JPS62261006A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPS62261006A JPS62261006A JP61103084A JP10308486A JPS62261006A JP S62261006 A JPS62261006 A JP S62261006A JP 61103084 A JP61103084 A JP 61103084A JP 10308486 A JP10308486 A JP 10308486A JP S62261006 A JPS62261006 A JP S62261006A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば自動車の車体パネル塗装面などの曲
面を有する被検査物の表面欠陥を検査するための表面欠
陥検査装置に関する。
面を有する被検査物の表面欠陥を検査するための表面欠
陥検査装置に関する。
車体パネル塗装面などの被検査物の表面における傷、突
起、ブッ、汚れ等の欠陥の検査は、非能率で個人差のあ
る作業11による目視検査から、指向性の強いレーザ光
を利用した自動検査に移行する傾向にある。
起、ブッ、汚れ等の欠陥の検査は、非能率で個人差のあ
る作業11による目視検査から、指向性の強いレーザ光
を利用した自動検査に移行する傾向にある。
このようなレーザ光を利用した表面欠陥検査装置として
は、第13図に示すように、光源であるレーザスリット
光発生器1から被検査物の表面である被検査面2にスリ
ット光LSTを投射して、その反射光LST’ を−粗
鉱散板によるスクリーン乙に投影し、そのスクリーン3
上の像をカメラ部の集光レンズ4によって集光してCC
D等のラインセンサ5上に結像させて検出することによ
って、被検査面2上の表面欠陥を検出するようにした装
置を本出願人が先に提案している(特願昭59−838
89号、特願昭59−83890号)。
は、第13図に示すように、光源であるレーザスリット
光発生器1から被検査物の表面である被検査面2にスリ
ット光LSTを投射して、その反射光LST’ を−粗
鉱散板によるスクリーン乙に投影し、そのスクリーン3
上の像をカメラ部の集光レンズ4によって集光してCC
D等のラインセンサ5上に結像させて検出することによ
って、被検査面2上の表面欠陥を検出するようにした装
置を本出願人が先に提案している(特願昭59−838
89号、特願昭59−83890号)。
この表面欠陥検査装置によれば、例えば第14図に示す
ように、被検査面2上のスリット光投射位置に傷やブツ
等の欠陥aがあると、レーザスリット光発生器1から投
射されたスリット光LSTがそこで散乱するため、被検
査面2からの正反射光LST’ を受けるスクリーン3
上には、図示のように欠陥aに対応するところで切れた
スリット像SLが投影されることになる。
ように、被検査面2上のスリット光投射位置に傷やブツ
等の欠陥aがあると、レーザスリット光発生器1から投
射されたスリット光LSTがそこで散乱するため、被検
査面2からの正反射光LST’ を受けるスクリーン3
上には、図示のように欠陥aに対応するところで切れた
スリット像SLが投影されることになる。
したがって、このスクリーン3上のスリット像SLが投
影される位置を常時撮影している第13図のラインセン
サ5のビデオ出力信号は、第15図(a)に示すように
なり、同図(b)に示すその包絡線信号Vsとそれを積
分して平均化した比較信号Vr(スレッショルドレベル
)とを比較して、同図(C)に示すようにV s <
V rの時にのみハイレベル゛H“になり、それ以外で
はローレベル゛L″になる2値化信号を形成すれば、被
検査面2上の欠陥aを、この2値化信号のレベルがパH
“になることによって検出することができ。
影される位置を常時撮影している第13図のラインセン
サ5のビデオ出力信号は、第15図(a)に示すように
なり、同図(b)に示すその包絡線信号Vsとそれを積
分して平均化した比較信号Vr(スレッショルドレベル
)とを比較して、同図(C)に示すようにV s <
V rの時にのみハイレベル゛H“になり、それ以外で
はローレベル゛L″になる2値化信号を形成すれば、被
検査面2上の欠陥aを、この2値化信号のレベルがパH
“になることによって検出することができ。
その欠陥の大きさもこのパルスの幅Wによって知ること
ができる。
ができる。
この場合、第13図のラインセンサ5は集光レンズ4の
合焦位置に配置したスクリーン3で拡散された散乱光S
Cを受光することによって、スクリーン3上の投影スリ
ット像SLを撮像しているため、集光レンズ4の焦点を
常時固定にすることができ、しかも拡散によって投影ス
リット像SLが拡大されるため1表面欠陥の検出分解能
が向上する。
合焦位置に配置したスクリーン3で拡散された散乱光S
Cを受光することによって、スクリーン3上の投影スリ
ット像SLを撮像しているため、集光レンズ4の焦点を
常時固定にすることができ、しかも拡散によって投影ス
リット像SLが拡大されるため1表面欠陥の検出分解能
が向上する。
このような表面欠陥検査装置によって車体パネル塗装面
等の大面積の被検査面を検査するには、この装置を例え
ばロボットのハンドに取付けて。
等の大面積の被検査面を検査するには、この装置を例え
ばロボットのハンドに取付けて。
被検査面に対して常に一定の距離で且つスリット光の入
射角度も一定になるようにして走査すればよい。
射角度も一定になるようにして走査すればよい。
その場合、レーザスリット光発生器1とスクリーン3と
被検査面2との相対位置関係を1例えば第16図に実線
で示す状態にmmして、スリット光LSTの被検査面2
による反射光が、スクリーン3上のラインセンサによっ
て撮像し得る範囲(以下「検出可能範囲」という)3a
内にスリット像SLを形成するようにする。
被検査面2との相対位置関係を1例えば第16図に実線
で示す状態にmmして、スリット光LSTの被検査面2
