JPS62169441A - ウエハの位置合せ装置 - Google Patents
ウエハの位置合せ装置Info
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- JPS62169441A JPS62169441A JP1167386A JP1167386A JPS62169441A JP S62169441 A JPS62169441 A JP S62169441A JP 1167386 A JP1167386 A JP 1167386A JP 1167386 A JP1167386 A JP 1167386A JP S62169441 A JPS62169441 A JP S62169441A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 48
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 230000003796 beauty Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、位置合わせのために２つの切欠部・・・オリ
エンテーションフラット（以下オリフラと言う）・・・
を有するウニノ・を位置合せするための位置合せ装置、
に関する。
エンテーションフラット（以下オリフラと言う）・・・
を有するウニノ・を位置合せするための位置合せ装置、
に関する。
（発明の背景〕
従来、ウェハには１つのオリフラを形成するものが普通
であったが、近年、サブのオリフラを形成したウェハが
現出するに至った。このものは、長さの異なるメインと
サブのオリフラを有することになるのであるが、長い方
をメインとじ、短い万をサブとして用いるものである。
であったが、近年、サブのオリフラを形成したウェハが
現出するに至った。このものは、長さの異なるメインと
サブのオリフラを有することになるのであるが、長い方
をメインとじ、短い万をサブとして用いるものである。
しかして、従来のように１つのオリフラを対象にした位
置合せ装置では、例えば特公昭５５−３９９０１号公報
に示されている如く、１つの光電変換素子をウェハの中
心を通る軸線に沿うように配設し、他の１つの光電変換
素子を上記軸線と直角方向に移動した位置に予設し、オ
リフラが上記軸線と直角になりたときに２つの光電変換
素子に入射する光量が一致するようになしたものである
。
置合せ装置では、例えば特公昭５５−３９９０１号公報
に示されている如く、１つの光電変換素子をウェハの中
心を通る軸線に沿うように配設し、他の１つの光電変換
素子を上記軸線と直角方向に移動した位置に予設し、オ
リフラが上記軸線と直角になりたときに２つの光電変換
素子に入射する光量が一致するようになしたものである
。
しかしながら、このような方法による装置では、オリフ
ラが１つの場合は良いが、オリフラが２つあると、その
識別を考慮しなければならず、そのまま単純に適用でき
ない、という問題がありた。
ラが１つの場合は良いが、オリフラが２つあると、その
識別を考慮しなければならず、そのまま単純に適用でき
ない、という問題がありた。
（発明の目的）
本発明はこれらの欠点を解決し、２つのオリフラがあり
ても確実にそれらを区別して位置合わせできる装置を得
ることを目的とする。
ても確実にそれらを区別して位置合わせできる装置を得
ることを目的とする。
（発明の概要）
本発明は、位置合せ用の切欠部を有するウェハ（１）を
そのほぼ中心部を回転軸として回転させる回転部材（イ
）と、前記ウェハ（］）のほぼ中心を通る軸線−に沿う
ように前記ウェハに対向させて設置したｍｌの光電変換
部材（２）と、前記軸線に直交しかつ前記ウェハの表面
にほぼ平行な方向に前記第１の光電変換部材（２）に対
し所定距離離して配設した第２の光電変換部材（３）と
、前記両光電変換部材（２）。
そのほぼ中心部を回転軸として回転させる回転部材（イ
）と、前記ウェハ（］）のほぼ中心を通る軸線−に沿う
ように前記ウェハに対向させて設置したｍｌの光電変換
部材（２）と、前記軸線に直交しかつ前記ウェハの表面
にほぼ平行な方向に前記第１の光電変換部材（２）に対
し所定距離離して配設した第２の光電変換部材（３）と
、前記両光電変換部材（２）。
（３）に対して前記ウェハ（１）の周縁部を介して投光
する投光部材ｅａ、（２３と、前記両光電変換部材（２
） 、 （３）の出力信号の差信号を用いて前記ウェハ
（１）を所定位置で停止させるように前記回転部材（イ
）を制御する制御装置（９）、 ０１） 、 ｏ’ａ
、 Ｇ！Ｅｌと、を有する位置合せ装置において、 前記ウェハとして第１の切欠部（ｌａ）・・・長さ！、
・・・と該切欠部より短かい第２の切欠部（ｉ ｂ ）
