JPS6217439A - 積層型防振ゴム併用空気ばねシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 、　　　　　　　　　　１ 本発明は、ホログラフィセット、電子顕微鏡等のような
各種精密測定機器又は製造機械を設置した床から該精密
機器等に伝わる微細振動を遮断又は低減し機器等の精度
を維持するための空気ばねシステムに関するものである
。

従」ヒΩ」Ｌ術 従来１周囲からの、特に床からの振動を防ぎ。

精密機器の測定精度又は製造機械の加工精度を維持又は
向上せしめるために空気ばねシステムが利用されている
。

従来の空気ばねシステムは２概略第５図に図示する構成
が一般的である。つまり、空気ばねシステム１は精密機
器２を担持する防振架台（定ｍ）４を有し、該防振架台
４が複数個の空気ばね６によって床８上に支持される。

空気ばね６は、防振架台４に取付けられた下金具１０と
、該下金具ｌＯにベローズ固定金具１２にて取付けられ
上空気室１４を形成するベローズ１６と、該ベローズ１
６に固着され内部に上空気室１８を画成し床８上に設置
される下金具２０とを有する。前記上空気室１４と上空
気室１８は、下金具２０の上面に形成した第１段オリフ
ィス２２によって連通される。

前記上空気室１８は下金具２０に設けられた第２段オリ
フィス２４を介して自動圧力調整弁２６と連通され、圧
縮空気の供給、排気がなされる。

該自動圧力調整弁２６は種々のものが使用されているが
、いずれにしても自動圧力調整弁２６のＯＮ・ＯＦＦ作
用により、防振架台４上の機器２の水平精度（レベリン
グ精度）が正確に維持される０例えば自動圧力調整弁２
６の位匠での高さ寸法を±５０〜±１００ｇｍに調整可
能とし、又支持間隔すを１０００ｍｍとすると（０，１
〜０゜２）／１０００の水平度が達成される。

上記構成の空気ばねシステムｌにおいて、空気ばね６に
水平方向成分の振動が作用するとベローズ１６に剪断力
Ｆが加わり、該ベローズ１６は第６図の状態から第７図
の状態へと変形される。従来、上空気室１４を形成する
ベローズ１６は薄い補強布にゴムをコーティングした概
略厚さが０゜５〜１ｍｍの柔軟性に富む材料で作製され
ており、成る大きさの繊維の弾性にもとづく剪断ばね定
数Ｋｂｚを有している。Ｋｂｚは第７図の断面において
は顕著ではないが、この断面と９０度直交する断面にお
いては、ベローズの剪断変形が生じて、変位εに対して
大きい反力が発生し、Ｋｂ２をもたらす、一般に空気ば
ねの剪断ばね定数Ｋｂ（ｋｇ／ｃｍ）は次式にて表わさ
れる。

Ｋｂ＝Ｋｂ＋＋Ｋｂｚ ここで、Ｋ　ｂ　＋は剪断力Ｆに基づく、つまり第７図
に図示されるベローズの変位εによる左右のベローズ接
触長さの差に起因する空気力学的ばね定数であり、次式
で表わされる。

Ｋｂ、＝Ｆ／ε＝（π２／８）・ＰＤＰここで、Ｐ：空
気ばね内圧（ｋｇ／ば）Ｄｐ：ベローズの直径（ｃｍ） このように、上記式で表わされる空気ばねの剪断ばね定
数Ｋｂの値はＫｂ、の存在のためにある限度以下にはな
らず、該剪断ばね定ａＫｂを希望する値まで小さくする
ことができない。

従って、次式から理解されるように、空気ばね防振シス
テムの水平方向の固有振動数ｆｎｈが小さくならない。

ｆｎｈ＝　　（１／２π）　　−Ｆ−［π−「７１１丁
ここで、Ｍはばね上質量である。

従来、空気ばね防振システムの防振効果を評価するファ
クタとして、次の式で表わされる振動伝達率Ｔｒが採用
されている。

Ｔｒ＝　Ｉ　ｌ／　（ｌ　−（ｆ／ｆ　ｎｈ）　２）１
ここで、ｆは防振対象の機械設置床の振動数で。

ｆｎｈは上記した空気ばね防振システムの固有振動数で
ある。

該振動伝達率Ｔｒは小さいことが好ましいが、上述から
分るように、従来の空気ばね防振システムではｆｎｈを
小とすることができず、水平方向の防振性能が向上しな
いという欠点があった。

例えば有効受圧面積Ａｅ＝６６ｃｍ″（第６図参照）、
ベローズ直径Ｄｐ＝８．４ｃｍとした場合のベローズの
水平方向ばね定数の実測値が第８図に示される。又、第
９図には第８図に示す実測値から上記式を用いて計算に
より求めた水平方向の固有振動数ｆｎｈが図示される。

この時、ｆｎｈ＝　（１／２π）　　　　ｂ／Ｍにおけ
るばね上質量Ｍは空気ばねｌ支点にかかる質量であり、
Ｐｄ　＝　（１／　９８０　）　−Ａ　ｅ　Ｐとして計
算した。つまり、有効受圧面積Ａｅに圧力Ｐを乗じたも
のが１支点荷重となり、ＡｅＰを重力加速度で除したも
のが１支点当りの質量となる。

このように、第９図にはベローズのみを使用した空気ば
ねの水平方向の固有振動数が示され、該：５９図より明
らかなように水平方向の固有振動数ｆｎｈは本例におい
ては３Ｈｚ以下とはならない。

従って、振動伝達率Ｔｒの式から、ｆ　／　ｆ　ｎ　ｈ
≧二丁、すなわちｆ≧こＴ×３となり、ベローズのみを
使用した本例の空気ばねによると床振動は振動数４．２
Ｈｚ以上のものしか除振できないことが理解されるであ
ろう。

１が　　しよ−　　る口 前記のように薄いベローズを使用した空気ばねは、゛水
平方向のばね作用が固く、水平方向の固有振動数ｆｎｈ
が３Ｈｚ近辺、ベローズ直径Ｄｐが２００ｍｍ以上の大
口径のベローズでも、水平方向固有振動数ｆｎｈは２Ｈ
ｚ以下とはならなかった、木発明者等は、これを解決す
る方法として第１Ｏ図に示すように、空気ばねと防振ゴ
ムを併用し水平方向のばね定数を小さくして水平方向の
固有振動数を小さくする空気ばねシステムｌａを提案し
た。

該空気ばねシステムｌａは、第１Ｏ図に１図示されるよ
うに、防振架台（定盤）４と床８との間に空気ばね３０
と、防振ゴム手段５０とを具備する。

空気ばね３０は内部に空所を有し上端が開口した空気ば
ね下金具３２と、前記空気下金具３２の上部開口端に配
置され該空気ばね下金具３２と協働して空気室３４を画
成するベローズ３６と、該ベローズ３６を空気ばね下金
具３２の上端に固定するベローズ押え金具３８とを有す
る。該空気室３４内は圧縮空気が充填され圧力Ｐに保持
されている。前記ベローズ３６には空気ばね下金具４０
が固着され、防振ゴム手段５０が連結される。

防振ゴム手段５０は、防振ゴム５２を平板状の防振ゴム
下金具５４及び防振上金具５６で挟持して構成され、防
振ゴム下金Ａ５４は連結軸５８にて上記空気ばね下金具
４０に固定的に連結され、又防振ゴム１金Ａ５６は直接
定ｓ１４に取付けられる。

しかしながら、この空気ばねシステムｌａによると連結
軸レバーの長さ文が長くなるか、又はばねへの荷重Ｗ（
＝ＡｅＰ）が太きくなると、第１２図に図示するように
、ベローズ３６及び下金具４０が押え金具３８に接触し
空気ばねとしての働きをなさない、所謂、座屈現象が発
生する。

更に詳しく説明すると、第１０図に図示するような空気
ばね３０と防振ゴム手段５０を併用した空気ばねシステ
ムｌａにおいては、水平方向総合ばね定数Ｋｔ（ｋｇ／
ｃｍ）は下記式で表わされる。

Ｋ　　ｔ　　＝　　１　／　　（１／　Ｋ　ｂ　＋　　
１　／　Ｋ　　ｒ　＋　　１　／　Ｋ　ａ　）ここで、 Ｋｂ：ベローズ単体の水平方向ばね定数Ｋｒ：防振ゴム
単体の水平方向ばね定数Ｋａ：ミニ防振ゴムじりばね定
数にθ及び作用荷重のモーメントに由来するばね定 数（Ｋａ＝ＫＯ−ＡｅＰＪＬ）　／１２（１＋　（Ａｅ
Ｐ）／　（Ｋｒｉ）’ｔここでＫＯ＝併用防振ゴムのね
じりばね定数立ニレバーの長さく　ｃ　ｍ　） Ａｅ：空気ばね有効受圧面積（ｃｒｎ’）Ｐ：空気ばね
内のゲージ圧力（ｋ　ｇ　／　ｃ　ｍ″）である。

従って、上記定数Ｋｔは、 Ｋ　ｔ　＝　１　／　［（１／　Ｋ　ｂ　）　＋　（１
／　Ｋ　ｒ　）＋１２　（１＋　（ＡｅＰ）／　（Ｋｒ
ｕ））／　ＣＫＯ−ＡｅＰｌ）］ となる。

このように、空気ばねシステムｌａの総合ばね定数Ｋｔ
はベローズ単体使用のばね定数Ｋｂよりも小さい値とな
り、従って斯る空気ばねシステムｌａにおいては座屈現
象が起り易い。

第１３図に、丸形防振ゴム併用例における総合ばね定ｆ
ｉＫｔの計算値と実測値とが図示される。

この例から丸形防振ゴム併用空気ばねシステムには下記
の問題点があることが分る。

（１）第１３図のＫｔの計算値、実測値とも使用圧力の
増大（＝使用荷重の増大）に伴ないその値が低下する。

この右下りの特性は一般に防振設計上好ましい傾向では
ない、何故なら、ｆｎｈ−（１／　２　π）　　Ｋ　ｔ
　／　Ｍ　カ、Ｍ（７）ｊｌｌ大トＫ　ｔ　ノＸ少の相
乗効果によりｆｎｈの値が急速に低下するからである。

従って、空気ばねシステムにおいては圧力の増大に伴な
いＫｔは略一定値か、あるいは右上りの傾向をもつこと
が望ましい。

（２）本例によると、第１２図に示される座屈現象が発
生する可使性を有し１本例のような丸形防振ゴム併用空
気ばねシステムにおいてはその固有振動数ｆｎｈを、本
発明者等の経験によれば第１４図に示される如く、実用
限界である１、７〜２．０Ｈｚ以下にすることが困難で
ある。

今、併用防振ゴムを丸形とした場合のねじりばね定数Ｋ
Ｏ（ｋｇ＊ｃｍ／ｒａｄ）は、ＫＯ＝　（１／１６）　
・Ｋｃｄ２ ここで、ＫＣ：丸形防振ゴムの圧縮ばね定数（ｋｇ／ｃ
ｍ） ｄ：丸形防振ゴムの直径（ａｍ） であり、又第１１図にて、 Ｗ：空気ばね支持荷重（Ｗ＝ＡｅＰｋｇ）θ：防振ゴム
のねじれ角度（ｒａｄ） δｅ：空気ばね除振台の加工誤差による防振ゴムと空気
ばねベローズとのずれ δｒ：防振ゴムの変位（＝Ｆ／Ｋｒ） であるとすれば、座屈が発生しない条件は。

ＫＯ・θ＞Ｗ　（４１ｓ　ｉ　ｎθ＋δｒ＋δｅ）＋Ｆ
ｌｃｏｓθ ただし、０は大略０にて、ｓｉｎθはθ、ｃｏｓはｌ、
又δｒ　＝　Ｆ　／　Ｋ　ｒであり、ここで精密機器の
除振においては水平力下は存在しないためにＦ冨０、即
ち、δｒ＝ｏとする。

上記各値の具体例を示すと、 ＫＯ：　２８００ｋｇ−Ｃｍ／ｒａｄ 見：４ｃｍ Ｗ　（Ｐ　：　５ｋｇ／ｃｒｎ”）：　３３０ｋｇδｅ
：ｏ、２ｃｍ ０二防振ゴムのねじり変位が０．２ｃｍをもって座屈と
すればθ＝０．２７ ４＝０．０５ｒａｄである。

上式に上記値を代入すると ＫＯ・０〉Ｗ（見θ＋δｅ） ＫＯ＞ｗ　（ｆＬ＋δｅ　／　０　） ＝３３０　（４＋０．２１０．０５） ＝２６４０ 従ッテ、ＫＯ＝２８００＞２６４０と、ｅ４Ｊ、本例に
おいては座屈は発生しないが実際の空気ばね除振台にお
いては防振ゴムのばね定数のバラツキ、機械重心の偏心
による空気ばね上荷重のバラツキを考慮すると、第１４
図に図示するように、実用上の限界が存在する。

（３）防振ゴムの許容荷重は当然のことながら空気ばね
の許容荷重Ｗ＝ＡｅＰ　（Ｐ＝５ｋｇ／ｃｍ″が一般）
以上でなければならず防振ゴムの許容荷重に余裕を持つ
とＫｒとにθが大きくなり防振ゴム併用効果が小さくな
る。換言すれば、空気ばねのＷ　＝　Ａ　ｅ　Ｐに合致
させてキメ細く防振ゴムを選足しなければならない。

１１立１１ 従って、本発明の目的は、上述の如き従来の空気ばねシ
ステムの欠点に鑑みて、特に水平方向のばね定数を大幅
に低下せしめ、即ち、水平方向のばね作用を軟らかくし
それにより固有振動数を小さくし特に水平方向の防振性
能を著しく向上せしめ、しかも座屈現象を生ぜしめない
空気ばねシステムを提供することである。

−　　　　　　　　　　　　　し　　　−　　　　　　
る上記目的は本発明に係る空気ばねシステムにより達成
される。要約すれば本発明は、所定圧力に保持された空
気室を有する空気ばねと、該空気ばねに対し直列態様で
該空気ばねに連結された防振ゴム手段とを具備し、該防
振ゴム手段は複数層に積層されたゴム層から成ることを
特徴とする空気ばねシステムである。

次に図面を参照して本発明に係る空気ばねシステム１０
０について更に詳しく説明する。

ｓ１図を参照すると１本発明に係る空気ばねシステム１
００は、防振架台（定盤）４と床８との間に′空気ばね
１０６と、積層防振ゴム手段ｌＯ８とを具備する。

空気ばね１０６は、従来の空気ばねと同様の構造とする
ことができ、内部に空所を有し上端が開口した空気ばね
下金具１１０と、前記空気下金具１１０の上部開口端に
配置され、該空気ばね下金具１１０と協働して空気室１
１２を画成するベローズ１１４と、＃ベローズ１１４を
空気ばね下金具１１０の上端に固定するベローズ押え金
Ｘ１１６とを有する。該空気室３４内は空気孔１１８を
介して圧縮空気が充填又は排出され、所定の圧力Ｐに保
持されている。前記ベローズ１１４には空気ばね下金具
１２０が止め手段１２２にて固着され、且つ該止め手段
１２２にて積層防振ゴム手段１０８が連結される。

積層防振ゴム手段１０８は、第２図に拡大して図示され
るように、防振ゴム層１０８ａと、平板状の中間金具１
０８ｂとを交互に積層することによって構成される。各
防振ゴム層１０８ａと中間金具１０８ｂとは適当な接着
剤にて接合される。

防ＪｔｌＡゴムＲ１ｏ　ｓ　ａの厚さ及び大きさ、つま
り面積（又は直径）、更には該ゴム層１０８ａと中間金
Ａ１０８ｂから成る精層体の段数は、該空気ばねが支持
すべき荷重及び所要水平方向固有振動数によって種々に
変更し得るが、積層段数は通常８〜１２段とされる。又
、精密機器の防振において、積層防振ゴムの特長が顕著
に認められる荷重範囲は、おおむねｌ支点荷重が５ｋｇ
Ｗ〜１００１００Ｏであり、この荷重範囲にてゴム厚さ
は０．３〜５ｍｍ８度とされる。

又、第１図及び第２図に例示される本実施例では、防振
ゴム手段１０８は、中心に貫通孔１０８Ｃを有した円筒
形状とされるが、本発明に係る防振ゴム手段１０８は斯
る形状に限定されるものではなく、中心孔１０８ｃを有
しない円柱形状であってもよく、又円形以外の形状、例
えば多角形状の柱体とすることもできる。

上記構成の積層防振ゴム手段１０８はその下端及び上端
にそれぞれ防振ゴム下金具１２４及び防振ゴム上金具１
２６が取付けられ、該防振ゴム下金具１２４及び防振ゴ
ム上金具１２６を介して空気ばね下金具１２０、及び定
盤４に固定された防振取付は金具１２８に取付けられる
。

第３図には、本発明に係る空気ばねシステムの他の実施
例が例示される０本実施例の空気ばねシステム１００ａ
においては、ベローズ１１４の形をベロフラムの形状と
して積層防振ゴム手段１０８は、空気室１１２内へと突
入する形態に構成される０本構成によると、防振ゴム併
用の空気ばね装置の全高が小さくなり、床から定盤まで
の高さに制限がある場合に有利となる。

又、第４図に例示されるように、本発明に従った積層防
振ゴム手段１０８は、前記実施例のように、防振ゴム７
９１０８　ａと中間金具１０８ｂとを個個の部材にて形
成し、接着剤等で相互に接合するのではなく１通常ゴム
製品の製造時に利用されている同時埋込成形加工により
、各中間金具１０８ｂを防振ゴム層１０８ａの成形加工
時に該防振ゴム層間に成形時の加硫接着により接着し、
埋設することも回部である。

上述の如くに構成される空気ばねシステム１００に床振
動が加わったとすると、該空気ばねシステム１００は第
１１図に図示すると同様の変形をなすが、本発明におい
ては、上述の如き特徴あるａ層防振ゴム手段１０８の構
成により、従来の防振ゴム併用空気ばねシステムｌａに
利用されている防振ゴム５２の防振ゴム厚に比較しゴム
厚が小さくなり、従って形状係数が大となり、更に防振
ゴム圧縮ばね定数が、従来の防振ゴム併用空気ばねシス
テム１ａに比較し相当に大となる。そのために本発明の
空気ばねシステム１００では、第１２図に図示するよう
な、従来の空気ばねシステムに生じた座屈現象が起こり
難い０次に、この点について更に詳しく説明する。今、
円形の防振ゴムを使用し。

Ｋ”ｃ：積層防振ゴム一層当りの圧縮ばね定数に′ｒ：
積層防振ゴム一層当りの水平方向ばね定数 Ｅａｐ　：ゴムのみかけ上のヤング率 Ｇａｐ：ゴムのみかけ上の横弾性係数 Ｅ：ゴム自体のヤング率 Ｇ：ゴム自体の横弾性係数 Ａ：防振ゴム面積 ｈ：防振ゴム一層当たりの高さ Ｓ：防振ゴム形状係数 とすれば、 Ｋ　′ｃ＝Ｅ　ａ　ｐＸ　（Ａ／ｈ） Ｅａｐ＝Ｇ　（３＋４．９３５３２） Ｓ＝ｄ／（４ｈ） Ｋ　”　ｒ＝Ｇａ　ｐＸ　（Ａ／ｈ） Ｇａｐ＝Ｇ　（１＋　（４／９）　−ｈ２／ｄ２戸が成
立する。

上記の式より直径ｄに対してゴム厚さを小さくすると圧
縮ばね定数に’ｃは形状係数Ｓの影響により大きくなる
が、水平方向のばね定数に’ｒは寸法比により大きな変
化が無いことがわかる。

第１図に例示したように１０段の積層防振ゴム手段１０
ｇの場合は防振ゴム１０８ａの垂直及び水平ばね定数Ｋ
ｃ、Ｋｒは各々 Ｋｃ＝　　（１／　１　０）Ｋ　　’　　ｃＫｒ＝　　
（１／１０）Ｋ”　　ｒ となる。

上述のように本発明によると、水平方向ばね定数Ｋｃが
得られる結果、ねじりばね定数にθが大きくなり防振ゴ
ムの座屈現象が発生しにくくなる。すなわち、 Ｋθ＝（Ｋｃ−ｄ２）／１６ Ｋ　ｔ　＝　１／　　［（１／Ｋ　ｂ）＋　　（１／Ｋ
　ｒ）＋１２　（１＋ＡｅＰ／　　（Ｋｒ　−ＪＬ））
／（Ｋｃ−ＡｅＰｌ）］ ニオイテ、Ｋｃ＞＞Ａ　ｅ　Ｐｉであり、又本発明にお
いては、第１０図に図示される従来の空気ばねシステム
１ａのレバーの長さ見に相当する部分をを小さくするこ
とにより、５Ｌ２　［１＋ＡｅＰ／（Ｋｒ１１！Ｌ）］
の項を、（１／Ｋｂ）又は（１／Ｋｒ）の値に比較し、
十分に小さくすることが可能となる。この結果、総合ば
ね定数Ｋｔは大略１／　（（１／Ｋ　ｂ）＋　（１／Ｋ
　ｒ））となり、上述のように従来の第１０図に図示さ
れる防振ゴム併用の空気ばねシステムより大となる。

更に、本発明においては、ａ層防振ゴム手段１０８の各
防振ゴム１０８ａのゴム厚さを小さくすることにより防
振ゴムが支持できる許容荷重が大きくなり、防振設計が
許容荷重に制約されることが少なく、従って本発明に係
る空気ばねシステム・ｌ　ＯＯの適用範囲が拡大し設計
の自由度が拡大する。

第１５図に本発明に係る積層型空気ばねシステム１００
の総合ばね定数Ｋｔの実測例を示す。

又、該第１５図の値にもとづく水平方向固有振動数ｆｎ
ｈの計算値を第１６図に示す、該第１５図及び第１６図
から１本発明に係る空気ばねシステム１００が従来の空
気ばね１及び防振ゴム併用空気ばねシステムｌａより優
れていることが理解されるであろう。

第１表には、第１０図に図示する丸型防振ゴム併用空気
ばねシステムｌａと１本発明に係る積層型防振ゴム空気
ばねシステム１００との特性を例示する。線表より、本
発明によると、水平ばね定数を小さくし得るにも拘らず
、圧縮ばね定数及びねじりばね定数は大となることが理
解されるであろう。

第１表 但し、Ａｅ＝６６ｃゴ、Ｐ＝５Ｋｇ／ｃｔｎ’上記第１
表によれば、大型防振ゴムにおいてねじりばね定数Ｋａ
の総合ばね定数Ｋｔに対する比重は５４％であるが、積
層防振ゴムにおいてはねじりばね定数Ｋａの総合ばね定
数Ｋｔに対する比重は１１％であり、積層防振ゴムにお
いてはねじりばね定数Ｋａの総合ばね定数Ｋｔに対する
影響゛が小さく、Ｋ　ｔ　＝　１　／　（１／　Ｋ　ｂ
　＋　ｌ　／　Ｋ　ｒ　）とし得ることが理解されるで
あろう。

ｌ見立Ａ」 本発明に係るｔＩｉ層型防振ゴム併用空気ばねシステム
は、上述のように構成されるので、特に水平方向のばね
定数を大幅に低下せしめ、即ち、水平方向のばね作用を
軟らかくしそれにより固有振動数を小さくシ、特に水平
方向の防振性能を著しく向上せしめ、しかも圧縮ばね定
数及びねじりばね定数を大とすることができ、それによ
って座屈現象を生ぜしめ難いという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係るｍ層型防振ゴム併用空気ばねシ
ステムの一実施例の断面図である。 第２図は、積層防振ゴム手段の部分斜視図である。 第３図及び第４図は、本発明に係る積層型防振ゴム併用
空気ばねシステムの他の実施例の断面図である。 第５図は、従来の空気ばねシステムの断面図である。 第６図及び第７図は、第５図の空気ばねシステムにおけ
る空気ばねの作Ｓ態様を説明する図である。 第８図は、第５図の空気ばねシステムにおけるベローズ
の水平方向ばね定数を示す図である。 第９図は、第５図の空気ばねシステムの水平方向固有振
動数を示す図である。 第１０図は、従来の防振ゴム併用空気ばねシステムの断
面図である。 第１１図及び第１２図は、第１０図の作動態様を説明す
る断面図である。 第１３図は、第１Ｏ図の空気ばねシステムにおける大型
防振ゴムの総合水平方向ばね定数を示す図である。 第１４図は、第１θ図の空気ばねシステムの水平方向固
有板ｇｊａを示す図である。 第１５図及び第１６図は、本発明に係る空気ばねシステ
ム総合水平ばね定数及び水平方向固有振動数を示す図で
ある。 １０６：空気ばね １０８　：＠層防振ゴム手段 １０８ａ：防振ゴム層 １０８ｂ：中間金具 已、“Ｉ−−ラ 第３図 ル 第４図 第５図 第６図 Ｑ 第７図 ε 第８図 第１１図 第１２図 第１３図 −を凡１！’／Ｊ）ｆ−力 第１４図 モ 第１５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）上面がベローズにより封止され、所定圧力に保持さ
   れた空気室を有する空気ばねと、複数のゴム層及び中間
   金具を交互に積層したものを、前記空気ばねのベローズ
   上に直列態様で連結して成る防振ゴム手段とを具備する
   ことを特徴とする積層型防振ゴム併用空気ばねシステム
   。