JPS62250654A - 傾斜した締付けピンを使用したウエ−ハ処理チヤツク - Google Patents
傾斜した締付けピンを使用したウエ−ハ処理チヤツクInfo
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- JPS62250654A JPS62250654A JP62089962A JP8996287A JPS62250654A JP S62250654 A JPS62250654 A JP S62250654A JP 62089962 A JP62089962 A JP 62089962A JP 8996287 A JP8996287 A JP 8996287A JP S62250654 A JPS62250654 A JP S62250654A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
L1Σα杜肛た1
本発明は半導体ウェーハ処理装置内のウェーハを保持し
、その温度を制御する装置に関する。
、その温度を制御する装置に関する。
11皮E
従来のウェーハ処理装置において、半導体ウェーへのホ
ルダは、ウェーハが手によって装填さ゛れるためだいた
いが単純な装置であった。半導体が精巧で連続した自動
処理を受けながら移動するときには、ウェーハをウェー
ハ保持装置へと運ぶように設計されたウェーハ操作手段
がなければならない、処理の間にウェーハの温度を制御
する必要がある場合に、いろいろな手段を使用すること
ができる。温度制御されたチャックがウェーハの温度を
調節するために真空内で使用されるときには、熱伝達と
いう問題が生ずる。最も信頼できる熱伝達手段の1つは
、米国特許4,512,391号、第4.514.63
6号及び4.565,601号に示されているようにウ
ェーハの背後にガスを供給することである。ウェーハの
温度を有効に制御するためには、ウェーハ保持手段によ
ってウェーハを温度制御されたチャックに締付けること
が必要である。ウェーハ締付は手段と操作手段は信頼で
きる方法で協動させる必要がある。
ルダは、ウェーハが手によって装填さ゛れるためだいた
いが単純な装置であった。半導体が精巧で連続した自動
処理を受けながら移動するときには、ウェーハをウェー
ハ保持装置へと運ぶように設計されたウェーハ操作手段
がなければならない、処理の間にウェーハの温度を制御
する必要がある場合に、いろいろな手段を使用すること
ができる。温度制御されたチャックがウェーハの温度を
調節するために真空内で使用されるときには、熱伝達と
いう問題が生ずる。最も信頼できる熱伝達手段の1つは
、米国特許4,512,391号、第4.514.63
6号及び4.565,601号に示されているようにウ
ェーハの背後にガスを供給することである。ウェーハの
温度を有効に制御するためには、ウェーハ保持手段によ
ってウェーハを温度制御されたチャックに締付けること
が必要である。ウェーハ締付は手段と操作手段は信頼で
きる方法で協動させる必要がある。
正月しとl珀一
本発明の目的は、熱伝達媒体としてガスを使用する、温
度制御されたチャックに半導体ウェーハを締付ける手段
を提供することである。
度制御されたチャックに半導体ウェーハを締付ける手段
を提供することである。
本発明の他の目的は、ウェーハをウェーハ移送装置から
受け取り、そのウェーハをチャックへと移動させるため
の信頼性のある手段を提供することである。
受け取り、そのウェーハをチャックへと移動させるため
の信頼性のある手段を提供することである。
光jFυ肚藍一
本発明のこれらの目的及び他の目的、特徴、利点は、一
群のりフトピンがウェーハを移送装置から受け取り、ウ
ェーハを温度制御されたチャックの表面へと降下させる
本発明によって達成できる。一群の保持ビンがウェーハ
を保持してチャックへと降下させる。リフトピン及び保
持ビンは、リフト及び保持81能を連動させるために共
通軸駆動i構により駆動される。チャックとウェーハと
の間で良い熱伝達を達成するために、ガスがチャックの
中に供給され、チャネルを通ってチャックの表面にある
溝へと導かれる。
群のりフトピンがウェーハを移送装置から受け取り、ウ
ェーハを温度制御されたチャックの表面へと降下させる
本発明によって達成できる。一群の保持ビンがウェーハ
を保持してチャックへと降下させる。リフトピン及び保
持ビンは、リフト及び保持81能を連動させるために共
通軸駆動i構により駆動される。チャックとウェーハと
の間で良い熱伝達を達成するために、ガスがチャックの
中に供給され、チャネルを通ってチャックの表面にある
溝へと導かれる。
チャックの温度は、加熱手段、水冷手段、温度センサ及
び制御コンピュータにより制御される。
び制御コンピュータにより制御される。
本発明のこれらの及び他の構造上及び動作上の特徴は、
限定をなす例でない好適実施例及び変形例を説明する図
面とともに以下の詳細な説明からより明らかになるであ
ろう。
限定をなす例でない好適実施例及び変形例を説明する図
面とともに以下の詳細な説明からより明らかになるであ
ろう。
11え1匠
図面を参照すると、図面全体を通して各部品を示すため
に参照番号が使用されており、第1図には本発明に従っ
たウェーハ処理装置の部分断面正面図が示されている。
に参照番号が使用されており、第1図には本発明に従っ
たウェーハ処理装置の部分断面正面図が示されている。
投入ロードロック10がウェーハのカセットを装填する
ために使用されている6分離バルブ12がウェーハの通
路内で第1処理チエンバ14の前に設置されている。
ために使用されている6分離バルブ12がウェーハの通
路内で第1処理チエンバ14の前に設置されている。
第2分離バルブ16がウェーハの通路内で第2処理チエ
ンバ18の前に設置されている。第3分離バルブ20は
第2処理チエンバ18と取出しロードロック22どの間
に設置されている。キーボードとタッチスクリーンで制
御するコンピュータ24が装置の動作を制御するために
使用されている。
ンバ18の前に設置されている。第3分離バルブ20は
第2処理チエンバ18と取出しロードロック22どの間
に設置されている。キーボードとタッチスクリーンで制
御するコンピュータ24が装置の動作を制御するために
使用されている。
分離真空ボンピング接続口14.26.28.30.3
2.34.36及び38がロードロック12.22、バ
ルブ12.16.20及び処理チェンバ14.18の各
々になされている。各ポンピング接続口はコンピュータ
24によって制御される。この例では処理ステーション
が2つだけ示されているが、どんな数の処理ステーショ
ン及び分離バルブをいくつでも直列に使用できる。
2.34.36及び38がロードロック12.22、バ
ルブ12.16.20及び処理チェンバ14.18の各
々になされている。各ポンピング接続口はコンピュータ
24によって制御される。この例では処理ステーション
が2つだけ示されているが、どんな数の処理ステーショ
ン及び分離バルブをいくつでも直列に使用できる。
第2図は第1図の装置を線2−2で切断した部分断面を
示し、第3図は同じ装置を線3−3で切断した部分断面
を示す、第2図において、収納位置のウェーハ操作アー
ム40.42.44が実線によって示されている。ウェ
ーハ操作アーム40は点線46で示されているようにカ
セット50からウェーハ48を取り出す、ウェーハ操作
アーム40は点線52で示されているようにウェーハ4
8を処理チェンバ14内に配置する。同様に、点線54
で示されているようにウェーハ操作アームは第1処理チ
エンバ内でウェーハを取り、点線56で示されているよ
うに第2処理チエンバ18内にウェーハを配置する。ウ
ェーハ操作アーム44は点線58で示されているように
第2処理チエンバ18からウェーハを取り、点線60で
示されたところでウェーハを取出しカセット62内に配
置する。
示し、第3図は同じ装置を線3−3で切断した部分断面
を示す、第2図において、収納位置のウェーハ操作アー
ム40.42.44が実線によって示されている。ウェ
ーハ操作アーム40は点線46で示されているようにカ
セット50からウェーハ48を取り出す、ウェーハ操作
アーム40は点線52で示されているようにウェーハ4
8を処理チェンバ14内に配置する。同様に、点線54
で示されているようにウェーハ操作アームは第1処理チ
エンバ内でウェーハを取り、点線56で示されているよ
うに第2処理チエンバ18内にウェーハを配置する。ウ
ェーハ操作アーム44は点線58で示されているように
第2処理チエンバ18からウェーハを取り、点線60で
示されたところでウェーハを取出しカセット62内に配
置する。
第3図において、ウェーハ操作アーム40.44がバル
ブ12.20内側の収納位置にあることが示されている
。そのバルブ12.20は閉じた位置にあるバルブウェ
ッジ(wedge )を有している。
ブ12.20内側の収納位置にあることが示されている
。そのバルブ12.20は閉じた位置にあるバルブウェ
ッジ(wedge )を有している。
バルブ16内のウェーハ操作アームは第1処理チエンバ
14内では実線68で示されており、第2処理チエンバ
18内では点線56によって示されている。
14内では実線68で示されており、第2処理チエンバ
18内では点線56によって示されている。
バルブ16のバルブウェッジ69は開いた位置で示され
ている。操作アームがバルブシート内の開孔71を通っ
てどちらの方向にも動くことができる。
ている。操作アームがバルブシート内の開孔71を通っ
てどちらの方向にも動くことができる。
前記のバルブ及びウェーハ操作アームの各々の細部が第
4−9図に示されている。その装置は第4図に側面図で
示されている。密閉Oリングツ2を有するプレート70
は、バルブ及びウェーハ操作アームを装置の中に密閉す
るために使用されている。第3図に示されるように、プ
レー)7Gは装置の主フレームに配置されている。第4
−6図は、バルブウェッジ74とその動作機構及びウェ
ーハ操作アーム84とその動作機構は全て統一したJ′
lI造をなすようにプレート70に取り付けられている
ことを示す、第8図には、バルブ及びウェーハアームユ
ニットを装置の主フレームに取り付けるためのボルト(
図示せず)を通すためのスロット71及びアパーチャア
3が備わったプレート70を示している。この構造は、
装置の如何なる部分も取り外すことなく、バルブとウェ
ーハアームを一体として迅速に取り外し、交換すること
を可能にしている。
4−9図に示されている。その装置は第4図に側面図で
示されている。密閉Oリングツ2を有するプレート70
は、バルブ及びウェーハ操作アームを装置の中に密閉す
るために使用されている。第3図に示されるように、プ
レー)7Gは装置の主フレームに配置されている。第4
−6図は、バルブウェッジ74とその動作機構及びウェ
ーハ操作アーム84とその動作機構は全て統一したJ′
lI造をなすようにプレート70に取り付けられている
ことを示す、第8図には、バルブ及びウェーハアームユ
ニットを装置の主フレームに取り付けるためのボルト(
図示せず)を通すためのスロット71及びアパーチャア
3が備わったプレート70を示している。この構造は、
装置の如何なる部分も取り外すことなく、バルブとウェ
ーハアームを一体として迅速に取り外し、交換すること
を可能にしている。
バルブウェッジ74はその両側にバルブシート80(第
3図参照)に密閉するための0リング76.78を有す
る。リニアーアクチュエータ(1inear actu
ator) 82は空気、液体又は電気で駆動されるも
のでもよく、バルブウェッジ74をシートの中へと上方
に動かすために使用される。この上方への移動が、最上
の閉じた位置にある点線に示されたバルブウェッジ74
とともに第5図に示されている。
3図参照)に密閉するための0リング76.78を有す
る。リニアーアクチュエータ(1inear actu
ator) 82は空気、液体又は電気で駆動されるも
のでもよく、バルブウェッジ74をシートの中へと上方
に動かすために使用される。この上方への移動が、最上
の閉じた位置にある点線に示されたバルブウェッジ74
とともに第5図に示されている。
ウェーハ操作アーム84は、バルブウェッジ74が最高
点の閉じた位置にあるか、又は最下点の開いた位置にあ
るか否かによらず、装置内で同じ高さにある。バルブウ
ェッジ74は、それが回転して通り、また、バルブ内で
アーム84を密閉できるように収納ノツチ88を有する
。
点の閉じた位置にあるか、又は最下点の開いた位置にあ
るか否かによらず、装置内で同じ高さにある。バルブウ
ェッジ74は、それが回転して通り、また、バルブ内で
アーム84を密閉できるように収納ノツチ88を有する
。
ウェーハ操作アーム84には2つの回転アクチュエータ
90.92が備えられており、該アクチュエータは歯付
きベルト98.100及び歯付きプーリー102.10
4.105、toeによって同心シャフト94.98を
駆動する。同心シャフト94.9Bはシャフトホルダ1
07内に取り付けられており、その頭部と底部がローラ
ベアリング108.110.112で支持されている。
90.92が備えられており、該アクチュエータは歯付
きベルト98.100及び歯付きプーリー102.10
4.105、toeによって同心シャフト94.98を
駆動する。同心シャフト94.9Bはシャフトホルダ1
07内に取り付けられており、その頭部と底部がローラ
ベアリング108.110.112で支持されている。
シャフトに良好な回転真空シールを与えるために、二組
のOリング114.116.118.120が各シャフ
トのまわりに設けられている。穴122が外シヤフト9
6を貫通して設けられており、内シヤフト94の171
124と通じている。
のOリング114.116.118.120が各シャフ
トのまわりに設けられている。穴122が外シヤフト9
6を貫通して設けられており、内シヤフト94の171
124と通じている。
外シヤフト96の満126は各シャフト上のOリングシ
ールの各組の間に別の真空ボンピング及び加圧をするた
めに穴122及びポンプ排気口128と通じている。バ
ルブウェッジ74とプレートフ0との間にはベローズシ
ール130が設けられている。
ールの各組の間に別の真空ボンピング及び加圧をするた
めに穴122及びポンプ排気口128と通じている。バ
ルブウェッジ74とプレートフ0との間にはベローズシ
ール130が設けられている。