による反射光が、スクリーン3上のラインセンサによっ
て撮像し得る範囲(以下「検出可能範囲」という)3a
内にスリット像SLを形成するようにする。
しかし、走査中に被検査面2が実線で示す正規の状態に
対して図に破線で示す被検査面2′のように傾斜(傾斜
角度α、β)すると、スリット光LSTの被検査面への
入射角度及び反射位置が変化し、スクリーン3上に形成
されるスリット像SL’ が、正真の状態でのスリット
像SLに対してずれて二次元的に傾斜し、検出可能範囲
3aから外れてしまうため検査不能になる。
対して図に破線で示す被検査面2′のように傾斜(傾斜
角度α、β)すると、スリット光LSTの被検査面への
入射角度及び反射位置が変化し、スクリーン3上に形成
されるスリット像SL’ が、正真の状態でのスリット
像SLに対してずれて二次元的に傾斜し、検出可能範囲
3aから外れてしまうため検査不能になる。
そのため、ある程度の精度で常に正規の相対位置関係を
保つように補正を行なう必要がある。
保つように補正を行なう必要がある。
そこで、このスリット像SL又はSL’ と交差する方
向に補正用の複数のラインセンサを配置して、その受光
点すなわち交差点位置の差からスリット像のずれ量及び
傾斜(回転)角度を検出し、その検出結果によって被検
査面2に対する検査装置の姿勢を補正するようにしてい
た。
向に補正用の複数のラインセンサを配置して、その受光
点すなわち交差点位置の差からスリット像のずれ量及び
傾斜(回転)角度を検出し、その検出結果によって被検
査面2に対する検査装置の姿勢を補正するようにしてい
た。
しかしながら、このような表面欠陥検査装置にあっては
、ラインセンサの検出ライン(受光素子列)が直線であ
るため、被検査物の表面が略平坦なものの検査に限られ
、せいぜい自動車の外板などの比較的曲率の小さな曲面
の欠陥検査にしか適用できないという問題点があった。
、ラインセンサの検出ライン(受光素子列)が直線であ
るため、被検査物の表面が略平坦なものの検査に限られ
、せいぜい自動車の外板などの比較的曲率の小さな曲面
の欠陥検査にしか適用できないという問題点があった。
この発明は、このような問題点を解決して、ある程度曲
率の大きな曲面の欠陥検査にも使用できる表面欠陥検査
装置を提供することを目的とする。
率の大きな曲面の欠陥検査にも使用できる表面欠陥検査
装置を提供することを目的とする。
そのためこの発明は、被検査物の表面にレーザスリット
光を投射してその反射光を拡散板によるスクリーン上に
投影し、そのスリット状の散乱光をラインセンサによっ
て検出することによって被検査物の表面の欠陥を検査す
る表面欠陥検査′JA置において、 上記スクリーンからのスリット状の散乱光をビームスプ
リッタによって2方向に分光して、第1の分光方向にそ
の第1のスリット状分光を検出する欠陥検出用ラインセ
ンサをそのスリット方向に沿って配置し、第2の分光方
向にその第2のスリット状分光との交差位置を検出する
3個以上の補正用ラインセンサを間隔を置いて互いに平
行に配置すると共に、この各補正用ラインセンサによる
検出位置データから被検査物の表面形状の曲率を算出し
て、その曲率に応じて欠陥検出用ラインセンサの検出幅
を変更する手段を設けることにより、上記の目的を達成
するものである。
光を投射してその反射光を拡散板によるスクリーン上に
投影し、そのスリット状の散乱光をラインセンサによっ
て検出することによって被検査物の表面の欠陥を検査す
る表面欠陥検査′JA置において、 上記スクリーンからのスリット状の散乱光をビームスプ
リッタによって2方向に分光して、第1の分光方向にそ
の第1のスリット状分光を検出する欠陥検出用ラインセ
ンサをそのスリット方向に沿って配置し、第2の分光方
向にその第2のスリット状分光との交差位置を検出する
3個以上の補正用ラインセンサを間隔を置いて互いに平
行に配置すると共に、この各補正用ラインセンサによる
検出位置データから被検査物の表面形状の曲率を算出し
て、その曲率に応じて欠陥検出用ラインセンサの検出幅
を変更する手段を設けることにより、上記の目的を達成
するものである。
3111以上の補正用ラインセンサによる第2のスリッ
ト状分光の各検出位置の差から被検査物の表面形状の曲
率を算出し、その曲率に応じて欠陥検出用ラインセンサ
の検出幅すなわち視野幅を検出可能な最大幅に変更する
ので1曲率の大きい被検査面でも検出幅を狭くすること
により検査可能になる。
ト状分光の各検出位置の差から被検査物の表面形状の曲
率を算出し、その曲率に応じて欠陥検出用ラインセンサ
の検出幅すなわち視野幅を検出可能な最大幅に変更する
ので1曲率の大きい被検査面でも検出幅を狭くすること
により検査可能になる。
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第2図は、この発明による表面欠陥検査装置によって自
動車のドアパネルの表面欠陥を検査している状態を示す
斜視図である。
動車のドアパネルの表面欠陥を検査している状態を示す
斜視図である。
この図において、6は表面欠陥検査装置の検出ヘッドで
あり、取付盤7を介して走査装置としてのロボット8の
アーム先端部に取付けられている。
あり、取付盤7を介して走査装置としてのロボット8の
アーム先端部に取付けられている。
この検出ヘッド6は、取付盤7に固定された基部9と、
この基部9に取付けられた第2の調整機構10と、基部
9に対してブラケット11.11を介して矢示θy力方
向回動可能に取付けられた可動ステー12と、この可動
ステー12の裏面側に矢示A方向に回動可能に取り付け
られた第1の調整機構13と、可動ステー12の前面一
端部に軸14を介して矢示θX方向に回動可能に取付け
られたレーザ発生器15と、可動ステー12の前面他端
部に固定して取付けられた検出器1日と。
この基部9に取付けられた第2の調整機構10と、基部
9に対してブラケット11.11を介して矢示θy力方
向回動可能に取付けられた可動ステー12と、この可動
