JP3116830B2 - ヘリウムリークディテクタ - Google Patents
ヘリウムリークディテクタInfo
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- JP3116830B2 JP3116830B2 JP08202040A JP20204096A JP3116830B2 JP 3116830 B2 JP3116830 B2 JP 3116830B2 JP 08202040 A JP08202040 A JP 08202040A JP 20204096 A JP20204096 A JP 20204096A JP 3116830 B2 JP3116830 B2 JP 3116830B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、封止検査や密閉検
査などを行う際に利用されるヘリウムリークディテクタ
に関するものである。
査などを行う際に利用されるヘリウムリークディテクタ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】封止検査や密閉検査を行うための有力な
手段の一つにヘリウムボンビング法によるヘリウムリー
クディテクタがある。なかでも、高真空ポンプを逆拡散
したヘリウムのみを分析管に導くいわゆる逆拡散リーク
テスト方式は、分析管への必要最小限度のヘリウム導入
によってリークテストを行うことができ、分析管のバッ
クグランド値を迅速に低下させることが見込まれるた
め、リークテストのタクトタイム短縮に大きく貢献し得
るものである。
手段の一つにヘリウムボンビング法によるヘリウムリー
クディテクタがある。なかでも、高真空ポンプを逆拡散
したヘリウムのみを分析管に導くいわゆる逆拡散リーク
テスト方式は、分析管への必要最小限度のヘリウム導入
によってリークテストを行うことができ、分析管のバッ
クグランド値を迅速に低下させることが見込まれるた
め、リークテストのタクトタイム短縮に大きく貢献し得
るものである。
【０００３】そのための従来の装置は、図７に示すよう
に、分析管３に接続される高真空ポンプたるターボ分子
ポンプ（ＴＭＰ）の排気口と、被試験体Ｗからヘリウム
リークを誘導し得るように構成されたテストチェンバ５
とを、バルブＦＶ、ＲＶを介して共通の油回転真空ポン
プ（ＲＰ）に接続し、このＲＰにより先ずバルブＲＶを
閉、バルブＦＶを開にして分析管３を排気する。その
後、所定のバックグランド値が得られたら、バルブＦＶ
を閉、バルブＲＶを開にしてテストチェンバ５を粗引き
することによりヘリウムリークを誘導し、最後に両バル
ブＦＶ、ＲＶを開としてテストモードに移行することに
より、リークしたヘリウムをＴＭＰを逆拡散させて分析
管３に導入し、被試験体Ｗからのヘリウムリーク量を間
接的に測定し得るようにしている。
に、分析管３に接続される高真空ポンプたるターボ分子
ポンプ（ＴＭＰ）の排気口と、被試験体Ｗからヘリウム
リークを誘導し得るように構成されたテストチェンバ５
とを、バルブＦＶ、ＲＶを介して共通の油回転真空ポン
プ（ＲＰ）に接続し、このＲＰにより先ずバルブＲＶを
閉、バルブＦＶを開にして分析管３を排気する。その
後、所定のバックグランド値が得られたら、バルブＦＶ
を閉、バルブＲＶを開にしてテストチェンバ５を粗引き
することによりヘリウムリークを誘導し、最後に両バル
ブＦＶ、ＲＶを開としてテストモードに移行することに
より、リークしたヘリウムをＴＭＰを逆拡散させて分析
管３に導入し、被試験体Ｗからのヘリウムリーク量を間
接的に測定し得るようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記の構成
によると、粗引きからテストに切り替わった際の測定値
の応答時間は問題にならないが、粗引き中はＴＭＰの排
気口側が真空封じ切り状態となるため、分析管３が周囲
の残留ヘリウムを拾うことによりバックグランド値が上
昇し、分析管３の汚染も進行するという懸念がある。
によると、粗引きからテストに切り替わった際の測定値
の応答時間は問題にならないが、粗引き中はＴＭＰの排
気口側が真空封じ切り状態となるため、分析管３が周囲
の残留ヘリウムを拾うことによりバックグランド値が上
昇し、分析管３の汚染も進行するという懸念がある。