操作アーム84は4つの小さな部品からできている。基
部支持部品132の第1端部が外シヤフト96と直角と
なるようにそのシャフトにしっかりと取り付けられてい
る。末端支持部品134の一端は基部支持部品132の
他の端部に枢着されている。基部エクステンサ(exL
ensor )部品136が第1端部と直角になるよう
にしっかりと内シヤフト94に取り付けられている。末
端エクステンサ部品138は、その一端が、基部エクス
テンサ部品136の第2端部に枢着されている。
部支持部品132の第1端部が外シヤフト96と直角と
なるようにそのシャフトにしっかりと取り付けられてい
る。末端支持部品134の一端は基部支持部品132の
他の端部に枢着されている。基部エクステンサ(exL
ensor )部品136が第1端部と直角になるよう
にしっかりと内シヤフト94に取り付けられている。末
端エクステンサ部品138は、その一端が、基部エクス
テンサ部品136の第2端部に枢着されている。
末端エクステンサ部品138は末端支持部品134の第
2端部に枢着されている。
2端部に枢着されている。
末端支持部品134上にある基部支持部品132と末端
エクステンサ部品138との取り付は点は、その間隔が
基部エクステンサ部品136の大きさの分だけ離れてい
る。基部エクステンサ部品136は基部支持部品132
よりもずっと短くできる。
エクステンサ部品138との取り付は点は、その間隔が
基部エクステンサ部品136の大きさの分だけ離れてい
る。基部エクステンサ部品136は基部支持部品132
よりもずっと短くできる。
基部支持部品に対して基部エクステンサ部品136が小
さくなればなるほど、折りたたまれた位置にあるときの
アームは小さくなる。アームの4つの部品は取り付は点
とシャフト軸との間に平行四辺形を形成する。もし4つ
のアーム部品の全てがブレードのように形成されるなら
ば、枢動止め具はゆるく固定されたリベットでよい。
さくなればなるほど、折りたたまれた位置にあるときの
アームは小さくなる。アームの4つの部品は取り付は点
とシャフト軸との間に平行四辺形を形成する。もし4つ
のアーム部品の全てがブレードのように形成されるなら
ば、枢動止め具はゆるく固定されたリベットでよい。
外シヤフト96を回転させると、全アームが回転する。
内シヤフト94が外シヤフトに関して回転させられると
、アームが伸び又、折りたたまれる。
、アームが伸び又、折りたたまれる。
このように記載したアームは、独立に同心シャフトを回
転させることによって、ウェーハを保持する先端部をど
のように複雑な曲線にでも動くようできる。アームを保
管するために必要とされる小さなスペースはアームが分
離バルブハウジング内に収納されることを可能にする。
転させることによって、ウェーハを保持する先端部をど
のように複雑な曲線にでも動くようできる。アームを保
管するために必要とされる小さなスペースはアームが分
離バルブハウジング内に収納されることを可能にする。
バルブのハウジングは前に説明した分離ユニット又は処
理チェンバに対して不可欠な部分として形成され得る。
理チェンバに対して不可欠な部分として形成され得る。
前記のようにアームのための駆動手段を取り付け、作る
ことは、駆動パーツが1つのユニットとして迅速に取り
はずされ、また交換されることを可能にし、それによっ
て稼働休止時間が最小にされる。
ことは、駆動パーツが1つのユニットとして迅速に取り
はずされ、また交換されることを可能にし、それによっ
て稼働休止時間が最小にされる。
バルブは処理チェンバに使用されるものと同じボンピン
グ装置によって同時に、又は交換バルブによってボンピ
ング機構をタイムシェアリングでポンプされてもよい、
もし同時ボンピングが必要であるならば、処理チェンバ
からポンプされる化学活性処理ガスはバルブハウジング
中に逆流する。これはバルブハウジング中への不活性ガ
スの小さな流れを維持して連続的にハウジング及びポン
プラインを流すことで防げ得る。この流れは5aa/分
はどの小さなものでよい。
グ装置によって同時に、又は交換バルブによってボンピ
ング機構をタイムシェアリングでポンプされてもよい、
もし同時ボンピングが必要であるならば、処理チェンバ
からポンプされる化学活性処理ガスはバルブハウジング
中に逆流する。これはバルブハウジング中への不活性ガ
スの小さな流れを維持して連続的にハウジング及びポン
プラインを流すことで防げ得る。この流れは5aa/分
はどの小さなものでよい。
第1図及び第10図において、本発明に従ったロードロ
ック及びエレベータ機構が示されている。ロードロック
ドア150は一組のロッド152に取り付けられており
、そのロッドはロードロックチェンバ156の外側に設
置されたベアリング154上に乗っている。カセット6
2はテーブル158上に乗っており、テーブルはカセッ
ト62をただ一個所に置くために固定されている。マイ
クロスイッチ160又は別の同等のセンサーがカセット
が適切に置かれているとき、それを検知するのに使用さ
れる。装置を制御するコンピュータはカセット62が適
切に置かれるまでロードロックドア150を開いたまま
で保持するようにプログラムされている。テーブル15
8はシャフト162上に乗っており、そのシャフトはバ
ー164内で終っている。バー164はモータ168及
びプーリー1フO並びにスクリュー166によって駆動
される。
ック及びエレベータ機構が示されている。ロードロック
ドア150は一組のロッド152に取り付けられており
、そのロッドはロードロックチェンバ156の外側に設
置されたベアリング154上に乗っている。カセット6
2はテーブル158上に乗っており、テーブルはカセッ
ト62をただ一個所に置くために固定されている。マイ
クロスイッチ160又は別の同等のセンサーがカセット
が適切に置かれているとき、それを検知するのに使用さ
れる。装置を制御するコンピュータはカセット62が適
切に置かれるまでロードロックドア150を開いたまま
で保持するようにプログラムされている。テーブル15
8はシャフト162上に乗っており、そのシャフトはバ
ー164内で終っている。バー164はモータ168及
びプーリー1フO並びにスクリュー166によって駆動
される。
ガイドロッド172とベアリング174はエレベータを
安定させるのに使用される。シャフト162のまわりに
真空シールをつくるためにベローズlフロはチェンバ1
56とバー164を密閉する。
安定させるのに使用される。シャフト162のまわりに
真空シールをつくるためにベローズlフロはチェンバ1
56とバー164を密閉する。
第1.10及び11図に示されているように、ドア15
0の後ろに0リング178が設置され、ドアが押し閉じ
られるときチェンバ156の表面を密閉する。ロードロ
ックの主要なロッキング機構とは、チェンバ156がボ
ンビングロ180から排気されたときにドア150上に
かかる大気の圧力によるものである。0リング178を
押し付け、ドア150を閉じたまま保持するのに十分な
ほどチェンバ156内の圧力が下がるまでドア150を
保持することを助けるために、真空又はソフトラッチが
設けられている。
0の後ろに0リング178が設置され、ドアが押し閉じ
られるときチェンバ156の表面を密閉する。ロードロ