ステー12の裏面側に矢示A方向に回動可能に取り付け
られた第1の調整機構13と、可動ステー12の前面一
端部に軸14を介して矢示θX方向に回動可能に取付け
られたレーザ発生器15と、可動ステー12の前面他端
部に固定して取付けられた検出器1日と。
可動ステー12の下端中央部付近に取付けられた欠陥マ
ーカ17等によって構成されている。
ーカ17等によって構成されている。
第2の調整機構10は、タコジェネレータ18を取付け
た駆動モータ1Sと、連結部20を介してこの駆動モー
タISによって回転される平歯車21と、この平歯車2
1に嗜み合って軸22を矢示θ1方向に回転させる平歯
車23等によって構成され、駆動モータ1Sの回転を制
御することによって、軸22に固定したブラケット11
を介して可動ステー12を基部日に対して矢示Oy力方
向回動させることができる。
た駆動モータ1Sと、連結部20を介してこの駆動モー
タISによって回転される平歯車21と、この平歯車2
1に嗜み合って軸22を矢示θ1方向に回転させる平歯
車23等によって構成され、駆動モータ1Sの回転を制
御することによって、軸22に固定したブラケット11
を介して可動ステー12を基部日に対して矢示Oy力方
向回動させることができる。
また第1の調整機構13は、タコジェネレータ24を取
付けた駆動モータ2Sと、この駆動モータ25によって
回転されるボールネジ26と、このボールネジ26の回
転によって送られる駒部27と、この駒部27に回転自
在に連結され、レーザ発生器15の軸14に固着された
レバー28と、ボールネジ26を支持する支持枠2S等
によって構成され、この支持枠29が可動ステー12の
裏面側に矢示A方向に回転可能に取り付けられている。
付けた駆動モータ2Sと、この駆動モータ25によって
回転されるボールネジ26と、このボールネジ26の回
転によって送られる駒部27と、この駒部27に回転自
在に連結され、レーザ発生器15の軸14に固着された
レバー28と、ボールネジ26を支持する支持枠2S等
によって構成され、この支持枠29が可動ステー12の
裏面側に矢示A方向に回転可能に取り付けられている。
そして、駆動モータ25の回転を制御することによって
、軸14を矢示θ2方向に回転させ、それによってレー
ザ発生器15を矢示θX方向に回動させることができる
。
、軸14を矢示θ2方向に回転させ、それによってレー
ザ発生器15を矢示θX方向に回動させることができる
。
レーザ発生!Isは1例えばHe−Neレーザ発生器で
あり1発生したレーザビーム光をレーザスリット光LS
に変換して、被検査物(この例では自動車用ドアパネル
30の塗装面30a)に投射するレンズ系を具備してい
る。
あり1発生したレーザビーム光をレーザスリット光LS
に変換して、被検査物(この例では自動車用ドアパネル
30の塗装面30a)に投射するレンズ系を具備してい
る。
検出器16は、レーザ発生器15から投射されて塗装面
30aから正反射したレーザスリット光LSを投影して
拡散するすりガラス等の透過型の拡散板によるスクリー
ン31を先端に固着した検出筒32と、そのスクリーン
31上の予め定めたライン状の部位を撮像する集光レン
ズ33a及びラインセンサ等を有するカメラ部33とか
らなり、その詳細は第1図(A)(B)によって後述す
る。
30aから正反射したレーザスリット光LSを投影して
拡散するすりガラス等の透過型の拡散板によるスクリー
ン31を先端に固着した検出筒32と、そのスクリーン
31上の予め定めたライン状の部位を撮像する集光レン
ズ33a及びラインセンサ等を有するカメラ部33とか
らなり、その詳細は第1図(A)(B)によって後述す
る。
17は欠陥マーカであり、レーザスリット光LSが照射
された塗装面30aの位置にブッや傷等の欠陥があって
その存在が検出された時に、レーザスリット光LSと干
渉しないように欠陥の近傍に拭き取り可能なコンパウン
ド等のマーキング剤を吹き付けて、欠陥の存在を示すマ
ークを付ける。
された塗装面30aの位置にブッや傷等の欠陥があって
その存在が検出された時に、レーザスリット光LSと干
渉しないように欠陥の近傍に拭き取り可能なコンパウン
ド等のマーキング剤を吹き付けて、欠陥の存在を示すマ
ークを付ける。
次に、第1.第2の調整機構の詳細及びその作用につい
て第3図乃至第6図によって説明する。
て第3図乃至第6図によって説明する。
なお、第3図は検出ヘッド6の正面図、第4図は第3図
の右側面図、第5図は第1の調整機構13の正面図、第
S図は第2の調整機構10の下面図である。
の右側面図、第5図は第1の調整機構13の正面図、第
S図は第2の調整機構10の下面図である。
先ず、第3図及び第4図に示すように、レーザ発生器1
5と検出器1日とは、レーザ発生器15の光軸り、と検
出器16側の光軸であるカメラ部33の集光レンズ33
.の光軸L2が、同一平面内で交差角δで交差するよう
に可動ステー12に取付けである。
5と検出器1日とは、レーザ発生器15の光軸り、と検
出器16側の光軸であるカメラ部33の集光レンズ33
.の光軸L2が、同一平面内で交差角δで交差するよう
に可動ステー12に取付けである。
そして、第1の調整機構13において、駆動モータ25
によってボールネジ26が回転して駒部27が矢示B方
向に送られると、第5回に示すブラケット34を介して
軸35により可動ステー12に対して回動自在に枢支し
た支持枠29が軸3Sを中心に矢示A方向に回動しつつ
、駒部27に#136で回動自在に連結され、軸14(
第4図)に固定して連結したレバー28が軸14を中心
に矢示C方向に回動するため、第4図に示すように可動
ステー12の裏面に取付けたブラケット37に軸受を介
して回転自在に取付けられ、レーザ発生器15を固定し
た固定盤38を一端に固着した軸14が、矢示θ2方向
に回転するようになり、それによってレーザ発生器15
が第3図に示すように矢示OX方向に回動する。
によってボールネジ26が回転して駒部27が矢示B方
向に送られると、第5回に示すブラケット34を介して
軸35により可動ステー12に対して回動自在に枢支し
た支持枠29が軸3Sを中心に矢示A方向に回動しつつ
、駒部27に#136で回動自在に連結され、軸14(
第4図)に固定して連結したレバー28が軸14を中心
に矢示C方向に回動するため、第4図に示すように可動
ステー12の裏面に取付けたブラケット37に軸受を介
して回転自在に取付けられ、レーザ発生器15を固定し
た固定盤38を一端に固着した軸14が、矢示θ2方向
に回転するようになり、それによってレーザ発生器15
が第3図に示すように矢示OX方向に回動する。
このように、レーザ発生器15が矢示θX方向に回動す
ると、その光軸L1と検出器1日側の光軸L2との交差
角δが調整される。なお、この第1の調整機構13にお
ける駆動モータ25は、後述する補正用ラインセンサの
検出結果に基づいて回転制御されるが、その詳細は後述
する。
ると、その光軸L1と検出器1日側の光軸L2との交差
角δが調整される。なお、この第1の調整機構13にお
ける駆動モータ25は、後述する補正用ラインセンサの
検出結果に基づいて回転制御されるが、その詳細は後述
する。
次に、第2の調整機構10において、駆動モータ1りに
よって平歯車21が回転すると、第6図に示すように基
部9に軸受を介して回転自在に枢支され、一端に平歯車
21に歯合する平歯車23を、軸まわりにブラケット1
1.11を夫々固着した軸22が矢示01方向に回転す
るため、ブラケット11,11を取付けた可動ステー1
2が第4図に示すように矢示θy力方向回動する。
よって平歯車21が回転すると、第6図に示すように基
部9に軸受を介して回転自在に枢支され、一端に平歯車
21に歯合する平歯車23を、軸まわりにブラケット1
1.11を夫々固着した軸22が矢示01方向に回転す
るため、ブラケット11,11を取付けた可動ステー1
2が第4図に示すように矢示θy力方向回動する。
それによって、検出ヘッド6全体が第4図の矢示θy力
方向回動し、レーザ発生器15と検出器1日の光軸L1
+L2によって形成される平面の塗装面30aに対する
傾斜角εが調整される。
方向回動し、レーザ発生器15と検出器1日の光軸L1
+L2によって形成される平面の塗装面30aに対する
傾斜角εが調整される。
なお、第2の調整機!R10における駆動モータ19は
、傾斜角εがε=90°、すなわち光軸Ll+L2によ
って形成される平面が塗装面30aの法平面となるよう
に、やはり後述する位置補正用ラインセンサの検出結果
に基づいて回転制御されるが、その詳細も後述する。
、傾斜角εがε=90°、すなわち光軸Ll+L2によ
って形成される平面が塗装面30aの法平面となるよう
に、やはり後述する位置補正用ラインセンサの検出結果
に基づいて回転制御されるが、その詳細も後述する。
次に、検出器16の内部構造及び光学系を第1図(A)
、(B)を参照して説明する。
、(B)を参照して説明する。
カメラ部33内には、集光レンズ3B、の光軸上にビー
ムスプリッタ33bを設けており、塗装面Boaからの
反射レーザスリット光が拡散スクリーン31上に投影拡
散されることによって得られるスリット像から、集光レ
ンズ33aを介して入射されるスリン1〜状の散乱光を
第1の分光方向U里と第2の分光方向u2との2方向に
分光する。
ムスプリッタ33bを設けており、塗装面Boaからの
反射レーザスリット光が拡散スクリーン31上に投影拡
散されることによって得られるスリット像から、集光レ
ンズ33aを介して入射されるスリン1〜状の散乱光を
第1の分光方向U里と第2の分光方向u2との2方向に
分光する。
そして、このビームスプリッタ33bによる第1の分光
方向u1に対するセンサ配置面33cには、ビームスプ
リッタ33bからの第1のスリット状分光を検出するべ
く、ビームスプリッタ33b及び集光レンズ33aを介
して拡散スクリーン31上の予め定めたライン状の部位
31aを撮像する例えば2048ビツト(画素)の欠陥
検出用ラインセンサ(CCD又はMOS型のPDA)T
−[。
方向u1に対するセンサ配置面33cには、ビームスプ
リッタ33bからの第1のスリット状分光を検出するべ
く、ビームスプリッタ33b及び集光レンズ33aを介
して拡散スクリーン31上の予め定めたライン状の部位
31aを撮像する例えば2048ビツト(画素)の欠陥
検出用ラインセンサ(CCD又はMOS型のPDA)T
−[。
をスリット方向に沿って配置しである6なお、当然のこ
とではあるが、ラインセンサHoと拡散スクリーン31
とは集光レンズ33aの合焦位置にある。
とではあるが、ラインセンサHoと拡散スクリーン31
とは集光レンズ33aの合焦位置にある。
また、ビームスプリッタ33bによる第2の分光方向u
2に対するセンサ配置面33d (センサ配置面33c
と33dは互いに直交している)には、例えば2048
ビツト(画素)の3個の補正用ラインセンサ(CCD又
はMOS型のPDA)Hl ;H2r H3を互いに平
行に、且つ各ラインセンサF(、−H,とビームスプリ
ッタ33bからの第2のスリット状分光とが互いに交差
(この実施例では直交)するように配置している。
2に対するセンサ配置面33d (センサ配置面33c
と33dは互いに直交している)には、例えば2048
ビツト(画素)の3個の補正用ラインセンサ(CCD又
はMOS型のPDA)Hl ;H2r H3を互いに平
行に、且つ各ラインセンサF(、−H,とビームスプリ
ッタ33bからの第2のスリット状分光とが互いに交差
(この実施例では直交)するように配置している。
また、補正用ラインセンサH!〜H3とスクリーン31
とはやはり集光レンズ3B、の合焦点位置にある。そし
て、ラインセンサHOの受光部の配列に沿った基準線が
ラインセンサH1〜H3の各中央画素(1024ビツト
目)と交差する位置関係となっている。
とはやはり集光レンズ3B、の合焦点位置にある。そし
て、ラインセンサHOの受光部の配列に沿った基準線が
