JPH09115997A - 収納カセット - Google Patents
収納カセットInfo
- Publication number
- JPH09115997A JPH09115997A JP26985395A JP26985395A JPH09115997A JP H09115997 A JPH09115997 A JP H09115997A JP 26985395 A JP26985395 A JP 26985395A JP 26985395 A JP26985395 A JP 26985395A JP H09115997 A JPH09115997 A JP H09115997A
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- Japan
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- storage cassette
- opening
- attached
- door
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送および保管する工程で基板にゴミなどの
異物の付着や有機ガスなどのミストの付着を低減するこ
とができるとともに、基板の取り出し作業および収納作
業が自動化できる収納カセットを提供する。 【解決手段】 上部体１と、下部体２と、該下部体２に
立設して前記上部体１を支持する支持体３とからなり、
該支持体３に複数の基板７を水平及び垂直に取り出しお
よび収納できる開口部６を有する箱型の収納カセットで
あって、前記開口部６側の上部体１の両側部に取り付け
られた開閉機構Ａにより前記開口部６を開放および密閉
するために開閉自在に支持された扉４が設けられてい
る。
異物の付着や有機ガスなどのミストの付着を低減するこ
とができるとともに、基板の取り出し作業および収納作
業が自動化できる収納カセットを提供する。 【解決手段】 上部体１と、下部体２と、該下部体２に
立設して前記上部体１を支持する支持体３とからなり、
該支持体３に複数の基板７を水平及び垂直に取り出しお
よび収納できる開口部６を有する箱型の収納カセットで
あって、前記開口部６側の上部体１の両側部に取り付け
られた開閉機構Ａにより前記開口部６を開放および密閉
するために開閉自在に支持された扉４が設けられてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は収納カセットに関す
る。さらに詳しくは、液晶表示装置に用いられるガラス
基板を搬送および保管するための収納カセットに関す
る。
る。さらに詳しくは、液晶表示装置に用いられるガラス
基板を搬送および保管するための収納カセットに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の収納カセットは、たとえば図５に
示すように、平板状の上部体５０と下部体５１、および
複数の支持部材５２から構成され、該支持部材５２の内
壁面に溝５３が形成されている。そして基板５４は、開
口部５５から溝５３に差し込んで収納できるようにされ
ている。基板５４を収納した収納カセットは、クリーン
ルーム内の製造工程で基板製造装置の載置部から別の基
板製造装置の載置部へ搬送されたり、基板製造装置の載
置部とカセット保管庫の保管部とのあいだで搬送と保管
が繰り返し行なわれている。前記クリーンルーム内の雰
囲気は充分な空気清浄度が確保されているが、収納カセ
ットの搬送および保管時に作業者や床面などから飛散し
たゴミなどの異物が基板表面に付着したり、基板処理時
の有機ガスなどのミストがクリーンルーム内を浮遊して
基板表面に付着することがある。そして、異物やミスト
が付着したまま、基板をプロセス処理すると液晶表示装
置の品質が低下する惧れがある。そのため、従来は、収
納カセットを容器の中に収納したり、収納カセットの上
部から上板と４つの側板を有した収納カバーを被せて、
搬送および保管を行なうようにしている。
示すように、平板状の上部体５０と下部体５１、および
複数の支持部材５２から構成され、該支持部材５２の内
壁面に溝５３が形成されている。そして基板５４は、開
口部５５から溝５３に差し込んで収納できるようにされ
ている。基板５４を収納した収納カセットは、クリーン
ルーム内の製造工程で基板製造装置の載置部から別の基
板製造装置の載置部へ搬送されたり、基板製造装置の載
置部とカセット保管庫の保管部とのあいだで搬送と保管
が繰り返し行なわれている。前記クリーンルーム内の雰
囲気は充分な空気清浄度が確保されているが、収納カセ
ットの搬送および保管時に作業者や床面などから飛散し
たゴミなどの異物が基板表面に付着したり、基板処理時
の有機ガスなどのミストがクリーンルーム内を浮遊して
基板表面に付着することがある。そして、異物やミスト
が付着したまま、基板をプロセス処理すると液晶表示装
置の品質が低下する惧れがある。そのため、従来は、収
納カセットを容器の中に収納したり、収納カセットの上
部から上板と４つの側板を有した収納カバーを被せて、
搬送および保管を行なうようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記収
納カセットを容器に収納したり、収納カバーを被せたり
する方法では、容器および収納カバーが収納カセットと
は別個であるため、容器への収納作業および収納カバー
の被せ作業などの取り扱いが面倒であるとともに、基板
を収納カセットから取り出したり、収納カセットに収納
するばあい、自動化が困難となる問題がある。
納カセットを容器に収納したり、収納カバーを被せたり
する方法では、容器および収納カバーが収納カセットと
は別個であるため、容器への収納作業および収納カバー
の被せ作業などの取り扱いが面倒であるとともに、基板
を収納カセットから取り出したり、収納カセットに収納
するばあい、自動化が困難となる問題がある。
【０００４】本発明は、叙上の事情に鑑み、搬送および
保管する工程で基板にゴミなどの異物の付着や有機ガス
などのミストの付着を低減することができるとともに、
基板の取り出し作業および収納作業が自動化できる収納
カセットを提供することを目的とする。
保管する工程で基板にゴミなどの異物の付着や有機ガス
などのミストの付着を低減することができるとともに、
基板の取り出し作業および収納作業が自動化できる収納
カセットを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の収納カセット
は、上部体と、下部体と、該下部体に立設して前記上部
体を支持する支持体とからなり、該支持体に複数の基板
を水平及び垂直に取り出しおよび収納できる開口部を有
する箱型の収納カセットであって、前記開口部側の上部
体の両側部に取り付けられた開閉機構により前記開口部
を開放および密閉するために開閉自在に支持された扉が
設けられてなることを特徴としている。
は、上部体と、下部体と、該下部体に立設して前記上部
体を支持する支持体とからなり、該支持体に複数の基板
を水平及び垂直に取り出しおよび収納できる開口部を有
する箱型の収納カセットであって、前記開口部側の上部
体の両側部に取り付けられた開閉機構により前記開口部
を開放および密閉するために開閉自在に支持された扉が
設けられてなることを特徴としている。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
の収納カセットを説明する。
の収納カセットを説明する。
【０００７】図１は本発明の収納カセットの一実施例を
示す斜視図、図２は図１における開閉機構の拡大図、図
３は開閉機構の他の実施例を示す拡大図、図４は図３に
おける開閉機構の部分切欠平面図である。
示す斜視図、図２は図１における開閉機構の拡大図、図
３は開閉機構の他の実施例を示す拡大図、図４は図３に
おける開閉機構の部分切欠平面図である。
【０００８】図１〜２に示すように、収納カセットは、
上部体１と、下部体２と、該下部体２に立設して前記上
部体１を支持する支持体３と、開閉機構Ａにより開閉自
在に支持された扉４から構成される箱型を呈している。
前記支持体３の内壁面には収納溝５が形成されており、
前記扉４を開放して開口部６から複数の基板７が支持体
３の収納溝５に水平及び垂直に取り出しおよび収納でき
るようにされている。本実施例では、支持体３は複数の
支持部材３ａから構成され、異物などの浸入を防止する
ために、各支持部材３ａの側周部に防塵用のシートカバ
ー８が着脱自在に装着されており、収納カセット内を密
閉状態に保持している。９は補強バンドである。前記シ
ートカバー８は収納カセットを洗浄するときに取り外し
できるため、カセット自体に付着したゴミなどの異物の
洗浄を比較的簡便に行なうことができる。なお本発明に
おいては、複数の支持部材に限定されるものではなく、
３つの側面を平板の支持体にすることもできる。
上部体１と、下部体２と、該下部体２に立設して前記上
部体１を支持する支持体３と、開閉機構Ａにより開閉自
在に支持された扉４から構成される箱型を呈している。
前記支持体３の内壁面には収納溝５が形成されており、
前記扉４を開放して開口部６から複数の基板７が支持体
３の収納溝５に水平及び垂直に取り出しおよび収納でき
るようにされている。本実施例では、支持体３は複数の
支持部材３ａから構成され、異物などの浸入を防止する
ために、各支持部材３ａの側周部に防塵用のシートカバ
ー８が着脱自在に装着されており、収納カセット内を密
閉状態に保持している。９は補強バンドである。前記シ
ートカバー８は収納カセットを洗浄するときに取り外し
できるため、カセット自体に付着したゴミなどの異物の
洗浄を比較的簡便に行なうことができる。なお本発明に
おいては、複数の支持部材に限定されるものではなく、
３つの側面を平板の支持体にすることもできる。
【０００９】前記開閉機構Ａは、前記開口部６側の上部
体１の両側部に取り付けられており、フランジ１０と該
フランジ１０に挿通される回転支持軸１１から構成され
ている。前記扉４は、回転支持軸１１の周面に固着され
ている。また該回転支持軸１１の軸端部には、４つのカ
ット面１２を有する矩形状の回転ノブ１３が取り付けら
れているため、回転ノブ１３を回転させることにより前
記扉４を開閉することができる。そして前記カット面１
２は把持しやすいため、ロボットハンドなどにより扉４
を自動開閉することができる。前記回転支持軸１１の軸
受部には、該回転支持軸１１の回転運動により扉４を開
閉させるときに発生しやすい摩耗粉などの塵を防ぐため
に、防塵カバーを取り付けるのが好ましい。
体１の両側部に取り付けられており、フランジ１０と該
フランジ１０に挿通される回転支持軸１１から構成され
ている。前記扉４は、回転支持軸１１の周面に固着され
ている。また該回転支持軸１１の軸端部には、４つのカ
ット面１２を有する矩形状の回転ノブ１３が取り付けら
れているため、回転ノブ１３を回転させることにより前
記扉４を開閉することができる。そして前記カット面１
２は把持しやすいため、ロボットハンドなどにより扉４
を自動開閉することができる。前記回転支持軸１１の軸
受部には、該回転支持軸１１の回転運動により扉４を開
閉させるときに発生しやすい摩耗粉などの塵を防ぐため
に、防塵カバーを取り付けるのが好ましい。
【００１０】前記扉４には、その全開時および密閉時に
該扉４を固定するための固定機構が備えられている。こ
の固定機構としては、扉４に取り付けられる第１の吸着
部材１４と上部体１および支持体３に取り付けられる第
２の吸着部材１５から構成される。前記第１の吸着部材
１４と第２の吸着部材１５は、本実施例では、第１の吸
着部材１４をマグネットとし、第２の吸着部材１５を磁
性体としているが、本発明においては、これに限定され
るものではなく、第１の吸着部材を磁性体とし、第２の
吸着部材をマグネットとすることもできるし、または第
１の吸着部材と第２の吸着部材を凹凸嵌合とすることも
できる。また前記第２の吸着部材１５は、支持体３に取
り付けられているが、本発明においては、下部体２に取
り付けてもよい。前記固定機構により、収納カセットの
搬送および保管に際し、扉４の密閉の位置が保持できる
ため、振動や衝撃などにより基板７が飛び出すことがな
い。また基板７を収納カセットから取り出したり、該カ
セットに収納したりするばあい、扉４の開放の位置が保
持できるため、振動や衝撃などにより扉４が急に閉じて
基板７を損傷することがない。なお１６は搬送用の取手
であり、扉４を全開するときには横に倒すことができる
ように回転支持されている。
該扉４を固定するための固定機構が備えられている。こ
の固定機構としては、扉４に取り付けられる第１の吸着
部材１４と上部体１および支持体３に取り付けられる第
２の吸着部材１５から構成される。前記第１の吸着部材
１４と第２の吸着部材１５は、本実施例では、第１の吸
着部材１４をマグネットとし、第２の吸着部材１５を磁
性体としているが、本発明においては、これに限定され
るものではなく、第１の吸着部材を磁性体とし、第２の
吸着部材をマグネットとすることもできるし、または第
１の吸着部材と第２の吸着部材を凹凸嵌合とすることも
できる。また前記第２の吸着部材１５は、支持体３に取
り付けられているが、本発明においては、下部体２に取
り付けてもよい。前記固定機構により、収納カセットの
搬送および保管に際し、扉４の密閉の位置が保持できる
ため、振動や衝撃などにより基板７が飛び出すことがな
い。また基板７を収納カセットから取り出したり、該カ
セットに収納したりするばあい、扉４の開放の位置が保
持できるため、振動や衝撃などにより扉４が急に閉じて
基板７を損傷することがない。なお１６は搬送用の取手
であり、扉４を全開するときには横に倒すことができる
ように回転支持されている。
【００１１】つぎに開閉機構の他の実施例を説明する。
図３〜４に示すように、開閉機構Ｂには、扉４の回転支
持軸２１の軸受部に、該回転支持軸２１の回転運動によ
る摩耗を低減するためのベアリング２２が取り付けられ
ている。このベアリング２２は、回転支持軸２１のラジ
アルを受ける円筒部２３とスラストを受けるフランジ部
２４から構成されている。そしてベアリング２２として
は、たとえば焼結軸受、樹脂軸受、玉軸受、コロ軸受な
どを用いることができる。また本実施例では、扉４の開
閉時にベアリング２２から発生する発塵をも低減するた
めに、防塵カバー２５が取り付けられている。防塵カバ
ー２５の下端フランジ２６と回転支持軸２１とのあいだ
の取付け隙間２７は、小さくされているため、前記発塵
がクリンルーム内に飛散しにくい。
図３〜４に示すように、開閉機構Ｂには、扉４の回転支
持軸２１の軸受部に、該回転支持軸２１の回転運動によ
る摩耗を低減するためのベアリング２２が取り付けられ
ている。このベアリング２２は、回転支持軸２１のラジ
アルを受ける円筒部２３とスラストを受けるフランジ部
２４から構成されている。そしてベアリング２２として
は、たとえば焼結軸受、樹脂軸受、玉軸受、コロ軸受な
どを用いることができる。また本実施例では、扉４の開
閉時にベアリング２２から発生する発塵をも低減するた
めに、防塵カバー２５が取り付けられている。防塵カバ
ー２５の下端フランジ２６と回転支持軸２１とのあいだ
の取付け隙間２７は、小さくされているため、前記発塵
がクリンルーム内に飛散しにくい。
【００１２】なお本発明の収納カセットには、図１に示
すように収納された基板７の処理状態や保管場所などの
保管状態をカセット本体で管理できるようにＩＤカード
３０を備え付けてもよい。
すように収納された基板７の処理状態や保管場所などの
保管状態をカセット本体で管理できるようにＩＤカード
３０を備え付けてもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明の収納カセ
ットでは、搬送および保管のときに、収納された基板表
面にゴミなどの異物の付着や有機ガスなどのミストの付
着が低減される。また扉の開閉が自動化できるため、基
板の取り出しおよび収納を行なう自動搬送装置に適用す
ることができる。
ットでは、搬送および保管のときに、収納された基板表
面にゴミなどの異物の付着や有機ガスなどのミストの付
着が低減される。また扉の開閉が自動化できるため、基
板の取り出しおよび収納を行なう自動搬送装置に適用す
ることができる。
【図１】本発明の収納カセットの一実施例を示す斜視図
である。
である。
【図２】図１における開閉機構の拡大図である。
【図３】開閉機構の他の実施例を示す拡大図である。
【図４】図３における開閉機構の部分切欠平面図であ
る。
る。
【図５】従来の収納カセットの一例を示す斜視図であ
る。
る。
１ 上部体 ２ 下部体 ３ 支持体 ３ａ 支持部材 ４ 扉 ６ 開口部 ７ 基板 ８ シートカバー １０ フランジ １１、２１ 回転支持軸 １３ 回転ノブ １４ 第１の吸着部材 １５ 第２の吸着部材 ２２ ベアリング ２５ 防塵カバー Ａ、Ｂ 開閉機構
Claims (11)
- 【請求項１】 上部体と、下部体と、該下部体に立設し
て前記上部体を支持する支持体とからなり、該支持体に
複数の基板を水平及び垂直に取り出しおよび収納できる
開口部を有する箱型の収納カセットであって、前記開口
部側の上部体の両側部に取り付けられた開閉機構により
前記開口部を開放および密閉するために開閉自在に支持
された扉が設けられてなることを特徴とする収納カセッ
ト。 - 【請求項２】 前記開閉機構がフランジと該フランジに
挿通される回転支持軸からなる請求項１記載の収納カセ
ット。 - 【請求項３】 前記回転支持軸の軸端部に回転ノブが取
り付けられてなる請求項２記載の収納カセット。 - 【請求項４】 前記回転支持軸の軸受部にベアリングが
取り付けられてなる請求項３記載の収納カセット。 - 【請求項５】 前記回転支持軸の軸受部に防塵カバーが
取り付けられてなる請求項３記載の収納カセット。 - 【請求項６】 前記ベアリングに防塵カバーが取り付け
られてなる請求項４記載の収納カセット。 - 【請求項７】 前記扉の全開時および密閉時に該扉を固
定するための固定機構が備えられてなる請求項１、２、
３、４、５または６記載の収納カセット。 - 【請求項８】 前記固定機構が扉に取り付けられる第１
の吸着部材と上部体および支持体に取り付けられる第２
の吸着部材とからなる請求項７記載の収納カセット。 - 【請求項９】 前記固定機構が扉に取り付けられる第１
の吸着部材と上部体および下部体に取り付けられる第２
の吸着部材とからなる請求項７記載の収納カセット。 - 【請求項１０】 前記支持体が複数の支持部材からな
り、該支持部材の側周部にシートカバーが着脱自在に装
着されてなる請求項１、２、３、４、５、６、７、８ま
たは９記載の収納カセット。 - 【請求項１１】 収納された基板の処理状態や保管場所
の保管状態を管理できるＩＤカードが備えられてなる請
求項１、２、３、４、５、６、７、８、９または１０記
載の収納カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26985395A JPH09115997A (ja) | 1995-10-18 | 1995-10-18 | 収納カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26985395A JPH09115997A (ja) | 1995-10-18 | 1995-10-18 | 収納カセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09115997A true JPH09115997A (ja) | 1997-05-02 |
Family
ID=17478117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26985395A Pending JPH09115997A (ja) | 1995-10-18 | 1995-10-18 | 収納カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09115997A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003205991A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-07-22 | Yodogawa Hu-Tech Kk | 板状物搬送容器 |
| JP2010089835A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-04-22 | Daifuku Co Ltd | 基板用収納容器 |
| WO2010090276A1 (ja) * | 2009-02-06 | 2010-08-12 | シャープ株式会社 | カセット |
| US8342327B1 (en) | 2011-07-07 | 2013-01-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Cassette for accommodating substrates |
| US8733547B2 (en) | 2011-07-07 | 2014-05-27 | Samsung Display Co., Ltd. | Cassette for accomodating substrates |
| CN110203521A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-06 | 温州源利智能科技有限公司 | 一种晶片周转盒 |
| CN110735595A (zh) * | 2019-09-28 | 2020-01-31 | 浙江雅市晶科技有限公司 | 一种磁力控制开关的卡匣门帘 |
-
1995
- 1995-10-18 JP JP26985395A patent/JPH09115997A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003205991A (ja) * | 2001-11-09 | 2003-07-22 | Yodogawa Hu-Tech Kk | 板状物搬送容器 |
| JP2010089835A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-04-22 | Daifuku Co Ltd | 基板用収納容器 |
| WO2010090276A1 (ja) * | 2009-02-06 | 2010-08-12 | シャープ株式会社 | カセット |
| JPWO2010090276A1 (ja) * | 2009-02-06 | 2012-08-09 | シャープ株式会社 | カセット |
| US8342327B1 (en) | 2011-07-07 | 2013-01-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Cassette for accommodating substrates |
| US8733547B2 (en) | 2011-07-07 | 2014-05-27 | Samsung Display Co., Ltd. | Cassette for accomodating substrates |
| CN110203521A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-09-06 | 温州源利智能科技有限公司 | 一种晶片周转盒 |
| CN110735595A (zh) * | 2019-09-28 | 2020-01-31 | 浙江雅市晶科技有限公司 | 一种磁力控制开关的卡匣门帘 |
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