JPS62213263A - Apparatus for pushing up pellet - Google Patents
Apparatus for pushing up pelletInfo
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- JPS62213263A JPS62213263A JP61055045A JP5504586A JPS62213263A JP S62213263 A JPS62213263 A JP S62213263A JP 61055045 A JP61055045 A JP 61055045A JP 5504586 A JP5504586 A JP 5504586A JP S62213263 A JPS62213263 A JP S62213263A
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68318—Auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
- H01L2221/68322—Auxiliary support including means facilitating the selective separation of some of a plurality of devices from the auxiliary support
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野Ｊ 本発明は、ペレット突き上げ装置に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial Application Field J The present invention relates to a pellet thrusting device.
［従来の技術］
従来、例えば、半導体等の素子群をその表面に配置し、
形成してなるウェハは、素子片としての各ペレットに分
割され、さらに、分割された各ベレー、トは、例えば特
開昭ｆ！０−１８７３３７号公報に記載されるベレット
摘出装置により摘出される。摘出される各ペレットは１
例えば粘着シート等のＬ面に貼着される状Ｉ！ｉでペレ
ット摘出装置に供給される。すなわち、各ペレットは、
粘着シートに貼着されたウェハを各素子片に破折し、分
、喘する状態で形成される。さらに分割された各ペレッ
トの間には、シートを引伸ばすことにより隙間が形成さ
れ、ペレット摘出装置は分割された各ペレットを１個ず
つ順次摘出するようにしている。[Prior Art] Conventionally, for example, a group of elements such as semiconductors are arranged on the surface of the semiconductor,
The formed wafer is divided into pellets as element pieces, and each of the divided pellets is, for example, disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1999-1992. It is extracted by the pellet extraction device described in Japanese Patent No. 0-187337. Each pellet extracted is 1
For example, it is attached to the L side of an adhesive sheet, etc. i to the pellet extraction device. That is, each pellet is
It is formed by breaking a wafer attached to an adhesive sheet into individual element pieces, and then breaking the wafer into individual element pieces. Furthermore, gaps are formed between each of the divided pellets by stretching the sheet, and the pellet extraction device sequentially extracts each of the divided pellets one by one.
従来、シートに貼着されたペレツトを摘出する場合、該
ペレットをシートから確実に剥離することが必要とされ
た。ペレットの剥離には５例えば特開昭５９−８８８４
４号公報や特開昭８０−１０２７５４号公報に記載され
るペレット突き−１こげ装置が用いられる。このペレッ
ト突き１ユげ装置は、突きヒげ駆動部によって進退動さ
れるニードルにより、シート１−に貼着されるペレット
をシートの裏面から突きＬげ、ペレットを該シートから
剥離するようにしている。ここで突きヒげ駆動部は、モ
ータ等により回転されるカムから構成され、該カムはそ
の回転作動によりニードルをトドに進退動＋ｉｊ能とじ
ている。Conventionally, when extracting pellets stuck to a sheet, it has been necessary to reliably peel the pellets from the sheet. 5 for example, JP-A-59-8884 for peeling off pellets.
The pellet stabbing-1 burning device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 80-102754 is used. This pellet thrusting device 1 uses a needle moved forward and backward by a thrusting drive unit to thrust the pellets stuck to the sheet 1- from the back side of the sheet, and peel the pellets from the sheet. There is. Here, the thrust beard drive unit is composed of a cam rotated by a motor or the like, and the cam allows the needle to move forward and backward in a forward and backward direction by its rotational operation.
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、最近のペレットは、ペレットにより製造され
るＩＣ，ＬＳＩの多様化により様々な寸法、形状のもの
が提供される。しかしながら、これら様々な寸法、形状
のペレットを粘着シートから２４６する場合に、ニード
ルの突き−Ｅげ速度、突き［−げストローク、突きヒげ
回数を従来の標準的な寸法、形状のペレｙ ）の場合と
同じ状ＩＥで行うと、ペレットがうまくシートから剥離
されなかったり、またペレットがシートから剥離する際
、該ペレットが飛散する不具合がある。特に最近、小さ
なペレットの場合には、粘着シートの粘着力を高めるこ
とで、シートを引伸ばす際に各ペレットがばらばらに飛
散しないようにしているため、この種のペレットは、シ
ートから剥離しにくいものとされていた。[Problems to be Solved by the Invention] Nowadays, pellets are available in various sizes and shapes due to the diversification of ICs and LSIs manufactured using pellets. However, when pellets of various sizes and shapes are made from adhesive sheets, the needle thrust speed, thrust stroke, and number of thrusts are compared to the conventional standard pellet size and shape. If the IE is used in the same manner as in the case of , the pellets may not be peeled off properly from the sheet, or when the pellets are peeled off from the sheet, the pellets may scatter. Recently, especially in the case of small pellets, the adhesive strength of the adhesive sheet has been increased to prevent each pellet from scattering when the sheet is stretched, so this type of pellet is difficult to peel off from the sheet. It was considered a thing.
本発明は、寸法、形状の異なるペレットをシートから確
実に剥離することを目的としている。An object of the present invention is to reliably separate pellets of different sizes and shapes from a sheet.
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するために１本発明は、突きＬげ駆ｖＪ
部によって進退動されるニードルにより、シート上に貼
着されるペレットをシートの裏面から突きＬげ、′Ａ＃
するペレット突きＬげ装置において、突き」二げ駆動部
の駆動状態を制御することにより、ニードル突きヒげ作
動状態を制御する突き一ヒげ制御部を４Ｍ＋えることと
している。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention provides a
A needle moved forward and backward by the part pushes the pellet stuck on the sheet from the back side of the sheet, and 'A#
In the pellet thrusting L-shape device, there are 4M+ thrust and bead control units that control the operating state of the needle stabbing whiskers by controlling the driving state of the stabbing and double-barge drive units.
［作用］
本発明によれば、突きＪ−げ制御部により、シートに貼
着されているペレットの寸法、形状に応じてニードルの
突きＬげストローク、突きＬげ速度もしくは突き上げ回
数等の突き上げ状態の少なくとも一つの安楽を最適化し
、シートからのペレットの剥離を確実に行うことをｕ（
能としている。これにより１寸法、形状の異なるペレッ
トをシートから確実に剥離することがＩｊｆ能となる。[Function] According to the present invention, the thrusting control section controls the thrusting state such as the needle thrusting stroke, the thrusting speed, or the number of times of thrusting according to the dimensions and shape of the pellets attached to the sheet. U(
It is called Noh. This makes it possible to reliably peel pellets with different dimensions and shapes from the sheet.
［実施例］ 以ド５本発明の実施例を図面を参照して説明する。[Example] Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.
第１図は本発明の一実施例に係るペレット突き上げ装置
を備えるペレット摘出装置の断面図、第２図は第１図の
ＩＩ −ＩＩ線に沿う矢視図、第３図はペレットの突き
上げ前の状態を示す断面図、第４図はペレットの突きＬ
げ状態を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a pellet extraction device equipped with a pellet thrusting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view taken along the line II-II in FIG. 4 is a cross-sectional view showing the state of the pellet thrust L.
FIG.
ベレット装着装ａ！２１０は、基台１１ｔ−備え、該ノ
＾台１１には、平面ＸＹ方向に駆動１ｌＩｒ能なＸＹテ
ーブル１２が支持されている。ＸＹテーブル１２の−Ｅ
面には、カセットリングの支持フレーム１３が、ポル）
１４によって固着されている。カセットリングの支持フ
レーム１３には、カセットリング１５が着脱自在とされ
ている。このカセットリング１５には、ウェハ１６の被
着された粘着シー）１７が、ゴムバンド１８を介して取
着されている。粘着シー） １７−ｔ；のウェハ１６は
、円形状とされ、さらに、ウェハ１６は、素子片として
の各チップイにのペレット１９に分割され、かつ各ベレ
ット１９間にはシート１７を引伸ばす状態で間隔が形成
されている。すなわち、各ペレット１９は、粘着シー
） １７１−ｃ’ｘｙテープ７Ｌ／ ｌ ２１７）ＸＹ
方向に沿って複数行、複数列に整列される状態とされ、
該粘着シー）１７上の所定位置をペレット摘出位１２０
としている。Beret attachment a! Reference numeral 210 includes a base 11t, on which an XY table 12 that can be driven in plane XY directions is supported. -E of XY table 12
On the surface, the support frame 13 of the cassette ring is
It is fixed by 14. A cassette ring 15 is removably attached to a support frame 13 for the cassette ring. An adhesive sheet 17 on which a wafer 16 is attached is attached to the cassette ring 15 via a rubber band 18. The wafer 16 of adhesive sheet) 17-t has a circular shape, and the wafer 16 is further divided into pellets 19 for each chip as an element piece, and a sheet 17 is stretched between each pellet 19. An interval is formed. That is, each pellet 19 is