【０００５】このような不具合を解消するために、ＲＰ
に代えて、ＴＭＰの排気口を排気するバックポンプと、
テストチェンバ５を排気する前記バックポンプと同等の
性能からなる粗引きポンプとを、２台並列に設け、粗引
き中にもＴＭＰの排気口に対する排気をバックポンプに
よって続行し得るようにしたものが考えられている。と
ころが、単にこのような構成では、粗引きからテストに
切り替わった際に、両ポンプの並列排気によって排気速
度が２倍になるので、リークしたヘリウムが分析管３に
回り込む速度が落ち、分析管３における測定値の応答時
間が少なくとも２倍以上に延びてしまうという難点があ
る。
に代えて、ＴＭＰの排気口を排気するバックポンプと、
テストチェンバ５を排気する前記バックポンプと同等の
性能からなる粗引きポンプとを、２台並列に設け、粗引
き中にもＴＭＰの排気口に対する排気をバックポンプに
よって続行し得るようにしたものが考えられている。と
ころが、単にこのような構成では、粗引きからテストに
切り替わった際に、両ポンプの並列排気によって排気速
度が２倍になるので、リークしたヘリウムが分析管３に
回り込む速度が落ち、分析管３における測定値の応答時
間が少なくとも２倍以上に延びてしまうという難点があ
る。
【０００６】本発明は、真空ポンプを２台構成としなが
らも、粗引きからテストに切り替わる際の測定値の応答
時間の延びを有効に防止し得るようにしたヘリウムリー
クディテクタを提供することを目的としている。
らも、粗引きからテストに切り替わる際の測定値の応答
時間の延びを有効に防止し得るようにしたヘリウムリー
クディテクタを提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明は、分析管に接続される高真空ポンプ
と、この高真空ポンプの排気口を第１の排気ラインを通
じて排気するバックポンプと、被試験体からヘリウムリ
ークを誘導するテストチェンバと、このテストチェンバ
を第２の排気ラインを通じて排気する粗引きポンプとを
具備してなり、これら各ポンプにより分析管及びテスト
チェンバを並列排気した後、第１、第２の排気ラインを
連通させ、テストチェンバから高真空ポンプを逆拡散し
て分析管に回り込んだヘリウムリーク量を測定し得るよ
うに構成するとともに、バックポンプの排気速度を粗引
きポンプの排気速度よりも小さく設定してなることを特
徴とする。
ために、本発明は、分析管に接続される高真空ポンプ
と、この高真空ポンプの排気口を第１の排気ラインを通
じて排気するバックポンプと、被試験体からヘリウムリ
ークを誘導するテストチェンバと、このテストチェンバ
を第２の排気ラインを通じて排気する粗引きポンプとを
具備してなり、これら各ポンプにより分析管及びテスト
チェンバを並列排気した後、第１、第２の排気ラインを
連通させ、テストチェンバから高真空ポンプを逆拡散し
て分析管に回り込んだヘリウムリーク量を測定し得るよ
うに構成するとともに、バックポンプの排気速度を粗引
きポンプの排気速度よりも小さく設定してなることを特
徴とする。
【０００８】このように、テストチェンバと分析管とを
並列排気可能とすると、テストチェンバ排気中に高真空
ポンプの排気口側が真空封じ切り状態になることがな
く、分析管が周辺の残留ヘリウムを拾うことによるバッ
クグランド値の上昇、分析管の汚染を有効に回避するこ
とができる。しかも、バックポンプの排気速度をある程
度小さく、また粗引きポンプ側の排気速度をある程度大
きく設定すれば、粗引きからテストに切り替わった際の
排気速度の変化を無視し得る範囲に抑えることができる
ので、測定値の応答時間が延びることも同時に防止する
ことができる。
並列排気可能とすると、テストチェンバ排気中に高真空
ポンプの排気口側が真空封じ切り状態になることがな
く、分析管が周辺の残留ヘリウムを拾うことによるバッ
クグランド値の上昇、分析管の汚染を有効に回避するこ
とができる。しかも、バックポンプの排気速度をある程
度小さく、また粗引きポンプ側の排気速度をある程度大
きく設定すれば、粗引きからテストに切り替わった際の
排気速度の変化を無視し得る範囲に抑えることができる
ので、測定値の応答時間が延びることも同時に防止する
ことができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図１〜図６を参
照して説明する。このヘリウムリークディテクタは、図
１に示すように、分析管３に接続される高真空ポンプた
るターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）４と、このＴＭＰ４の排
気口４ｂを排気するバックポンプたる第１の油回転真空
ポンプ（ＲＰ）１と、被試験体Ｗが装填されるテストチ
ェンバ５と、このテストチェンバ５を排気する粗引きポ
ンプたる第２の油回転真空ポンプ（ＲＰ）２とを具備し
ている。
照して説明する。このヘリウムリークディテクタは、図
１に示すように、分析管３に接続される高真空ポンプた
るターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）４と、このＴＭＰ４の排
気口４ｂを排気するバックポンプたる第１の油回転真空
ポンプ（ＲＰ）１と、被試験体Ｗが装填されるテストチ
ェンバ５と、このテストチェンバ５を排気する粗引きポ
ンプたる第２の油回転真空ポンプ（ＲＰ）２とを具備し
ている。
【００１０】詳述すると、分析管３は内部に存在するガ
スの中からヘリウムのみを選択してその量を測定し得る
ように構成された一般的なもので、この分析管３にはＴ
ＭＰ４の吸気口４ａが接続されている。ＴＭＰ４の排気
口４ｂは、途中にバルブＦＶを有した第１の排気ライン
Ｌ１を介して末端に配置したＲＰ１の吸気口１ａへと接
続されている。テストチェンバ５は、Ｈｅを充填した被
試験体Ｗを内部に装填し、その被試験体Ｗからヘリウム
リークを誘導し得るように構成されたもので、このテス
トチェンバ５は第２の排気ラインＬ２の始端に着脱可能
に且つ接続部が気密状態となるように取付けられる。こ
のテストチェンバ５は、バルブＲＶを有する第２の排気
ラインＬ２を介してＲＰ２の吸気口２ａへと接続されて
いる。さらに、この第２の排気ラインＬ２における前記
バルブＲＶよりも上流部分と、前記第１の排気ラインＬ
１における前記バルブＦＶよりも下流部分とは、バルブ
ＢＶを有する中間系路ＬＭを介して連通されている。そ
して、この中間系路ＬＭに、前記テストチェンバ５を大
気開放するためのバルブＬＶを設けている。図において
符号６はピラニー真空計を示している。
スの中からヘリウムのみを選択してその量を測定し得る
ように構成された一般的なもので、この分析管３にはＴ
ＭＰ４の吸気口４ａが接続されている。ＴＭＰ４の排気
口４ｂは、途中にバルブＦＶを有した第１の排気ライン
Ｌ１を介して末端に配置したＲＰ１の吸気口１ａへと接
続されている。テストチェンバ５は、Ｈｅを充填した被
試験体Ｗを内部に装填し、その被試験体Ｗからヘリウム
リークを誘導し得るように構成されたもので、このテス
トチェンバ５は第２の排気ラインＬ２の始端に着脱可能
に且つ接続部が気密状態となるように取付けられる。こ
のテストチェンバ５は、バルブＲＶを有する第２の排気
ラインＬ２を介してＲＰ２の吸気口２ａへと接続されて
いる。さらに、この第２の排気ラインＬ２における前記
バルブＲＶよりも上流部分と、前記第１の排気ラインＬ
１における前記バルブＦＶよりも下流部分とは、バルブ
ＢＶを有する中間系路ＬＭを介して連通されている。そ
して、この中間系路ＬＭに、前記テストチェンバ５を大
気開放するためのバルブＬＶを設けている。図において
符号６はピラニー真空計を示している。
【００１１】以上のような構成において、本実施例は、
前記ＲＰ１の排気速度を前記ＲＰ２の排気速度よりも小
さく設定している。具体例としては、ＲＰ１に排気速度
３６Ｌ／ｍｉｎの規格のものを使用し、またＲＰ２に排
気速度１３００Ｌ／ｍｉｎの規格のものを使用してい
る。次に、本実施例におけるリークテストの手順につい
て説明する。なお、図２〜図５における太線は排気が進
行しているラインを示している。先ず、テスト待機中
は、図２に示すようにバルブＲＶ、ＢＶ、ＬＶを閉、バ
ルブＦＶを開にして、ＲＰ１により第１の排気ラインＬ
１を通じてＴＭＰ４の排気口４ｂを排気する。ＴＭＰ４
はこのＲＰ１にバックアップされながら稼働し、分析管
３を高真空排気する。分析管３において所定バックグラ
ンド値が得られたなら、図３に示すように、バルブＲＶ
のみを開に切り替えて粗引きを開始する。これにより、
前記第１の排気ラインＬ１における排気と並行して、Ｒ
Ｐ２による第２の排気ラインＬ２を通じたテストチェン