ラインセンサH1〜H3の各中央画素(1024ビツト
目)と交差する位置関係となっている。
次に、この実施例による被検査物の表面形状の曲率算出
原理を第7図及び第8図によって説明する。
原理を第7図及び第8図によって説明する。
第7図に示す3個の補正用ラインセンサH1+H2+H
3に対して、第1図のビームスプリッタ33bからの第
2のスリット状分光によるスリット像SL’ が図示の
ように湾曲して形成されたとする。
3に対して、第1図のビームスプリッタ33bからの第
2のスリット状分光によるスリット像SL’ が図示の
ように湾曲して形成されたとする。
この時の各ラインセンサH1+ H2* H3によるス
リット像SL’の検出位置をA、C,B (ビット)と
し、各ラインセンサの取付ピッチを第8図に示すように
floとすれば、このスリット像SL’の半径Rは1次
式によって求められる。
リット像SL’の検出位置をA、C,B (ビット)と
し、各ラインセンサの取付ピッチを第8図に示すように
floとすれば、このスリット像SL’の半径Rは1次
式によって求められる。
R=C□/2sinθ ・・・■ただし、第8
図に示す「0と「1を次式により求めると。
図に示す「0と「1を次式により求めると。
ro=k(CB)
rl =k(C−A)
(kはラインセンサのビットと長さの換算定数)A−8
間の長さcoは次式により算出される。
間の長さcoは次式により算出される。
C□ = 40(3” +(r□ rl下 ・・・
■ここで、第8図に示すように角度α、βをとると。
■ここで、第8図に示すように角度α、βをとると。
tana= (ro −rl )72n。
t−anβ= r o / n 。
θ=(β−α)×2
であり、sinθ は次式により算出される。
上記■式と0式によってそれぞれ求められるC、とsi
nθを、■式に入れて算出されるRが被検査物の表面の
曲率半径を示す。なお、その逆数(1/R)が曲率であ
る。
nθを、■式に入れて算出されるRが被検査物の表面の
曲率半径を示す。なお、その逆数(1/R)が曲率であ
る。
次に、このようにして算出したRに応じて、欠陥検出用
ラインセンサHoの検出幅すなわち視野幅の変更と、検
出ヘッドの姿勢補正方法について第S図乃至第11図に
よって説明する。
ラインセンサHoの検出幅すなわち視野幅の変更と、検
出ヘッドの姿勢補正方法について第S図乃至第11図に
よって説明する。
第S図(イ)は、欠陥検出用ラインセンサH,を補正用
ラインセンサH!〜H3と同一面に移動したと仮定して
破線で示し、その各ラインセンサH8−H3の検出ライ
ンの配置関係を同図(ロ)及び(ハ)に模式的に示して
おり、欠陥検出用ラインセンサH,と補正用ラインセン
サH2とは、中心の1024ビツト目で直交する関係に
なる。
ラインセンサH!〜H3と同一面に移動したと仮定して
破線で示し、その各ラインセンサH8−H3の検出ライ
ンの配置関係を同図(ロ)及び(ハ)に模式的に示して
おり、欠陥検出用ラインセンサH,と補正用ラインセン
サH2とは、中心の1024ビツト目で直交する関係に
なる。
図中SL’は被検査面からの反射スリット光によるスリ
ット像で、(イ)は被検査面の曲面のRが小さい場合、
(ロ)は同じくRが大きい場合の例を示す。Ql、Q3
は位置補正用ラインセンサH1+H3によるスリット像
SL’の検出位置(ビット)をそれぞれ示す。S Wは
視野幅、D。
ット像で、(イ)は被検査面の曲面のRが小さい場合、
(ロ)は同じくRが大きい場合の例を示す。Ql、Q3
は位置補正用ラインセンサH1+H3によるスリット像
SL’の検出位置(ビット)をそれぞれ示す。S Wは
視野幅、D。
はオフセット値である。
そして、前述の曲率半径Rの大きさに対してこの視野幅
Swとオフセント値Doを例えば第10図に示すように
段階的に変更する。
Swとオフセント値Doを例えば第10図に示すように
段階的に変更する。
すなわち、被検査面の曲面の曲率半径が小さくなる(曲
率は大きくなる)に従って、視野幅Sw■■■のように
順次小さくし、オフセット値は(◇■■ように順次大き
くする。
率は大きくなる)に従って、視野幅Sw■■■のように
順次小さくし、オフセット値は(◇■■ように順次大き
くする。
さらに、第4図の傾斜角εを調整するための傾斜角調整
データDyと、第3図の交差角δを調整するための交差
角調整データDxをそれぞれ次式によって算出する。
データDyと、第3図の交差角δを調整するための交差
角調整データDxをそれぞれ次式によって算出する。
D V =Q3−Qt ・・
・(1)Dx=1024 (Q3 +Ql)/2+D
O=・LH’この傾斜角調整データDyは、スリット(
14S L ’の傾き、すなわち第2図乃至第4図に示
した検出ヘッド6のドアパネルの塗装面3Oa (被検
査面)に対する傾きを示すデータであり、この値がゼロ
になるように第2の調整機構10の駆動モータ1日を回
転させて検出・\ラドSの傾きを補正する。
・(1)Dx=1024 (Q3 +Ql)/2+D
O=・LH’この傾斜角調整データDyは、スリット(
14S L ’の傾き、すなわち第2図乃至第4図に示
した検出ヘッド6のドアパネルの塗装面3Oa (被検
査面)に対する傾きを示すデータであり、この値がゼロ
になるように第2の調整機構10の駆動モータ1日を回
転させて検出・\ラドSの傾きを補正する。
また、交差角調整データr)Xは、スリット像SL’が
欠陥検出用ラインセンサHoに対して平行移動する方向
の位置ずれ量、すなわち検出ヘッド6とドアパネルの塗
装面30a(被検査面)との間隔の変化によるデータで
あり、第1の調整機$413の駆動モータ25を回転さ
せて、光軸L1とL2のなす角δを調整し、このデータ
Dxがオフセット値Doになるようにレーザ発生器15
の角度を補正する。
欠陥検出用ラインセンサHoに対して平行移動する方向
の位置ずれ量、すなわち検出ヘッド6とドアパネルの塗
装面30a(被検査面)との間隔の変化によるデータで
あり、第1の調整機$413の駆動モータ25を回転さ
せて、光軸L1とL2のなす角δを調整し、このデータ
Dxがオフセット値Doになるようにレーザ発生器15
の角度を補正する。
このように、検出ヘッドの姿勢を補正して前述の視野幅
切換えを行なうことにより、第9図(ロ)(ハ)に示す
ように少なくとも視野幅SW内では。
切換えを行なうことにより、第9図(ロ)(ハ)に示す
ように少なくとも視野幅SW内では。
スリット像SL’ が欠陥検出用ラインセンサH0の検
出ライン上に略載るようになる。
出ライン上に略載るようになる。
次に、この表面欠陥検査装置の制御系の一例を第11図
に示し、これを説明する。
に示し、これを説明する。
この制御系は、センサ駆動回路40a〜43a。
2値化回路40b2位置カウンタ41b〜43bと、制
御五ニット44と、サーボアンプ50゜51等によって
構成されている。
御五ニット44と、サーボアンプ50゜51等によって
構成されている。
そして、制御ユニット44は、演算部45a。
姿勢補正部45b、及び視野切換部45cの機能をなす
第1のマイクロコンピュータ45と、欠陥検出部の機能
をなす第2のマイクロコンピュータ46と、D/A変換
器47.48及び呂カインタフェース回路(ドライバ)
49がらなり、第2図のロボット8の制御装置との間で
図示のような信号のやりとりをしている。
第1のマイクロコンピュータ45と、欠陥検出部の機能
をなす第2のマイクロコンピュータ46と、D/A変換
器47.48及び呂カインタフェース回路(ドライバ)
49がらなり、第2図のロボット8の制御装置との間で
図示のような信号のやりとりをしている。
25.24は第2図乃至第6図に示した第1の調M機楕
13の駆動モータとその回転速度を検出するためにタコ
ジェネレータ、19.18は同じく第2の調整機構1o
の駆動モータとその回転速度を検出するタコジェネレー
タである。
13の駆動モータとその回転速度を検出するためにタコ
ジェネレータ、19.18は同じく第2の調整機構1o
の駆動モータとその回転速度を検出するタコジェネレー
タである。
tた。53は欠陥マーカ17を駆動するエアシリンダ1
7aへの圧縮空気供給路を開閉する電磁弁である。
7aへの圧縮空気供給路を開閉する電磁弁である。
次に、この制御系の動作を第12図も参照して説明する
。
。
制御ユニット44の第1のマイクロコンピュータ45か
ら計測指令SAが出力されると、各センサ駆動回路41
a〜43aが3個の補正用ラインセンサH1””’H3
をそれぞれ駆動して、それぞれ2048ビツトの検出信
号を読出し1位置カウンタ41b〜43bにハイレベル
となっているビットまでのビット数をカウントさせる。
ら計測指令SAが出力されると、各センサ駆動回路41
a〜43aが3個の補正用ラインセンサH1””’H3
をそれぞれ駆動して、それぞれ2048ビツトの検出信
号を読出し1位置カウンタ41b〜43bにハイレベル
となっているビットまでのビット数をカウントさせる。
この各位置カウンタ41b〜43bによるカウントデー
タQ1.Q2 、Qaが、第7図及び第8図において各
ラインセンサH1+H2+H3とスリット像SL’ と
の交差位置A、C,Bに相当する。
タQ1.Q2 、Qaが、第7図及び第8図において各
ラインセンサH1+H2+H3とスリット像SL’ と
の交差位置A、C,Bに相当する。
そこで、第1のマイクロコンピュータ45は、第12図
に示すフローチャートを示すように動作して、この各カ
ウントデータQt 、Q2 、Qaを読込んで、演算部
45aにおいて前述の式■、■及び■の演算を行なって
(但し、A=Qt 1B=Q3 tC=Q2 ) 、塗
装面3aの曲率半径Rを算出する。
に示すフローチャートを示すように動作して、この各カ
ウントデータQt 、Q2 、Qaを読込んで、演算部
45aにおいて前述の式■、■及び■の演算を行なって
(但し、A=Qt 1B=Q3 tC=Q2 ) 、塗
装面3aの曲率半径Rを算出する。
そして、そのRの値に応じて、予めメモリに格納しであ
る第11図に示したようなテーブルにより、視野幅S
Wを決定し、オフセット値Doも決定する。さらに、前
述の式■の演算により傾斜角調整データDyを、弐〇の
演算により交差調整データDxをそれぞれ計算する。
る第11図に示したようなテーブルにより、視野幅S
Wを決定し、オフセット値Doも決定する。さらに、前
述の式■の演算により傾斜角調整データDyを、弐〇の
演算により交差調整データDxをそれぞれ計算する。
そして、姿勢補正部4Sbがら交差角調整データDxと
傾斜角調整データDyを出力し、それをそれぞれD/A
変換器47.48によって電圧信号Vx、Vy (補
正方向により正負がある)に変換する。
傾斜角調整データDyを出力し、それをそれぞれD/A
変換器47.48によって電圧信号Vx、Vy (補
正方向により正負がある)に変換する。
9の電圧信号Vxにより、サーボアンプ5oがタコジェ
ネレータ24がら速度フィードバックをかけられながら
第1の調整機構13の駆動モータ25を回転させ、第2
図及び第3図に示したレーザ発生器15を回動させて光
軸り、とL2の交差角δを補正し、Dx”DOになるよ
うにする。
ネレータ24がら速度フィードバックをかけられながら
第1の調整機構13の駆動モータ25を回転させ、第2
図及び第3図に示したレーザ発生器15を回動させて光
軸り、とL2の交差角δを補正し、Dx”DOになるよ
うにする。
また、電圧信号vyにより、サーボアンプ51がタコジ
ェネレータ1日から速度フィードバックをかけられなが
ら第2の調整機構10の駆動モータ1日を回転させ、検
出ヘッド6全体を回動させて傾斜角Eを補正し、Dy=
Oになるようにする。
ェネレータ1日から速度フィードバックをかけられなが
ら第2の調整機構10の駆動モータ1日を回転させ、検
出ヘッド6全体を回動させて傾斜角Eを補正し、Dy=
Oになるようにする。
このようにして検出ヘッド6の姿勢補正が完了すると、
ロボット側からの検出指令により、制御ユニット44の