) 171-c'xy tape 7L/l 217)XY
It is arranged in multiple rows and columns along the direction,
Pellet extraction position 120 at a predetermined position on the adhesive sheet 17
It is said that
ＸＹテーブル１２の上方には、ペレット摘出位置２０の
上方と、不図示のペレット移送部の間を往復移動するコ
レット２１が配設される。すなわち、コレット２１は、
ベレット摘出位置２０とペレット移送部の間を矢示Ｘ方
向に往復動口ｆ能とされ、該コレット２１は、移動アー
ム２２にＬ）″動自在に支持されてなる。七ド動自在と
されるコレラ）２１は、ペレット摘出位２１２０に移動
された状１ｇで下降端位置２３に移動される。この状態
で該コレット２１は吸引作動され、ベレット摘出位置２
０に位置決めされるベレッ）１９を摘出し、保持ｌｆ能
としている。に記のようにしてペレット１９を保持する
コレラ）２１は−に昇端位置２４に移動され、さらに該
コレット２１は移動アーム２２の駆動によりベレット移
送部に移動される。ペレット移送部に移動されたコレラ
）２１は該移送部でド降端位Ｗ１２３に移動され１次い
で吸引作動が停止Ｆ−される。この結果、コレラ）２１
に保持されたペレッ）１９がベレット移送部に解放され
、ペレット１９を解放したコレット２１は＋ＩｆびＬ：
′ｊＩ一端位２？２４に移動される。これにより１つ
のペレット１９の移送が完了されることとなる。ここで
コレット２１のに駆動は不図示の昇降り段により行われ
る。ペレット１９の移送を完了したコレラ）２１は、＋
ｌｐびペレット摘出位置２０に移動され、■−記と回じ
コレラ）２１の作動順序で次に移送するペレット１９を
保持することとなる。この際、ペレット摘出位ｆｉ２０
には、ＸＹテーブル１２の駆動により、次に摘出される
ペレット１９が位置決めされることとなる。このように
して、ｘＹ方向に整列されるペレット１９がＸＹテーブ
ル１２の駆動により、順次ベレット摘出位置２０に位置
決めされ、該ベレット１９はコレラ）２１の作動により
順次ベレット移送部に移送されることとなる。A collet 21 is disposed above the XY table 12 and moves back and forth between the pellet extraction position 20 and a pellet transfer section (not shown). That is, the collet 21 is
The collet 21 is movably movable in the direction of arrow X between the pellet extracting position 20 and the pellet transfer section, and the collet 21 is supported by a movable arm 22 so as to be movable. cholera) 21 is moved to the pellet extraction position 2120 and moved to the lowering end position 23 at a state of 1g.In this state, the collet 21 is operated for suction, and the collet 21 is moved to the pellet extraction position 2120.
The beret (19) positioned at 0 is extracted to provide a holding function. The collet 21 holding the pellet 19 is moved to the upper end position 24 as shown in FIG. The cholera 21 moved to the pellet transfer section is moved to the lowering end position W123 in the transfer section, and then the suction operation is stopped F-. As a result, cholera) 21
The pellet (19) held at
'jI is moved to position 2-24. This completes the transfer of one pellet 19. Here, the collet 21 is driven by a lift step (not shown). Cholera) 21, which has completed the transfer of pellets 19, is +
The pellet 19 is then moved to the pellet extracting position 20, and the pellet 19 to be transferred next is held in the operating order of (1) and (21). At this time, pellet extraction position fi20
Then, the next pellet 19 to be extracted is positioned by driving the XY table 12. In this way, the pellets 19 aligned in the xY directions are sequentially positioned at the pellet extraction position 20 by driving the XY table 12, and the pellets 19 are sequentially transferred to the pellet transfer section by the operation of the cholera 21. Become.
支持フレーム１３のド方には、ツム台１１に支持される
状態でペレット突きヒげ装置２５が配設される。ペレツ
ト突き−Ｌげ装置２５は、ベレッ）Ｍ出（ぐ置２０に位
置決めされ、かつコレット２１により吸着されるペレッ
ト１９を予め粘着シート１７から剥離Ｏｆ能としている
。ペレット突き１−げ装置１２５は、基台１１−１：に
配設される固定フレーム２６を仙えてなり、該国定フレ
ーム２６には）を降軸保持部２７が配設される。昇降軸
保持８１１２７には、間にブツシュ２８を介装する状態
で昇降軸２９がＥ下動ｕ１能に支持されてなる。昇降軸
２９には係合ピン３０が突出形成されてなり、該係合ビ
ン３０には係合凹部３１が係合される。係合凹部３１は
、中心部を固定フレーム２６に軸支する揺動ロッド３２
の一端部に形成されてなる。すなわち、揺動ロッド３２
は両端部を矢示Ａ方向に揺動Ｏｆ能としてなり、該揺動
ロッド３２の揺動によリシ１降軸２９をヒ下刃向［Ｚ方
向１に昇降させることが可能となる。揺動ロット３２の
矢ＴＸＡ方向の揺動は、カム３３の回動により行われる
。このカム３３は、第２図に示すようにステッピングモ
ータ３４の原動軸３５に支持され、矢ボＢ方向に回動ｎ
ｌ能とされる。このカム３３のカム面３６にはカムフォ
ロア３７が当接され、該カムフォロア３７は揺動ロー２
ド３２の他端部に支持されてなる。揺動ロッド３２の他
端部とｒＭ定フレーム２６の間には引張りスプリング３
８が介装され、該引張りスプリング３８は、カムフォロ
ア３７を常時カム面３６に当接Ｉｌｌ能としている。こ
の結果、モータ３４を駆動し、カム３３を回転させるこ
とで昇降軸２９を矢ボＺ方向に昇降させることがｎ（能
となる。A pellet pusher device 25 is disposed on the side of the support frame 13 in a state where it is supported by the pick stand 11. The pellet thrusting device 25 is positioned at the bellet M exit position 20 and has the ability to peel off the pellet 19 that is attracted by the collet 21 from the adhesive sheet 17. , a fixed frame 26 disposed on the base 11-1:, and a descending shaft holder 27 is disposed on the nationally designated frame 26. The lifting shaft 29 is supported by the lifting shaft holder 81127 with a bush 28 interposed therebetween so as to be capable of downward movement u1. An engagement pin 30 is formed protruding from the elevating shaft 29, and an engagement recess 31 is engaged with the engagement pin 30. The engagement recess 31 has a swing rod 32 whose center part is pivotally supported on the fixed frame 26.
It is formed at one end of the. That is, the swing rod 32
Both ends are capable of swinging in the direction of arrow A, and by swinging the swinging rod 32, it is possible to raise and lower the lowering shaft 29 of the rib 1 in the lower blade direction [Z direction 1]. Swinging of the swinging rod 32 in the direction of arrow TXA is performed by rotation of the cam 33. This cam 33 is supported by a driving shaft 35 of a stepping motor 34 as shown in FIG.
It is said that it is possible. A cam follower 37 is in contact with the cam surface 36 of this cam 33, and the cam follower 37 is in contact with the cam surface 36 of the cam 33.
It is supported by the other end of the door 32. A tension spring 3 is provided between the other end of the swing rod 32 and the rM constant frame 26.
8 is interposed, and the tension spring 38 keeps the cam follower 37 in constant contact with the cam surface 36. As a result, by driving the motor 34 and rotating the cam 33, it is possible to raise and lower the elevating shaft 29 in the arrow Z direction.
一方、昇降軸保持部２７の上方には、同じく固定フレー
ム２６に支持される状態で筒状体保持部３９が配設され
る。筒状体保持部３９には、ｆＩ状体４０のド端部が固
定ネジ４１の締付けにより支持されてなる。保持ｆ’１
Ｊ３９に支持される筒状体４０は、カセットリング１５
のド方へと延設され、延設される筒状体４０の内部には
ニードル支持軸４２が挿入されてなる。ニードル支持軸
４２は１国定ネジ４３の締付けにより、ト端部をシを降
軸２９の）一部に連結させてなる。On the other hand, above the elevator shaft holder 27, a cylindrical body holder 39 is disposed while being supported by the fixed frame 26 as well. A do end portion of the fI-shaped body 40 is supported by the cylindrical body holding portion 39 by tightening a fixing screw 41 . Hold f'1
The cylindrical body 40 supported by J39 is connected to the cassette ring 15
The needle support shaft 42 is inserted into the interior of the cylindrical body 40 that extends toward the outside. The needle support shaft 42 has its top end connected to a portion of the drop shaft 29 by tightening a national screw 43.
筒状体４０の内部におけるニードル支持軸４２のド方は
、間にシール部材兼用のブー２シユ４４を介装させる状
態で筒状体４０の内壁に支持させてなる。さらにニード
ル支持軸４２の上方は１間にブツシュ４５を介装させる
状態で筒状体４０の内壁に支持させてなる。ニードル支
持軸４２が挿入される筒状体４０の内部は、筒状体４０
の内壁とニードル支持軸４２の外周間に空隙４６を備え
てなる。空隙４６は、シール部材薯用のブツシュ４４の
１一端面から、ブツシュ４５の軸方向に貫通している連
通／Ｊ（不図示）を経て筒状体４０のｈ万端位置まで延
設され、筒状体４０の上方にはシート吸着ノズル４７が
取着される。ｆＩ状体４０には真空配＋７？４８がＪ＆
統され、該真空配管４８は筒状体４０の内部の空隙４６
からエアを吸引ｕ（能としている。空隙４６内のエアが
吸引されると、該空隙４６の内部が負圧となり、これに
よりシート吸）ｉノズル４７に対向位置する粘着シー）
１７の裏面が該ノズル４７により吸着保持されることと
なる。The needle support shaft 42 inside the cylindrical body 40 is supported on the inner wall of the cylindrical body 40 with a boot 44 interposed therebetween which also serves as a sealing member. Furthermore, the upper part of the needle support shaft 42 is supported by the inner wall of the cylindrical body 40 with a bush 45 interposed between the needle support shafts 42 and 45. The inside of the cylindrical body 40 into which the needle support shaft 42 is inserted is
A gap 46 is provided between the inner wall of the needle support shaft 42 and the outer circumference of the needle support shaft 42. The gap 46 extends from one end surface of the bushing 44 for the sealing member through a communication /J (not shown) penetrating in the axial direction of the bushing 45 to the h end position of the cylindrical body 40. A sheet suction nozzle 47 is attached above the shaped body 40. In the fI-like body 40, the vacuum connection +7?48 is J&
The vacuum pipe 48 is connected to the cavity 46 inside the cylindrical body 40.
When the air in the gap 46 is sucked, the inside of the gap 46 becomes negative pressure, which causes the sheet to be sucked.
The back surface of the nozzle 17 is suctioned and held by the nozzle 47.
ニードル支持幹４２のに方には、ニードル４９が取着さ
れる。ニードル４９は先端部を尖鋭状とされ、該ニード
ル４９は、シート１７の裏面に対し進退動Ｏｆ能とされ
る。ニードル４９のａ退勤は、ニードル支持軸４２を上
駆動することにより行われ、該支持軸４２の１−駆動は
’ｔＬ降輌２９を上駆動することにより行われる。すな
わち、カム３３の回転により昇降軸２９がトド動される
と。A needle 49 is attached to the other side of the needle support stem 42. The needle 49 has a sharp tip, and the needle 49 can move forward and backward relative to the back surface of the sheet 17. The a withdrawal of the needle 49 is performed by driving the needle support shaft 42 upward, and the 1-drive of the support shaft 42 is performed by driving the 'tL unloading 29 upward. That is, when the elevating shaft 29 is moved by the rotation of the cam 33.
これにＩ！ｌ！動してニードル４９の先端部がシート１
７の裏面に対し、トド動されることとなる。I love this! l! Move the tip of the needle 49 to seat 1.
It will be moved against the back side of 7.
シート吸着ノズル４７には、ｔｊＳ３図、第４図に示さ
れるように、ニードル挿通孔５０が備えられる。また、
ニードル４９は、ベレット摘出位置２０と鉛直方向に対
応位置決めされる。ニードル４９の先端部はニードル４
９の前進状態で挿通孔５０から突出され、これによりペ
レット摘出位置２０に位置決めされるペレット１９をシ
ート１７の裏面から突きにげ１１ｆ能としている。この
際、シート１７は、シート吸７ｔノズル４７により吸着
保持される。これにより、該ペレー７ト１９は、粘着シ
ー）１７の表面から剥離１１能とされる［：ｔＳＡ図参
照参照一方、ニードル４９の先端部はニードル４９の後
退状態で挿通孔５０内に没入可能とされる。［第３図参
照］。The sheet suction nozzle 47 is provided with a needle insertion hole 50, as shown in FIGS. 3 and 4. Also,
The needle 49 is positioned to correspond to the pellet extraction position 20 in the vertical direction. The tip of needle 49 is needle 4
The pellet 19, which is projected from the insertion hole 50 in the forward state of the sheet 9 and thereby positioned at the pellet extraction position 20, is pushed out from the back surface of the sheet 17 11f. At this time, the sheet 17 is sucked and held by the sheet suction nozzle 47. As a result, the pellet 19 can be peeled off from the surface of the adhesive sheet 17 [see tSA diagram] On the other hand, the tip of the needle 49 can be inserted into the insertion hole 50 when the needle 49 is in the retracted state. It is said that [See Figure 3].
ニードル４９の突きＬげ速度、突き１−げストローク、
さらに突きｌ−げ回数等は、ステッピングモータ３４の
駆動速度、駆動量等を変化させることにより調整ｏｆ能
とされる。これらステッピングモータ３４の駆動状態の
変化は、突き上げＭ制御部５１の指令に基づいて行われ
る。すなわち、突きｌ；げ制御部５１は、ペレット１９
の寸法・形状入力部５２に人力される粘着シート１７に
貼着されるペレット１９に関するデータに基づき、モー
タ３４の駆動状態をｔＩｆ変に調整可能としている。Needle 49 thrust L speed, thrust 1 stroke,
Furthermore, the number of thrusts and the like can be adjusted by changing the driving speed, driving amount, etc. of the stepping motor 34. These changes in the driving state of the stepping motor 34 are performed based on commands from the push-up M control section 51. That is, the thrust control section 51 controls the pellet 19
The driving state of the motor 34 can be adjusted to tIf based on data regarding the pellets 19 attached to the adhesive sheet 17 that are manually entered into the size/shape input section 52 of the controller.
突き」二げ制御１部５１は、例えばニードル４９により
突き上げられるペレット１９が小さいものとされる場合
、該ペレット１９がシート１７から確実に剥離されるよ
うに突き上げ速度を速く設定し、かつ第４図に示す突き
ＬげストロークＬを小さな伯に設定調整するようにして
いる。For example, when the pellet 19 pushed up by the needle 49 is small, the thrusting control unit 1 51 sets the thrusting speed to be high so that the pellet 19 is reliably peeled off from the sheet 17, and the fourth The push-up stroke L shown in the figure is adjusted to a small value.
突き上げ速度のＪｕｌ整はステッピングモータ３４の１
１＋１転速度を速く設定することにより可能とされる。The thrusting speed is set by stepping motor 34.
This is made possible by setting a high 1+1 rotation speed.
一方、突きヒげストロークＬの調整は、カム３３の回転
角度諺を調整することにより可能とされる。カム３３の
回転角度は、カム３３の対向位置に配設される回転角度
検出センサ５３からカム回転角度検出部５４に入力され
る。すなわち、カム回転角度検出８Ｊ５４は、検出され
る回転角度を突！ｔＦげ制御？４５１にフィードバック
し、突き上げ制御部５１はフィードバックされる回転角
度に基づき、カム３３の回転領域を所定の角度領域の間
で行うことをｕｌ ｔｒｔ ｒニしている。この結果、
ニードル４９の突、ｇヒげストロークＬを所定の値に調
整することがｕ（能となる。On the other hand, the thrust stroke L can be adjusted by adjusting the rotation angle of the cam 33. The rotation angle of the cam 33 is input to the cam rotation angle detection section 54 from a rotation angle detection sensor 53 disposed at a position opposite to the cam 33 . That is, the cam rotation angle detection 8J54 detects the detected rotation angle! tF control? 451, and the push-up control unit 51 controls the rotation range of the cam 33 to be within a predetermined angle range based on the fed-back rotation angle. As a result,
It becomes possible to adjust the stroke L of the needle 49 to a predetermined value.
これに対し、ニードル４９により突き上げられるペレッ
ト１９が大きいものとされる場合、該ペレット１９がシ
ート１７から確実に剥離されるように突き上げ速度を遅
く設定し、かつ突きＬげストロークＬを大きく設定調整
する必要がある。この場合、突き上げ制御部５１は、モ
ータ３４の回転速度を遅く設定し、かつカム３３の回転
角度領域を大きな（／ｉに調整するようにしている。On the other hand, when the pellet 19 pushed up by the needle 49 is large, the pushing up speed is set to be low so that the pellet 19 is reliably peeled off from the sheet 17, and the pushing stroke L is set and adjusted to be large. There is a need to. In this case, the push-up control unit 51 sets the rotational speed of the motor 34 to be slow and adjusts the rotational angle range of the cam 33 to a large value (/i).
さらに、大きなサイズのペレット１９によっては、ニー
ドル４９の突き」二げ回数を２回あるいは３回とするこ
とが必要とされる。この場合、カム３３が所定の角度領
域を２または３回往復動されるように突き１げ制御部５
１は、モータ３４を駆動１１ｆ能としている。Furthermore, depending on the large size of the pellets 19, it may be necessary to prick the needle 49 two or three times. In this case, the thrust control unit 5 controls the cam 33 to reciprocate two or three times in a predetermined angular range.
1, the motor 34 has a driving function of 11f.
なお、本実施例において突き１げ制御部５１は、ニード
ル４９の突き上げ速度、突き上げストロークＬ、突き上
げ回数を全て制御するようにしているが、これら全ての
要素の１つを調整することによってもペレット１９の剥
離を確実に行うことがＩＪｆ能となる。In this embodiment, the thrusting control unit 51 controls all of the thrusting speed, thrusting stroke L, and number of thrusting of the needle 49; however, by adjusting one of all these elements, the pellet IJf performance is achieved by reliably peeling off No. 19.
次に、」−記ベレット装着装置１０の作動を説明する。Next, the operation of the bullet mounting device 10 will be explained.
ＸＹテーブル１２の移動によりペレット摘出位置２０に
摘出されるべきペレッ）１９が位置決めされるとコレラ
１−２１が第３図に示す状！ｌ（から下砕端位置２３ま
で下降され、この状態でコレット２１の吸引作動が開始
される。これとともに真空配管４８の吸引作動が開始さ
れ、シート吸着ノズル４７に粘着シート１７の裏面が吸
着される［第４図谷照］、これにより、シート１７が固
定状態で該ノズル４７に保持されることとなる。When the pellets 19 to be extracted are positioned at the pellet extraction position 20 by the movement of the XY table 12, cholera 1-21 appears in the state shown in FIG. 1 to the lower crushing end position 23, and in this state the suction operation of the collet 21 is started. At the same time, the suction operation of the vacuum pipe 48 is started, and the back side of the adhesive sheet 17 is suctioned by the sheet suction nozzle 47. As a result, the sheet 17 is held in the nozzle 47 in a fixed state.
シー）１７の裏面がシート吸着ノズル４７に保持される
と、次に、ニードル４９がｔｔＳ３図に示す没入状態か
ら第４図に示す前進状態に突き上げ駆動される。この結
果、ペレッ）１９がシート１７の表面から剥離され、次
いでニードル４９により、ベレッ）１９が第４図にボす
状態で突き上げられることとなる。この際、コレット２
１はニードル４９の突きｌ二げ駆動とともにＬ昇移動さ
れる。この状態でシート１７の表面から剥離されたベレ
ッ）１９がコレット２１により摘出保持されることとな
る０次いでベレッ）１９を保持するコレット２１は、−
ｌニ昇端位２２２４まで上昇され、該ペレッ）１９は次
いでペレット移送部へ移送されることとなる。これとと
もに、突き上げ状態とされていたニードル４９は再び後
退駆動され、また真空配管４８の吸引作動が伶止Ｓれる
こととなる。これにより、シート吸着ノズル４７による
シー）１７の吸着状態が解除される。シート１７の吸着
状態が解除されるとＸＹテーブル１２の移動を介して、
ペレット摘出位２２２０に次に摘出されるべきベレン）
１９が位置決めされることとなる。このようにして、Ｘ
Ｙ方向に整列されるベレッ）１９がニードル４９の突き
１−げ作動により順次粘着シー）１７から剥離され、該
ベレット１９がコレット２１により順次摘出され、移送
されることとなる。When the back surface of the sheet 17 is held by the sheet suction nozzle 47, the needle 49 is driven upward from the retracted state shown in FIG. ttS3 to the forward state shown in FIG. As a result, the pellets 19 are peeled off from the surface of the sheet 17, and then the pellets 19 are pushed up by the needle 49 in the state shown in FIG. At this time, collet 2
1 is moved up and down by L as the needle 49 is driven. In this state, the beret 19 that has been peeled off from the surface of the sheet 17 is extracted and held by the collet 21. Then, the collet 21 holding the beret 19 is -
The pellets 19 are then lifted to the upper end position 2224, and then transferred to the pellet transfer section. At the same time, the needle 49, which had been pushed up, is driven backward again, and the suction operation of the vacuum pipe 48 is stopped. As a result, the suction state of the sheet 17 by the sheet suction nozzle 47 is released. When the adsorption state of the sheet 17 is released, through the movement of the XY table 12,
Belen to be removed next at pellet extraction position 2220)
19 will be positioned. In this way,
The pellets 19 aligned in the Y direction are sequentially peeled off from the adhesive sheet 17 by the thrusting action of the needle 49, and the pellets 19 are sequentially extracted by the collet 21 and transported.
次に、上記実施例の作用を説明する。Next, the operation of the above embodiment will be explained.
上記実施例に係るペレット突き−１−げ装こ２５によれ
ば、突き上げ制ｇ４部５１により、粘着シート１７に貼
着されるペレット１９の寸法、形状に応じてニードル４
９の突き上げ速瓜、突き上げストロークＬもしくは突き
上げ回数等の突きとげ状態の全てまたは少なくとも一つ
のに末を最適化し、シート１７からのベレッ）１９の剥
離を確実に行うこととしている。これにより、寸法、形
状の異なるペレット１９を粘着シートから確実に剥離す
ることがＩｌｌ能となる。According to the pellet pushing-1-sticking device 25 according to the above embodiment, the pushing-up control g4 section 51 allows the needle 4 to
By optimizing all or at least one of the pushing conditions such as the speed of pushing up, the pushing up stroke L, or the number of pushing up, the peeling of the beret 19 from the sheet 17 is ensured. This makes it possible to reliably peel off pellets 19 having different sizes and shapes from the adhesive sheet.
［発明の効果］
以上のように、未発Ｉｌｌは、突き上げ駆動部によって
進退動されるニードルにより、シート玉に貼着されるペ
レットをシートの裏面から突き上げ、′Ａ＃１するベレ
ット突き上げ！Ｉｔ′ｒ１において、突きにげ駆動部の
駆動状態を制御することにより、ニードル突き■−げ作
動状態を制御する突き１げ制御部を備えることとしたた
め２寸法、形状の異なるペレットをシートから確実に剥
離することができるという効果がある。[Effect of the invention] As described above, the unreleased Ill pushes up the pellet stuck to the sheet ball from the back side of the sheet by the needle moved back and forth by the push-up drive unit, and the pellet is pushed up to 'A#1! In It'r1, by controlling the drive state of the needle drive unit, we decided to include a needle drive control unit that controls the operating state of the needle drive unit, so pellets of two different sizes and shapes can be reliably removed from the sheet. It has the effect of being able to be peeled off.
第１図は本発明の一実施例に係るベレット突き上げ装置
を備えるベレット摘出装置の断面図、ｆＪＳ２図は第１
図のＩＩ −ＩＩ線に沿う矢視図、第３図はベレットの
突き１−げ前の状！８をボす断面図、第４図はベレット
の突きヒげ状態をボす断面図である。
１７・・・粘着シート、１９・・・ベレット、２５・・
・ペレット突き上げ装置、３３・・・カム［突き１−げ
駆動部］、３４・・・ステッピングモータ、４９・・・
ニードル、５１・・・突き上げ制ｕ４部。
代理人 弁理士 塩 川 修 治
第 ２ 図
第 ３ 図FIG. 1 is a sectional view of a pellet extracting device equipped with a pellet pushing device according to an embodiment of the present invention, and FIG.
The arrow view along the line II-II in the figure, Figure 3 is the state before the bellet thrusts! FIG. 4 is a cross-sectional view showing the thrust state of the bullet. 17...Adhesive sheet, 19...Bellet, 25...
- Pellet thrusting device, 33... cam [thrusting drive unit], 34... stepping motor, 49...
Needle, 51... Push-up system U4 division. Agent Patent Attorney Osamu Shiokawa Figure 2 Figure 3
Claims (1)
より、シート上に貼着されるペレットをシートの裏面か
ら突き上げ、剥離するペレット突き上げ装置において、
突き上げ駆動部の駆動状態を制御することにより、ニー
ドル突き上げ作動状態を制御する突き上げ制御部を備え
ることを特徴とするペレット突き上げ装置。(1) In a pellet push-up device that pushes up and peels pellets stuck onto a sheet from the back surface of the sheet using a needle that is moved forward and backward by a push-up drive unit,
A pellet thrusting device comprising a thrusting control section that controls a needle thrusting operating state by controlling a driving state of a thrusting drive section.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5504586A JPH0719828B2 (en) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | Pellet push-up method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5504586A JPH0719828B2 (en) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | Pellet push-up method |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29250893A Division JPH081925B2 (en) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | Pellet pushing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62213263A true JPS62213263A (en) | 1987-09-19 |
| JPH0719828B2 JPH0719828B2 (en) | 1995-03-06 |
Family
ID=12987697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5504586A Expired - Lifetime JPH0719828B2 (en) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | Pellet push-up method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719828B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1986
- 1986-03-14 JP JP5504586A patent/JPH0719828B2/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0719828B2 (en) | 1995-03-06 |
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