JPS62188159U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62188159U JPS62188159U JP7649486U JP7649486U JPS62188159U JP S62188159 U JPS62188159 U JP S62188159U JP 7649486 U JP7649486 U JP 7649486U JP 7649486 U JP7649486 U JP 7649486U JP S62188159 U JPS62188159 U JP S62188159U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- melting point
- gate electrode
- high melting
- point metal
- polysilicon
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例を示すMOSFETの
ゲートの断面図、第2図乃至第4図は本考案の他
の実施例を示すMOSFETのゲートの形成工程
順の各断面図、第5図はMOSFETの概略図、
第6図は第5図のMOSFETの2層構造のゲー
トの断面図である。 17,24……半導体基板、18,25……ゲ
ート酸化膜、20,27……ゲート、21,28
……ポリシリコン、22,29……高融点金属又
はシリコン合金、23、28b……剥離防止手段
。
ゲートの断面図、第2図乃至第4図は本考案の他
の実施例を示すMOSFETのゲートの形成工程
順の各断面図、第5図はMOSFETの概略図、
第6図は第5図のMOSFETの2層構造のゲー
トの断面図である。 17,24……半導体基板、18,25……ゲ
ート酸化膜、20,27……ゲート、21,28
……ポリシリコン、22,29……高融点金属又
はシリコン合金、23、28b……剥離防止手段
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 一導電型半導体基板上の素子形成領域に酸化膜
を介して高融点金属又は高融点金属を主体とする
シリコン合金とポリシリコンとからなる上下2層
構造のゲート電極を形成すると共に上記半導体基
板の該ゲート電極近傍に他導電型不純物拡散領域
を形成した半導体装置において、 上記ゲート電極の上記高融点金属又はシリコン
合金とポリシリコンとの層界面に剥離防止手段を
設けたことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7649486U JPS62188159U (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7649486U JPS62188159U (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62188159U true JPS62188159U (ja) | 1987-11-30 |
Family
ID=30923624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7649486U Pending JPS62188159U (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62188159U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07235513A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-05 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59220937A (ja) * | 1983-05-31 | 1984-12-12 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPS609160A (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JPS6014475A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-01-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JPS6024062A (ja) * | 1983-07-20 | 1985-02-06 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPS6032359A (ja) * | 1983-08-02 | 1985-02-19 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
1986
- 1986-05-21 JP JP7649486U patent/JPS62188159U/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59220937A (ja) * | 1983-05-31 | 1984-12-12 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPS609160A (ja) * | 1983-06-28 | 1985-01-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
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JPS6024062A (ja) * | 1983-07-20 | 1985-02-06 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
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JPH07235513A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-05 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |