JPS62225308A - Inner circumferential edge cutter - Google Patents
Inner circumferential edge cutterInfo
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- JPS62225308A JPS62225308A JP6737886A JP6737886A JPS62225308A JP S62225308 A JPS62225308 A JP S62225308A JP 6737886 A JP6737886 A JP 6737886A JP 6737886 A JP6737886 A JP 6737886A JP S62225308 A JPS62225308 A JP S62225308A
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、半導体結晶、金属、セラミックなどの物体を
切断する内周刃切断装置に間するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to an internal blade cutting device for cutting objects such as semiconductor crystals, metals, and ceramics.
内周刃切断装置は第５図ないし第７図に示すように、ス
テンレスなどからなる薄い環状のブレード１１の内周部
分にダイヤモンドの砥粒を電着して刃１２を形成し、こ
の刃付きブレード１１を矢印Ａ方向に回転させながら、
被切断物体１３を矢印Ｂ方向に移動させて、物体１３の
切断を行うものである。As shown in FIGS. 5 to 7, the inner peripheral blade cutting device has a thin annular blade 11 made of stainless steel or the like, and diamond abrasive grains are electrodeposited on the inner peripheral portion of the blade 12 to form a blade 12. While rotating the blade 11 in the direction of arrow A,
The object 13 to be cut is moved in the direction of arrow B to cut the object 13.
このような装置においては、切断をスムーズに行うため
、ノズル１４からブレード１１の両側に水その他の冷却
・潤滑剤１５を供給するようになっている。In such a device, water or other cooling/lubricant 15 is supplied from a nozzle 14 to both sides of the blade 11 in order to perform cutting smoothly.
物体１３は理想的には、その軸線に対し垂直に切断され
ることが望ましい。しかし実際には例えば第８図に示す
ように切断中に僅かではあるがブレード１１に曲がりが
生じ、切断面が軸線に対して垂直にならないことが多々
ある。物体１１が例えば半導体単結晶で、そこからウェ
ハを切り出すというような場合には、このような曲がり
切断はウェハの平面度を悪化させるので、特に問題であ
る。Ideally, the object 13 is cut perpendicular to its axis. However, in reality, for example, as shown in FIG. 8, the blade 11 often bends, albeit slightly, during cutting, and the cut surface is not perpendicular to the axis. When the object 11 is, for example, a semiconductor single crystal and a wafer is to be cut from it, such curved cutting is particularly problematic because it deteriorates the flatness of the wafer.
従来これに対する対策としては、第７図に示すように正
常位置にあるブレード１１から所定の距離Ｘをおいた所
に、ブレード１１との距離を検知でき名変位センサ１６
（例えば渦電流を利用したもの）を設置し、それによっ
てブレード１１の動きを観察し、作業者がブレード１１
の表側または裏側の刃１２をドレッシングしたり、ノズ
ル１４から供給される冷却・潤滑剤１５の量を調節した
りして、ブレード１１が真直ぐに物体１３に入っていく
ように調整している。Conventionally, as a countermeasure against this, a displacement sensor 16 is used to detect the distance to the blade 11 at a predetermined distance X from the blade 11 in its normal position, as shown in FIG.
(For example, one that uses eddy current) is installed to observe the movement of the blade 11.
The blade 11 is adjusted to enter the object 13 straight by dressing the front or back side of the blade 12 and adjusting the amount of cooling/lubricant 15 supplied from the nozzle 14.
しかしながらこの調整作業は、きわめて微妙な作業であ
るため、かなりの熟練を必要とし、初心者には簡単に行
えないという問題がある。また調整に時間がかかるとい
う問題もある。However, since this adjustment work is extremely delicate, it requires considerable skill and cannot be easily performed by beginners. Another problem is that adjustment takes time.
