JPS62249107A - 偏光ビ−ムスプリツタ - Google Patents

偏光ビ−ムスプリツタ

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Publication number
JPS62249107A
JPS62249107A JP9314586A JP9314586A JPS62249107A JP S62249107 A JPS62249107 A JP S62249107A JP 9314586 A JP9314586 A JP 9314586A JP 9314586 A JP9314586 A JP 9314586A JP S62249107 A JPS62249107 A JP S62249107A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polarized light
beam splitter
polarizing beam
diffraction grating
diffraction efficiency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9314586A
Other languages
English (en)
Inventor
Tetsuo Iimura
飯村 哲男
Masayuki Kato
雅之 加藤
Fumio Yamagishi
文雄 山岸
Hiroyuki Ikeda
池田 弘之
Yushi Inagaki
雄史 稲垣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPS62249107A publication Critical patent/JPS62249107A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 ホログラフインクに作成される位相型回折格子を、S偏
光とP偏光との回折効率の差が大きくなるように作成す
ることで、位相型回折格子によって偏光ビームスプリッ
タを実現可能とする。
〔産業上の利用分野〕
情報の大容量記憶装置として光ディスクの研究・開発が
盛んになされている。光ディスクへの書込み/読取りは
光ヘッドで行なわれるが、その光学系には、光ディスク
への入射光から反射光を分離する偏光ビームスプリッタ
が用いられている。
本発明は、この偏光ビームスプリッタを小型軽量化する
ものである。
〔従来の技術〕
第5図は従来の光学レンズを用いた光ピツクアップの側
面図である。半導体レーザLDから出射した直線偏光ビ
ームは、コリメートレンズ1で平行光に変換された後、
真円補正プリズム2−偏光ビームスブリソタ3−1/4
波長板4の光路を経て、対物レンズ5で絞られ、光ディ
スク6に照射される。そして情報を読取った反射ビーム
は、対物レンズ5−1/4波長板4−偏光ビームスブリ
ソタ3−集光レンズ7−光検知器8の光路を通り、光検
知器8によって電気信号に変換される。
このように従来の光ピツクアップでは、多数の群レンズ
や、プリズムを使用した偏光ビームスプリッタを使用し
ているため、光ピツクアップが大型でかつ重量が大きく
なり、高速駆動に支障を来している。
すなわち偏光ビームスプリッタ3は、第6図(a)(b
)に示すように、2つの直角プリズム31と32の間に
偏光分離膜10を挟んだ構成になっている。
そのため、(a)のようにS偏光が入射すると、該偏光
分離膜10で反射され、(b)のようにP偏光が入射す
ると偏光分離膜10を透過し、S偏光とP偏光との分離
が行なわれる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところがこのように偏光分離膜を用いたものは、偏光分
離膜をプリズムで挟むため重量が重くなり、平板ではさ
む場合でも、多層膜構造であるため、コスト高になると
いう欠点がある。
また第7図(a) (b)のように、表面レリーフ型回
折格子11を用い、その格子溝と平行方向のS偏光は回
折し、格子溝と交差する方向のP偏光は透過する性質を
利用した偏光ビームスプリッタも試みられている。とこ
ろがこのように表面レリーフ型回折格子を用いたものは
、表面に微細な格子溝を有しているため、表面保護が困
難であるという問題がある。
本発明の技術的課題は、従来の偏光ビームスプリッタに
おけるこのような問題を解消し、表面保護′などが容易
で取扱いが簡便となり、かつ小型・軽量の偏光ビームス
プリッタを実現することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
第1図は本発明による偏光ビームスプリッタの基本原理
を説明する断面図である。本発明は、ホログラフィック
に作成される位相型回折格子を偏光ビームスプリッタと
して使用可能とするものである。位相型回折格子は、2
つの光をホログラム媒体に照射し、互いに干渉させて露
光・現像することで作成される。その際、屈折率が周期
的に異なる干渉縞が形成され、回折作用が得られる。と
ころが、位相型回折格子は、その作成方法によって、S
偏光とP偏光とで回折効率に顕著な差を持たせうろこと
が判明した。例えば、回折格子の空間周波数と使用波長
の積によって、S偏光とP偏光との回折効率に大きな変
化が生じる。このように、S偏光とP偏光とで回折効率
の異なる領域で、位相型回折格子を作成することにより
、位相型回折格子を偏光ビームスプリッタとして使用す
るものである。
〔作用〕
S偏光とP偏光とで回折効率が異なり、例えばS偏光の
回折効率がP偏光のそれより大きくなるように作成する
ことで、第1図のようにS偏光が入射したときは回折さ
れ、P偏光が入射したときは、真直ぐ透過する。そのた
め、位相型回折格子においても、入射光の偏光面の違い
によって、偏光分離が行なわれる。
〔実施例〕
次に本発明による偏光ビームスプリッタが実際上どのよ
うに具体化されるかを実施例で説明する。
第2図は位相型回折格子の作成方法を示す側面図である
。基板13にホログラム材料としてPVCz (ポリ−
N−ビニルカルバゾール)系材料を塗布し、その上に2
つの平行光L1、L2を、入射角θをもって照射し、干
渉露光を行なう。このとき、入射角θの選定によって、
回折格子の空間周波数を設定できる。すなわち入射角θ
を大きくして、2つのビームし1、L2の交角を大きく
すると、空間周波数が増大する。露光後、現像すること
で、位相型回折格子が得られる。
第2図に示すように、等角の2つの平行光L1、L2の
角度θを変えて、種々の空間周波数で膜厚2μmのPV
Cz系ホログラムを作成する。このようにして作成した
ホログラムを種々の波長の直線偏光レーザで再生し、偏
光特性評価を行った結果を第3図に示す。第3図の縦軸
は回折効率、横軸は空間周波数と使用波長の積(以下f
・λと略記する)である。破線SがS偏光の回折効率、
PがP偏光の回折効率である。この特性図から明らかな
ように、f・λによって回折効率ηが異なる。特に、f
・λが182を上回ると、S偏光とP偏光との偏光特性
に顕著な違いが表われて(ることがわかる。
このようにS偏光とP偏光との回折効率の差の大きい領
域で、位相型回折格子を作成し、偏光ビームスプリッタ
として使用すると、優れた偏光分離効果が得られる。
さらに具体的な例として、f・λ=1.63に着目し、
S偏光およびP偏光の偏光面と回折格子との成す角度を
変えて回折効率を見ると、第4図に示す特性が得られる
。この図は、空間周波数2500本/ff+m、再生波
長 633nmにおける結果である。
これから明らかなように、入射光と位相型回折格子との
間に、1/2波長板などを入れて、S偏光およびP偏光
の偏光面を位相型回折格子に対し次第にずらしていくと
、S偏光の回折効率は次第に低下し、P偏光の回折効率
が次第に増加している。
そして丁度45°回転した状態では、回折効率が逆転し
ている。
したがってこの位相型回折格子を偏光ビームスプリッタ
として使用する場合、S偏光の偏光面が回折格子に対し
0°すなわち平行となるように直線偏光を入射すること
で、良好な偏光分離作用が得られる。
〔発明の効果〕
以上のように本発明によれば、位相型回折格子でも偏光
ビームスプリッタを実現できるため、従来ノブリズム式
偏光ビームスプリッタに比べ、薄くかつ小型軽量化され
る。しかも表面レリーフ型回折格子と違って、表面が平
らなため、表面保護の問題がなく、かつ取扱いも簡便と
なり、低コストな偏光ビーム・スブリフタが実現できる
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による偏光ビームスプリッタの基本原理
を説明する断面図、第2図は本発明による位相型回折格
子の作成方法を示す側面図、第3図はf・λに対するS
偏光とP偏光との回折効率の差を示す特性図、第4図は
S偏光およびP偏光の回折格子に対するずれ角と回折効
率との関係を示す特性図、第5図は従来の光ピツクアッ
プを示す側面図、第6図は従来のプリズム式偏光ビーム
スプリッタを示す斜視図、第7図は従来の表面レリーフ
型回折格子による偏光ビームスプリッタの斜視図である
。 図において、3は偏光ビームスプリッタ、31.32は
プリズム、10は偏光分離膜、11は表面レリーフ型回
折格子、12は位相型回折格子、13は基板をそれぞれ
示す。 特許出願人     富士通株式会社 代理人 弁理士   青 柳   稔 第1図 第2図 f入 第3図 チ・λ 816うl(之タ丁1七J−負5念龜−8虹。 第4図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)、複数の光の干渉・露光によって作成される位相
    型回折格子を、S偏光とP偏光との回折効率の差が大き
    くなる領域で作成することによって、位相型回折格子に
    よって偏光分離を行なうことを特徴とする偏光ビームス
    プリッタ。
  2. (2)、前記位相型回折格子の材料がカルバゾール環を
    有する重合体を主剤とする材料であることを特徴とする
    特許請求の範囲第(1)項記載の偏光ビームスプリッタ
  3. (3)、前記カルバゾール環を有する重合体がポリビニ
    ルカルバゾール(PVCz)であることを特徴とする特
    許請求の範囲第(2)項記載の偏光ビームスプリッタ。
  4. (4)、前記位相型回折格子の空間周波数と使用波長の
    積が1.2より大きいことを特徴とする特許請求の範囲
    第(1)項記載の偏光ビームスプリッタ。
JP9314586A 1986-04-22 1986-04-22 偏光ビ−ムスプリツタ Pending JPS62249107A (ja)

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JPS62249107A true JPS62249107A (ja) 1987-10-30

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0547949B1 (fr) * 1991-12-17 1997-02-26 Thomson-Csf Séparateur de polarisation optique et application à un système de visualisation
JP2004139074A (ja) * 1996-07-04 2004-05-13 Sanyo Electric Co Ltd カラー液晶表示装置およびカラーフィルター
WO2005017620A3 (de) * 2003-08-14 2005-07-28 Zeiss Carl Smt Ag Beleuchtungseinrichtung sowie polarisator für eine mikrolithographische projektionsbelichtungsanlage

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US7408622B2 (en) 2003-08-14 2008-08-05 Carl Zeiss Smt Ag Illumination system and polarizer for a microlithographic projection exposure apparatus
US7847920B2 (en) 2003-08-14 2010-12-07 Carl Zeiss Smt Ag Illumination system and polarizer for a microlithographic projection exposure apparatus

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