JPS62228394A - クリ−ンル−ム用ロボツトの放塵防止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、クリーンルーム用ロボットを構成する相対的
に旋回運動可能な２つの構成部の連結部から発生する塵
等が、ロボットの外部へ放出されることを防止するクリ
ーンルーム用ロボットの放塵防止装置に関する。

［発明の技術的背景とその問題点］ クリーンルーム内で使用されるロボットは、例えば、床
面に据付は固定される胴体とこの胴体に旋回可能に支持
された肩部、肩部とこの肩部に旋回可能に支持されたア
ームのように、ロボットを構成する２つの構成部を相対
的に旋回運動可能に連結する連結部が複数箇所ある。こ
れらの連結部は一般のロボットと同様に、放塵防止対策
がとられているが、クリーンルームで使用するには、そ
れだけでは不十分である。このため、連結部を一方の構
成部に設けたカバーと他方の構成部に設けたカバーとで
覆い且つその両力バー間にゴム製のシール部材を設けて
密封状態にし、そして、カバー内の塵等を、吸気装置に
より吸引してクリーンルーム外に排出することが考えら
れている。然しながら、上記のシール部材の構成では、
０．３〜０．５μｍ以下の微小な塵等をカバー内に密封
することが技術的に困難であるばかりでなく、シール部
材自体の接触部が摩耗することにより塵等の発生源にな
るという問題点を有している。

これを解決するものとして、ロボット全体を１個の大き
なカバーで覆って、シール部材を使用しないようにする
ことも考えられるが、この構成ではカバーの内容積が非
常に大きくなり、塵等を排出させるための吸気装置が非
常に大形になるという欠点がある。

［発明の目的］ 本発明は、」二足の事情に鑑みてなされたもので、その
目的は、簡単な構成で塵等の放出を防止し得、Ｒつ小形
の吸気装置で塵等を除去し得るクリーンルーム用ロボッ
トの放塵防止装置を提供するにある。

［発明の概要］ 本発明は、第１の構成部に第１の筒状カバーを設け、第
２の構成部に開口端部が第１の筒状カバーの開口端部と
所定の小間隙をもって対向する第２の筒状カバーを設け
て第１の筒状カバーとの協働により第１の構成部と第２
の構成部との連結部分を覆い、前記第１及び第２の筒状
カバーの開口端部の内側近傍に多数の吸気口をａしたリ
ング状の吸気管を設け、この吸気管を介して前記第１及
び第２の筒状カバー内の空気を吸引する吸気装置を設け
る構成としたもので、吸気装置により第１及び第２の筒
状カバー内の空気を吸引して内部の塵等を除去するとこ
ろに特徴を有する。

［発明の実施例］ 以下、本発明の一実施例につき図面を参照して説明する
。

まず第３図において、クリーンルーム１内に設置された
ロボット２は、床面に据付けられた胴体３、肩部４、第
１アーム５、第２アーム６の各構成部から構成されてい
る。これらの各構成部は互に相対的に旋回運動可能に連
結されている。即ち、胴体３に対して肩部４が矢印Ａ方
向及び反矢印Ａ方向に旋回運動可能に連結され、この肩
部４に対して第１アーム５が矢印Ｂ方向及び反矢印Ｂ方
向に旋回運動可能に連結され、この第１アーム５に対し
て第２アーム６が矢印Ｃ方向及び反矢印Ｃ方向に旋回運
動可能に連結されている。そして、７は胴体３及び肩部
４の連結部分を覆うように設けられた第１の放塵防止装
置、８は肩部４及び第１アーム５の連結部分を覆うよう
に設けられた第２の放塵防止装置、９は第１アーム５及
び第２アーム６の連結部分を覆うように設けられた第３
の放塵防止装置である。これら第１乃至第３の放塵防止
装置７乃至９は何れも同じ構成であるので、第１の放塵
防止装置７を例として第１図及び第２図を参照して説明
する。

即ち、第１図において、第１の構成部としての胴体３に
は上方に突出する垂直軸１０が囲動可能に枢設されてお
り、この垂直軸１０の上端部に肩部４が固定されている
。１１は下端部が気密のためシリコーンシール剤などを
塗布して胴体３の上端部に固定された第１の筒状カバー
で、垂直軸１０の下方部を同志的に囲繞している。１２
は上端部が気密のためシリコーンシール剤などを塗布し
て肩部４の下端部に固定された第２の筒状カバーで、垂
直軸１０の上方部を同志的に囲繞している。

この第２の筒状カバー１２の開イ下端部の外周部は、第
２図にも示すように段付状に形成されていて、その段付
部１２ａの外側に第１の筒状カバー１１の開口上端部が
遊嵌状態に囲繞しており、これにて第１の筒状カバー１
１の開口上端部と第２の筒状カバー１２の開口下端部と
が小間隙１３を持って対向した状態になっている。１４
は第１の筒状カバー１１の内周部に接着剤１５により固
定されたリング状の吸気管で、これは第１の筒状カバー
１１の上端近くに配置され、第２の筒状カバー１２の下
端と対向しており、内周側に多数の吸気口１６を形成し
ている。１７は胴体３の外側に設けられた吸気装置で、
これはホース１８を介して吸気管１４に接続されている
。尚、１９は垂直軸１０を複数回巻回するようにして胴
体３側から肩部４側に導入された配線である。

尚、第２及び第３の放塵防止装置８及び９の内部に配設
された吸気管１４にもホース１８を介して吸気装置１７
が連結されている。

次に上記構成の作用について説明する。

吸気装置ｉｉｉ：１７が作動すると、第１及び第２の筒
状カバー１１及び１２内の空気が第２図に矢印りで示す
ように吸気口１６から吸気管１４内に吸引され、そして
ホース１８を介して吸気装置１７内に吸引されてクリー
ンルーム１外へ排出される。

これにより第１及び第２の筒状カバー１１及び１２内が
クリーンルーム１内よりも低圧状態に保持される。とこ
ろで、垂直軸１０の回動により肩部４が旋回すると、垂
直軸１０または配線１９から微小な塵等が発生する。

而して、これらの塵等は前記矢印りで示す空気流れに乗
じて吸気口１６から吸気管１４内に吸引され、ホース１
８及び吸気装置１７を通してクリーンルーム１外へ排出
される。一方、第１及び第２の筒状カバー１１及び１２
内がクリーンルーム１内よりも低圧状態に保持されるの
で、小間隙１３部分においては、クリーンルーム１内の
空気が第２図に矢印Ｅで示すように小間隙１３を通して
第１及び第２の筒状カバー１１及び１２内に流入するの
で、前記塵等が小間隙１３を通してクリーンルーム１内
へ放散されることがない。

このように本実施例によれば、第１及び第２の筒状カバ
ー１１及び１２内の塵等をこれら第１及び第２の筒状カ
バー１１及び１２内の開口端の近傍に設けた吸気管１４
により吸引除去する構成であるので、構造が簡単である
。

また、第１の筒状カバー１１と第２の筒状カバー１２と
を小間隙１３を介して対向させたので、これら第１及び
第２の筒状カバー１１及び１２間を非接触状態にするこ
とができる。このため、第１及び第２の筒状カバー１１
及び１２間をゴム製のシール部材で密封するものとは異
なり、そのシール部材から発生する塵等によりクリーン
ルーム１内が汚染されるという問題を本来的に解消する
ことができる。そして、このように第１及び第２の筒状
カバー１１及び１２間を非接触状態としても、上述した
如く第１及び第２の筒状カバー１１及び１２内の塵等は
吸気管１４に吸引除去されると共に、クリーンルーム１
内の空気が小間隙１３を通じて第１及び第２の筒状カバ
ー１１及び１２内に吸引されるので、第１及び第２の筒
状カバー１１及び１２内の塵等がその小間隙１３からク
リーンルーム１内に放出されれる虞は全くない。

その上、第１及び第２の筒状カバー１１及び１２は、胴
体３と肩部４との連結部分を覆う程度の小内容積のもの
であるから、ロボット全体を覆うカバーを設ける場合に
比べ、吸気装置１７を小形になし得る。

尚、」１記実施例では、第２の筒状カバー１２の開口下
端部を段付状にしたが、特にこのようにする必要はなく
、第１の筒状カバー１１の開口上端部と第２の筒状カバ
ー１２の開口下端部とを単に小間隙をもって対向させる
ようにしてもよい。また、吸気装置ｌ￥１７に圧力スイ
ッチを設け、吸気装置１７の故障時には、この圧力スイ
ッチの動作により、ロボットの動作を停止させるように
構成してもよい。

［発明の効果コ 本発明は、以上の説明から明らかなように、第１の構成
部に第１の筒状カバーを設け、第２の構成部に開口端部
が第１の筒状カバーの開口端部と所定の小間隙をもって
対向する第２の筒状カバーを設けて第１の筒状カバーと
の協働により第１の構成部と第２の構成部とを連結する
連結部分を覆い、そして第１及び第２の筒状カバーの開
口端部の近傍に設けたリング状の吸気管により、第１及
び第２の筒状カバー内の塵等を吸引除去する構成である
ので、構造が簡単で、しかも第１及び第２の筒状カバー
は第１及び第２の構成部の連結部分を覆う程度の小容積
のもので済むから、吸気装置としては小形のもので済む
。しかも、第１及び第２の筒状カバーを非接触状態にで
きので、両者間をシール部材で密封する必要がなく、そ
のシール部材から発生する塵等によりクリーンルームが
汚染されるという問題を本来的に解消することができる
という実用上優れた効果を得ることかできる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は要部の
縦断側面図、第２図は同要部の部分拡大図、第３図はロ
ボット全体の斜視図である。 図中、２はロボット、３は胴体（第１の構成部）、４は
肩部（第２の構成部）、７は第１の放塵防止装置、８は
第２の放塵防止装置、９は第３の放塵防止装置、１０は
垂直軸、１１は第１の筒状カバー、１２は第２の筒状カ
バー、１３は小間隙、１４は吸気管、１６は吸気口、１
７は吸気装置を示す。 代理人　弁理士　　則　近　　憲　右 同　　　　　　　　三　　俣　　　弘　　文カ バ Ｉ　　　　Ｐ、１　図 １フ 鳥　２　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、クリーンルーム用ロボットの各構成部のうち、相対
   的に旋回運動可能に連結された第１の構成部と第２の構
   成部との連結部分からの塵埃の放出を防止するものであ
   って、前記第１の構成部に設けられた第１の筒状カバー
   と、前記第２の構成部に前記第１の筒状カバーとの協働
   により前記連結部分を覆うように設けられ開口端部が第
   １の筒状カバーの開口端部と所定の小間隙をもって対向
   する第２の筒状カバーと、前記第１及び第２の筒状カバ
   ーの開口端部の内側近傍に設けられ多数の吸気口を有し
   たリング状の吸気管と、この吸気管を介して前記第１及
   び第２の筒状カバー内の空気を吸引する吸気装置とから
   成るクリーンルーム用ロボットの放塵防止装置。