第2のマイクロコンピュータ(欠陥検出部)46がセン
サ駆動回路40aへ計」11指令SBを出力する。
ロボット側からの検出指令により、制御ユニット44の
第2のマイクロコンピュータ(欠陥検出部)46がセン
サ駆動回路40aへ計」11指令SBを出力する。
それにより、センサ駆動検出回路40aは欠陥検出用ラ
インセンサ■(。を駆動して2048ビツトのビデオ信
号を逐次読出し、2値化回路40bに入力して第15図
によって説明した従来例と同様に浮@2値化処理して、
塗装面30aにおけるブツ等の欠陥の大きさに応じた幅
W(欠陥がない場合はW=0)のパルスを含む検出信号
Spを出力する。
インセンサ■(。を駆動して2048ビツトのビデオ信
号を逐次読出し、2値化回路40bに入力して第15図
によって説明した従来例と同様に浮@2値化処理して、
塗装面30aにおけるブツ等の欠陥の大きさに応じた幅
W(欠陥がない場合はW=0)のパルスを含む検出信号
Spを出力する。
第2のマイクロコンピュータ46は、第1のマイクロコ
ンピュータ45から入力された前述の視野切換信号に応
じて、検出信号Spの有効範囲を制限し、その有効範囲
内にパルスがあった場合に、そのパルス幅Wが予め検出
欠陥幅指令によって設定されている幅より大きいか否か
を判別し、大きい時にのみ欠陥検出信号SMを出力する
。
ンピュータ45から入力された前述の視野切換信号に応
じて、検出信号Spの有効範囲を制限し、その有効範囲
内にパルスがあった場合に、そのパルス幅Wが予め検出
欠陥幅指令によって設定されている幅より大きいか否か
を判別し、大きい時にのみ欠陥検出信号SMを出力する
。
この欠陥検出信号SMが出力されると、出力インタフェ
ース回路4日が電磁弁駆動信号を出力し。
ース回路4日が電磁弁駆動信号を出力し。
それによって電磁弁53が切換わってエアシリンダi7
aに圧縮空気を送り込み、欠陥マーカ17のノズルが開
いて塗装面30.の欠陥位置近傍にコンパウンド等のマ
ーキング材を吹き付ける。
aに圧縮空気を送り込み、欠陥マーカ17のノズルが開
いて塗装面30.の欠陥位置近傍にコンパウンド等のマ
ーキング材を吹き付ける。
このようにして、姿勢補正と視野切換並びに表面欠陥検
出を行ないながら1例えば第2図に2点鎖線で示すよう
に、検出ヘッド6によってドアパネル30の塗装面30
aのような被検査面を走査することによって、それが比
較的曲率の大きい曲面であってもその全面の表面欠陥を
自動的に検出して、マーキングを施すことができる。
出を行ないながら1例えば第2図に2点鎖線で示すよう
に、検出ヘッド6によってドアパネル30の塗装面30
aのような被検査面を走査することによって、それが比
較的曲率の大きい曲面であってもその全面の表面欠陥を
自動的に検出して、マーキングを施すことができる。
以上説明してきたように、この発明による表面欠陥検査
装置は、被検査面からの反射スリット光によってスクリ
ーン上に形成されるスリット像からの散乱光を、ビーム
スプリッタによって2方向に分割し、その一方のスリッ
ト状分光をそのスリット方向に沿って欠陥検出用ライン
センサによって検出し、もう一方のスリット状分光との
交差位置を3個以上の補正用ラインセンサによって検出
するようにし、その各補正用ラインセンサによる検出位
置データから被検査面の曲率を算出して、その曲率に応
じて欠陥検出用ラインセンサの検出幅を変更するように
したので、被検査面の曲率が比較的大きい(曲率半径が
小さい)場合でも、上記検出幅を狭くすることによって
欠陥検出用ラインセンサによるスリット像の検出が可能
になり、精度よく表面欠陥を検出することができる。
装置は、被検査面からの反射スリット光によってスクリ
ーン上に形成されるスリット像からの散乱光を、ビーム
スプリッタによって2方向に分割し、その一方のスリッ
ト状分光をそのスリット方向に沿って欠陥検出用ライン
センサによって検出し、もう一方のスリット状分光との
交差位置を3個以上の補正用ラインセンサによって検出
するようにし、その各補正用ラインセンサによる検出位
置データから被検査面の曲率を算出して、その曲率に応
じて欠陥検出用ラインセンサの検出幅を変更するように
したので、被検査面の曲率が比較的大きい(曲率半径が
小さい)場合でも、上記検出幅を狭くすることによって
欠陥検出用ラインセンサによるスリット像の検出が可能
になり、精度よく表面欠陥を検出することができる。
第1図(A)はこの発明の一実施例における検出器の内
部構造を一部破断して示す斜視図。 第1図(B)は同じくその検出器の光学系を示す光路図
。 第2図はこの発明の実施例である表面欠陥検査装置によ
って自動車のドアパネルの表面欠陥を検査している状態
を示す斜視図。 第3図は第2図における検出ヘッド6の欠陥マーカ17
を除いた部分の詳細を示す正面図、第4図は同じくその
右側面図。 第5図は同じくその第1の調11機1i11Bの正面図
。 第6図は同じくその第2の調整機構10の下面図。 第7図は補正用ラインセンサとスリット像との関係例を
示す正面図、 第8図はこの発明における被検査面の曲率算出式を説明
するための説rJA図。 第9図(イ)〜(ハ)は欠陥検出用ラインセンサと補正
用ラインセンサの位置関係及び曲率半径Rによる視野幅
及びオフセット値の相違を示す説明図。 第10図は曲率半径Rの値による視野幅とオフセット値
の変更例を示す線図、 第11rj!Iはこの発明による表面欠陥検査装置の制
御系の一例を示すブロック図。 第12図は第11図における第1のマイクロコンピュー
タ45による演算動作の一例を示すフロー図、 第13図はこの発明を適用する表面欠陥検査装置の原理
説明図、 第14図は同じくその作用説明図。 第15図は同じくそのラインセンサによるビデオ出力信
号の2値化処理を説明するための波形図、 第16図は検査装置の姿勢補正の原理を説明する第5図 第6図 / 1を 第7因 第8図 ビット 第9図 第10図 に 第12図 第13図 第14図 第15図 欠障
