出用ラインセンサと補
正用ラインセンサの位置関係及び曲率半径Rによ
る視野幅及びオフセツト値の相違を示す説明図、
第10図は曲率半径Rの値による視野幅とオフセ
ツト値の変更例を示す線図、第11図はこの発明
による表面欠陥検査装置の制御系の一例を示すブ
ロツク図、第12図は第11図における第1のマ
イクロコンピユータ45による演算動作の一例を
示すフロー図、第13図はこの発明を適用する表
面欠陥検査装置の原理説明図、第14図は同じく
その作用説明図、第15図は同じくそのラインセ
ンサによるビデオ出力信号の2値化処理を説明す
るための波形図、第16図は検査装置の姿勢補正
の原理を説明するための説明図である。
6……検出ヘツド、8……ロボツト、10……
第2の調整機構、13……第1の調整機構、15
……レーザ発生器、16……検出器、17……欠
陥マーカ、19,25……駆動モータ、30……
自動車用ドアパネル(被検査物)、30a……塗
装面(被検査面)、31……スクリーン、33…
…カメラ部、33a……集光レンズ、33b……
ビームスプリツタ、40a〜43a……センサ駆
動回路、40b……2値化回路、41b〜43b
……位置カウンタ、44……制御ユニツト、45
……第1のマイクロコンピユータ、46……第2
のマイクロコンピユータ、50,51……サーボ
アンプ、53……電磁弁、H0……欠陥検出用ラ
インセンサ、H1,H2,H3……補正用ラインセン
サ。
FIG. 1A is a partially cutaway perspective view showing the internal structure of a detector in an embodiment of the present invention, and FIG. 1B
is also an optical path diagram showing the optical system of the detector, the second
The figure is a perspective view showing a state in which a surface defect inspection device according to an embodiment of the present invention is inspecting the surface defects of an automobile door panel. Figure 4 is a front view showing the details of the part, and Figure 4 is a right side view.
FIG. 5 is a front view of the first adjustment mechanism 13, FIG. 6 is a bottom view of the second adjustment mechanism 10, and FIG. 7 is a front view showing an example of the relationship between the correction line sensor and the slit image. 8 is an explanatory diagram for explaining the formula for calculating the curvature of the surface to be inspected according to the present invention, and FIG. An explanatory diagram showing the difference in width and offset value,
FIG. 10 is a diagram showing an example of changing the field of view width and offset value depending on the value of the radius of curvature R, FIG. 11 is a block diagram showing an example of the control system of the surface defect inspection apparatus according to the present invention, and FIG. FIG. 13 is a flowchart showing an example of the calculation operation by the first microcomputer 45 in the figure, FIG. 13 is a diagram explaining the principle of the surface defect inspection apparatus to which the present invention is applied, FIG. 14 is also a diagram explaining the operation, and FIG. Similarly, FIG. 16 is a waveform diagram for explaining the binarization process of the video output signal by the line sensor, and FIG. 16 is an explanatory diagram for explaining the principle of posture correction of the inspection apparatus. 6...Detection head, 8...Robot, 10...
Second adjustment mechanism, 13...First adjustment mechanism, 15
... Laser generator, 16 ... Detector, 17 ... Defect marker, 19, 25 ... Drive motor, 30 ...
Automobile door panel (object to be inspected), 30a... Painted surface (surface to be inspected), 31... Screen, 33...
...Camera section, 33a... Condensing lens, 33b...
Beam splitter, 40a-43a...sensor drive circuit, 40b...binarization circuit, 41b-43b
...Position counter, 44...Control unit, 45
...first microcomputer, 46...second
microcomputer, 50, 51...servo amplifier, 53...electromagnetic valve, H0 ...line sensor for defect detection, H1 , H2 , H3 ...line sensor for correction.
Claims (1)
てその反射光を拡散板によるスクリーン上に投影
し、そのスリツト状の散乱光をラインセンサによ
つて検出することによつて前記被検査物の表面の
欠陥を検査する表面欠陥検査装置において、 前記スクリーンからのスリツト状の散乱光を2
方向に分光するビームスプリツタを設け、このビ
ームスプリツタによる第1のスリツト状分光を検
出する欠陥検出用ラインセンサをそのスリツト方
向に沿つて配置し、前記ビームスプリツタによる
第2のスリツト状分光との交差位置を検出する3
個以上の補正用ラインセンサを間隔を置いて互い
に平行に配置すると共に、この各補正用ラインセ
ンサによる検出位置データから前記被検査物の表
面形状の曲率を算出して、その曲率に応じて前記
欠陥検出用ラインセンサの検出幅を変更する手段
を設けたことを特徴とする表面欠陥検査装置。[Claims] 1. By projecting laser slit light onto the surface of the object to be inspected, projecting the reflected light onto a screen formed by a diffuser plate, and detecting the slit-shaped scattered light with a line sensor. In the surface defect inspection device for inspecting defects on the surface of the object to be inspected, the slit-shaped scattered light from the screen is
A beam splitter that splits light in a direction is provided, a defect detection line sensor for detecting a first slit-like spectrum produced by the beam splitter is arranged along the slit direction, and a second slit-like spectrum produced by the beam splitter is disposed along the slit direction. Detect the intersection position with 3
A plurality of correction line sensors are arranged parallel to each other at intervals, and the curvature of the surface shape of the object to be inspected is calculated from the detection position data of each correction line sensor, and the 1. A surface defect inspection device comprising means for changing the detection width of a defect detection line sensor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61103084A JPS62261006A (en) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | Surface defect inspecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61103084A JPS62261006A (en) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | Surface defect inspecting apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62261006A JPS62261006A (en) | 1987-11-13 |
JPH0577003B2 true JPH0577003B2 (en) | 1993-10-25 |
Family
ID=14344766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61103084A Granted JPS62261006A (en) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | Surface defect inspecting apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62261006A (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004007829B4 (en) * | 2004-02-18 | 2007-04-05 | Isra Vision Systems Ag | Method for determining areas to be inspected |
JP5323320B2 (en) * | 2006-07-19 | 2013-10-23 | 有限会社シマテック | Surface inspection device |
JP2015096837A (en) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 株式会社島津製作所 | Surface shape measuring instrument |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5954221U (en) * | 1982-10-04 | 1984-04-09 | ダイハツ工業株式会社 | Dog clutch for switching between 2 and 4 wheels in transfer equipment |
-
1986
- 1986-05-07 JP JP61103084A patent/JPS62261006A/en active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62261006A (en) | 1987-11-13 |
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