JPS62231428A - デイスク型磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ディスク型磁気記録媒体に関し、特にハード
ディスク型磁気記録媒体およびその製造方法に関する。

〔従来の技術〕

ハードディスク型磁気記録媒体に対して磁気ヘッドによ
り情報を記録再生する場合、磁気ヘッドは磁気記録媒体
の表面から僅かに浮上しながら情報を記録再生する。こ
の場合、磁気ヘッドは磁気記録媒体に対する浮上距離が
極力少なく、すなわち低浮上であるとともに、磁気ヘッ
ドが磁気記録媒体に接触して停止している接触停止状態
から磁気記録媒体に対して記録再生を開始するための浮
上開始動作および浮上状態から磁気記録媒体に接触停止
するための浮上停止動作における所謂Ｃ８Ｓ特性が良好
であることが磁気記録媒体にとって重要である。

従来、このようなディスク型磁気記録媒体は、例えば第
４図の断面図に示すように、例えばアルミニウム（Ａｔ
）等からなる円板状の基板４１を基体とし、この基板４
１の両面に下地層４２を形成し、この下地１１４２の上
に磁性層４３を積層し、更にこの磁性層４３の上に最上
層として保護および潤滑用の膜層４５を形成して構成さ
れている。

ディスク型磁気記録媒体は勿論円板状の形状をし、その
中央部を中心として回転するとともに、この磁気記録媒
体の表面に対向した磁気ヘッドが磁気記録媒体の回転に
よるエアベアリング効果により記録媒体の表面から浮上
しながら該磁気記録媒体の磁性［４３に対して情報を記
録再生するようになっている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述したように、ディスク型磁気記録媒体においては、
該媒体が回転することにより磁気ヘッドが媒体上を浮上
して情報を記録再生しているが、ディスク型磁気記録媒
体は円板状であるため、該記録媒体が回転した場合、そ
の記録面の磁気ヘッドに対する相対的移動速度は該記録
媒体の中心側と外周端側とでは、すなわち磁気記録媒体
の半径方向においてかなり異なっていて中心側が小さい
のに対して外周端側が大きく、浮上した場合の磁気ヘッ
ドの磁気記録媒体の表面からの距離も同様に中心側が小
さく、外周側が大きくなる。このため、磁気記録媒体と
磁気ヘッドとの間の種々の特性、例えば浮上特性、ＣＳ
Ｓ特性、記録再生特性などは当然記録媒体の中心側と外
周端部側とでかなり異なることになるが、従来のディス
ク型磁気記録媒体においてはこれに対処する構造的対策
またはその他の対策を全く講じていないため、すなわち
従来のディスク型磁気記録媒体は第４図に示すようにそ
の中心側も外周端側も全く同じように構成しているため
、上述したＣ８Ｓ特性、浮上特性、記録再生特性等が記
録媒体の中心側と外周端側とでかなり異なって均一でな
く、悪化しているという問題点があるとともに、またデ
ィスク型磁気記録媒体の外周端側はど記録媒体と磁気ヘ
ッドとの間の上記相対的移動速度は大きくなっているた
め、この外周端側における磁気ヘッドの浮上量が大きく
なり、この大きく浮上する分、余計なスペースを必要と
するという問題点もある。

本発明の目的は、上記従来の問題を解決し、ＣＳＳ特性
、浮上特性、記録再生特性、スペーシングロス等を改善
したディスク型磁気記録媒体およびその製造方法を提供
することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明のディスク型磁気記録
媒体は、円板状の基体上に磁性膜を形成し、該磁性膜上
に保護および潤滑用の膜を形成したディスク型磁気記録
媒体において、前記保護・潤滑用膜の厚さを円板状基体
の半径方向に沿って中心側の方が外周端側よりも厚く形
成することを特徴とする。

また、本発明のディスク型磁気記録媒体の製造方法は、
円板状の基体上に磁性膜を形成し、該磁性膜上に円板状
基体の半径方向に沿って中心側の方が外周端側より厚く
保護および潤滑用の膜を形成することを特徴とする。