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決した内
周刃切断装置を提供するもので、その構成は、ブレード
の表側と裏側にそれぞれ独立した冷却・潤滑剤供給用の
ノズルを設置すると共に、各ノズルへの冷却・潤滑剤供
給経路にそれぞれ流量調節弁を設け、さらに上記ブレー
ドに接近してその傾きを検出する変位センサを設置して
なり、その変位センサの出力に応じて上記流量調節弁の
関度を調節し、ブレードの表側と裏側に供給する冷却・
潤滑剤の量を調節して、ブレードの傾きを修正するよう
にしたことを特徴とするものである。The present invention provides an internal blade cutting device that solves the problems of the prior art as described above, and its configuration is such that independent cooling and lubricant supply nozzles are installed on the front and back sides of the blade. At the same time, a flow control valve is installed in each cooling/lubricant supply path to each nozzle, and a displacement sensor is installed to approach the blade and detect its inclination. Adjust the flow rate control valve to supply cooling to the front and back sides of the blade.
It is characterized by adjusting the amount of lubricant to correct the inclination of the blade.
内周刃切断装置で物体の切断を進めるうちにブレードが
傾いてくるのは、ブレードの表側と裏側で、刃の切れ味
や冷却・潤滑剤の量などに差があるためと考えられるか
ら、本発明では、ブレードの傾きを検出しながら表側と
裏側に供給する冷却・潤滑剤の量を調節して、表側と裏
側の切れ味をバランスさせ、ブレードが被切断物体に垂
直に入っていくようにしたものである。The reason why the blade tilts while cutting an object with an internal blade cutting device is thought to be due to differences in the sharpness of the blade and the amount of cooling and lubricant between the front and back sides of the blade. The invention detects the inclination of the blade and adjusts the amount of cooling and lubricant supplied to the front and back sides to balance the sharpness of the front and back sides and ensure that the blade enters the object perpendicularly. It is something.
第１図は本発明の一実施例を示す。この装置は、ブレー
ド１１の傾きを検出する変位センサ１６を具備する点で
は従来と同じであるが、ブレード１１の両側に独立した
冷却・潤滑剤供給用のノズル２１Ａ、２１Ｂが設置され
ており、かつそのノズル２１Ａ、２１Ｂに供給する冷却
・潤滑剤の量は流量調節弁２２Ａ。FIG. 1 shows an embodiment of the invention. This device is the same as the conventional device in that it is equipped with a displacement sensor 16 that detects the inclination of the blade 11, but independent cooling and lubricant supply nozzles 21A and 21B are installed on both sides of the blade 11. The amount of cooling and lubricant supplied to the nozzles 21A and 21B is controlled by the flow rate control valve 22A.
２２Ｂによりそれぞれ個別に調節できるようになってい
る。22B, each can be adjusted individually.
このように二つのノズル２１Ａ、２１Ｂを設け、冷却・
潤滑剤の量を加減すると第３図および第４図のようにブ
レードの傾き方向を自由にコントロールできることが実
験の結果から明らかとなった。In this way, two nozzles 21A and 21B are provided for cooling and
The experimental results revealed that by adjusting the amount of lubricant, the direction of inclination of the blade can be freely controlled as shown in FIGS. 3 and 4.
すなわち第３図に示すようにブレード１１の裏側のノズ
ル２１Ｂからの冷却・潤滑剤供給量を、表側のノズル２
１Ａからのそれより多くすると、ブレード１１は裏側の
方に曲がって行く、また反対に、第４図に示すようにブ
レード１１の表側のノズル２１Ａからの冷却・潤滑剤供
給量を、裏側のノズル２１Ｂからのそれより多くすると
、ブレード１１は表側の方に曲がって行く、つまりブレ
ード１１は冷却・潤滑剤の供給量が多い方に曲がるので
ある。したがってブレード１１の表側と裏側で冷却・潤
滑剤の供給量を適当に調節してやれば、物体１１の軸線
に対してブレード１１を垂直に切り込むことが可能であ
る。In other words, as shown in FIG.