・・・長さｌ、・・・を有するものを用いた場合に、前
記第１の光電変換部材（り上に前記軸線（７）に直交す
る方向に第１の切欠部（１ａ）がきたとき、前記第２の
光電変換部材（３）上にも前記第１の切欠部（Ｌａ）が
きており、前記第１の光電変換部材（２）上に前記軸線
（７）と直交する方向に第２の切欠部（１ｂ）がきたと
き、前記第２０光電変換部材（３）上に前記第２の切欠
部（ｌ＆）以外の部分がさているように前記所定距離を
定めたことを特徴とする位置合せ装置であって、それよ
シ長さの異なる２つの切欠部を有するウニノ、・であり
ても確実に位置合わせが行なえる。
する投光部材ｅａ、（２３と、前記両光電変換部材（２
） 、 （３）の出力信号の差信号を用いて前記ウェハ
（１）を所定位置で停止させるように前記回転部材（イ
）を制御する制御装置（９）、 ０１） 、 ｏ’ａ
、 Ｇ！Ｅｌと、を有する位置合せ装置において、 前記ウェハとして第１の切欠部（ｌａ）・・・長さ！、
・・・と該切欠部より短かい第２の切欠部（ｉ ｂ ）
・・・長さｌ、・・・を有するものを用いた場合に、前
記第１の光電変換部材（り上に前記軸線（７）に直交す
る方向に第１の切欠部（１ａ）がきたとき、前記第２の
光電変換部材（３）上にも前記第１の切欠部（Ｌａ）が
きており、前記第１の光電変換部材（２）上に前記軸線
（７）と直交する方向に第２の切欠部（１ｂ）がきたと
き、前記第２０光電変換部材（３）上に前記第２の切欠
部（ｌ＆）以外の部分がさているように前記所定距離を
定めたことを特徴とする位置合せ装置であって、それよ
シ長さの異なる２つの切欠部を有するウニノ、・であり
ても確実に位置合わせが行なえる。
（実施例）
第１図は、本発明の第１実施例におけるウェハ１と第１
．第２の光電変換部材２，３の位置関係を示した図、で
あり、第２図は第１図のＡ −Ａ’矢視図、第３図は第
１図の第１．第２の光電変換部材２，３から得られる信
号を処理する回路のブロック図である。
．第２の光電変換部材２，３の位置関係を示した図、で
あり、第２図は第１図のＡ −Ａ’矢視図、第３図は第
１図の第１．第２の光電変換部材２，３から得られる信
号を処理する回路のブロック図である。
ウェハ１は中心０を回転部材２０（第２図）の回転中心
にほぼ一致するように吸着保持されている。
にほぼ一致するように吸着保持されている。
回転部材美は駆動部材２１によって軸！を中心にしてウ
ェハ１を第１図の矢印Ｐの方向へ回転するよつに回転す
るから、ウェハ１は中心Ｏをほぼ回転中心軸として回転
する。ウェハ１の周縁部を表側と裏側から挾んで一方に
光源ｎとコリメータレンズｎとよりなる投光部材を設け
、他方に光電変換部材（第２図では第１の光電変換部材
２のみ示されている）を設けてなる検知手段を、ウニ／
Ｓｌの中心０を通る軸線Ｙを含み、ウニノ・ｌの表面に
直交する第１の面内と、前記第１の面に平行でかつ第１
の面より距離ｄ隔てた第２の面内に配設する。
ェハ１を第１図の矢印Ｐの方向へ回転するよつに回転す
るから、ウェハ１は中心Ｏをほぼ回転中心軸として回転
する。ウェハ１の周縁部を表側と裏側から挾んで一方に
光源ｎとコリメータレンズｎとよりなる投光部材を設け
、他方に光電変換部材（第２図では第１の光電変換部材
２のみ示されている）を設けてなる検知手段を、ウニ／
Ｓｌの中心０を通る軸線Ｙを含み、ウニノ・ｌの表面に
直交する第１の面内と、前記第１の面に平行でかつ第１
の面より距離ｄ隔てた第２の面内に配設する。
この際、各々の光電変換部材は、第１のオリフラ１ｍが
所定位置にあると＠に各々の光電変換面が同じ量だけ投
光部材からの光を受けるように突出して設けられている
。
所定位置にあると＠に各々の光電変換面が同じ量だけ投
光部材からの光を受けるように突出して設けられている
。
ただし、第１のオリフラ１＆の長さをｌ１ｗ第２のオリ
フラ１ｂの長さをｌ８、光電変換部材の受光面の前記面
（第１．第２）に直光する方向での輻をａとすれば、 である。
フラ１ｂの長さをｌ８、光電変換部材の受光面の前記面
（第１．第２）に直光する方向での輻をａとすれば、 である。
光電変換部材２，３は第３図に示したように、差動増幅
信号に接続されており、差動増幅器Ｉは光電変換部材２
の出力信号Ｖ、を光電変換部材３の出力信号ｖ３から減
算した減算信号Ｖ、 −Ｖ！に比例した差動増幅信号を
出力する。この差動増幅信号は、入力信号が正から負に
変化するときの零点を検出して駆動回路３２に駆動部材
２１の駆動停止信号を出力する、検知回路３１に入力さ
れる。駆動回路３２は検知回路３１からの駆動停止信号
によりて駆動部材２１を停止せしめる。この位置は、ウ
ェハｌの回転角θに対する差動増幅信号ＣＶｓ−Ｖｔ）
の関係を示した第４図における位置Ｐ、であって、丁度
光電変換素子２，３の出力信号が等しくかつ、第１のオ