（作用〕 本発明のディスク型磁気記録媒体においては、磁性膜の
上に形成する保護・潤滑用膜の厚さを中心側の方が外周
端側よりも厚く形成している。

また、本発明のディスク型磁気記録媒体の製造方法にお
いては、磁性膜上に中心側の他が外周端側より厚く保護
・潤滑用膜を形成している。

［実施例］ 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の一実施例に係わるディスク型磁気記録
媒体の断面図である。この磁気記録媒体は例えばディジ
タルデータ等を記録するためのハードディスク型磁気記
録媒体であって、例えばアルミニウム（ＡＩ）等からな
る円板状の基板１を基体とし、この基板１の両面に例え
ばＮ１−Ｐからなる下地層２を形成し、この下地層２の
上に磁性ｗＪ３を積層し、更にこの磁性層３の上に最上
層として保護および潤滑用の膜層５を形成して構成され
ている。この磁気記録媒体を構成する基板１は例えば１
．９ｍｍの厚さの平坦な円板で形成され、この基板ｌの
両面に形成される下地Ｊ？ｇ２は平坦に所定の厚さに形
成され、更にこの下地Ｎ２の上に形成される磁性層３は
例えば１０００人から２００人の均一な厚さで平坦に形
成されている。そして、この磁性Ｎ３の上に形成される
保護・潤滑用膜４は該磁気記録媒体の中心部５における
厚さが最も厚く、外周端部６における厚さが最も薄くな
るようにスロープを描いて形成されている。この場合に
おいて、保護・潤滑用膜４の中心部５における厚さは約
０．０３μｍ〜０．０５μｍであり、外周端部６におけ
る厚さは約０．０１μｍ−０゜０２μｍであり、また保
護・潤滑用膜４を構成する材料は例えばＣ，ＳｉＯ，、
またはフッ素系のものである。

このように構成されるディスク型磁気記録媒体は円板状
の中央部を中心として回転するとともに、この磁気記録
媒体の表面に対向した磁気ヘッドが磁気記録媒体の回転
によるエアベアリング効果により記録媒体の表面から浮
上しながら該磁気記録媒体の磁性層３に対して情報を記
録再生するものであるが、この回転時における磁気記録
媒体と磁気ヘッドとの相対的移動速度は中心部５と外周
端°部６とでは上述したようにかなり異なって中心部５
における速度が遅（、外周端部６における速度が速くな
っている。従って、この速度の相違のために磁気記録媒
体の中心部５と外周端部６とにおける磁気ヘッドの浮上
量および浮上刃も中心部５が小さく、外周端部６が大き
くなっているが、上記第１図の磁気記録媒体においては
この浮上量お・よび浮上刃に応じて磁性層３の上に形成
される保護・潤滑用膜４の厚さを中心部５側の方が外周
端部６側よりも厚く形成しているので、浮上した場合の
磁気ヘッドの浮上位置は磁気記録媒体上の半径方向にわ
たって略同じ高さ位置、すなわち保護・潤滑用膜４の下
層である平坦な磁性層３と磁気ヘッドとの間の距離につ
いて考えると該距離は半径方向にわたって略同じとなる
とともに、またこの同じ高さ位置まで磁気ヘッドが浮上
して安定するまでの時間も上記浮上量および浮上刃に関
連して略同−となるのである、この結果、磁気記録媒体
のＣ８Ｓ特性は均一化されて優れたものに改善されるこ
とになるとともに、磁気ヘッドの浮上位置は上述したよ
うに略同じ高さ位置となるため、浮上特性も均一化され
て優れた特性となる。また、磁性層３と磁気ヘッドとの
間の距離も磁気記録媒体の半径方向にわたって同一距離
となるため、磁気記録再生特性も均一化されて優れたも
のになる。

更に、磁気ヘッドの浮上量に応じて磁性層３の上に形成
される保護・潤滑用膜４の厚さを外周端部６の方が中心
部５側よりも薄く形成することにより外周端側において
浮上した磁気ヘッドが大きく突出するということが防止
されているため、この突出するという余計なスペースが
削除され、コンパクト化が達成されている。

次に、以上のように構成され優れた特性を有する第１図
のディスク型磁気記録媒体の製造方法について第２図お
よび第３図を参照して説明する。

第１図のディスク型磁気記録媒体においては、基板１の
上に下地層２、磁性Ｎ３を順次形成していく製造方法に
ついては従来と同じであり、この磁性１！！３の上に保
護・潤滑用膜４をスロープを描いて、すなわち傾斜させ
て形成するところが従来と異なる製造工程部分である。

従って、この保護・潤滑用膜４をスロープを描くように
磁気記録媒体の中心部５側を厚く、外周端部６側を薄く
形成するのにスパッタリング、すなわちインラインスパ
ック装置を使用した方法について説明する。

第２図において保護・潤滑用膜がスパッタリングで形成
されるディスク型磁気記録媒体、すなわち基体部はペル
ジャー１１内に設けられた凸金１２の下面に符号１３で
示すように配設される。

なお、この基体部１３は上述したように基板１の上に既
に下地１２、磁性層３が形成されているものとする。そ
して、この基体部１３の下方にチリンパ１４を介してス
パッタＳｔＳを対向して配設する。スパッタ′ｒＡ１５
のチョッパ１４との対向面側には近接してスパッタ位置
規制用の制御マスク１６が配設されている。スパッタ源
１５は基体部１３゛の面、すなわち上述したように形成
された磁性Ｎ３の面上に保護・潤滑用ｌ！２４をスパッ
タリングで形成するためのＣ，Ｓｔｏｗまたはフッ素系
の材料からなるターゲット１７を有する。そして、この
ようにペルジャー１１内に構成される各部材はその中心
軸１８を中心に矢印で示すように回転しながらスパッタ
リングされるが、この場合におけるチョッパ１４は第３
図に示すように磁気記録媒体とほぼ同径の円板状に形成
されるとともに、その中央部を中心として星形状の開口
部１４ａが形成されている。この星形状の開口部１４ａ
は中央部を中心に対称的かつ放射状に形成されるととも
に、中央部側が広く外周端部側が狭く形成されている。

このように構成されるスパッタリング装置において、ペ
ルジャー１１内に所定のガスを混入して所望のガス圧に
した後、基台１２を回転させて基体部１３を回転させる
とともに、更にチョッパ１４を回転させながら、ターゲ
ット１７に所定の電圧を印加してスパッタリングを行う
と、スパッタ源１５からの溶融粒子はチョッパ１４を貫
通して基体部１３の表面に吹き付けられて付着すること
になる。そして、この溶融粒子の付着量はチョッパ１４
の開口部１４ａの大きさに応じて中心部側が厚く外周端
部側が薄く形成されることになり、この結果第１図に示
すように保護・潤滑用膜４がスロープを描いて中心部５
側が厚く外周端部６側が薄く形成されるのである。

なお、このように保護・潤滑用膜４を中心部５側が厚（
外周端部６側が薄く形成する方法はスパッタリングに限
定されるものでなく、通常の物理的方法、コーティング
による方法、蒸着による方法等の種々の方法が可能であ
る。コーティングによる方法は基体部１３の外周端部側
の遠心力が強（作用することを利用して中心部側を厚く
外周端部側を薄く形成することが簡単である。

以上のように構成されるディスク型磁気記録媒体におい
ては、中心部側の保護・潤滑用膜４が厚く形成されてい
るので、全体的に見てＣ８Ｓ特性は改善され、磁気ヘッ
ドの低浮上化が可能になり、磁気記録媒体の周速の変化
に対応した厚さとなっているため、スペーシングロスが
一定化されている。また、中心部側は保護・潤滑用膜４
が厚いのでＣ８Ｓ特性が良く、かつこの部分をＣ３Ｓゾ
ーンまたはランディングゾーンとして使用できるし、ま
たクラッシュの恐れもないようになっている。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、磁性膜の上に形
成する保護・潤滑用膜の厚さを中心側の方が外周端側よ
りも厚く形成しているので、ディスク型磁気記録媒体の
中心側と外周端側とにおける該磁気記録媒体と磁気ヘッ
ドとの相対的移動速度の相違による特性の不均一性が補
償されるため、ディスク型磁気記録媒体のＣＳＳ特性、
浮上特性、記録再生特性、スペーシングロスを改善する
ことができる。すなわち、ディスク型磁気記録媒体と磁
気ヘッドとの相対的移動速度の中心側と外周端側との相
違に対応した磁気ヘッドの浮上量および浮上刃の相違に
応じて磁性膜の上に形成される保護・潤滑用膜の厚さを
中心側の方が外周端側よりも厚く形成しているので、浮
上した場合の磁気ヘッドの浮上位置は磁気記録媒体上の
半径方向にわたって略同じ高さ位置、すなわち保護・潤
滑用膜の下層である平坦な磁性層と磁気ヘッドとの間の
距離は半径方向にわたって略同しとなるとともに、この
同じ高さ位置まで磁気へラドが浮上して安定するまでの
時間も上記浮上量および浮上刃に関連して略同−となる
きである、この結果、磁気記録媒体のＣ８Ｓ特性は均一
化されて優れたものに改善されることになるとともに、
磁気へ・７ドの浮上位置は上述したように略同し高さ位
置となるため、浮上特性も均一化されて優れた特性とな
る。また、磁性層と磁気ヘッドとの間の距離も磁気記録
媒体の半径方向にわたって同一距離となるため、磁気記
録再生特性も均一化されて優れたものになる。

更に、磁気へラドの浮上量に応じて磁性層の上に形成さ
れる保護・潤滑用膜の厚さを外周端部の方が中心部側よ
りも薄く形成することにより外周端側において磁気ヘッ
ドが大きく突出するということが防止されているため、
この突出するという余計なスペースが削除され、コンパ
クト化が達成されている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係わるディスク型磁気記録
媒体の断面図、 第２図は第１図のディスク型磁気記録媒体を製造するス
バ７タ装置の構成図、 第３図は第２図の装置に使用するチョッパの平面図、 第４図は従来のディスク型磁気記録媒体の断面図である
。 図において、 １・・・・・基板、 ２・・・・・下地層、 ３・・・・・磁性層、 ４・・・・・保護・潤滑用膜、 １４・・・・チョッパ、 １５・・・・スパッタ源である。 第１図 第２図 第３　図 第４図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）円板状の基体上に磁性膜を形成し、該磁性膜上に
   保護および潤滑用の膜を形成したディスク型磁気記録媒
   体において、前記保護・潤滑用膜の、厚さを円板状基体
   の半径方向に沿って中心側の方が外周端側よりも厚く形
   成することを特徴とするディスク型磁気記録媒体。
2. （２）円板状の基体上に磁性膜を形成し、該磁性膜上に
   円板状基体の半径方向に沿って中心側の方が外周端側よ
   り厚く保護および潤滑用の膜を形成することを特徴とす
   るディスク型磁気記録媒体の製造方法。
3. （３）前記保護・潤滑用膜を形成する工程は、半径方向
   に中心部から外周端側に向かって中心部側が広く外周端
   側が狭い開口部を有する円板状のチョッパを前記磁性膜
   を形成した基体に対して所定間隔あけて前記円板状基体
   と同心円的に設け、前記チョッパを回転させながら該チ
   ョッパを介して前記磁性膜上に保護および潤滑用の膜を
   スパッタまたは蒸着により形成することを特徴とする特
   許請求の範囲第２項記載のディスク型磁気記録媒体の製
   造方法。
4. （４）前記保護・潤滑用膜を形成する工程は、前記磁性
   膜を形成した円板状基体を回転しながら磁性膜上に保護
   ・潤滑用膜をコーティングすることを特徴とする特許請
   求の範囲第２項記載のディスク型磁気記録媒体の製造方
   法。