バ５に対する排気が開始される。この排気を開始するに
先だって、テストチェンバ５内にヘリウムを充填した被
試験体Ｗをセットしておくのは言うまでもない。排気が
進行するにつれて、被試験体Ｗに亀裂やピンホール等が
存在する場合には、拡散性に富むＨｅがその部分を通じ
てテストチェンバ５内にリークし、リークしたＨｅは第
２の排気ラインＬ２へと流れ出す。適宜の時間が経過し
た後、図４に示すように、バルブＢＶのみを開に切り替
えてテストモードに移行する。これにより、第２の排気
ラインＬ２と第１の排気ラインＬ１とが連通し、第２の
排気ラインＬ２にリークしたＨｅの一部は中間系路ＬＭ
を通って第１の排気ラインＬ１へと回り込む。そして、
更にその一部がＴＭＰ４を逆拡散して分析管３に到達
し、この分析管３においてＨｅが検出される。測定値が
安定したら、そのときの測定値に基づいて被試験体Ｗか
らのリーク量を判定する。最後に、図５に示すようにバ
ルブＢＶ、ＲＶを閉、バルブＬＶを開にして、テストチ
ェンバ５内を大気開放（ベント）する。大気開放後には
再びＬＶを閉にし、図２に示す状態に戻る。このとき、
テストチェンバ５内の被試験体Ｗを入れ替えて、次の測
定に備える。
前記ＲＰ１の排気速度を前記ＲＰ２の排気速度よりも小
さく設定している。具体例としては、ＲＰ１に排気速度
３６Ｌ／ｍｉｎの規格のものを使用し、またＲＰ２に排
気速度１３００Ｌ／ｍｉｎの規格のものを使用してい
る。次に、本実施例におけるリークテストの手順につい
て説明する。なお、図２〜図５における太線は排気が進
行しているラインを示している。先ず、テスト待機中
は、図２に示すようにバルブＲＶ、ＢＶ、ＬＶを閉、バ
ルブＦＶを開にして、ＲＰ１により第１の排気ラインＬ
１を通じてＴＭＰ４の排気口４ｂを排気する。ＴＭＰ４
はこのＲＰ１にバックアップされながら稼働し、分析管
３を高真空排気する。分析管３において所定バックグラ
ンド値が得られたなら、図３に示すように、バルブＲＶ
のみを開に切り替えて粗引きを開始する。これにより、
前記第１の排気ラインＬ１における排気と並行して、Ｒ
Ｐ２による第２の排気ラインＬ２を通じたテストチェン
バ５に対する排気が開始される。この排気を開始するに
先だって、テストチェンバ５内にヘリウムを充填した被
試験体Ｗをセットしておくのは言うまでもない。排気が
進行するにつれて、被試験体Ｗに亀裂やピンホール等が
存在する場合には、拡散性に富むＨｅがその部分を通じ
てテストチェンバ５内にリークし、リークしたＨｅは第
２の排気ラインＬ２へと流れ出す。適宜の時間が経過し
た後、図４に示すように、バルブＢＶのみを開に切り替
えてテストモードに移行する。これにより、第２の排気
ラインＬ２と第１の排気ラインＬ１とが連通し、第２の
排気ラインＬ２にリークしたＨｅの一部は中間系路ＬＭ
を通って第１の排気ラインＬ１へと回り込む。そして、
更にその一部がＴＭＰ４を逆拡散して分析管３に到達
し、この分析管３においてＨｅが検出される。測定値が
安定したら、そのときの測定値に基づいて被試験体Ｗか
らのリーク量を判定する。最後に、図５に示すようにバ
ルブＢＶ、ＲＶを閉、バルブＬＶを開にして、テストチ
ェンバ５内を大気開放（ベント）する。大気開放後には
再びＬＶを閉にし、図２に示す状態に戻る。このとき、
テストチェンバ５内の被試験体Ｗを入れ替えて、次の測
定に備える。
【００１２】以上のようにして、本実施例のヘリウムリ
ークディテクタは次々に被試験体Ｗのリークテストを行
い得るものであるが、この実施例ではテストチェンバ５
と分析管３とを並列排気するようにしているため、テス
トチェンバ５の排気中にＴＭＰ４の排気口４ｂが真空封
じ切り状態になることがなく、分析管３が周辺の残留ヘ
リウムを拾うことによるバックグランド値の上昇、分析
管の汚染を有効に回避することができる。しかも、ＲＰ
１の排気速度をある程度小さく、ＲＰ２の排気速度をあ
る程度大きく設定しているため、図３に示す粗引き状態
から図４に示すテスト状態に切り替わった際の排気速度
の変化を無視し得る範囲にまで抑えることができ、テス
ト開始から測定値が安定するまでの時間（応答時間）が
延びることも同時に防止することができる。したがっ
て、このリークディテクタを用いると、従来に比べてタ
クトタイムを例えば９秒→６秒程度にまで飛躍的に短縮
する優れた効果が奏される。