ックの主要なロッキング機構とは、チェンバ156がボ
ンビングロ180から排気されたときにドア150上に
かかる大気の圧力によるものである。0リング178を
押し付け、ドア150を閉じたまま保持するのに十分な
ほどチェンバ156内の圧力が下がるまでドア150を
保持することを助けるために、真空又はソフトラッチが
設けられている。
ソフトラッチは第11図に示されているようにチェンバ
156の壁の中で0リング178の外側に収り付けられ
た、好適にはネオプレンフオーム製の4つの0リングシ
ール182から成る。これら0リングシールはOリング
178と密着してドアを保持するのに十分な力を与える
のに適した形状と大きさに作ってもよい、ネオプレンフ
オームOリングはオープンセル又はクローズドセル型に
してもよいが、柔軟クローズドセル型ネオプレン0リン
グは特に良い(llfimを果たす、第11図は1つの
例のドアの背面の図であり、0リングシール182が合
わさる位置が点線で示されている(シール182はチェ
ンバの表面上にあるからである)、oリングシール18
2はドア上にも置けるが、ボンピングチャネルをチェン
バを介して動かした方がより便利である。各シール18
2は、もしそれらが図示したようにチェンバ上にあるな
らば、ドア150の後ろ側のスムーズな表面を密閉する
。もしシールがドア側にあれば、スムーズな表面はチェ
ンバ側にある。各シール182の中心には第12図に示
されているようにチャネル186を通ってバルブ及びボ
ンピング装置に通じる穴184がおいている。マイクロ
スイッチ検知器188はドア150が閉じるのを検知す
る。大気中へ通じるバルブ188は閑じられ、ボンピン
グ装置に通じるバルブ190は引き続き開けられている
。シール182のもとての真空排気はドア150を閏じ
た状態で保持する。もし、チェンバ156がチェンバの
排気以前に手で開くことができるならば、ハンドル19
4上のスイッチ192は連続してボンピング装置に通じ
るバルブ190を閉じ、外気に通じるバルブ188を開
くために使用される0次にシール182はドアを開放す
る。
156の壁の中で0リング178の外側に収り付けられ
た、好適にはネオプレンフオーム製の4つの0リングシ
ール182から成る。これら0リングシールはOリング
178と密着してドアを保持するのに十分な力を与える
のに適した形状と大きさに作ってもよい、ネオプレンフ
オームOリングはオープンセル又はクローズドセル型に
してもよいが、柔軟クローズドセル型ネオプレン0リン
グは特に良い(llfimを果たす、第11図は1つの
例のドアの背面の図であり、0リングシール182が合
わさる位置が点線で示されている(シール182はチェ
ンバの表面上にあるからである)、oリングシール18
2はドア上にも置けるが、ボンピングチャネルをチェン
バを介して動かした方がより便利である。各シール18
2は、もしそれらが図示したようにチェンバ上にあるな
らば、ドア150の後ろ側のスムーズな表面を密閉する
。もしシールがドア側にあれば、スムーズな表面はチェ
ンバ側にある。各シール182の中心には第12図に示
されているようにチャネル186を通ってバルブ及びボ
ンピング装置に通じる穴184がおいている。マイクロ
スイッチ検知器188はドア150が閉じるのを検知す
る。大気中へ通じるバルブ188は閑じられ、ボンピン
グ装置に通じるバルブ190は引き続き開けられている
。シール182のもとての真空排気はドア150を閏じ
た状態で保持する。もし、チェンバ156がチェンバの
排気以前に手で開くことができるならば、ハンドル19
4上のスイッチ192は連続してボンピング装置に通じ
るバルブ190を閉じ、外気に通じるバルブ188を開
くために使用される0次にシール182はドアを開放す
る。
一度チェンバ156でボンピングが開始されると、ソフ
トラッチはコンピュータ24によって自動的に開放され
る。このようにソフトラッチを主0リングシール178
の外側に置くのが有利である。
トラッチはコンピュータ24によって自動的に開放され
る。このようにソフトラッチを主0リングシール178
の外側に置くのが有利である。
ソフトラッチングのこの装置はカセットの自動操作に特
に有利である。
に有利である。
ドアの大きさ及び取付は装置の嵌合の密閉具合とに依存
して、2乃至4つ或いはそれ以上のソフトラッチが必要
となろう、十分に嵌合したヒンジをもつ小さなドアにつ
いては、十分な大きさの単一のソフトラッチが適切であ
る。第13図には一つの実施例が示されており、ヒンジ
197に取り付けられ、一つだけ0リング198を有す
るドア196がソフトラッチとして機能するチェンバ上
に取り付けられた単一シール182を有する。ソフトラ
ッチがドアと接触する点が点線で示されている。
して、2乃至4つ或いはそれ以上のソフトラッチが必要
となろう、十分に嵌合したヒンジをもつ小さなドアにつ
いては、十分な大きさの単一のソフトラッチが適切であ
る。第13図には一つの実施例が示されており、ヒンジ
197に取り付けられ、一つだけ0リング198を有す
るドア196がソフトラッチとして機能するチェンバ上
に取り付けられた単一シール182を有する。ソフトラ
ッチがドアと接触する点が点線で示されている。
カセットは摩耗したり、そうでなければ変形したりする
ので、エレベータ機構に相対するウェーハの位置は既知
のカセットの形状からは決定できない、ウェーハは前の
処理工程中にこわされ、又は除去され、従ってカセット
のスロットからなくなることもあるかもしれない、これ
らの問題を補償するためにチェンバ内に光学又は赤外線
発射器156が同じ高さでチェンバの反対側にある光学
又は赤外線検知器202と向い合わせて設けられている
。チェンバ156が排気されるに従って、エレベータテ
ーブル158が上に駆動され、次に下降される。各ウェ
ーハが発射器200からのビームを横切ると、ビームの
遮断が検知器202で感知される。その遮断は制御コン
ピュータ及び結合したハードウェアに記録される。エレ
ベータは位置が速度と時間の積から分かるように一定の
既知の速度で駆動される0位置はエレベータテーブル1
58に関して測定される。このようにして、カセットの
各スロットの位置及び各ウェーハの存在が確認される。
ので、エレベータ機構に相対するウェーハの位置は既知
のカセットの形状からは決定できない、ウェーハは前の
処理工程中にこわされ、又は除去され、従ってカセット
のスロットからなくなることもあるかもしれない、これ
らの問題を補償するためにチェンバ内に光学又は赤外線
発射器156が同じ高さでチェンバの反対側にある光学
又は赤外線検知器202と向い合わせて設けられている
。チェンバ156が排気されるに従って、エレベータテ
ーブル158が上に駆動され、次に下降される。各ウェ
ーハが発射器200からのビームを横切ると、ビームの
遮断が検知器202で感知される。その遮断は制御コン
ピュータ及び結合したハードウェアに記録される。エレ
ベータは位置が速度と時間の積から分かるように一定の
既知の速度で駆動される0位置はエレベータテーブル1
58に関して測定される。このようにして、カセットの
各スロットの位置及び各ウェーハの存在が確認される。
制御コンピュータ24は次にコンピュータメモリー内の
測定位置で各ウェーハを取り上げ、カセットをウェーハ
のない所へ飛び越すようにプログラムされる。前記のウ
ェーハ操作a構とウェーハ位置決定システムとの組み合
わせにより、システムは投入カセット内のウェーハにラ
ンダムアクセスに動作し、出て行くウェーハを収納する
カセットの間隔を任意選択できる。
測定位置で各ウェーハを取り上げ、カセットをウェーハ
のない所へ飛び越すようにプログラムされる。前記のウ
ェーハ操作a構とウェーハ位置決定システムとの組み合
わせにより、システムは投入カセット内のウェーハにラ
ンダムアクセスに動作し、出て行くウェーハを収納する
カセットの間隔を任意選択できる。
第14−16図には本発明に従って処理中のウェーハを
受け取り、中心づけ、保持するための装置を示す、ウェ
ーハは、ウェーハ操作アームを用いてチャックプラット
フォーム上で中心づけられる。3本又はそれ以上の組と
なったりフトビン212が、ウェーハの下から上昇し、
ウェーハを操作アームから持ち上げる0次に、操作アー
ムは、チェンバから引込められる0次に、ウェーハは、
第15図で破線で第16図で実線で示すように、ビンが
伸長位置にあるリフトピン212の上に位置する。リフ
トピン212が上方にのびると同時に、保持ピン214
はウェーハから斜め上方に離れるように伸長する。各保
持ピン214は、保持ピンのシャフトの直径より大きい
ヘッド拡張部216を有する。ヘッド拡張部216は、
小さい円盤、円、筒、又は他の物のように形成してもよ
い、ヘッド拡張部216は、ウェーハのエツジを捕える
ために十分に大きくて切り立った形状、゛ある。リフト
ピン212がバネ213によって下方に引張られてウェ
ーハをチャックプラットフォーム210の最上部の上に
配置するとき、保持ピン214はヘッド216を用いて
ウェーハのエツジを締め付ける。保持ピン214は2本
又はそれ以上であってよく、保持ピン214が多くなる
とウェーハはよりしっかりとチャックに保持される。
受け取り、中心づけ、保持するための装置を示す、ウェ
ーハは、ウェーハ操作アームを用いてチャックプラット
フォーム上で中心づけられる。3本又はそれ以上の組と
なったりフトビン212が、ウェーハの下から上昇し、
ウェーハを操作アームから持ち上げる0次に、操作アー
ムは、チェンバから引込められる0次に、ウェーハは、
第15図で破線で第16図で実線で示すように、ビンが
伸長位置にあるリフトピン212の上に位置する。リフ
トピン212が上方にのびると同時に、保持ピン214
はウェーハから斜め上方に離れるように伸長する。各保
持ピン214は、保持ピンのシャフトの直径より大きい
ヘッド拡張部216を有する。ヘッド拡張部216は、
小さい円盤、円、筒、又は他の物のように形成してもよ
い、ヘッド拡張部216は、ウェーハのエツジを捕える
ために十分に大きくて切り立った形状、゛ある。リフト
ピン212がバネ213によって下方に引張られてウェ
ーハをチャックプラットフォーム210の最上部の上に
配置するとき、保持ピン214はヘッド216を用いて
ウェーハのエツジを締め付ける。保持ピン214は2本
又はそれ以上であってよく、保持ピン214が多くなる
とウェーハはよりしっかりとチャックに保持される。
静電容量センサ(capae+tative 5ens
or)218が、ウェーハのチャック上への設置を確認
するために使用されている。
or)218が、ウェーハのチャック上への設置を確認
するために使用されている。
各保持ピン214が、ビンのためのガイドを形成するピ
ンホルダ220に固定される。各ビンホルダ220は、
バネ222によって下方向の力を受ける。リフトピン2
12及び保持ピン214は、リフトテーブル224によ
って共に駆動される。リフトテーブル224の上方縁は
丸みがつけられ、ピンボルダ220の下方縁は丸みがつ
けられている。
ンホルダ220に固定される。各ビンホルダ220は、
バネ222によって下方向の力を受ける。リフトピン2
12及び保持ピン214は、リフトテーブル224によ
って共に駆動される。リフトテーブル224の上方縁は
丸みがつけられ、ピンボルダ220の下方縁は丸みがつ
けられている。
そのため、リフトテーブル224上′でのビンホルダ2
20の円滑な滑動を容易にする。リフトテーブル224
は、ネジシャフト226及びネジシリンダ228により
上方へと駆動される。ネジシリンダ228のまわりに位
置するベローズ及びOリングシール230が、真空シー
ルとして用いられている。ネジシャフト226は、プー
リー232及びモータ234によって駆動される。
20の円滑な滑動を容易にする。リフトテーブル224
は、ネジシャフト226及びネジシリンダ228により
上方へと駆動される。ネジシリンダ228のまわりに位
置するベローズ及びOリングシール230が、真空シー
ルとして用いられている。ネジシャフト226は、プー
リー232及びモータ234によって駆動される。
前述のようにチャックプラットフォーム210にしっか
りと締め付けられたウェーハを、チャックの内部から供
給されるガスによって裏側から加熱又は冷却することが
できる。そのガスは、チャックとウェーハとの間の伝達
媒体として用いられるものである。チャックプラットフ
ォーム210内で、ブリナム236には、内部チャネル
(図示せず)を通じて真空の外側にあるガス源からガス
が供給される。半径方向経路238が、チャックの表面
上の一連の半径方向の講、或いは同心の溝、又は(半径
方向及び同心の溝)組合せ溝(図示せず)内へそのガス
を供給するために用いられる。ウェーハの下からガスが
漏出することで、ガスの連続的な流れが必然的に形成さ
れることになる。チャックの温度は、センサを用いてモ
ニターされ、それによって調節される。
りと締め付けられたウェーハを、チャックの内部から供
給されるガスによって裏側から加熱又は冷却することが
できる。そのガスは、チャックとウェーハとの間の伝達
媒体として用いられるものである。チャックプラットフ
ォーム210内で、ブリナム236には、内部チャネル
(図示せず)を通じて真空の外側にあるガス源からガス
が供給される。半径方向経路238が、チャックの表面
上の一連の半径方向の講、或いは同心の溝、又は(半径
方向及び同心の溝)組合せ溝(図示せず)内へそのガス
を供給するために用いられる。ウェーハの下からガスが
漏出することで、ガスの連続的な流れが必然的に形成さ
れることになる。チャックの温度は、センサを用いてモ
ニターされ、それによって調節される。
他のチャックが第17及び第18図に示されている。ヘ
リウムガスを使用するのに適したいくつかの応用例にお
いては、ウェーハをチャックの表面により確実に密着さ
せるための締付は手段を設ける必要がある。このチャッ
クにおいて、ウェーハ300はチャック表面302上に
示されている。3つ又はそれ以上のリフトピン304は
、ウェーハ300を操作アームから持ち上げ、表面30
2へとウェーハ300を下降させる。ビン304はスパ
イダ306に取り付けられ、空気式アクチュエータによ
り駆動される。ベローズ310によりビンのまわりが真
空の状態に保たれる。温度制御ガスが入口312から導
入され、内側チャネル314を通り、チャック表面30
2にある中央穴へと流れる。