リフラｌａの方向が軸線Ｙの方向に直交する位置である
。第４図に示したように、差動増幅信号（Ｖｓ −Ｖｔ
）は、第２のオリフラｌｂが軸線Ｙの方向に直交する
位置にきたときに、第２０光電変換素子３が第２のオリ
フラ１ｂから外れた円弧部分にかかるため零とはならな
い。従りて、第１オリフラ１＆と第２オリフラ１ｂを識
別できる。
信号に接続されており、差動増幅器Ｉは光電変換部材２
の出力信号Ｖ、を光電変換部材３の出力信号ｖ３から減
算した減算信号Ｖ、 −Ｖ！に比例した差動増幅信号を
出力する。この差動増幅信号は、入力信号が正から負に
変化するときの零点を検出して駆動回路３２に駆動部材
２１の駆動停止信号を出力する、検知回路３１に入力さ
れる。駆動回路３２は検知回路３１からの駆動停止信号
によりて駆動部材２１を停止せしめる。この位置は、ウ
ェハｌの回転角θに対する差動増幅信号ＣＶｓ−Ｖｔ）
の関係を示した第４図における位置Ｐ、であって、丁度
光電変換素子２，３の出力信号が等しくかつ、第１のオ
リフラｌａの方向が軸線Ｙの方向に直交する位置である
。第４図に示したように、差動増幅信号（Ｖｓ −Ｖｔ
）は、第２のオリフラｌｂが軸線Ｙの方向に直交する
位置にきたときに、第２０光電変換素子３が第２のオリ
フラ１ｂから外れた円弧部分にかかるため零とはならな
い。従りて、第１オリフラ１＆と第２オリフラ１ｂを識
別できる。
１だ、差動増幅信号（Ｖｓ −Ｖｔ ）が零となる位置
が２点（ｐ＋ｔｐｔ）生ずるが、初めに生じた零点Ｐ１
が位置合せ完了位置となる。
が２点（ｐ＋ｔｐｔ）生ずるが、初めに生じた零点Ｐ１
が位置合せ完了位置となる。
このような構造であるから、例えば、不図示の搬送路を
送られてきたウェハｌを、その中心Ｏがほぼ回転部材銀
の軸ｌ上にきたときに上記搬送路に挿脱自在に設けた停
止装置によって停止せしめ、回転部材銀を上昇してウェ
ハ１を吸着する。そして回転部材銀を回転せしめる。回
転部材銀は検知回路３１からの駆動停止信号によりて停
止する。このときウェハｌは所定位置に位置合せされて
いる。
送られてきたウェハｌを、その中心Ｏがほぼ回転部材銀
の軸ｌ上にきたときに上記搬送路に挿脱自在に設けた停
止装置によって停止せしめ、回転部材銀を上昇してウェ
ハ１を吸着する。そして回転部材銀を回転せしめる。回
転部材銀は検知回路３１からの駆動停止信号によりて停
止する。このときウェハｌは所定位置に位置合せされて
いる。
オリフラが１つの一般的なものは、＠２のオリフラ１ｂ
が無いものであるから、上述の構造であっても従来と同
様に位置合せできることは勿論である。
が無いものであるから、上述の構造であっても従来と同
様に位置合せできることは勿論である。
なお、軸線Ｙを挾んで左右対称に検知手段を設け、その
間隔ｌを第１オリフラｌａの長さｌ、と；π２オリフラ
１ｂの長さ７ｔとの間の長さ、すなわち、ｉｔ ＜ ｌ
＜ ｉｔ に設定することによって第１オリフラ１
ａと第２オリフラ１ｂ とを識別することが考えられる
が、この場合には零位置検出と共にレベル検出も併用す
る必要があるのでありて、構造が複雑となるが、上述の
実施例の構成では検知手段の配置を工夫することによっ
てレベル検出を不用とすることができる。
間隔ｌを第１オリフラｌａの長さｌ、と；π２オリフラ
１ｂの長さ７ｔとの間の長さ、すなわち、ｉｔ ＜ ｌ
＜ ｉｔ に設定することによって第１オリフラ１
ａと第２オリフラ１ｂ とを識別することが考えられる
が、この場合には零位置検出と共にレベル検出も併用す
る必要があるのでありて、構造が複雑となるが、上述の
実施例の構成では検知手段の配置を工夫することによっ
てレベル検出を不用とすることができる。
また、上述の実施例において、投光部材は第１の光電変
換部材２と第２０光電変換部材３とに共用しても良いこ
とは勿論である。
換部材２と第２０光電変換部材３とに共用しても良いこ
とは勿論である。
さらに、上述の実施例では、ウェハ１を挾んで投光部材
と光電変換部材とを配設したが、投光部材と光電変換部
材とをウェハの同じ面側に設け、ウェハｌでの反射光を
光電変換部材に入射させるようになしても良く、いずれ
にしても、投光部材の射出光束をウェハの周縁部を介し
て投光するように構成してあれば良い。
と光電変換部材とを配設したが、投光部材と光電変換部
材とをウェハの同じ面側に設け、ウェハｌでの反射光を
光電変換部材に入射させるようになしても良く、いずれ
にしても、投光部材の射出光束をウェハの周縁部を介し
て投光するように構成してあれば良い。
（発明の効果）
以上述べた如く本発明によれば、簡単な構成でかつ短時
間で第１オリフラと第２オリフ２を識別できるウェハの
位置合せ装置を得ることができる。
間で第１オリフラと第２オリフ２を識別できるウェハの
位置合せ装置を得ることができる。
