JPS62171806A

JPS62171806A - カセツト取り出し・取り入れ装置

Info

Publication number: JPS62171806A
Application number: JP1445486A
Authority: JP
Inventors: Hisao Kuroda; 黒田　久雄; Susumu Sakano; 坂野　進
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1986-01-25
Filing date: 1986-01-25
Publication date: 1987-07-28
Anticipated expiration: 2010-07-26
Also published as: JPH0767961B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、たとえばＬＳＩを製造する場合に、カセット
ケースから自動的にＬＳＩウェハの入ったカセットを取
り出して製造装置にカセットを渡し、また、製造装置か
らカセットを受取り、カセットケース内に自動的にカセ
ットを収納する装置に関するものである。

〔従来の技術）ＬＳＩの製造においては、塵埃のＬＳＩウェハへの付着
が製造歩留りに大きな影響を与えるため、通常ＬＳＩウ
ェハを２５枚収納するカセットをカセットケースの中に
入れで運搬している。

運搬の方法としては、人手によるもの、あるいは搬送車
によるものが大部分であるが、最近ロボット（マニピュ
レータと自走車）を用いた運搬も出現しつつある。　　
　　□ 〔発明が解決しようとする問題点〕ところが、上記の何れの運搬方法を用いても、カセット
ケースからカセットを取り出し、製造装置にカセットを
装填する段階では自動化されておらず、人手によってな
されているのが現状である。

ＬＳＩ製造クリーンルームにおいて、人は最大の塵埃発
生源であり、カセットケース、搬送車等は清浄な状態に
あるものの、製造装置へカセットを装填する作業は上記
の如く人手で行っている。

このためＬＳＩウェハが塵埃で汚染され、これが歩留り
低下等を招く原因となっている。

したがって、カセットケースからカセットを取り出し、
製造装置へカセットを装填する作業を、人手によること
なく自動化されるような技術が望まれている。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、カセット
ケースへのカセットの出し入れを自動的に行なうことが
でき、このためＬＳＩウェハが塵埃で汚染されることの
ないような装置を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、カセットが載置される下板と、この下板上に
被せる上蓋が上下分離可能で、この上蓋外側面に係合用
突部が設けられたカセットケースから前記カセットを取
り出し、また同カセットケースにカセットを取り入れる
装置であって、前記カセットケースが載置される上下移
動自在のステージを備えた装置ケーシングと、前記ステ
ージを上下に移動させる上下動機構と、前記装置ケーシ
ング上部に設けられ、ステージ上のカセットケースが上
方位置から下降する際前記上蓋外側面の係合用突部がの
る受部を有し、この受部に係合用突部がのることにより
上蓋を支持する上蓋支持枠と、前記装置ケーシング下部
に設けられ、下方位置にある前記ステージ上に載置され
た前記下板上から前記力セラ１〜を移動し、また、同下
板上から前記カセットを移動し、また、同下板上にカセ
ットを移動させるハンドとからなることを特徴としてい
る。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図ないし第３図を参照し
て説明する。

第１図は装置全体の正面断面図、第２図は装置上部の側
断面図である。これら図中符号１で示したものは装置ケ
ーシングを構成する装填ボックス、２はこの装填ボック
ス１の上に固定された上蓋支持枠を構成する四角筒状の
収納ボックスを示している。装填ボックス１の底部から
収納ボックス２の下端部に旦っては、装填ボックス１の
底板部に設けられた駆動モータ３によって回転駆動され
る送りネジ４が設けられている。この送りネジ４には支
持台５がはめられており、この支持台５にはステージ６
が一体的に取り付けられている。

一方、収納ボックス２の対向した内壁面には、第２図に
示すように上面に突起８を有する受部９゜９が突設され
ている。

そして、駆動モータ３を作動させ、送りネジ４が回動す
ることにより、支持台５を介してステージ６が装填ボッ
クス１と収納ボックス２との間で上下動するようになっ
ている。なお、装填ボックス１の底部にはステージ６に
貫通するガイド棒７が立設されている。このガイド棒７
はステージ６を円滑に上下動させるためのものである。

以上が本装置の構成であり、次に、第２図および第３図
に示した本装置に用いられるカセットケース１０につい
て説明する。

このカセットケース１０は、ＬＳＩウェハを約２５個人
れたカセット１１が収納されるもので、四角い上蓋１２
とカセット１１がのる下板１３とからなっている。これ
ら上蓋１２と下板１３とには特に係合手段はなく、上蓋
１２は単に根板１３に被さるようになっている。また、
上蓋１２の対向する周面側所定位置には、係合用突部と
して下面に凹所（図示略）を有する７ランジ１４．１４
が突設されている。

また、前記装填ボックス１の側方には、カセットをつか
み次工程の製造装置へ運ぶための把持・移動用ハンド１
５が配置されている。

次に、上記の装置およびカセットケース１０を−６＝用いてカセット１１を次工程の製造装置に送る手順およ
び作動などを第２図および第３図を参照して説明する。

（１）まず、第２図に示すようにステージ６を上昇させ
た状態にし、人手あるいは搬送装置によりカセット１１
が収納されたカセットケース１ｏをステージ６上にのせ
る。このとき、カセットケース１０の上蓋１２のフラン
ジ１４．１４と収納ボックス２内壁の受部９．９とが上
から見たときに重なるようにカセットケース１０を配置
する。この状態では受部９，９とフランジ１４．１４は
接触していない。

（２）駆動モータ３を作動して送りネジ４を回動させ、
支持台５を介してステージ６を降下させる。

すると、やがてカセットケース１ｏの上蓋１２のフラン
ジ１４．１４が受部９，９に引っ掛かり、さらにステー
ジ６が下方に移動するとカセットケース１０の上蓋１２
と下板１３とは離れる。つまり上蓋１２があいた状態と
なる。このとき、受部９．９の突起８は７ランジ１４．
１４下面に形成された凹所にはまり、このため、上蓋１
２は静止するとともに、位置決めがなされる。

（３）ステージ６をさらに降下させ、第３図に示すよう
にカセット１１が装填ボックス１内に入った状態になっ
たとき、駆動モータ３を停止してステージ６の降下をと
める。このとき、カセット１１はカセットケース１０の
下板１３の上に置かれた状態となっている。

（４）次に、カセット把持・移動用ハンド１５を駆動さ
せる。ハンド１５はカセット１１を把持してから一点鎖
線で示したように製造装置の置かれている方向に運ぶ。

以上がカセット１１をカセットケース１０から製造装置
へ移す手順および作動であるが、製造装置からカセット
１１をカセットケース１０内に収納するには上記過程を
逆に行えばよい。

このように、本装置ならびにカセットケース１０によっ
て、カセットケース１０内からカセット１１を取りだし
て製造装置に運ぶ作業、あるいはその逆に製造装置から
カセットケース１０内にカセット１１を収納する作業が
人手によらず自動的に行えるようになった。この結果、
ＬＳＩウェハの汚染を避けることができ、歩留りの向上
が図れることができる。また、作業員をクリーンルーム
から減らすことができることによって製造の合理化がな
され、さらに、クリーンルーム全体の清浄度が増すとい
う利点も備えている。

なお、収納ボックス２内にカセットケース１０が入って
いる際に、収納ボックス２の上部開口から清浄な空気を
カセットケース１０に吹き付けて、人手または搬送装置
で運搬中にカセットケース１０に付着した塵埃を除去す
るようにしてもよい。

また、前記開口を、人手により、または自動的゛に開閉
するような扉を収納ボックス２上部に設け、カセットケ
ース１０が内部に入っているときにこの扉で開口を閉じ
るようにすれば収納ボックス２内の清浄度はさらによく
なる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明のカセット取り出し・取り
入れ装置によれば、カセットケース内からカセットを取
り出す、あるいはカセットをカセットケース内に収納す
る作業を従来のような人手でなく機械により自動的に行
うことにより、最大の発塵源である人からの塵埃による
ＬＳＩウェハの汚染を避けることができ、ＬＳＩ製造の
歩留り　。

向上を図ることが出来るとともに、人をクリーンルーム
内から減らすことが出来、製造の合理化、さらにクリー
ンルーム全体の清浄度の向上が可能となるというすぐれ
た効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図【は本発明の一実施例を示す図であ
って、第１図は装置全体の正面断面図、第２図および第
３図はその上部側断面図で、装置の動作を説明する図で
ある。１・・・装填ボックス（装置ケーシング）、２・・・収
納ボックス（上蓋支持枠）、３・・・駆動モータ（上下
動機構）、４・・・送りネジ（上下動機構）、６・・・
ステージ、９，９・・・受部、１０・・・カセットケー
ス、１１・・・カセット、１２・・・上蓋、１３・・・
下板、１４゜１４・・・フランジ（係合用突部）。第８図Ｉｌ゛　　力しＶト

Claims

【特許請求の範囲】

カセットが載置される下板と、この下板上に被せる上蓋
が上下分離可能で、この上蓋外側面に係合用突部が設け
られたカセットケースから前記カセットを取り出し、ま
た同カセットケースにカセットを取り入れる装置であっ
て、前記カセットケースが載置される上下移動自在のス
テージを備えた装置ケーシングと、前記ステージを上下
に移動させる上下動機構と、前記装置ケーシング上部に
設けられ、ステージ上のカセットケースが上方位置から
下降する際前記上蓋外側面の係合用突部がのる受部を有
し、この受部に係合用突部がのることにより上蓋を支持
する上蓋支持枠と、前記装置ケーシング下部に設けられ
、下方位置にある前記ステージ上に載置された前記下板
上から前記カセットを移動し、また、同下板上からカセ
ットを移動し、また、同下板上にカセットを移動させる
ハンドとからなることを特徴とするカセット取り出し・
取り入れ装置。