JPS62228394A - クリ−ンル−ム用ロボツトの放塵防止装置 - Google Patents
クリ−ンル−ム用ロボツトの放塵防止装置Info
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- JPS62228394A JPS62228394A JP6866986A JP6866986A JPS62228394A JP S62228394 A JPS62228394 A JP S62228394A JP 6866986 A JP6866986 A JP 6866986A JP 6866986 A JP6866986 A JP 6866986A JP S62228394 A JPS62228394 A JP S62228394A
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- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 33
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 13
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004590 silicone sealant Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は、クリーンルーム用ロボットを構成する相対的
に旋回運動可能な2つの構成部の連結部から発生する塵
等が、ロボットの外部へ放出されることを防止するクリ
ーンルーム用ロボットの放塵防止装置に関する。
に旋回運動可能な2つの構成部の連結部から発生する塵
等が、ロボットの外部へ放出されることを防止するクリ
ーンルーム用ロボットの放塵防止装置に関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
クリーンルーム内で使用されるロボットは、例えば、床
面に据付は固定される胴体とこの胴体に旋回可能に支持
された肩部、肩部とこの肩部に旋回可能に支持されたア
ームのように、ロボットを構成する2つの構成部を相対
的に旋回運動可能に連結する連結部が複数箇所ある。こ
れらの連結部は一般のロボットと同様に、放塵防止対策
がとられているが、クリーンルームで使用するには、そ
れだけでは不十分である。このため、連結部を一方の構
成部に設けたカバーと他方の構成部に設けたカバーとで
覆い且つその両力バー間にゴム製のシール部材を設けて
密封状態にし、そして、カバー内の塵等を、吸気装置に
より吸引してクリーンルーム外に排出することが考えら
れている。然しながら、上記のシール部材の構成では、
0.3〜0.5μm以下の微小な塵等をカバー内に密封
することが技術的に困難であるばかりでなく、シール部
材自体の接触部が摩耗することにより塵等の発生源にな
るという問題点を有している。
面に据付は固定される胴体とこの胴体に旋回可能に支持
された肩部、肩部とこの肩部に旋回可能に支持されたア
ームのように、ロボットを構成する2つの構成部を相対
的に旋回運動可能に連結する連結部が複数箇所ある。こ
れらの連結部は一般のロボットと同様に、放塵防止対策
がとられているが、クリーンルームで使用するには、そ
れだけでは不十分である。このため、連結部を一方の構
成部に設けたカバーと他方の構成部に設けたカバーとで
覆い且つその両力バー間にゴム製のシール部材を設けて
密封状態にし、そして、カバー内の塵等を、吸気装置に
より吸引してクリーンルーム外に排出することが考えら
れている。然しながら、上記のシール部材の構成では、
0.3〜0.5μm以下の微小な塵等をカバー内に密封
することが技術的に困難であるばかりでなく、シール部
材自体の接触部が摩耗することにより塵等の発生源にな
るという問題点を有している。
これを解決するものとして、ロボット全体を1個の大き
なカバーで覆って、シール部材を使用しないようにする
ことも考えられるが、この構成ではカバーの内容積が非
常に大きくなり、塵等を排出させるための吸気装置が非
常に大形になるという欠点がある。
なカバーで覆って、シール部材を使用しないようにする
ことも考えられるが、この構成ではカバーの内容積が非
常に大きくなり、塵等を排出させるための吸気装置が非
常に大形になるという欠点がある。
[発明の目的]
本発明は、」二足の事情に鑑みてなされたもので、その
目的は、簡単な構成で塵等の放出を防止し得、Rつ小形
の吸気装置で塵等を除去し得るクリーンルーム用ロボッ
トの放塵防止装置を提供するにある。
目的は、簡単な構成で塵等の放出を防止し得、Rつ小形
の吸気装置で塵等を除去し得るクリーンルーム用ロボッ
トの放塵防止装置を提供するにある。
[発明の概要]
本発明は、第1の構成部に第1の筒状カバーを設け、第
2の構成部に開口端部が第1の筒状カバーの開口端部と
所定の小間隙をもって対向する第2の筒状カバーを設け
て第1の筒状カバーとの協働により第1の構成部と第2
の構成部との連結部分を覆い、前記第1及び第2の筒状
カバーの開口端部の内側近傍に多数の吸気口をaしたリ
ング状の吸気管を設け、この吸気管を介して前記第1及
び第2の筒状カバー内の空気を吸引する吸気装置を設け
る構成としたもので、吸気装置により第1及び第2の筒
状カバー内の空気を吸引して内部の塵等を除去するとこ
ろに特徴を有する。
2の構成部に開口端部が第1の筒状カバーの開口端部と
所定の小間隙をもって対向する第2の筒状カバーを設け
て第1の筒状カバーとの協働により第1の構成部と第2
の構成部との連結部分を覆い、前記第1及び第2の筒状
カバーの開口端部の内側近傍に多数の吸気口をaしたリ
ング状の吸気管を設け、この吸気管を介して前記第1及
び第2の筒状カバー内の空気を吸引する吸気装置を設け
る構成としたもので、吸気装置により第1及び第2の筒
状カバー内の空気を吸引して内部の塵等を除去するとこ
ろに特徴を有する。
[発明の実施例]
以下、本発明の一実施例につき図面を参照して説明する
。
。
まず第3図において、クリーンルーム1内に設置された
ロボット2は、床面に据付けられた胴体3、肩部4、第
1アーム5、第2アーム6の各構成部から構成されてい
る。これらの各構成部は互に相対的に旋回運動可能に連
結されている。即ち、胴体3に対して肩部4が矢印A方
向及び反矢印A方向に旋回運動可能に連結され、この肩
部4に対して第1アーム5が矢印B方向及び反矢印B方
向に旋回運動可能に連結され、この第1アーム5に対し
て第2アーム6が矢印C方向及び反矢印C方向に旋回運
動可能に連結されている。そして、7は胴体3及び肩部
4の連結部分を覆うように設けられた第1の放塵防止装
置、8は肩部4及び第1アーム5の連結部分を覆うよう
に設けられた第2の放塵防止装置、9は第1アーム5及
び第2アーム6の連結部分を覆うように設けられた第3
の放塵防止装置である。これら第1乃至第3の放塵防止
装置7乃至9は何れも同じ構成であるので、第1の放塵
防止装置7を例として第1図及び第2図を参照して説明
する。
ロボット2は、床面に据付けられた胴体3、肩部4、第
1アーム5、第2アーム6の各構成部から構成されてい
る。これらの各構成部は互に相対的に旋回運動可能に連
結されている。即ち、胴体3に対して肩部4が矢印A方
向及び反矢印A方向に旋回運動可能に連結され、この肩
部4に対して第1アーム5が矢印B方向及び反矢印B方
向に旋回運動可能に連結され、この第1アーム5に対し
て第2アーム6が矢印C方向及び反矢印C方向に旋回運
動可能に連結されている。そして、7は胴体3及び肩部
4の連結部分を覆うように設けられた第1の放塵防止装
置、8は肩部4及び第1アーム5の連結部分を覆うよう
に設けられた第2の放塵防止装置、9は第1アーム5及
び第2アーム6の連結部分を覆うように設けられた第3
の放塵防止装置である。これら第1乃至第3の放塵防止
装置7乃至9は何れも同じ構成であるので、第1の放塵
防止装置7を例として第1図及び第2図を参照して説明
する。
即ち、第1図において、第1の構成部としての胴体3に
は上方に突出する垂直軸10が囲動可能に枢設されてお
り、この垂直軸10の上端部に肩部4が固定されている
。11は下端部が気密のためシリコーンシール剤などを
塗布して胴体3の上端部に固定された第1の筒状カバー
で、垂直軸10の下方部を同志的に囲繞している。12
は上端部が気密のためシリコーンシール剤などを塗布し
て肩部4の下端部に固定された第2の筒状カバーで、垂
直軸10の上方部を同志的に囲繞している。
は上方に突出する垂直軸10が囲動可能に枢設されてお
り、この垂直軸10の上端部に肩部4が固定されている
。11は下端部が気密のためシリコーンシール剤などを
塗布して胴体3の上端部に固定された第1の筒状カバー
で、垂直軸10の下方部を同志的に囲繞している。12
は上端部が気密のためシリコーンシール剤などを塗布し
て肩部4の下端部に固定された第2の筒状カバーで、垂
直軸10の上方部を同志的に囲繞している。
この第2の筒状カバー12の開イ下端部の外周部は、第
2図にも示すように段付状に形成されていて、その段付
部12aの外側に第1の筒状カバー11の開口上端部が
遊嵌状態に囲繞しており、これにて第1の筒状カバー1
1の開口上端部と第2の筒状カバー12の開口下端部と
が小間隙13を持って対向した状態になっている。14
は第1の筒状カバー11の内周部に接着剤15により固
定されたリング状の吸気管で、これは第1の筒状カバー
11の上端近くに配置され、第2の筒状カバー12の下
端と対向しており、内周側に多数の吸気口16を形成し
ている。17は胴体3の外側に設けられた吸気装置で、
これはホース18を介して吸気管14に接続されている
。尚、19は垂直軸10を複数回巻回するようにして胴
体3側から肩部4側に導入された配線である。
2図にも示すように段付状に形成されていて、その段付
部12aの外側に第1の筒状カバー11の開口上端部が
遊嵌状態に囲繞しており、これにて第1の筒状カバー1
1の開口上端部と第2の筒状カバー12の開口下端部と
が小間隙13を持って対向した状態になっている。14
は第1の筒状カバー11の内周部に接着剤15により固
定されたリング状の吸気管で、これは第1の筒状カバー
11の上端近くに配置され、第2の筒状カバー12の下
端と対向しており、内周側に多数の吸気口16を形成し
ている。17は胴体3の外側に設けられた吸気装置で、
これはホース18を介して吸気管14に接続されている
。尚、19は垂直軸10を複数回巻回するようにして胴
体3側から肩部4側に導入された配線である。
尚、第2及び第3の放塵防止装置8及び9の内部に配設
された吸気管14にもホース18を介して吸気装置17
が連結されている。
された吸気管14にもホース18を介して吸気装置17
が連結されている。
次に上記構成の作用について説明する。
吸気装置iii:17が作動すると、第1及び第2の筒
状カバー11及び12内の空気が第2図に矢印りで示す
ように吸気口16から吸気管14内に吸引され、そして
ホース18を介して吸気装置17内に吸引されてクリー
ンルーム1外へ排出される。
状カバー11及び12内の空気が第2図に矢印りで示す
ように吸気口16から吸気管14内に吸引され、そして
ホース18を介して吸気装置17内に吸引されてクリー
ンルーム1外へ排出される。
これにより第1及び第2の筒状カバー11及び12内が
クリーンルーム1内よりも低圧状態に保持される。とこ
ろで、垂直軸10の回動により肩部4が旋回すると、垂
直軸10または配線19から微小な塵等が発生する。
クリーンルーム1内よりも低圧状態に保持される。とこ
ろで、垂直軸10の回動により肩部4が旋回すると、垂
直軸10または配線19から微小な塵等が発生する。
而して、これらの塵等は前記矢印りで示す空気流れに乗
じて吸気口16から吸気管14内に吸引され、ホース1
8及び吸気装置17を通してクリーンルーム1外へ排出
される。一方、第1及び第2の筒状カバー11及び12
内がクリーンルーム1内よりも低圧状態に保持されるの
で、小間隙13部分においては、クリーンルーム1内の
空気が第2図に矢印Eで示すように小間隙13を通して
第1及び第2の筒状カバー11及び12内に流入するの
で、前記塵等が小間隙13を通してクリーンルーム1内
へ放散されることがない。
じて吸気口16から吸気管14内に吸引され、ホース1
8及び吸気装置17を通してクリーンルーム1外へ排出
される。一方、第1及び第2の筒状カバー11及び12
内がクリーンルーム1内よりも低圧状態に保持されるの
で、小間隙13部分においては、クリーンルーム1内の
空気が第2図に矢印Eで示すように小間隙13を通して
第1及び第2の筒状カバー11及び12内に流入するの
で、前記塵等が小間隙13を通してクリーンルーム1内
へ放散されることがない。
このように本実施例によれば、第1及び第2の筒状カバ
ー11及び12内の塵等をこれら第1及び第2の筒状カ
バー11及び12内の開口端の近傍に設けた吸気管14
により吸引除去する構成であるので、構造が簡単である
。
ー11及び12内の塵等をこれら第1及び第2の筒状カ
バー11及び12内の開口端の近傍に設けた吸気管14
により吸引除去する構成であるので、構造が簡単である
。
また、第1の筒状カバー11と第2の筒状カバー12と
を小間隙13を介して対向させたので、これら第1及び
第2の筒状カバー11及び12間を非接触状態にするこ
とができる。このため、第1及び第2の筒状カバー11
及び12間をゴム製のシール部材で密封するものとは異
なり、そのシール部材から発生する塵等によりクリーン
ルーム1内が汚染されるという問題を本来的に解消する
ことができる。そして、このように第1及び第2の筒状
カバー11及び12間を非接触状態としても、上述した
如く第1及び第2の筒状カバー11及び12内の塵等は
吸気管14に吸引除去されると共に、クリーンルーム1
内の空気が小間隙13を通じて第1及び第2の筒状カバ
ー11及び12内に吸引されるので、第1及び第2の筒
状カバー11及び12内の塵等がその小間隙13からク
リーンルーム1内に放出されれる虞は全くない。
を小間隙13を介して対向させたので、これら第1及び
第2の筒状カバー11及び12間を非接触状態にするこ
とができる。このため、第1及び第2の筒状カバー11
及び12間をゴム製のシール部材で密封するものとは異
なり、そのシール部材から発生する塵等によりクリーン
ルーム1内が汚染されるという問題を本来的に解消する
ことができる。そして、このように第1及び第2の筒状
カバー11及び12間を非接触状態としても、上述した
如く第1及び第2の筒状カバー11及び12内の塵等は
吸気管14に吸引除去されると共に、クリーンルーム1
内の空気が小間隙13を通じて第1及び第2の筒状カバ
ー11及び12内に吸引されるので、第1及び第2の筒
状カバー11及び12内の塵等がその小間隙13からク
リーンルーム1内に放出されれる虞は全くない。
その上、第1及び第2の筒状カバー11及び12は、胴
体3と肩部4との連結部分を覆う程度の小内容積のもの
であるから、ロボット全体を覆うカバーを設ける場合に
比べ、吸気装置17を小形になし得る。
体3と肩部4との連結部分を覆う程度の小内容積のもの
であるから、ロボット全体を覆うカバーを設ける場合に
比べ、吸気装置17を小形になし得る。
尚、」1記実施例では、第2の筒状カバー12の開口下
端部を段付状にしたが、特にこのようにする必要はなく
、第1の筒状カバー11の開口上端部と第2の筒状カバ
ー12の開口下端部とを単に小間隙をもって対向させる
ようにしてもよい。また、吸気装置l¥17に圧力スイ
ッチを設け、吸気装置17の故障時には、この圧力スイ
ッチの動作により、ロボットの動作を停止させるように
構成してもよい。
端部を段付状にしたが、特にこのようにする必要はなく
、第1の筒状カバー11の開口上端部と第2の筒状カバ
ー12の開口下端部とを単に小間隙をもって対向させる
ようにしてもよい。また、吸気装置l¥17に圧力スイ
ッチを設け、吸気装置17の故障時には、この圧力スイ
ッチの動作により、ロボットの動作を停止させるように
構成してもよい。
[発明の効果コ
本発明は、以上の説明から明らかなように、第1の構成
部に第1の筒状カバーを設け、第2の構成部に開口端部
が第1の筒状カバーの開口端部と所定の小間隙をもって
対向する第2の筒状カバーを設けて第1の筒状カバーと
の協働により第1の構成部と第2の構成部とを連結する
連結部分を覆い、そして第1及び第2の筒状カバーの開
口端部の近傍に設けたリング状の吸気管により、第1及
び第2の筒状カバー内の塵等を吸引除去する構成である
ので、構造が簡単で、しかも第1及び第2の筒状カバー
は第1及び第2の構成部の連結部分を覆う程度の小容積
のもので済むから、吸気装置としては小形のもので済む
。しかも、第1及び第2の筒状カバーを非接触状態にで
きので、両者間をシール部材で密封する必要がなく、そ
のシール部材から発生する塵等によりクリーンルームが
汚染されるという問題を本来的に解消することができる
という実用上優れた効果を得ることかできる。
部に第1の筒状カバーを設け、第2の構成部に開口端部
が第1の筒状カバーの開口端部と所定の小間隙をもって
対向する第2の筒状カバーを設けて第1の筒状カバーと
の協働により第1の構成部と第2の構成部とを連結する
連結部分を覆い、そして第1及び第2の筒状カバーの開
口端部の近傍に設けたリング状の吸気管により、第1及
び第2の筒状カバー内の塵等を吸引除去する構成である
ので、構造が簡単で、しかも第1及び第2の筒状カバー
は第1及び第2の構成部の連結部分を覆う程度の小容積
のもので済むから、吸気装置としては小形のもので済む
。しかも、第1及び第2の筒状カバーを非接触状態にで
きので、両者間をシール部材で密封する必要がなく、そ
のシール部材から発生する塵等によりクリーンルームが
汚染されるという問題を本来的に解消することができる
という実用上優れた効果を得ることかできる。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は要部の
縦断側面図、第2図は同要部の部分拡大図、第3図はロ
ボット全体の斜視図である。 図中、2はロボット、3は胴体(第1の構成部)、4は
肩部(第2の構成部)、7は第1の放塵防止装置、8は
第2の放塵防止装置、9は第3の放塵防止装置、10は
垂直軸、11は第1の筒状カバー、12は第2の筒状カ
バー、13は小間隙、14は吸気管、16は吸気口、1
7は吸気装置を示す。 代理人 弁理士 則 近 憲 右 同 三 俣 弘 文カ バ I P、1 図 1フ 鳥 2 図
縦断側面図、第2図は同要部の部分拡大図、第3図はロ
ボット全体の斜視図である。 図中、2はロボット、3は胴体(第1の構成部)、4は
肩部(第2の構成部)、7は第1の放塵防止装置、8は
第2の放塵防止装置、9は第3の放塵防止装置、10は
垂直軸、11は第1の筒状カバー、12は第2の筒状カ
バー、13は小間隙、14は吸気管、16は吸気口、1
7は吸気装置を示す。 代理人 弁理士 則 近 憲 右 同 三 俣 弘 文カ バ I P、1 図 1フ 鳥 2 図
Claims (1)
- 1、クリーンルーム用ロボットの各構成部のうち、相対
的に旋回運動可能に連結された第1の構成部と第2の構
成部との連結部分からの塵埃の放出を防止するものであ
って、前記第1の構成部に設けられた第1の筒状カバー
と、前記第2の構成部に前記第1の筒状カバーとの協働
により前記連結部分を覆うように設けられ開口端部が第
1の筒状カバーの開口端部と所定の小間隙をもって対向
する第2の筒状カバーと、前記第1及び第2の筒状カバ
ーの開口端部の内側近傍に設けられ多数の吸気口を有し
たリング状の吸気管と、この吸気管を介して前記第1及
び第2の筒状カバー内の空気を吸引する吸気装置とから
成るクリーンルーム用ロボットの放塵防止装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6866986A JPS62228394A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | クリ−ンル−ム用ロボツトの放塵防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6866986A JPS62228394A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | クリ−ンル−ム用ロボツトの放塵防止装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62228394A true JPS62228394A (ja) | 1987-10-07 |
Family
ID=13380349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6866986A Pending JPS62228394A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | クリ−ンル−ム用ロボツトの放塵防止装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62228394A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011091323A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置 |
CN109571422A (zh) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 发那科株式会社 | 机器人 |
JP2020114622A (ja) * | 2020-04-03 | 2020-07-30 | ファナック株式会社 | ロボット |
KR20200115130A (ko) | 2019-03-28 | 2020-10-07 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 구동 장치 및 반송 장치 |
-
1986
- 1986-03-28 JP JP6866986A patent/JPS62228394A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011091323A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置 |
US8936507B2 (en) | 2009-10-26 | 2015-01-20 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor manufacturing apparatus |
CN109571422A (zh) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 发那科株式会社 | 机器人 |
JP2019063877A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-25 | ファナック株式会社 | ロボット |
US11426866B2 (en) | 2017-09-28 | 2022-08-30 | Fanuc Corporation | Robot |
KR20200115130A (ko) | 2019-03-28 | 2020-10-07 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 구동 장치 및 반송 장치 |
US11511441B2 (en) | 2019-03-28 | 2022-11-29 | Hirata Corporation | Driving apparatus and conveying apparatus |
JP2020114622A (ja) * | 2020-04-03 | 2020-07-30 | ファナック株式会社 | ロボット |
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