1A, the blade 11 will bend toward the back side, and conversely, as shown in FIG. If the amount is larger than that from 21B, the blade 11 will bend toward the front side, that is, the blade 11 will bend toward the side where a larger amount of cooling/lubricant is supplied. Therefore, by appropriately adjusting the amount of cooling and lubricant supplied to the front and back sides of the blade 11, it is possible to cut the object 11 with the blade 11 perpendicular to its axis.
そこで第１図の装置は、変位センサ１６でブレード１１
の傾き方向と大きさを検出し、その信号を増幅器２３で
増幅して制ｍ装置２４に取り込み、その符号（傾き方向
）と大きさに応じて流量調節弁２２Ａ、２２Ｂの開度を
！Ｊ１節して、ブレード１１の表側と裏側に供給する冷
却・潤滑剤の量を、ブレード１１の傾きがなくなるよう
に１１整するものである。Therefore, the device shown in FIG. 1 uses the displacement sensor 16 to
The direction and magnitude of the inclination are detected, the signal is amplified by the amplifier 23 and taken into the meter control device 24, and the opening degree of the flow rate control valves 22A, 22B is adjusted according to the sign (direction of inclination) and magnitude. J1 is used to adjust the amount of cooling and lubricant supplied to the front and back sides of the blade 11 so that the blade 11 does not tilt.
制御装置２４による制御方法は、ブレードの傾き量の許
容値によって選択すればよく、単なるオン・オフ制御で
も、また制御袋Ｗ２４でブレード１１の表側と裏側に供
給すべき冷却・潤滑剤の量を算出し、その値に応じて各
流量調節弁２２Ａ、２２Ｂの開度を自動的に関節するも
のであってもよい。The control method by the control device 24 may be selected depending on the allowable value of the amount of inclination of the blade, and may be simple on/off control, or the amount of cooling/lubricant to be supplied to the front and back sides of the blade 11 using the control bag W24. It may be calculated and the opening degree of each flow rate regulating valve 22A, 22B may be automatically adjusted according to the calculated value.
なお、この装置は、増幅器２３および制御装置２４を省
略し、変位センサ１６の出力を監視しながら、流量調節
弁２２Ａ、２２Ｂを手動で！ＰＪ節するようにしてもよ
い。Note that this device omits the amplifier 23 and the control device 24, and manually controls the flow control valves 22A and 22B while monitoring the output of the displacement sensor 16! It may also be a PJ section.
また上記実施例では両側のノズル２１Ａ、２１Ｂのみか
ら冷却・潤滑剤を供給するようにしたが、第２図に示す
ように従来のノズル１４を設置した上で、さらにブレー
ド１１の両側に独立したノズル２１Ａ、２１Ｂ （２１
Ｂはブレード１１の裏側）を設けてもよい。Furthermore, in the above embodiment, cooling and lubricant were supplied only from the nozzles 21A and 21B on both sides, but as shown in FIG. Nozzles 21A, 21B (21
B may be provided on the back side of the blade 11).
以上説明したように本発明によれば、ブレードの表側と
裏側にそれぞれ独立したノズルを設け、各々から供給さ
れる冷却・潤滑剤の量を、変位センサで検出したブレー
ドの傾きに応じて調整することにより、ブレードの傾き
を容易に修正することができる。従って熟練作業者によ
るブレードのドレッシング等を行うことなく被切断物体
を垂直に切断することができる。またブレードのドレッ
シング等が不要であるため切断時間が短縮され、生産性
が向上する利点がある。As explained above, according to the present invention, independent nozzles are provided on the front and back sides of the blade, and the amount of cooling and lubricant supplied from each nozzle is adjusted according to the inclination of the blade detected by the displacement sensor. By doing so, the inclination of the blade can be easily corrected. Therefore, the object to be cut can be cut vertically without the need for dressing the blade by a skilled worker. Furthermore, since there is no need for dressing the blade, cutting time is shortened and productivity is improved.
第１図は本発明の一実施例に係る内周刃切断装置の説明
図、第２図は本発明の他の実施例に係る装置の要部を示
す正面図、第３図および第４図は冷却・潤滑剤供給量の
多少によるブレードの曲がり方を示す説明図、第５図は
従来の内周刃切断装置の要部を示す正面図、第６図は同
装置におけるブレードと被切断物体との関係を示す断面
図、第７図は同じくブレードとノズルと変位センサの関
係を示す説明図、第８図は同装置による切断状態の一例
を示す説明図である。
１１〜ブレード、１２〜刃、１３〜被切断物体、１５〜
冷却・潤滑剤、１６〜変位センサ、２１Ａ・２１Ｂ〜ノ
ズル、２２Ａ・２２Ｂ〜流量調節弁、２３〜増幅器、２
４〜制御装置。FIG. 1 is an explanatory diagram of an internal blade cutting device according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view showing main parts of the device according to another embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 is an explanatory diagram showing how the blade bends depending on the amount of cooling and lubricant supplied, Figure 5 is a front view showing the main parts of a conventional internal blade cutting device, and Figure 6 is a diagram showing the blade and object to be cut in the same device. FIG. 7 is an explanatory diagram showing the relationship between the blade, nozzle, and displacement sensor, and FIG. 8 is an explanatory diagram showing an example of a cutting state by the same device. 11-blade, 12-blade, 13-object to be cut, 15-
Cooling/lubricant, 16~Displacement sensor, 21A/21B~Nozzle, 22A/22B~Flow control valve, 23~Amplifier, 2
4~Control device.
Claims (2)
させて物体を切断する装置であって、上記ブレードの表
側と裏側にそれぞれ独立した冷却・潤滑剤供給用のノズ
ルを設置すると共に、各ノズルへの冷却・潤滑剤供給経
路にそれぞれ流量調節弁を設け、さらに上記ブレードに
接近してその傾きを検出する変位センサを設置してなり
、その変位センサの出力に応じて上記流量調節弁の開度
を調節し、ブレードの表側と裏側に供給する冷却・潤滑
剤の量を調節してブレードの傾きを修正するようにした
ことを特徴とする内周刃切断装置。(1) A device that cuts an object by rotating a thin annular blade with a blade on the inner circumference, in which independent cooling and lubricant supply nozzles are installed on the front and back sides of the blade, A flow rate control valve is provided in each cooling/lubricant supply path to each nozzle, and a displacement sensor that approaches the blade and detects its inclination is installed, and the flow rate control valve is adjusted according to the output of the displacement sensor. An internal blade cutting device characterized in that the inclination of the blade is corrected by adjusting the opening degree of the blade and the amount of cooling and lubricant supplied to the front and back sides of the blade.
変位センサの出力を制御装置に取り込み、ブレードの表
側と裏側に供給すべき冷却・潤滑剤の量を算出し、その
値に応じて各流量調節弁の開度を自動的に調節するよう
にしたもの。(2) A cutting device according to claim 1, comprising:
The output of the displacement sensor is input to the control device, the amount of cooling and lubricant to be supplied to the front and back sides of the blade is calculated, and the opening degree of each flow control valve is automatically adjusted according to that value. thing.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6737886A JPS62225308A (en) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | Inner circumferential edge cutter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6737886A JPS62225308A (en) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | Inner circumferential edge cutter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62225308A true JPS62225308A (en) | 1987-10-03 |
Family
ID=13343289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6737886A Pending JPS62225308A (en) | 1986-03-27 | 1986-03-27 | Inner circumferential edge cutter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62225308A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5174270A (en) * | 1990-05-10 | 1992-12-29 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Slicing machine and a slicing method by the same |
-
1986
- 1986-03-27 JP JP6737886A patent/JPS62225308A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5174270A (en) * | 1990-05-10 | 1992-12-29 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Slicing machine and a slicing method by the same |
| US5287843A (en) * | 1990-05-10 | 1994-02-22 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Slicing machine employing an axial force to provide rigidity to a rotary blade |
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