リウムガスを使用するのに適したいくつかの応用例にお
いては、ウェーハをチャックの表面により確実に密着さ
せるための締付は手段を設ける必要がある。このチャッ
クにおいて、ウェーハ300はチャック表面302上に
示されている。3つ又はそれ以上のリフトピン304は
、ウェーハ300を操作アームから持ち上げ、表面30
2へとウェーハ300を下降させる。ビン304はスパ
イダ306に取り付けられ、空気式アクチュエータによ
り駆動される。ベローズ310によりビンのまわりが真
空の状態に保たれる。温度制御ガスが入口312から導
入され、内側チャネル314を通り、チャック表面30
2にある中央穴へと流れる。
チャネル318は、チャックの内側のまわりの温度を調
節する流体のために設けられたものである。放射状スロ
ット320がチャック上の表面上に穴316と連結する
ように設けられている。スロットストツア322はスロ
ットを塞ぎ、ウェーハの下でヘリウムが逃げないように
する。
節する流体のために設けられたものである。放射状スロ
ット320がチャック上の表面上に穴316と連結する
ように設けられている。スロットストツア322はスロ
ットを塞ぎ、ウェーハの下でヘリウムが逃げないように
する。
ウェーハをチャックに確実に保持するために、複数のク
ランプが設けられている。6インチ(15,24c+*
)のウェーハでは3−72個のクランプが使用できる。
ランプが設けられている。6インチ(15,24c+*
)のウェーハでは3−72個のクランプが使用できる。
より小さいウェーハに対しては数を減らして使用しても
よく、より大きなウェーハに対しては数を増して使用し
てもよい、ここでは簡略化のため8個のものが示されて
いる。
よく、より大きなウェーハに対しては数を増して使用し
てもよい、ここでは簡略化のため8個のものが示されて
いる。
各クランプは、ウェーハの外側のまわりに配置されたバ
ネ326に連結され金属製シートの薄いフック324か
ら成る。各フック324が通るスロット330を備えた
展開リング328がある。スロット330は、フックが
スロットなしでリフトリング332上に位置していると
きには任意的なものである。展開リング328の下方に
リフトリング332がある。展開リングには2つ又はそ
れ以上の空気式アクチュエータ334(ここでは3つ示
されている)及びベローズ真空シール336が備えつけ
られている。リフトリング332も同様に2つ又はそれ
以上の空気式アクチュエータ338くここでは3つ示さ
れている)及びベローズ真空シール340が備えつけら
れている。
ネ326に連結され金属製シートの薄いフック324か
ら成る。各フック324が通るスロット330を備えた
展開リング328がある。スロット330は、フックが
スロットなしでリフトリング332上に位置していると
きには任意的なものである。展開リング328の下方に
リフトリング332がある。展開リングには2つ又はそ
れ以上の空気式アクチュエータ334(ここでは3つ示
されている)及びベローズ真空シール336が備えつけ
られている。リフトリング332も同様に2つ又はそれ
以上の空気式アクチュエータ338くここでは3つ示さ
れている)及びベローズ真空シール340が備えつけら
れている。
各フック324は上方保持リップ342、下方展開リッ
プ344及びリフトスロット346を有する。フックが
上方の展開位置から下方の締付は位置へと動くと、バネ
326の力によって、フックはリフトスロット346の
ところでリフトリングのまわりに駆動し、ウェーハ30
0の縁に押しつけられる。これにより、ウェーハはフッ
クの間で中心に置かれる。フックが下方の締付は位置か
ら上方の展開位置へと動くと、リフトリング332はウ
ェーハの方向に持ち上げられ、フック324は上方向の
力を受けて、保持リップ342によってウェーハ上に作
用した力を解放する。展開リング328が下降してフッ
ク324の展開リップ344に圧力を加えると、フック
324はリフトスロット346のところで外側に駆動す
る。静電容量センサ348及び/若しくは光学センサ3
30並びに/又は背圧センサ(図示せず)がウェーハ3
00の存在を検知するために使用することができる。検
知情報はシステムコンピュータ24に送信される。
プ344及びリフトスロット346を有する。フックが
上方の展開位置から下方の締付は位置へと動くと、バネ
326の力によって、フックはリフトスロット346の
ところでリフトリングのまわりに駆動し、ウェーハ30
0の縁に押しつけられる。これにより、ウェーハはフッ
クの間で中心に置かれる。フックが下方の締付は位置か
ら上方の展開位置へと動くと、リフトリング332はウ
ェーハの方向に持ち上げられ、フック324は上方向の
力を受けて、保持リップ342によってウェーハ上に作
用した力を解放する。展開リング328が下降してフッ
ク324の展開リップ344に圧力を加えると、フック
324はリフトスロット346のところで外側に駆動す
る。静電容量センサ348及び/若しくは光学センサ3
30並びに/又は背圧センサ(図示せず)がウェーハ3
00の存在を検知するために使用することができる。検
知情報はシステムコンピュータ24に送信される。
チャック本体352は、締付は機構を適切な位置に保持
しつつボルト354をはずすことにより、センサ348
又は350の保守点検のための取外しができる。ウェー
ハ保持チャックの他の実施例としては、チャックをカー
トリッジ式ヒータにより加熱してもよく、水のような流
体で冷却してもよい、また、その流体を外部で加熱、冷
却してもよい、チャックの温度はセンサによりモニター
することができ、その温度は処理コンピュータ24と接
続し得る制御コンピュータにより調節することができる
。
しつつボルト354をはずすことにより、センサ348
又は350の保守点検のための取外しができる。ウェー
ハ保持チャックの他の実施例としては、チャックをカー
トリッジ式ヒータにより加熱してもよく、水のような流
体で冷却してもよい、また、その流体を外部で加熱、冷
却してもよい、チャックの温度はセンサによりモニター
することができ、その温度は処理コンピュータ24と接
続し得る制御コンピュータにより調節することができる
。
第19図において、タスク位置づけシステムが図式化さ
れている。この例では、2基の処理チェンバ、ウェーハ
ハンドラーを備えた3基のバルブ及び2基のロードロッ
クが用いられている。
れている。この例では、2基の処理チェンバ、ウェーハ
ハンドラーを備えた3基のバルブ及び2基のロードロッ
クが用いられている。
バルブ及びウェーハハンドラーに応じて、任意の数の処
理チェンバを用いることができる。この図式の左上には
、種々のタスク記号が定義されている0例えば、SND
は、センダーロードロックを換気または排気することを
意味する0種々のタスク状態記号が図式の右側において
定義されている。状態#1は、エレメントが準備されて
いないことあるいは何かをするために待機していること
を意味する。状態#2は−、エレメントがウェーハを操
作すべき準備ができていることを忠昧する。状態#3は
、エレメントが活動中であることを意味する。このコー
ドは、第19図中の図式のマトリクスには用いられてい
