JPS62191696A - タ−ボ分子ポンプの停止方法および装置 - Google Patents
タ−ボ分子ポンプの停止方法および装置Info
- Publication number
- JPS62191696A JPS62191696A JP3303286A JP3303286A JPS62191696A JP S62191696 A JPS62191696 A JP S62191696A JP 3303286 A JP3303286 A JP 3303286A JP 3303286 A JP3303286 A JP 3303286A JP S62191696 A JPS62191696 A JP S62191696A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molecular pump
- turbo molecular
- brake
- piping
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はターボ分子ポンプに係り、特にターボ分子ポン
プの停止時の強制停止に好適な停止方法および装置に関
する。
プの停止時の強制停止に好適な停止方法および装置に関
する。
ターボ分子ポンプは、毎分数万回転で回っているので、
停止させたい時フリーランで停止させると数時間を要し
、緊急時の際は特に困る。そこで、電気ブレーキなどを
設けたものもあるが、停止前回転数の１０９６以下はブ
レーキ制御が難しい。また、電気ブレーキは一様な制御
のため、停止時間の変更が難しいなどの問題点がある。
停止させたい時フリーランで停止させると数時間を要し
、緊急時の際は特に困る。そこで、電気ブレーキなどを
設けたものもあるが、停止前回転数の１０９６以下はブ
レーキ制御が難しい。また、電気ブレーキは一様な制御
のため、停止時間の変更が難しいなどの問題点がある。
その他、ターボ分子ポンプの排気側の圧力を上げてブレ
ーキをかける方法があるが、排気側からの油汚染の問題
がある。
ーキをかける方法があるが、排気側からの油汚染の問題
がある。
なお、この種のものとして関連するものには例えば、実
公昭５７−１１５９９４号公報が挙げられる。
公昭５７−１１５９９４号公報が挙げられる。
上記従来技術は、停止時間の可変性の点について配慮さ
れておらず、停止時間の制御を行うことができない。ま
た、排気側の圧力を上げる場合は、排気側についている
油回転ポンプの油分がターボ分子ポンプを経由して吸気
口側へ入り込み、超高真空系を油分で汚染するという虞
がある。
れておらず、停止時間の制御を行うことができない。ま
た、排気側の圧力を上げる場合は、排気側についている
油回転ポンプの油分がターボ分子ポンプを経由して吸気
口側へ入り込み、超高真空系を油分で汚染するという虞
がある。
本発明の目的は、停止時間を任意に制御可能にすること
にある。
にある。
上記目的は、吸気口側に設けたブレーキガス配管に２台
直列に配した弁を電源装置より開閉制御を行い、ブレー
キガス量をコントロールするコト１こより達成される。
直列に配した弁を電源装置より開閉制御を行い、ブレー
キガス量をコントロールするコト１こより達成される。
ブレーキガス配管に設置された２台の弁の開閉を電源装
置から制御することにより、ブレーキガス皿がコントロ
ールできる。すなわち、２台の弁を同時に開１とすれば
、連続的１こガスが流れそれにより大きなブレーキ力が
得られる。また、１台づつ開、閉をすれば断続的にガス
が流れ、弁と弁の間の配管にたまったガスを流せば一番
少ない量のガスを流すことになる。このような弁開閉の
組合せで任意のガス１を流して所要のブレーキるかける
ことができ、それ（こより、任意に停止時間を制御する
ことができる。
置から制御することにより、ブレーキガス皿がコントロ
ールできる。すなわち、２台の弁を同時に開１とすれば
、連続的１こガスが流れそれにより大きなブレーキ力が
得られる。また、１台づつ開、閉をすれば断続的にガス
が流れ、弁と弁の間の配管にたまったガスを流せば一番
少ない量のガスを流すことになる。このような弁開閉の
組合せで任意のガス１を流して所要のブレーキるかける
ことができ、それ（こより、任意に停止時間を制御する
ことができる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。真空
容器１とターボ分子ポンプ３の間は吸気配管２で結ばれ
、その途中に真空弁１５か設置されている。ターボ分子
ポンプ３の排気側１こは、排気配管４を経て油回転真空
ポンプ５が設置されている。吸気配管２の途中にブレー
キガス配管６をつなぎこみ、この配管６の途中にブレー
キ弁７．８を直列に設置している。電源装置９は、商用
電力１４を受け、ターボ分子ポンプ３へ出力電圧、電流
を電源ケーブル１３で供給し、また、ターボ分子ポンプ
３の回転情報を信号ケーブル１２で受は取り、ブレーキ
弁７，８への開閉の信号を各々信号線１０゜１１で送る
ものである。
容器１とターボ分子ポンプ３の間は吸気配管２で結ばれ
、その途中に真空弁１５か設置されている。ターボ分子
ポンプ３の排気側１こは、排気配管４を経て油回転真空
ポンプ５が設置されている。吸気配管２の途中にブレー
キガス配管６をつなぎこみ、この配管６の途中にブレー
キ弁７．８を直列に設置している。電源装置９は、商用
電力１４を受け、ターボ分子ポンプ３へ出力電圧、電流
を電源ケーブル１３で供給し、また、ターボ分子ポンプ
３の回転情報を信号ケーブル１２で受は取り、ブレーキ
弁７，８への開閉の信号を各々信号線１０゜１１で送る
ものである。
ターボ分子ポンプ３は、起動から定格回転に至るまで電
源装置９から電源ケーブル１３で供給される出力電圧、
電流で制御され、温度や回転数などの回転情報は信号ケ
ーブル１２で電源装置９へ入力される。停止時は電源装
置Ｉ９からの出力を０にしてターボ分子ポンプ３をフリ
ーラン状態にする。 ４このとき、信号ケーブル１２
で送られてくる回転情報によってブレーキ弁７，８の開
閉を制御してブレーキガス１をコントロールしてやる。
源装置９から電源ケーブル１３で供給される出力電圧、
電流で制御され、温度や回転数などの回転情報は信号ケ
ーブル１２で電源装置９へ入力される。停止時は電源装
置Ｉ９からの出力を０にしてターボ分子ポンプ３をフリ
ーラン状態にする。 ４このとき、信号ケーブル１２
で送られてくる回転情報によってブレーキ弁７，８の開
閉を制御してブレーキガス１をコントロールしてやる。
すなわち、定格に近い高回転時はブレーキ弁７と８の間
にあるガスをブレーキガスとして送り出し、回転が下る
につれて送り出す回数を増し、その後はブレーキ弁８を
開けたままでブレーキ弁７を断続的に開閉をするなどし
て供給するガス２を変えてブレーキ作用を変化させてい
（。
にあるガスをブレーキガスとして送り出し、回転が下る
につれて送り出す回数を増し、その後はブレーキ弁８を
開けたままでブレーキ弁７を断続的に開閉をするなどし
て供給するガス２を変えてブレーキ作用を変化させてい
（。
この弁の開閉パターンと回転数の関係は、ターボ分子ポ
ンプの特性に合せてソフトプログラムを組めば、容易に
制御できる。
ンプの特性に合せてソフトプログラムを組めば、容易に
制御できる。
本実施例によれば、ターボ分子ポンプのブレーキがコン
トロールでき、停止時間を任意に変えることができる効
果がある。
トロールでき、停止時間を任意に変えることができる効
果がある。
本発明によれば、ターボ分子ポンプのブレーキガス量を
コントロールしながら供給できるので、停止時間を任意
に変えることができる効果がある。
コントロールしながら供給できるので、停止時間を任意
に変えることができる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す系統図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ターボ分子ポンプと電源装置と吸入側につなぎこん
だブレーキガス配管において、ブレーキガス配管に２台
のブレーキ弁を直列に設置し、そのブレーキ弁の開閉を
電源装置より制御してブレーキガスの量をコントロール
するようにしたことを特徴とするターボ分子ポンプ停止
方法。 ２、ターボ分子ポンプと電源装置と吸入側につなぎこん
だブレーキガス配管において、ブレーキガス配管に２台
のブレーキ弁を直列に設置し、ターボ分子ポンプと電源
装置を電源ケーブルで接続し、電源装置と２台のブレー
キ弁をターボ分子ポンプの回転情報を流す信号ケーブル
で接続したことを特徴とするターボ分子ポンプの停止装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3303286A JPS62191696A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | タ−ボ分子ポンプの停止方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3303286A JPS62191696A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | タ−ボ分子ポンプの停止方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62191696A true JPS62191696A (ja) | 1987-08-22 |
Family
ID=12375452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3303286A Pending JPS62191696A (ja) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | タ−ボ分子ポンプの停止方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62191696A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63239397A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-05 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 |
| US5209631A (en) * | 1990-07-16 | 1993-05-11 | Arthur Pfeiffer Vakummtechnik Wetzlar Gmbh | Arrangement for flooding high speed vacuum pumps |
| EP2053249A3 (de) * | 2007-10-25 | 2016-06-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren |
| EP4033516A1 (en) * | 2021-01-26 | 2022-07-27 | Jeol Ltd. | Ion beam processing apparatus and method for controlling operation thereof |
-
1986
- 1986-02-19 JP JP3303286A patent/JPS62191696A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63239397A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-05 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 |
| US5209631A (en) * | 1990-07-16 | 1993-05-11 | Arthur Pfeiffer Vakummtechnik Wetzlar Gmbh | Arrangement for flooding high speed vacuum pumps |
| EP2053249A3 (de) * | 2007-10-25 | 2016-06-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Anordnung mit Vakuumpumpe und Verfahren |
| EP4033516A1 (en) * | 2021-01-26 | 2022-07-27 | Jeol Ltd. | Ion beam processing apparatus and method for controlling operation thereof |
| US11929238B2 (en) | 2021-01-26 | 2024-03-12 | Jeol Ltd. | Ion beam processing apparatus and method for controlling operation thereof |
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