JPS62259033A - リーク検査装置のディテクタを較正する装置 - Google Patents
リーク検査装置のディテクタを較正する装置Info
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- JPS62259033A JPS62259033A JP62096369A JP9636987A JPS62259033A JP S62259033 A JPS62259033 A JP S62259033A JP 62096369 A JP62096369 A JP 62096369A JP 9636987 A JP9636987 A JP 9636987A JP S62259033 A JPS62259033 A JP S62259033A
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 82
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 9
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 9
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/207—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material calibration arrangements
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野:
本発明はテストリークと検知器の間にある弁を有する、
テストリークによりリーク検知装置の検知器を較正する
装置に関する。
テストリークによりリーク検知装置の検知器を較正する
装置に関する。
従来の技術:
ヘリウムをテストガスとして作業する最近のリーク検知
器はi Q−10mbar l/seaより低いヘリウ
ム速度を検出することができる。テストリーク(とくに
固有のガス貯蔵器を有する)によりこの種のリーク検知
装置の監視および(または)較正が行われる。テストリ
ークは実際に伐知リーク速度のリークを生ずる。それゆ
えテストリークに関する一般的要求はできるだけ長時間
安定なテストガス流を発生することである。
器はi Q−10mbar l/seaより低いヘリウ
ム速度を検出することができる。テストリーク(とくに
固有のガス貯蔵器を有する)によりこの種のリーク検知
装置の監視および(または)較正が行われる。テストリ
ークは実際に伐知リーク速度のリークを生ずる。それゆ
えテストリークに関する一般的要求はできるだけ長時間
安定なテストガス流を発生することである。
さらにテストガス流は較正過程開始後できるだけ迅速に
誤差なく得られなければならない。
誤差なく得られなければならない。
ヘリウムリーク検知装置の較正は通常テストリークの既
知のリーク速度をリーク検知装置の表示と比較すること
によって行われる0両方の値から補正ファクタが形成さ
れ、または表示が適当な調節素子によって正しい値へ補
正される。
知のリーク速度をリーク検知装置の表示と比較すること
によって行われる0両方の値から補正ファクタが形成さ
れ、または表示が適当な調節素子によって正しい値へ補
正される。
テストリークはほぼ2つの詳に分類することができる。
第1群には10″″6mbar l/seaより大きい
リーク速度を有するテストリークが属する。これはテス
トガス消費量が比較的高く、テストガスが連続的に流出
する場合比較的早期に圧力変化が発生する。圧力変化と
ともにテストリークのリーク速度も変化するので、テス
トがスはもはや較正目的に使用することができない。
リーク速度を有するテストリークが属する。これはテス
トガス消費量が比較的高く、テストガスが連続的に流出
する場合比較的早期に圧力変化が発生する。圧力変化と
ともにテストリークのリーク速度も変化するので、テス
トがスはもはや較正目的に使用することができない。
それゆえこのタイプのすなわち10−’ mbar1/
eecエリ大きいリーク速度のテストリークに遮断弁を
備えることが公知である(***公開特許公報第32 4
3 752号参照)。テストリ” −りの非丈用時に遮
断弁は閉鎖される。
eecエリ大きいリーク速度のテストリークに遮断弁を
備えることが公知である(***公開特許公報第32 4
3 752号参照)。テストリ” −りの非丈用時に遮
断弁は閉鎖される。
1Q−’ mbar l/seaより小さいリーク速度
を有し、したがって高感度リーク検知装置の較正に適す
るテストリークが第2群に属する。リーク速度が非常に
小さいため、このようなテストリークはがス貯蔵器が比
較的小さい場合もこれを閉鎖せずに数年にわたってほぼ
一定のがス流が得られる。それゆえこのタイプのテスト
IJ −りはしばしば遮断弁を備えない。しかしテスト
がス流を遮断する必要がある場合、このタイプのテスト
リークも遮断弁を備えなければならない。これはたとえ
ば高感度リーク検知装置へ組込んだテストリークにおい
て、被検装置を接続した場合または自動経過の場合でも
常時較正を開始できるため(C必要である。゛ デスll−りに遮断弁を使用する場合、次の現象が不可
避である:遮断弁はしばしば2つの較正過程の間の非常
に長い期間閉鎖の1ま留まらなければならない。弁の閉
鎖状態で閉鎖要素の前の空間(死空間)にテストガスが
集まる。
を有し、したがって高感度リーク検知装置の較正に適す
るテストリークが第2群に属する。リーク速度が非常に
小さいため、このようなテストリークはがス貯蔵器が比
較的小さい場合もこれを閉鎖せずに数年にわたってほぼ
一定のがス流が得られる。それゆえこのタイプのテスト
IJ −りはしばしば遮断弁を備えない。しかしテスト
がス流を遮断する必要がある場合、このタイプのテスト
リークも遮断弁を備えなければならない。これはたとえ
ば高感度リーク検知装置へ組込んだテストリークにおい
て、被検装置を接続した場合または自動経過の場合でも
常時較正を開始できるため(C必要である。゛ デスll−りに遮断弁を使用する場合、次の現象が不可
避である:遮断弁はしばしば2つの較正過程の間の非常
に長い期間閉鎖の1ま留まらなければならない。弁の閉
鎖状態で閉鎖要素の前の空間(死空間)にテストガスが
集まる。
この集合により遮断弁の開放後まず”吸収テストガス”
が記録され、これは記録装置たとえばテストガスに感す
る質量分光分析計−検知器の汚染および(または)過制
御の危険が存在する程度に大きく、かつその鑓度が高い
。さらに閉鎖要素は弁の閉鎖状態の間、全テストガス圧
力(数バール)にさらされる。それによってテストがス
は閉鎖要素とくにシール材料に損縮する。
が記録され、これは記録装置たとえばテストガスに感す
る質量分光分析計−検知器の汚染および(または)過制
御の危険が存在する程度に大きく、かつその鑓度が高い
。さらに閉鎖要素は弁の閉鎖状態の間、全テストガス圧
力(数バール)にさらされる。それによってテストがス
は閉鎖要素とくにシール材料に損縮する。
弁を較正過程導入の目的で開放すると、押込まれていた
がス粒子が再び流出し、比較的長時間にわたってテスト
リークの固有のリーク流に誤差を生ずる(ドリフト)。
がス粒子が再び流出し、比較的長時間にわたってテスト
リークの固有のリーク流に誤差を生ずる(ドリフト)。
閉鎖要素がゴムまたはプラスチックからなる膜である場
合、前記ドリフト現象がとくに顕著に現れる。さらに弁
閉鎖の際すなわちリーク検知作業の間、膜を通る透過は
不可避である。テストリークなリーク検知器へ組込むと
、膜を通過した粒子がテストガスに感する検知器に入る
。
合、前記ドリフト現象がとくに顕著に現れる。さらに弁
閉鎖の際すなわちリーク検知作業の間、膜を通る透過は
不可避である。テストリークなリーク検知器へ組込むと
、膜を通過した粒子がテストガスに感する検知器に入る
。
***公開・特許公報第52 43 752号によるテス
トリークの第1群に属するリーク速度がi Q−6mb
ar l/secより大きいテストリークの場合、遮断
弁の閉鎖部材の前の死空間はもはやほぼ存在しない。不
利な現象6テストガス吸収”、y IJアフトおよび“
透過”はそれによって規準リーク速度に対して無視可能
であり、したがって較正に誤差を生じない程度に抑えら
れる。
トリークの第1群に属するリーク速度がi Q−6mb
ar l/secより大きいテストリークの場合、遮断
弁の閉鎖部材の前の死空間はもはやほぼ存在しない。不
利な現象6テストガス吸収”、y IJアフトおよび“
透過”はそれによって規準リーク速度に対して無視可能
であり、したがって較正に誤差を生じない程度に抑えら
れる。
第2群すなわちリーク速度が10−6Dnbar1/e
ecより小さいテストリークに対しては***公開特許公
報第32 43 752号による遮断弁はもはや使用し
得ない。それは不利な現象9テストガス吸収”、′Pす
7ト”および”透過”によって発生するガス流が規準リ
ーク速度に比してもはや無視し得ないからである。この
ような誤差を避けるため、小さいリーク速度のための遮
断可能のテストリークとしていわゆる”ポンプする”テ
ストリークを使用することは公知である。このようなテ
ストリークの出口は分岐導管およびその中に配置した弁
を介してつねにそれを組込んだリーク検知装置の入口と
結合している。分岐導管は主導管へ開口し、主導管はリ
ークをテストすべき被検装置と結合され、かつ同様弁を
備えている。平常作業の間、分岐導管の弁は閉鎖され、
主導゛gの弁は開放される。
ecより小さいテストリークに対しては***公開特許公
報第32 43 752号による遮断弁はもはや使用し
得ない。それは不利な現象9テストガス吸収”、′Pす
7ト”および”透過”によって発生するガス流が規準リ
ーク速度に比してもはや無視し得ないからである。この
ような誤差を避けるため、小さいリーク速度のための遮
断可能のテストリークとしていわゆる”ポンプする”テ
ストリークを使用することは公知である。このようなテ
ストリークの出口は分岐導管およびその中に配置した弁
を介してつねにそれを組込んだリーク検知装置の入口と
結合している。分岐導管は主導管へ開口し、主導管はリ
ークをテストすべき被検装置と結合され、かつ同様弁を
備えている。平常作業の間、分岐導管の弁は閉鎖され、
主導゛gの弁は開放される。
この神の装置の場合テストリークの出口と分岐導管の弁
の間にもう1つの弁を介して、テストリークから流出す
るテストがスな連続的に吸出する別1固の真空ポンプを
接続することが必要である。排・スせずにはこの空間は
高濃度のテストガスで充てんされ、したがって較正すべ
き検知器と直接結合することができない。不所望の”テ
ストがス吸収”に導く高いテストがス濃度によって質量
分光分析計検知器の汚染および(または)過剰制御の危
険が伴われる。さらに前記v IJフト現象が現れる。
の間にもう1つの弁を介して、テストリークから流出す
るテストがスな連続的に吸出する別1固の真空ポンプを
接続することが必要である。排・スせずにはこの空間は
高濃度のテストガスで充てんされ、したがって較正すべ
き検知器と直接結合することができない。不所望の”テ
ストがス吸収”に導く高いテストがス濃度によって質量
分光分析計検知器の汚染および(または)過剰制御の危
険が伴われる。さらに前記v IJフト現象が現れる。
較正のためポンプ・\通ずる弁は閉鎖され、リーク検知
器へ通ずる弁は開放さする。
器へ通ずる弁は開放さする。
”ポンプする”テストリークのための費用は高く、さら
にそのだめの別個の真空ポンプが必要である。通常その
ために前排気に役立つ補助ポンプが使用される。質量分
光分析計の排気に使用する真空ポンプは、吸出したヘリ
ウムがこのポンプによって再拡散され、リーク検知に誤
差が生ずるので、これに使用し得ない。可搬リーク検知
器は別個(付加的)の真空ポンプの重量のため、“ポン
プするテス) IJ−り”を備えることができない。価
格および重量問題が二義的であり、またはテストリーク
の吸出にも役立つもう1つの真空ポンプが存在する大装
置の場合のみごポンプする”テストリークが使用される
。
にそのだめの別個の真空ポンプが必要である。通常その
ために前排気に役立つ補助ポンプが使用される。質量分
光分析計の排気に使用する真空ポンプは、吸出したヘリ
ウムがこのポンプによって再拡散され、リーク検知に誤
差が生ずるので、これに使用し得ない。可搬リーク検知
器は別個(付加的)の真空ポンプの重量のため、“ポン
プするテス) IJ−り”を備えることができない。価
格および重量問題が二義的であり、またはテストリーク
の吸出にも役立つもう1つの真空ポンプが存在する大装
置の場合のみごポンプする”テストリークが使用される
。
発明が解決しようとする間、原点:
本発明の目的は不所望のテストガス吸収およびドリフト
現象?別個の真空ポンプを使用する費用なしに避けた、
リーク検知装置を較正する装置を得ることである。
現象?別個の真空ポンプを使用する費用なしに避けた、
リーク検知装置を較正する装置を得ることである。
問題点を解決するための手段:
この目的は本発明によりテストリークと検知器の間にあ
る弁が迅速切替6ポート2位置弁であり、この弁がテス
トリークの出口を雰囲気(リーク検知作業)または較正
すべき検知器の入口(テスト作業)と結合することによ
って解決される。とくにテストリークの出口象よび6ポ
一ト2位置弁はで@乙だけ近く隣接する。
る弁が迅速切替6ポート2位置弁であり、この弁がテス
トリークの出口を雰囲気(リーク検知作業)または較正
すべき検知器の入口(テスト作業)と結合することによ
って解決される。とくにテストリークの出口象よび6ポ
一ト2位置弁はで@乙だけ近く隣接する。
作用:
それによってテストリークの狭い位置と弁の間の空間が
きわめて小さくなるので、リーク検知作業からテスト作
業へ切替えた後の高過ぎる圧力上昇が避けられる。空間
が十分小さく、十分に迅速な切替弁の一合、遅延なしに
リーク検知作業からテスト作業へ切替えることができる
、1迅速切替”とはこの場合切替に起因する圧力上昇が
較正すべき検知器に対して無害に留まることを表わす。
きわめて小さくなるので、リーク検知作業からテスト作
業へ切替えた後の高過ぎる圧力上昇が避けられる。空間
が十分小さく、十分に迅速な切替弁の一合、遅延なしに
リーク検知作業からテスト作業へ切替えることができる
、1迅速切替”とはこの場合切替に起因する圧力上昇が
較正すべき検知器に対して無害に留まることを表わす。
テストリークの規準リーク速度は切替直後に誤差なしに
得られる。
得られる。
テストリークおよび弁が互いに近接して存在せず、かつ
(または)6一−ト2位置弁を十分迅速に切替えない場
合、有利に検知器の前にもう1つの弁を備え、この弁に
より検知器を短時間の有害な圧力上昇から保護する。6
吸収空気”を吸出するため必要な時間は数秒以下である
。
(または)6一−ト2位置弁を十分迅速に切替えない場
合、有利に検知器の前にもう1つの弁を備え、この弁に
より検知器を短時間の有害な圧力上昇から保護する。6
吸収空気”を吸出するため必要な時間は数秒以下である
。
その直後にテストリークの規準リーク速度が得られる。
ドリフト現象または透過は発生しない。
発明の効果:
本発明の・装置の特殊な利点はたとえばマイクロプロセ
ッサ制#の自動作業にとくに適することにある。テスト
リークはろポート2位置弁により電気的制御して開閉す
ることができる。テストリーク−・ま検知器に対し、開
放の際規準リーク速度の偏差を生ずることなく、任意に
長い時間分離しておくことができる。ポンプするテスト
リークに比して本発明の装置は、別個のポンプをもはや
必要としないので、著しく簡単でちる。全装置はコンパ
クトで軽く、可搬のリーク検知装置へ容易に組込むこと
ができる。既存のリーク検知装置にろとから本発明の装
置を備えることもできる。
ッサ制#の自動作業にとくに適することにある。テスト
リークはろポート2位置弁により電気的制御して開閉す
ることができる。テストリーク−・ま検知器に対し、開
放の際規準リーク速度の偏差を生ずることなく、任意に
長い時間分離しておくことができる。ポンプするテスト
リークに比して本発明の装置は、別個のポンプをもはや
必要としないので、著しく簡単でちる。全装置はコンパ
クトで軽く、可搬のリーク検知装置へ容易に組込むこと
ができる。既存のリーク検知装置にろとから本発明の装
置を備えることもできる。
実施例:
本発明の他の利点および詳細を第1〜3図に示す実施例
にエリ説明する。
にエリ説明する。
第1図にテストリーク1は一部のみ示される。
テストリークはヘリウム貯蔵器3を有するケーシング2
ン含む。ケーシング2はふた4で閉鎖され、ふたはヘリ
ウム貯蔵器3から流出するヘリウムの通路5を有する。
ン含む。ケーシング2はふた4で閉鎖され、ふたはヘリ
ウム貯蔵器3から流出するヘリウムの通路5を有する。
6(はリーク速匣を決定する硬素を表わす。例として中
心の毛f i3 =Q有する円筒形ガラス体7が示され
る。リーク決定要素として拡散フィンが−、薄ノ莫等が
存在してもよい。
心の毛f i3 =Q有する円筒形ガラス体7が示され
る。リーク決定要素として拡散フィンが−、薄ノ莫等が
存在してもよい。
ふた4の通路5は3ポート2位1d弁11のケーシング
9−\直接開口する。この弁は弁棒12を有する。中間
位置で示した弁棒12は2つの端部位置の間をきわめて
迅速に切替可能である。
9−\直接開口する。この弁は弁棒12を有する。中間
位置で示した弁棒12は2つの端部位置の間をきわめて
迅速に切替可能である。
その1つの位置(リーク検知作業)で弁棒は弁座13に
接し、したがってリーク検知器に通ずる通路14を閉鎖
する。雰囲気に通ずる弁座16を有する通路15は開い
ている。狭い通路を有する要素6から連続的に流出する
ヘリウムは雰囲気へ流れる。高いテストガス圧力または
漬度はそれによって弁ケーシング9内には発生しない。
接し、したがってリーク検知器に通ずる通路14を閉鎖
する。雰囲気に通ずる弁座16を有する通路15は開い
ている。狭い通路を有する要素6から連続的に流出する
ヘリウムは雰囲気へ流れる。高いテストガス圧力または
漬度はそれによって弁ケーシング9内には発生しない。
第2立:δで弁棒12は弁座16に接し、雰囲気に通ず
る通路15を閉鎖する。その直後に要素6から既知のリ
ーク速度で流出するヘリウムは較正目的に使用すること
ができる。ケーシング9の内部空間が十分小さく維持さ
れ、弁棒12の切替運動、が十分迅速な場合、較正すべ
き検知器を危・鑞にする空気吸込は生じない。
る通路15を閉鎖する。その直後に要素6から既知のリ
ーク速度で流出するヘリウムは較正目的に使用すること
ができる。ケーシング9の内部空間が十分小さく維持さ
れ、弁棒12の切替運動、が十分迅速な場合、較正すべ
き検知器を危・鑞にする空気吸込は生じない。
第2図は主流リーク検知器の機能を示す図である。1γ
はリークを検知すべき被検装置のだめの接続1コど表わ
す。接続口17は弁19および21を有する主導管18
な介してテストガス検知器22とくに質1分光分析計と
結合する。
はリークを検知すべき被検装置のだめの接続1コど表わ
す。接続口17は弁19および21を有する主導管18
な介してテストガス検知器22とくに質1分光分析計と
結合する。
2つの弁19と21の間に導管14を有する本発明の装
置および真空ポンプセットが接読している。真空ポンプ
セットは高真空、ぜンゾ23たとえば拡散ポンプおよび
補助真空ポンプ24からなる。25は制御ユニットを表
わし、このユニットは制御導線を介して6ポート2位1
d弁11ならびに弁19および21と結合している。
置および真空ポンプセットが接読している。真空ポンプ
セットは高真空、ぜンゾ23たとえば拡散ポンプおよび
補助真空ポンプ24からなる。25は制御ユニットを表
わし、このユニットは制御導線を介して6ポート2位1
d弁11ならびに弁19および21と結合している。
リーク検知作業の間、弁19および21が開かれるので
、被検装置に場合にLり存在するリークに二って出るテ
ストがスは検知器22へ達することができる。テストリ
ーク1は6イ一ト2位置弁11を介して雰囲気に通ずる
導管15と・結合する。リーク検知作業からテスト作業
への切替は弁19を閉鎖し、6ポ一ト2位置弁なテスト
リーク1が導管14および主導管18を介して検知器2
2と結合するように切替えることによって実施される。
、被検装置に場合にLり存在するリークに二って出るテ
ストがスは検知器22へ達することができる。テストリ
ーク1は6イ一ト2位置弁11を介して雰囲気に通ずる
導管15と・結合する。リーク検知作業からテスト作業
への切替は弁19を閉鎖し、6ポ一ト2位置弁なテスト
リーク1が導管14および主導管18を介して検知器2
2と結合するように切替えることによって実施される。
弁11を十分迅速に切替えられない場合、弁21をテス
ト作業へ切替える前に閉鎖し、それによって検知器を場
合シでよって危険にする吸込空気をポンプ23および2
47Cよって吸出することかできる。その直後にテスト
リーク1のリーク速度は誤差なく使用することができる
。
ト作業へ切替える前に閉鎖し、それによって検知器を場
合シでよって危険にする吸込空気をポンプ23および2
47Cよって吸出することかできる。その直後にテスト
リーク1のリーク速度は誤差なく使用することができる
。
第6図(は向流リーク検知器の機能を示す図である。高
真空ポンプ23たとえばターボ分子真空ポンプは導管1
8内にあり、質量分光分析計−検知器22の直前に支持
される。リーク検知作業の間、再び弁19および21が
開かれる。
真空ポンプ23たとえばターボ分子真空ポンプは導管1
8内にあり、質量分光分析計−検知器22の直前に支持
される。リーク検知作業の間、再び弁19および21が
開かれる。
6ポ一ト2位置弁はテストリーク1の出口を雰囲気と結
合する。テスト作業への切替は′!れ2図の説明と同様
に行われる。
合する。テスト作業への切替は′!れ2図の説明と同様
に行われる。
4 山面のi1?1¥iな説明
第1図は本発明によるテス) IJ−クー弁1組合せ装
置の縦断面図、第2図および第3図は本発明の装置を備
えるリーク検知器[(の機能を説明する図である。
置の縦断面図、第2図および第3図は本発明の装置を備
えるリーク検知器[(の機能を説明する図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、テストリークと検知器の間に弁を備える、テストリ
ークによりリーク検知装置の検知器を較正する装置にお
いて、テストリーク(1)と検知器(22)の間にある
弁(11)が迅速切替可能の3ポート2位置弁であり、
この弁がテストリーク(1)の出口を雰囲気(リーク検
知作業)または較正すべき検知器の入口(テスト作業)
と結合していることを特徴とするリーク検知装置の検知
器を較正する装置。 2、テストリーク(1)の出口と3ポート2位置弁を互
いにできるだけ近く配置してある特許請求の範囲第1項
記載の装置。 3、3ポート2位置弁と検知器(22)の間にもう1つ
の弁(21)を備えている特許請求の範囲第1項または
第2項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3613694.8 | 1986-04-23 | ||
DE19863613694 DE3613694A1 (de) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | Vorrichtung zur kalibrierung des detektors eines lecksuchgeraetes |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62259033A true JPS62259033A (ja) | 1987-11-11 |
JP2635587B2 JP2635587B2 (ja) | 1997-07-30 |
Family
ID=6299315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62096369A Expired - Lifetime JP2635587B2 (ja) | 1986-04-23 | 1987-04-21 | リーク検査装置のディテクタを較正する装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4794784A (ja) |
EP (1) | EP0242684B1 (ja) |
JP (1) | JP2635587B2 (ja) |
DE (2) | DE3613694A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1987-04-21 JP JP62096369A patent/JP2635587B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3613694A1 (de) | 1987-10-29 |
EP0242684B1 (de) | 1992-06-03 |
DE3779482D1 (de) | 1992-07-09 |
EP0242684A2 (de) | 1987-10-28 |
US4794784A (en) | 1989-01-03 |
EP0242684A3 (en) | 1989-12-13 |
JP2635587B2 (ja) | 1997-07-30 |
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Legal Events
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R250 | Receipt of annual fees |
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