ないが、完全性を期すために定義した。操作すべきある
特定のタスクのために、活動性の欠除のみが必要となる
。状態#4は、エレメントが状態1まはた2にあって、
3ではないことを意味する。第5番目の状!ぶ記号“任
意”は、エレメント他の4つの状態のいずれかであるこ
とを意味する。1.2または3のいずれかで良いタスク
の状態と、4及び5の組合わせまたは1または2であっ
て良い必要状懇との間には、差異がある。
理チェンバを用いることができる。この図式の左上には
、種々のタスク記号が定義されている0例えば、SND
は、センダーロードロックを換気または排気することを
意味する0種々のタスク状態記号が図式の右側において
定義されている。状態#1は、エレメントが準備されて
いないことあるいは何かをするために待機していること
を意味する。状態#2は−、エレメントがウェーハを操
作すべき準備ができていることを忠昧する。状態#3は
、エレメントが活動中であることを意味する。このコー
ドは、第19図中の図式のマトリクスには用いられてい
ないが、完全性を期すために定義した。操作すべきある
特定のタスクのために、活動性の欠除のみが必要となる
。状態#4は、エレメントが状態1まはた2にあって、
3ではないことを意味する。第5番目の状!ぶ記号“任
意”は、エレメント他の4つの状態のいずれかであるこ
とを意味する。1.2または3のいずれかで良いタスク
の状態と、4及び5の組合わせまたは1または2であっ
て良い必要状懇との間には、差異がある。
多くのタスクは、1から2.3へと進み1に戻る。しか
しSNDは、1から2.3へと進んで2に戻る。これら
の状態のカテゴリーの意味の理解を助けるために、いく
つかの例を挙げる。
しSNDは、1から2.3へと進んで2に戻る。これら
の状態のカテゴリーの意味の理解を助けるために、いく
つかの例を挙げる。
処理チェンバにウェーハが無いとき、例えばCIPの状
態は#1である。ウェーハがチェンバへと移動した後に
は、状態は#2に変化する。
態は#1である。ウェーハがチェンバへと移動した後に
は、状態は#2に変化する。
そして処理が始まって、状態が#3に変化する。
処理が終了すると、状態は#1へと戻る。バルブは、状
態変化と同様な順序で進行する。しかしウェーハの存在
は、バルブ自身内ではなくむしろ上流のコンパートメン
ト内で検出される。
態変化と同様な順序で進行する。しかしウェーハの存在
は、バルブ自身内ではなくむしろ上流のコンパートメン
ト内で検出される。
ウェーハがバルブ自身内にあるのは、バルブが活動中の
ときだけである。
ときだけである。
タスク位置づけシステムは、システムの各エレメントの
実際の状態を感知して、上記の3種のカテゴリーに従っ
て状態をコンピュータ内に記憶する。各エレメントは他
のエレメントの活動とは独立に命令を受ける。ただし、
他のエレメントの状態が正しいことを条件とする。シス
テムは固定した時間の順序に従って運転するわけではな
い。
実際の状態を感知して、上記の3種のカテゴリーに従っ
て状態をコンピュータ内に記憶する。各エレメントは他
のエレメントの活動とは独立に命令を受ける。ただし、
他のエレメントの状態が正しいことを条件とする。シス
テムは固定した時間の順序に従って運転するわけではな
い。
タスク位置づけシステムは、第19図のマトリクスの左
側に記されたタスクの実際の状態と、図式化されたテー
ブル内の必要状君を示すコラム各々とを比較して、タス
クを開始して良いか否かを決定する。もし条件が第19
図のテーブルに示すようであったならば、タスクを始め
て。
側に記されたタスクの実際の状態と、図式化されたテー
ブル内の必要状君を示すコラム各々とを比較して、タス
クを開始して良いか否かを決定する。もし条件が第19
図のテーブルに示すようであったならば、タスクを始め
て。
次に状態を最新にする。
このようにして、タスクの各々の相対的期間に拘らず最
適の順序が進行する。このことは、タスク位置づけシス
テムが順序を決定しようとしないで、常にできるだけ忙
しくシステムを保つという抽象的な目標を追求するとい
うことによる。
適の順序が進行する。このことは、タスク位置づけシス
テムが順序を決定しようとしないで、常にできるだけ忙
しくシステムを保つという抽象的な目標を追求するとい
うことによる。
例えば、第2の処理チェンバをレシーバ−ロードロック
との間のレシーバ−バルブがどのような条件で運転する
かを決定するために、最後から2番目の列にあるWRM
まで、頂部の行にあるタスクの名前を読む0次に、各状
態記号へと読んでゆき、タスク名のために左へと読んで
ゆく、システムは、センダーが何をしているのかについ
て注目せず、また第1のバルブについても同様であり、
第1の処理チェンバが活動中か否かについても注目しな
い、システムが要求することは、チェンバ間のバルブ#
2が非活動であること(W2M=4) 、第2の処理チ
ェンバ内の処理が完了していること(C2P= 1 )
、レシーババルブが第2の処理チェンバ(WRM=
2 ”)内にあるウェーハを操作する準備ができている
こと、及びレシーバロードロックが空であること(II
CV= 1 )である、これらの諸条件の下で、レシー
ババルブは順序に関係無く動作する。
との間のレシーバ−バルブがどのような条件で運転する
かを決定するために、最後から2番目の列にあるWRM
まで、頂部の行にあるタスクの名前を読む0次に、各状
態記号へと読んでゆき、タスク名のために左へと読んで
ゆく、システムは、センダーが何をしているのかについ
て注目せず、また第1のバルブについても同様であり、
第1の処理チェンバが活動中か否かについても注目しな
い、システムが要求することは、チェンバ間のバルブ#
2が非活動であること(W2M=4) 、第2の処理チ
ェンバ内の処理が完了していること(C2P= 1 )
、レシーババルブが第2の処理チェンバ(WRM=
2 ”)内にあるウェーハを操作する準備ができている
こと、及びレシーバロードロックが空であること(II
CV= 1 )である、これらの諸条件の下で、レシー
ババルブは順序に関係無く動作する。
本発明は、上述の好適実施例や変形実施例に限定される
ものではない0本発明の範囲を外れることなく、種々の
部分について機械的、電気的に等価な修正や変化がなさ
れ得る0本発明の範囲は、特許請求の範囲のみによって
定まる。
ものではない0本発明の範囲を外れることなく、種々の
部分について機械的、電気的に等価な修正や変化がなさ
れ得る0本発明の範囲は、特許請求の範囲のみによって
定まる。
第1図は本発明に従ったウェーハ処理装置の部分断面正
面図である。 第2図は第1図の装置2−2tJAに沿って切断した部
分断面図である。 第3図は第2図の3−3線に、沿って切断した第1図及
び第2図の装置の部分断面図である。 第4図はバルブ及びウェーハ操作アームの側面図である
。 第5図は第4図の装置を5−5線に沿って切断した断面
図である。 第6図は第4図の装置を6−6線に沿って切断した断面
図である。 第7図は第4図の装置を7−7線に沿って切断した断面
図である。 第8図は第4図の装置の平面図である。 第9図は部分的に伸びた位置にある第4図の装置のウェ
ーハ操作アームである。 第10図は第1図の10−10線に沿った側面部分断面
