JPH10173031A - 円形基板位置決め装置 - Google Patents
円形基板位置決め装置Info
- Publication number
- JPH10173031A JPH10173031A JP35285896A JP35285896A JPH10173031A JP H10173031 A JPH10173031 A JP H10173031A JP 35285896 A JP35285896 A JP 35285896A JP 35285896 A JP35285896 A JP 35285896A JP H10173031 A JPH10173031 A JP H10173031A
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- JP
- Japan
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- notch
- circular substrate
- wafer
- light receiving
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学的手段により、精度よく切欠き部を検出
して位置決めができる円形基板位置決め装置を提供す
る。 【解決手段】ノッチ１ａを有するノッチウェハ１を、そ
の中心が回転テーブル２の回転中心と一致した状態で保
持する。ノッチウェハ１のエッジ部分を照明手段３によ
り均一に照明し、ノッチウェハ１のエッジ部のエッジ像
を結像レンズ４によりスリット付きのＳＰＤ（受光素
子）５ａ，５ｂに明瞭に結像する。これら２つのＳＰＤ
５ａ，５ｂのスリットの長手方向を、互いに平行に且つ
ノッチウェハ１の半径方向に配置する。制御部７はＳＰ
Ｄ５ａ，５ｂの出力をモニターして、ノッチ１ａ部以外
のエッジ像がＳＰＤ５ａ，５ｂに結像されているときの
出力信号よりも大きく、且つ二つの出力が同出力となる
位置に、回転テーブル２を止めるようにモータ８を制御
する。
して位置決めができる円形基板位置決め装置を提供す
る。 【解決手段】ノッチ１ａを有するノッチウェハ１を、そ
の中心が回転テーブル２の回転中心と一致した状態で保
持する。ノッチウェハ１のエッジ部分を照明手段３によ
り均一に照明し、ノッチウェハ１のエッジ部のエッジ像
を結像レンズ４によりスリット付きのＳＰＤ（受光素
子）５ａ，５ｂに明瞭に結像する。これら２つのＳＰＤ
５ａ，５ｂのスリットの長手方向を、互いに平行に且つ
ノッチウェハ１の半径方向に配置する。制御部７はＳＰ
Ｄ５ａ，５ｂの出力をモニターして、ノッチ１ａ部以外
のエッジ像がＳＰＤ５ａ，５ｂに結像されているときの
出力信号よりも大きく、且つ二つの出力が同出力となる
位置に、回転テーブル２を止めるようにモータ８を制御
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は切欠き部を有する円
形基板の位置決めをする円形基板位置決め装置に係り、
特に光学的に精度よく位置決めができ、ノッチ，オリエ
ンテーションフラット等の切欠き部を有する半導体ウェ
ハなどの位置決めに好適な円形基板位置決め装置に関す
る。
形基板の位置決めをする円形基板位置決め装置に係り、
特に光学的に精度よく位置決めができ、ノッチ，オリエ
ンテーションフラット等の切欠き部を有する半導体ウェ
ハなどの位置決めに好適な円形基板位置決め装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ノッチウェハの位置決めを行う位置決め
装置の従来例を図４に示す。この装置では、まず、ノッ
チ１ａのラフな位置決めを行う。即ち、ノッチウェハ１
を回転テーブル２の上に載せて回転させながら、発光器
９から射出されたビームを受光器１０で検出するノッチ
の検出手段で、ビーム１１がノッチ１ａを通過するよう
に、モータ制御部１５でモータ８を制御して、ノッチ１
ａのラフな位置を検出して回転テーブル２を止める。
装置の従来例を図４に示す。この装置では、まず、ノッ
チ１ａのラフな位置決めを行う。即ち、ノッチウェハ１
を回転テーブル２の上に載せて回転させながら、発光器
９から射出されたビームを受光器１０で検出するノッチ
の検出手段で、ビーム１１がノッチ１ａを通過するよう
に、モータ制御部１５でモータ８を制御して、ノッチ１
ａのラフな位置を検出して回転テーブル２を止める。
【０００３】次に、２つの基準ピン１３が矢印の方向に
移動した後、押し当てピン１２も矢印の方向に移動し、
さらにバネ１４によりノッチウェハ１のノッチ１ａ部分
に押し当てピン１２が押し当てられる。このようにし