ークディテクタは次々に被試験体Ｗのリークテストを行
い得るものであるが、この実施例ではテストチェンバ５
と分析管３とを並列排気するようにしているため、テス
トチェンバ５の排気中にＴＭＰ４の排気口４ｂが真空封
じ切り状態になることがなく、分析管３が周辺の残留ヘ
リウムを拾うことによるバックグランド値の上昇、分析
管の汚染を有効に回避することができる。しかも、ＲＰ
１の排気速度をある程度小さく、ＲＰ２の排気速度をあ
る程度大きく設定しているため、図３に示す粗引き状態
から図４に示すテスト状態に切り替わった際の排気速度
の変化を無視し得る範囲にまで抑えることができ、テス
ト開始から測定値が安定するまでの時間（応答時間）が
延びることも同時に防止することができる。したがっ
て、このリークディテクタを用いると、従来に比べてタ
クトタイムを例えば９秒→６秒程度にまで飛躍的に短縮
する優れた効果が奏される。
【００１３】なお、図６はＲＰ１、２の各排気速度を変
更して実施したときの分析管３における測定値の推移を
示すもので、図中ＡはＲＰ１を５Ｌ／ｍｉｎ、ＲＰ２を
１３００Ｌ／ｍｉｎとしたときのもの、ＢはＲＰ１を３
６Ｌ／ｍｉｎ、ＲＰ２を１３００Ｌ／ｍｉｎとしたとき
のもの、ＣはＲＰ１を１３００Ｌ／ｍｉｎ、ＲＰ２を１
３００Ｌ／ｍｉｎとしたときのものである。これらの測
定から言えることは、ＲＰ１が大き過ぎると同図Ｃに示
すようにテスト開始後にＨｅが分析管３に回り込む速度
が鈍って測定値が安定するまでの応答時間が長くなり、
ＲＰ１が小さ過ぎてもＨｅが分析管３に回り込む量が過
多になってやはり同図Ａに示すように測定値の早期安定
が難しい上に分析管３の汚染にもつながり易く、それら
の中間が最も望ましいことである。本発明者が種々試験
した結果、応答時間をほとんど延長させることなく排気
系を構成するためには、ＲＰ１の排気速度を２５〜４５
Ｌ／ｍｉｎの範囲、ＲＰ２の排気速度を１０００〜２０
００Ｌ／ｍｉｎの範囲とすることが有効であることが明
らかになった。
更して実施したときの分析管３における測定値の推移を
示すもので、図中ＡはＲＰ１を５Ｌ／ｍｉｎ、ＲＰ２を
１３００Ｌ／ｍｉｎとしたときのもの、ＢはＲＰ１を３
６Ｌ／ｍｉｎ、ＲＰ２を１３００Ｌ／ｍｉｎとしたとき
のもの、ＣはＲＰ１を１３００Ｌ／ｍｉｎ、ＲＰ２を１
３００Ｌ／ｍｉｎとしたときのものである。これらの測
定から言えることは、ＲＰ１が大き過ぎると同図Ｃに示
すようにテスト開始後にＨｅが分析管３に回り込む速度
が鈍って測定値が安定するまでの応答時間が長くなり、
ＲＰ１が小さ過ぎてもＨｅが分析管３に回り込む量が過
多になってやはり同図Ａに示すように測定値の早期安定
が難しい上に分析管３の汚染にもつながり易く、それら
の中間が最も望ましいことである。本発明者が種々試験
した結果、応答時間をほとんど延長させることなく排気
系を構成するためには、ＲＰ１の排気速度を２５〜４５
Ｌ／ｍｉｎの範囲、ＲＰ２の排気速度を１０００〜２０
００Ｌ／ｍｉｎの範囲とすることが有効であることが明
らかになった。
【００１４】なお、上記実施例ではバックポンプ及び粗
引きポンプの双方に油回転真空ポンプを採用したが、一
方をドライポンプとしてもよい。同様に、高真空ポンプ
にＴＭＰに代えてドラックポンプを採用することもでき
る。その他、各部の具体的な構成は、図示実施例のもの
に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない
範囲で種々変形が可能である。
引きポンプの双方に油回転真空ポンプを採用したが、一
方をドライポンプとしてもよい。同様に、高真空ポンプ
にＴＭＰに代えてドラックポンプを採用することもでき
る。その他、各部の具体的な構成は、図示実施例のもの
に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない
範囲で種々変形が可能である。
【００１５】
【発明の効果】本発明のヘリウムリークディテクタは、
以上説明した構成であるから、タクトタイムを短縮しな
がらも、バックグランド値の上昇や分析管の汚染を防止
することができる。そして、これにより装置のスループ
ットを向上させ、更に装置メンテナンスのインターバル
時間を引き延ばすことができる等の優れた効果が奏され
る。
以上説明した構成であるから、タクトタイムを短縮しな