第１図は、本発明の第１実施例におけるウェハ１と第１
．第２０光電変換部材２，３の位置関係を示した図、第
２図は第１図のＡ −Ａ’矢視図、第３図は第１図の第
１．第２０光電変換部材２，３かも得られる信号を処理
する回路のブロック図、第４図はウェハｌの回転に対す
る第３図の差動増幅回路Ｉの出力信号（Ｖｓ −Ｖｔ
）を示す図、である。 （図面の簡単な説明） ｌ・・・ウェハ、１ｍ・・・第１の切欠部、ｌｂ・・・
第２の切欠部、２・・・第１の光電変換部材、３・・・
第２の光電変換部材、加・・・回転部材。
．第２０光電変換部材２，３の位置関係を示した図、第
２図は第１図のＡ −Ａ’矢視図、第３図は第１図の第
１．第２０光電変換部材２，３かも得られる信号を処理
する回路のブロック図、第４図はウェハｌの回転に対す
る第３図の差動増幅回路Ｉの出力信号（Ｖｓ −Ｖｔ
）を示す図、である。 （図面の簡単な説明） ｌ・・・ウェハ、１ｍ・・・第１の切欠部、ｌｂ・・・
第２の切欠部、２・・・第１の光電変換部材、３・・・
第２の光電変換部材、加・・・回転部材。
Claims (1)
- 位置合せ用の切欠部を有するウェハをそのほぼ中心部を
回転軸として回転させる回転部材と、前記ウェハのほぼ
中心を通る軸線に沿うように前記ウェハに対向させて設
置した第１の光電変換部材と、前記軸線に直交しかつ前
記ウェハの表面にほぼ平行な方向に前記第１の光電変換
部材に対し所定距離離して配設した第２の光電変換部材
と、前記両光電変換部材に対して前記ウェハの周縁部を
介して投光する投光部材と、前記両光電変換部材の出力
信号の差信号を用いて前記ウェハを所定位置で停止させ
るように前記回転部材を制御する制御装置と、を有する
位置合せ装置において、前記ウェハとして第１の切欠部
と該切欠部より短かい第２の切欠部を有するものを用い
た場合に、前記第１の光電変換部材上に前記軸線に直交
する方向に第１の切欠部がきたとき、前記第２の光電変
換部材上にも前記第１の切欠部がきており、前記第１の
光電変換部材上に前記軸線と直交する方向に第２の切欠
部がきたとき、前記第２の光電変換部材上に前記第２の
切欠部以外の部分がきているように前記所定距離を定め
たことを特徴とする位置合せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167386A JPH073832B2 (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | ウエハの位置合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167386A JPH073832B2 (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | ウエハの位置合せ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62169441A true JPS62169441A (ja) | 1987-07-25 |
| JPH073832B2 JPH073832B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=11784505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1167386A Expired - Lifetime JPH073832B2 (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | ウエハの位置合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073832B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1324660C (zh) * | 2003-03-28 | 2007-07-04 | 住友电气工业株式会社 | 可以识别表里的矩形氮化物半导体基片 |
-
1986
- 1986-01-22 JP JP1167386A patent/JPH073832B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1324660C (zh) * | 2003-03-28 | 2007-07-04 | 住友电气工业株式会社 | 可以识别表里的矩形氮化物半导体基片 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH073832B2 (ja) | 1995-01-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |