JPS6219740A - 表面状態表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば金属平面板等の表面を検査する表面
欠陥検査装置に接続される表面状態表示装置に関するも
のである。

〔従来の技術〕

従来、金属平面板の表面欠陥検査装置に、この種表示装
置が接続された例はなかった。従って、本発明に最も近
い従来例として、金属平面板の表面欠陥検査装置を引用
する。この例としては、例えば第３図に示す「三菱電機
技報ｖｏｗ　５６　ＮＯ，５１９８２ＰＩ３　Ｊ記録の
ようなレーザ式表面検査装置がある。

図において、（１）は光学ユニツ）、１２）はこの光学
ユニット（１）内に収納された走査器例えば電磁振動鏡
の駆動回路、（３）はアナログ処理回路、（４）はデジ
タルデータ収集回路、（５）はマイクロプロセッサ（μ
ｍＣ！ＰＵ）、（６）はロータリエンコーダ、（７）は
エンコーダ・インタフェース、（８）は被検査板である
０次に動作について説明する。光学ユニット（１）はレ
ーザ発光部、レンズ、電磁振動鏡（走査器）、光電子増
倍管（いずれも図示せず）等から構成され、被検査板（
８）の表面を走査し、表面欠陥を光学的に検出し、電気
信号に変換してアナログ処理回路（３）へ出力する。ア
ナログ処理回路（３）ハ、光学ユニット（１）からの信
号、増巾した後、欠陥信号レベル分類を行ない、デジタ
ル信号として出力する。

デジタルデータ収集回路（４）は、前記アナログ処理回
路（３）で処理されたデジタル信号を収集し、後続の演
算判定に必要なデータ（例えば欠陥の長さ。

巾、密集度など）の形にそろえる。マイクロプロセッサ
（５）は、デジタルデータ収集回路（４）で、そろえら
れたデータを集め、あらかじめ決められた欠陥判定アル
ゴリズム【従って演算などを行ない、個別欠陥の種類、
程度等を判定する。（６）はロータリエンコーダで被検
査板（８）の長さ方向の情報をエンコーダインタフェー
ス（７）を経由してマイクロプロセッサ（５）に入力す
る。これによシ欠陥の長さ計測、被検査板の長さ判定を
行う。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の表面検査装置は以上のように構成されているので
、欠陥信号発生時にはラインを停止して欠陥の有無や程
度１種類を目視で検査するため、多大な作業労力と作業
時間が必要で、効率化が望まれていた。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、被検査板の表面状態がＴＶ画像として観察
することにより真に欠陥なのか、欠陥ではない油滴や汚
れなのかを判断することができる、表面状態表示装置を
提供することを目的とする。

〔問題点を解決するだめの手段〕

この発明に係る表面状態表示装置は、従来の表面検査装
置のアナログ信号をフレームメモリ装置に記録するとと
もにＴＶモニタだ表示できるようにしたものである。

〔作用〕

この発明におけるフレームメモリ装置は、光学ユニット
から被検査板の欠陥信号を含む表面状態をアナログ信号
として入力記録し、ＴＶモニタに表示することができる
。従って欠陥信号発生時には、その疵画像をフレームメ
モリに記録し、これをＴＶ画像として観察することによ
り、ラインを停止することなく確認作業ができる。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において（９）はフレームメモリ装置、α〔はＴＶモ
ニタである。このフレームメモリ装置（９）は、同期信
号入力端子（９１）　、アナログ信号入力端子（９２）
　、　ＴＶ信号出力端子（９３）を備えており、同期信
号入力端子（９１）には、電磁振動鏡等からなる駆動回
路（２）からレーザビームの走査〈同期した同期信号が
、またアナログ信号入力端子（９２）にはアナログ処理
回路（３）からのアナログビデオ信号がそれぞれ印加さ
れる。フレームメモリ装置（９）では、このビデオ信号
を記録し、ＴＶ信号の形でＴ’Ｖ信号出力端子（９３）
からＴＶモニタα〔に出力する。

第２図は、フレームメモリ装置（９）の内部構成を示す
一例である。図において（９４）はＡ／Ｄ変換回路、（
９５）はフレームメモリ部、（９６）はＤ／Ａ変換回路
、（９７）はビデオプロセス回路、（９８）は全体の制
御回路である。

アナログ信号入力端子（９２）に入力されたアナログビ
デオ信号は、Ａ／Ｄ変換回路（９４）で１ドツトあたり
６〜８ビツトのデジタルデータに変換され、フレームメ
モリ（９５）に記録される。この記録のタイミングは、
入力端子（９１）からの同期信号に同期して制御、記録
される。フレームメモリ（９５）　Ｋ　記録された信号
は、制御回路（９８）で発生されたＴＶの同期信号に同
期してフレームメモリ（９５）から読み出され、Ｄ／Ａ
変換回路（９６）でアナログ信号に変換された後、ビデ
オプロセス回路（９７）で同期信号混合等の処理をされ
た後ＴＶ信号として、ＴＶ信号出力端子（９３）よシ出
力され、ＴＶモニタα〔に表示出力される。

なお、上記実施例では、ＴＶモニタ上に表示観察する場
合について述べたが、ＴＶモニタで観察する場合は被検
査板の速度をかな９遅くする必要があり、作業能率上好
ましくない事もある。このような場合は、被検査板の速
度を遅くせず、表示画像を一旦ＶＴＲに記録しておき、
問題発生時のみあとで該尚部分をＶＴＲ再生し、低速で
観察することにより所望の結果を得ることができる。

また、本実施例では、金属平面板を対象として述べたが
、例えばフィルム、ガラス等金属以外の平面板状の対象
に対しても同様の効果が得られる事は言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上説明したように、被検査板の表面状態をＴＶ画像と
して観察することが可能となったので、欠陥信号が発生
した時忙、その部分を本表示装置で記録し、真に欠陥な
のか、欠陥であれば、その種類や程度はどうなのか、又
は欠陥ではない油滴か汚れなのかを判断することができ
、従来のように欠陥信号発生の度にラインを停止して目
視検査する方式に比べて、大巾な作業効率の改善ができ
、更には製品の歩留シ向上にも貢献することができる０

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による表面状態表示装置の
ブロック図、第２図は第１図のフレームメモリ装置の詳
細ブロック図、第３図は本発明に最も近い従来例を示す
ブロック図である。 （１）は光学ユニツ）　、（２）は駆動回路、（３）は
アナログ処理回路、（４）はデジタルデータ収集回路、
（５）はマイクロプロセッサ、（ｅｌハロータリエンコ
ーダ、（７）ハエンコーダ・インタフェース、（８）は
被検査板、（９）はフレームメモリ装置、α〔はＴＶモ
ニタである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検査板の表面欠陥を検査する欠陥検査装置において、
   上記被検査板を走査し、その表面を撮像する走査器およ
   び光電変換器を収納する光学ユニット、この光学ユニッ
   ト内に収納された上記走査器を駆動する駆動回路、上記
   光学ユニット内に収納された光電変換器からのアナログ
   信号を処理して欠陥信号を検出するアナログ処理回路、
   このアナログ処理回路からの欠陥信号を、後続の演算判
   定に必要なデジタルデータの形に整えるデジタルデータ
   収集回路、上記アナログ信号を入力データとし、上記駆
   動回路の信号を同期信号として、メモリに記録し、ＴＶ
   信号として出力するフレームメモリ装置、およびこのＴ
   Ｖ信号を表示するＴＶモニタを備えたことを特長とする
   表面状態表示装置。