がらも、バックグランド値の上昇や分析管の汚染を防止
することができる。そして、これにより装置のスループ
ットを向上させ、更に装置メンテナンスのインターバル
時間を引き延ばすことができる等の優れた効果が奏され
る。
【図１】本発明の一実施例を示す排気系統図。
【図２】リークテストの手順を示す図。
【図３】リークテストの手順を示す図。
【図４】リークテストの手順を示す図。
【図５】リークテストの手順を示す図。
【図６】複数の条件の下で応答試験を行った結果を示す
グラフ。
グラフ。
【図７】従来例を示す図１に対応した排気系統図。
１…バックポンプ（第１の油回転真空ポンプ；ＲＰ） ２…粗引きポンプ（第２の油回転真空ポンプ；ＲＰ） ３…分析管 ４…高真空ポンプ（ターボ分子ポンプ；ＴＭＰ） ４ｂ…排気口 ５…テストチェンバ Ｌ１…第１の排気ライン Ｌ２…第２の排気ライン Ｗ…被試験体
Claims (1)
- 【請求項１】分析管に接続される高真空ポンプと、この
高真空ポンプの排気口を第１の排気ラインを通じて排気
するバックポンプと、被試験体からヘリウムリークを誘
導するテストチェンバと、このテストチェンバを第２の
排気ラインを通じて排気する粗引きポンプとを具備して
なり、これら各ポンプにより分析管及びテストチェンバ
を並列排気した後、第１、第２の排気ラインを連通さ
せ、テストチェンバから高真空ポンプを逆拡散して分析
管に回り込んだヘリウムリーク量を測定し得るように構
成するとともに、バックポンプの排気速度を粗引きポン
プの排気速度よりも小さく設定してなることを特徴とす
るヘリウムリークディテクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08202040A JP3116830B2 (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ヘリウムリークディテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08202040A JP3116830B2 (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ヘリウムリークディテクタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048087A JPH1048087A (ja) | 1998-02-20 |
| JP3116830B2 true JP3116830B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=16450943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08202040A Expired - Fee Related JP3116830B2 (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | ヘリウムリークディテクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3116830B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7736894B2 (en) | 2003-05-23 | 2010-06-15 | Kao Corporation | Method for constructing reconstructed skin |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4506580B2 (ja) * | 2005-06-22 | 2010-07-21 | パナソニック電工株式会社 | 密閉品のリークテスト方法 |
| JP2007198865A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
| JP2011069834A (ja) * | 2010-11-18 | 2011-04-07 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
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