て、ノッチウェハ１の位置決めが終了すると、押し当て
ピン１２、基準ピン１３の順に元の位置に退避して一連
の動作が完了する。
移動した後、押し当てピン１２も矢印の方向に移動し、
さらにバネ１４によりノッチウェハ１のノッチ１ａ部分
に押し当てピン１２が押し当てられる。このようにし
て、ノッチウェハ１の位置決めが終了すると、押し当て
ピン１２、基準ピン１３の順に元の位置に退避して一連
の動作が完了する。
【０００４】上記のような機械的な位置決め装置の他
に、例えば特開平3-159255号公報においては、円形基板
の周縁部の近傍に発光部と受光部を配置し、円形基板の
ノッチ位置を光学的に検出して位置決めを行っている。
この装置にあっては、受光部は２つの矩形型の受光素子
を並列に構成したものであって、２つの受光素子からの
出力を演算して、それらの差信号からノッチ位置を検出
している。
に、例えば特開平3-159255号公報においては、円形基板
の周縁部の近傍に発光部と受光部を配置し、円形基板の
ノッチ位置を光学的に検出して位置決めを行っている。
この装置にあっては、受光部は２つの矩形型の受光素子
を並列に構成したものであって、２つの受光素子からの
出力を演算して、それらの差信号からノッチ位置を検出
している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示す従来の機械的な位置決め装置では、ウェハのエッジ
にピンを押し当てるため、ゴミが発生したり、ウェハに
ダメージを与えたりする等の問題があり、さらに装置を
構成する部品点数も多く複雑であるなどの問題点もあ
る。
示す従来の機械的な位置決め装置では、ウェハのエッジ
にピンを押し当てるため、ゴミが発生したり、ウェハに
ダメージを与えたりする等の問題があり、さらに装置を
構成する部品点数も多く複雑であるなどの問題点もあ
る。
【０００６】また、特開平3-159255号公報に示す上記位
置決め装置にあっては、受光素子に入射されるウェハの
エッジ像は鮮明でなく、ノッチ位置の検出精度が低いと
いう問題点があった。
置決め装置にあっては、受光素子に入射されるウェハの
エッジ像は鮮明でなく、ノッチ位置の検出精度が低いと
いう問題点があった。
【０００７】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて
なされたもので、光学的に精度よく切欠き部を検出して
位置決めができる円形基板位置決め装置を提供すること
を目的とする。
なされたもので、光学的に精度よく切欠き部を検出して
位置決めができる円形基板位置決め装置を提供すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の円形基板位置決め装置は、切欠き部を有す
る円形基板の中心と回転中心とが一致する状態で、円形
基板を保持して回転させる回転テーブルと、この回転テ
ーブルの回転駆動を制御する制御手段と、前記円形基板
のエッジ部を照明する照明手段と、この照明手段の照明
による前記円形基板のエッジ像を結像する結像手段と、
前記円形基板のエッジ像が前記結像手段によって結像さ
れる位置に配置された、スリットを有する２つの受光素
子とを備えたものである。
に、本発明の円形基板位置決め装置は、切欠き部を有す
る円形基板の中心と回転中心とが一致する状態で、円形
基板を保持して回転させる回転テーブルと、この回転テ
ーブルの回転駆動を制御する制御手段と、前記円形基板
のエッジ部を照明する照明手段と、この照明手段の照明
による前記円形基板のエッジ像を結像する結像手段と、
前記円形基板のエッジ像が前記結像手段によって結像さ
れる位置に配置された、スリットを有する２つの受光素
子とを備えたものである。
【０００９】照明手段の照明により得られた円形基板の
エッジ像を結像手段で結像し、この結像された鮮明なプ
ロフィールのエッジ像を、しかもスリットを通して受光
素子で受光しているので、円形基板の回転位置を精度よ
く感知できる。更に、２つの受光素子を設けているの
で、両受光素子の出力信号の比較等により、正確な円形
基板の回転位置を決定できる。
エッジ像を結像手段で結像し、この結像された鮮明なプ
ロフィールのエッジ像を、しかもスリットを通して受光
素子で受光しているので、円形基板の回転位置を精度よ
く感知できる。更に、２つの受光素子を設けているの
で、両受光素子の出力信号の比較等により、正確な円形
基板の回転位置を決定できる。
【００１０】また、本発明は、上記において、２つの受
光素子は、それぞれのスリットが同一形状であり、前記
結像手段によって結像された前記切欠き部のエッジ像が
有する前記円形基板の円周方向の幅又は長さ以下の間隔