部構造を一部破断して示す斜視図。 第1図(B)は同じくその検出器の光学系を示す光路図
。 第2図はこの発明の実施例である表面欠陥検査装置によ
って自動車のドアパネルの表面欠陥を検査している状態
を示す斜視図。 第3図は第2図における検出ヘッド6の欠陥マーカ17
を除いた部分の詳細を示す正面図、第4図は同じくその
右側面図。 第5図は同じくその第1の調11機1i11Bの正面図
。 第6図は同じくその第2の調整機構10の下面図。 第7図は補正用ラインセンサとスリット像との関係例を
示す正面図、 第8図はこの発明における被検査面の曲率算出式を説明
するための説rJA図。 第9図(イ)〜(ハ)は欠陥検出用ラインセンサと補正
用ラインセンサの位置関係及び曲率半径Rによる視野幅
及びオフセット値の相違を示す説明図。 第10図は曲率半径Rの値による視野幅とオフセット値
の変更例を示す線図、 第11rj!Iはこの発明による表面欠陥検査装置の制
御系の一例を示すブロック図。 第12図は第11図における第1のマイクロコンピュー
タ45による演算動作の一例を示すフロー図、 第13図はこの発明を適用する表面欠陥検査装置の原理
説明図、 第14図は同じくその作用説明図。 第15図は同じくそのラインセンサによるビデオ出力信
号の2値化処理を説明するための波形図、 第16図は検査装置の姿勢補正の原理を説明する第5図 第6図 / 1を 第7因 第8図 ビット 第9図 第10図 に 第12図 第13図 第14図 第15図 欠障
Claims (1)
- 1 被検査物の表面にレーザスリツト光を投射してその
反射光を拡散板によるスクリーン上に投影し、そのスリ
ツト状の散乱光をラインセンサによつて検出することに
よつて前記被検査物の表面の欠陥を検査する表面欠陥検
査装置において、前記スクリーンからのスリツト状の散
乱光を2方向に分光するビームスプリツタを設け、この
ビームスプリツタによる第1のスリツト状分光を検出す
る欠陥検出用ラインセンサをそのスリツト方向に沿つて
配置し、前記ビームスプリツタによる第2のスリツト状
分光との交差位置を検出する3個以上の補正用ラインセ
ンサを間隔を置いて互いに平行に配置すると共に、この
各補正用ラインセンサによる検出位置データから前記被
検査物の表面形状の曲率を算出して、その曲率に応じて
前記欠陥検出用ラインセンサの検出幅を変更する手段を
設けたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61103084A JPS62261006A (ja) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61103084A JPS62261006A (ja) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62261006A true JPS62261006A (ja) | 1987-11-13 |
JPH0577003B2 JPH0577003B2 (ja) | 1993-10-25 |
Family
ID=14344766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61103084A Granted JPS62261006A (ja) | 1986-05-07 | 1986-05-07 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62261006A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008046103A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-28 | Shimatec:Kk | 表面検査装置 |
JP4827744B2 (ja) * | 2004-02-18 | 2011-11-30 | イスラ ヴィズィオーン アーゲー | 検査路設定及び検査領域決定方法 |
JP2015096837A (ja) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 株式会社島津製作所 | 表面形状計測装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5954221U (ja) * | 1982-10-04 | 1984-04-09 | ダイハツ工業株式会社 | トランスフア装置の2輪・4輪切換用ドツグクラツチ |
-
1986
- 1986-05-07 JP JP61103084A patent/JPS62261006A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5954221U (ja) * | 1982-10-04 | 1984-04-09 | ダイハツ工業株式会社 | トランスフア装置の2輪・4輪切換用ドツグクラツチ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4827744B2 (ja) * | 2004-02-18 | 2011-11-30 | イスラ ヴィズィオーン アーゲー | 検査路設定及び検査領域決定方法 |
JP2008046103A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-28 | Shimatec:Kk | 表面検査装置 |
JP2015096837A (ja) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | 株式会社島津製作所 | 表面形状計測装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH0577003B2 (ja) | 1993-10-25 |
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