図に示されたロードロックのドアを示す。 第11図はソフトラッチの位置を点線にして示した第1
0図の11−11線に沿ったロードロックのドアの気密
部を示す。 第12図は本発明に従ったソフトラッチを制御するのに
用いるバルブ配列の略示図である。 第13図は本発明に従ったソフトラッチの別の応用例の
正面図である。 第14図は本発明に従ったウェーハ保持チャックの平面
図である。 第15図は15−15線に沿って切断した第14図のチ
ャック断面図である。 第16図は18−16線に沿って切断した第14図のチ
ャックの断面図である。 第17図は本発明に従ったウェーハ保持チャックの別の
実施例の断面図で、第18図の17−17線に沿って切
断したものである。 第18図は第17図のチャックを18−18線に沿って
切断し、上から見た部分断面図である。 第19図はタスクロゲータシステムの図表である。 〔主要符号〕 210・・・プラットフォーム 212・・・リフトピ
ン214・・・保持ピン 216・・・ヘッド
拡張部218・・・センサ 220・・・ピ
ンホルダ222・・・バネ 224・・・
リフトテーブル226・・・ネジシャフト 228
・・・ネジシリンダ特許出願人 パリアン・アソシエイ
ツ インコーポレイテッド
面図である。 第2図は第1図の装置2−2tJAに沿って切断した部
分断面図である。 第3図は第2図の3−3線に、沿って切断した第1図及
び第2図の装置の部分断面図である。 第4図はバルブ及びウェーハ操作アームの側面図である
。 第5図は第4図の装置を5−5線に沿って切断した断面
図である。 第6図は第4図の装置を6−6線に沿って切断した断面
図である。 第7図は第4図の装置を7−7線に沿って切断した断面
図である。 第8図は第4図の装置の平面図である。 第9図は部分的に伸びた位置にある第4図の装置のウェ
ーハ操作アームである。 第10図は第1図の10−10線に沿った側面部分断面
図に示されたロードロックのドアを示す。 第11図はソフトラッチの位置を点線にして示した第1
0図の11−11線に沿ったロードロックのドアの気密
部を示す。 第12図は本発明に従ったソフトラッチを制御するのに
用いるバルブ配列の略示図である。 第13図は本発明に従ったソフトラッチの別の応用例の
正面図である。 第14図は本発明に従ったウェーハ保持チャックの平面
図である。 第15図は15−15線に沿って切断した第14図のチ
ャック断面図である。 第16図は18−16線に沿って切断した第14図のチ
ャックの断面図である。 第17図は本発明に従ったウェーハ保持チャックの別の
実施例の断面図で、第18図の17−17線に沿って切
断したものである。 第18図は第17図のチャックを18−18線に沿って
切断し、上から見た部分断面図である。 第19図はタスクロゲータシステムの図表である。 〔主要符号〕 210・・・プラットフォーム 212・・・リフトピ
ン214・・・保持ピン 216・・・ヘッド
拡張部218・・・センサ 220・・・ピ
ンホルダ222・・・バネ 224・・・
リフトテーブル226・・・ネジシャフト 228
・・・ネジシリンダ特許出願人 パリアン・アソシエイ
ツ インコーポレイテッド
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ディスク状の被加工物を保持するための装置であつ
て、 被加工物を支持するための、上部面手段を有するプラッ
トフォームと、 各々がロッドのように形成された少なくとも3つの保持
ピンと、 から成り、 前記保持ピンの各々は前記プラットフォームの下方にあ
るガイドに取り付けられ前記ガイドの各々は前記プラッ
トフォームの下方の中心点から前記プラットフォームの
上方及び下方点に向かつて放射状に整合され、前記各ピ
ンの先端には、急激に拡張した拡張部が設けられ、前記
ピンが前記中心点に向って引き込むときにその拡張部に
よって被加工物がプラットフォームに保持される、 ところの装置。 2、特許請求の範囲第1項に記載された装置であつて、 前記保持ピンを前記中心点に向けて引っ張るためのばね
手段を含む、 ところの装置。 3、特許請求の範囲第2項に記載された装置であって、 リフトテーブル、及び該リフトテーブルを持ち上げるた
めの駆動手段を含む、 ところの装置。 4、特許請求の範囲第3項に記載された装置であつて、 被加工物を被加工物取扱い機構から受け取り、前記被加
工物を前記プラットフォームへと下降させるリフトピン
手段を含む、 ところの装置。 5、特許請求の範囲第4項に記載された装置であって、 前記被加工物が前記プラットフォームに保持されている
間、前記被加工物の温度を制御する手段を含む、 ところの装置。 6、特許請求の範囲第5項に記載された装置であって、 前記温度制御手段が、前記プラットフォームと被加工物
の背面との間にガスを流し確実な熱接触を形成するため
の手段を含む、 ところの装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/853,271 US4724621A (en) | 1986-04-17 | 1986-04-17 | Wafer processing chuck using slanted clamping pins |
US853271 | 1997-05-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62250654A true JPS62250654A (ja) | 1987-10-31 |
Family
ID=25315561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62089962A Pending JPS62250654A (ja) | 1986-04-17 | 1987-04-14 | 傾斜した締付けピンを使用したウエ−ハ処理チヤツク |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4724621A (ja) |
EP (1) | EP0242065A2 (ja) |
JP (1) | JPS62250654A (ja) |
KR (1) | KR870010614A (ja) |
Families Citing this family (68)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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1987
- 1987-03-23 EP EP87302486A patent/EP0242065A2/en not_active Withdrawn
- 1987-04-14 JP JP62089962A patent/JPS62250654A/ja active Pending
- 1987-04-16 KR KR870003639A patent/KR870010614A/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
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