JPS62257066A - 回転式フレキシブルコンタクトプロ−ブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、プリント配線基板（ベアボード、インサーキ
ット′￥−）の電気回路の断線、ショート等を点検する
プリント基板検査用のコンタクトプローブに関するもの
である。

「従来技術及びその問題点」 従来プリント配！Ｉａ基板の電気回路の断線、ショート
等を検査するには、第３図に示すように、プローブカー
ドｌ上に取り付けられたタングステンプローブ２の先端
を少し曲げて、これを基板３の導電部に押し付けること
により行なっていた。

しかるに、Ｌ記方法によれば、プローブの接触部を検出
基板の導電部に押し付けるだけのため、接触状況が必ず
しも確実ではなく、不安定の場合が起り得る欠点があっ
た。そればかりか、上記方法はタングステンプローブの
極めて細い先端を少し曲げて接触させるものであるが、
このタングステンの曲げ加■二が極めて難しく手間がか
かり、しかも品質も安定しない欠点があると共にプロー
ブカードににタングステンプローブを取り付は回路を引
き出すセッテングが極めて面倒且つ不確実であるほか、
タングステンの先端が折れ易く、交換に手間がかかり、
無駄な工数が掛かる等のセ−・テングに於ける非常に多
くの難点があった。

この発明は、Ｅ配下安定な接触とかセツティングにおけ
る多くの問題点を解消し、確実な接触を可能とし、また
セツティングを非常に筒中にしたコンタクトグローブを
提供することを目的としている。

「問題点を解決するための手段」 上記の目的を達成するため、本発明にあっては、フレキ
シブルな針状接触子と、該接触子を嵌合するフレポジプ
ルなガイドチューブと、前記接触子を回転させる手段と
を具備してなり、前記接触子を回転させることにより被
測定面の耐化被膜を確実に剥ぎとり、接触子と基板とを
常に確実に接触し得るようにしたことを特徴とする。

「実施例」 以下に、本発明の望ましい実施例を図面を参照しながら
説明する。

第１図に示すように、本発明のコンタクトプローブ１１
は、被測定面に接触するフレキシブルな細長い針状接触
ｆ−１７′と、該針状接触子！２を嵌合するフレキシブ
ルなガイドチューブ１３と、前記接触子の後端に嵌合す
るプランジャー１４と、該プランジャー１４に絶縁体１
５を介して嵌合させた歯＋１６とを具備している。

細長いガイドチューブ１３の後端は、スリーブ１７に嵌
合されており、該スリーブ１７の後端は、第１取付板１
８に嵌合固定されている。

接触予後端を嵌合したプランジャー１４の後部は、第２
取付板２０に摺動自在に嵌合されている。

プランジャー１４には、絶縁体１５を介して歯車１６が
嵌合されており、そして前記絶縁体１５と第２取付扱２
０との間には、スプリング１９が外嵌され、該スプリン
グ！９により、接触子１２は、絶縁体１５及びプランジ
ャー１４を介してノ、（板に弾性当接している虜中１６
は、例えばラックギヤを歯合させるとか或いは他の歯車
を歯合させるとかすることによって回転させる。このラ
ックギヤ若しくは他の歯巾は、モータ等によって駆動さ
せればよい、また、このような歯巾を使用することなく
、例えばマグネット方式等によって回転させてもよいの
は勿論である。

プランジャー１４の後端部には、ネジ部が形成され、該
ネジ部には、内周面にネジ部を形成した円筒状の微調整
ネジ２１が螺合され、該微調整ネジ２１を回転させると
、プランジャー１４が上下動するように構成されている
。

プランジャー１４の後端には、径を若干小さくした中径
部２５が一体的に連結され、該中径部２５には更に径を
小さくした小径部２２が一体的に連結されている。尚、
リード線は、この小径部２２に接続される。

「作用」 次に、上記のように構成され九未発用の作用を説明する
。

第２図に示すように、基板２６上面に配置した第１の取
付板１８、第２の取付板２ｏ及び第３の取付板２３には
、コンタクトプローブ１１を装着するための貫通孔が形
成されている。

未発１！１のコンタクトプローブ１１は、この貫通孔に
挿入するだけで装着できる。この本発明のコンタクトプ
ローブは、　ＬＳＩ　、Ｉ（１：等の回路及びプリント
基板」二の回路、シリコンウェハー上の微細回路等の所
要回路の検出用に使用される。

未発ｆ！１のコンタクトプローブを使用して上記検査を
するには、まず、本発明のコンタクトプローブを図に示
すように装着させる。尚、第３図に於いては、コンタク
トプローブを３個配匠したところを示しているが、実際
には数十〜数百配置するものである。本発明のコンタク
トプローブは、接触子及び該接触子を嵌合するガイドチ
ューブがフレキシブルな材料から形成されているので、
図に示すように屈曲させてセツティングすることができ
る。

ついで、微調整ネジ２１を回転させて、接触子１２の先
端が基板２６を押圧した後、ラックギヤ−２４をモータ
等の動力手段によって、第３ＵｇＪに於いて左右に移動
させる。このようにして、ラックギヤー２４に歯合する
歯＋１６が回転し、絶縁体１５、プランジャー１４を介
して、接触子１２先端が回転する。この接触子１２の回
転により、基板の導Ｍ１部の醇化被膜が確実に剥ぎとら
れ、被測定面と接触子との確実な接触を確保することが
できる。

「発明の効果」 以上述べた如く本発明によるときは、接触子とガイドチ
ューブとが、フレキシブルな材料から形成されているの
で、本発明のコンタクトプローブは、自在に屈曲させて
セツティングできるので、上方から中に取付板の貫通孔
に差し込むだけでセツティングができ、セツティングが
極めて簡略化されると共に、接触子が回転するため、回
転により接触面の酸化被膜を確実に剥ぎとり、被測定面
と接触子との確実な接触を確保することができるので、
プローブコンタクトには安定して電流が流れ、その為プ
リント配線基板の試験精度が飛躍的に向、ヒする。また
、接触子をフレキシブルに形成しているので、病むこと
がなく、永く安定した状態で使用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１１４は、本発明の実施例を示す断面図、第２Ｌ４は
、本発明のプローブコンタクトの使用状態を示す概略図
、 第３図は、従来のプローブコンタクトの使用状Ｅを示す
概略図である。 図中。 １１・・・コンタクトプローブ、１２・・・接触子、１
３・・・ガイドチューブ、１４・・・プランジャー、１
６・・・ｔＪｉ１＋、２４・・・ラックギヤー 特許出願人　　　株式会社　山　−精工有限会社　清　
［Ｈ製作所 代理人　弁理士　　稲　垣　仁　義 第　２　図 第３図 手続上９１正書（方幻 昭和８１年５月１口２日

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）フレキシブルな針状接触子と、該接触子を嵌合す
   るフレキシブルなガイドチューブと、前記接触子を回転
   させる手段とを具備してなり、前記接触子を回転させる
   ことにより被測定面の酸化被膜を剥ぎとり、被測定面と
   接触子との確実な接触を確保するようにしたことを特徴
   とする回転式フレキシブルコンタクトプローブ。
2. （２）前記接触子を回転させる手段が、接触子の後端に
   嵌合させたプランジャーと、該プランジャーに嵌合させ
   た歯車とからなり、該歯車を回転させることにより、前
   記プランジャーを介して前記接触子を回転させる特許請
   求の範囲第１項に記載のコンタクトプローブ。