でスリットが配置され、且つスリットの長手方向が円形
基板の半径方向に配置されているものである。
光素子は、それぞれのスリットが同一形状であり、前記
結像手段によって結像された前記切欠き部のエッジ像が
有する前記円形基板の円周方向の幅又は長さ以下の間隔
でスリットが配置され、且つスリットの長手方向が円形
基板の半径方向に配置されているものである。
【００１１】このように、２つの受光素子の同一形状の
スリットを、結像手段によって結像される切欠き像の円
周方向の幅又は長さ以下の間隔で、且つスリットの長手
方向を円形基板の半径方向に配設すると、円形基板のエ
ッジの切欠き部に対する検出感度がよい。更に、２つの
受光素子の出力信号が、切欠き部以外のエッジ像が受光
素子に結像されているときの出力信号よりも大きく、且
つ２つの受光素子の出力信号が同一となる位置に制御手
段により位置決めをすれば、円形基板の切欠き部は、通
常その円形基板の円周方向の中央位置が一番大きく切り
欠かれた左右対称の形状をしているため、所定の位置に
確実に円形基板を位置決めできる。
スリットを、結像手段によって結像される切欠き像の円
周方向の幅又は長さ以下の間隔で、且つスリットの長手
方向を円形基板の半径方向に配設すると、円形基板のエ
ッジの切欠き部に対する検出感度がよい。更に、２つの
受光素子の出力信号が、切欠き部以外のエッジ像が受光
素子に結像されているときの出力信号よりも大きく、且
つ２つの受光素子の出力信号が同一となる位置に制御手
段により位置決めをすれば、円形基板の切欠き部は、通
常その円形基板の円周方向の中央位置が一番大きく切り
欠かれた左右対称の形状をしているため、所定の位置に
確実に円形基板を位置決めできる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を図面を
用いて説明する。
用いて説明する。
【００１３】図１は本発明の円形基板位置決め装置の一
実施形態を示す構成図である。図１において、１はノッ
チ１ａを有するノッチウェハであり、ノッチウェハ１は
回転テーブル２上に吸着保持される。回転テーブル２は
モータ８により回転駆動され、モータ８の駆動は制御部
７により制御されるようになっている。ノッチウェハ１
のエッジ部（周縁部）を挟むようにして、上下に照明手
段３と結像レンズ４とが配置されている。ノッチウェハ
１のエッジ部分は照明手段３により均一に照明されて、
ノッチウェハ１のノッチ１ａ部分を含むエッジ部のエッ
ジ像Ｅが、結像レンズ４によりスリット付きのＳＰＤ
（シリコンフォトダイオード、受光素子）５に結像する
ようにノッチ検出光学系が構成されている。スリット付
きのＳＰＤ５は、スリット６ａが貼られたＳＰＤ５ａ
と、スリット６ｂが貼られたＳＰＤ５ｂとから構成され
ている。これら２つのＳＰＤ５ａ，５ｂのスリット開口
Ｓの長手方向は、互いに平行に、且つノッチウェハ１の
エッジ像Ｅに対して、図２（ａ）に示すように直角（ノ
ッチウェハ１の半径方向）に配置される。また、スリッ
ト開口Ｓの長さは、ノッチ１ａ部分のエッジ像の半径方
向の最大長さよりも長くなっている。また、２つのＳＰ
Ｄ５ａ，５ｂが受光した受光量に対応した出力信号は、
制御部７に入力される。
実施形態を示す構成図である。図１において、１はノッ
チ１ａを有するノッチウェハであり、ノッチウェハ１は
回転テーブル２上に吸着保持される。回転テーブル２は
モータ８により回転駆動され、モータ８の駆動は制御部
７により制御されるようになっている。ノッチウェハ１
のエッジ部（周縁部）を挟むようにして、上下に照明手
段３と結像レンズ４とが配置されている。ノッチウェハ
１のエッジ部分は照明手段３により均一に照明されて、
ノッチウェハ１のノッチ１ａ部分を含むエッジ部のエッ
ジ像Ｅが、結像レンズ４によりスリット付きのＳＰＤ
（シリコンフォトダイオード、受光素子）５に結像する
ようにノッチ検出光学系が構成されている。スリット付
きのＳＰＤ５は、スリット６ａが貼られたＳＰＤ５ａ
と、スリット６ｂが貼られたＳＰＤ５ｂとから構成され
ている。これら２つのＳＰＤ５ａ，５ｂのスリット開口
Ｓの長手方向は、互いに平行に、且つノッチウェハ１の
エッジ像Ｅに対して、図２（ａ）に示すように直角（ノ
ッチウェハ１の半径方向）に配置される。また、スリッ
ト開口Ｓの長さは、ノッチ１ａ部分のエッジ像の半径方
向の最大長さよりも長くなっている。また、２つのＳＰ
Ｄ５ａ，５ｂが受光した受光量に対応した出力信号は、
制御部７に入力される。
【００１４】ノッチウェハ１は図示省略の搬送手段によ
り回転テーブル２の上へ搬送されるとともに、ノッチウ
ェハ１の中心と回転テーブル２の回転中心とは中心位置
検出装置（図示せず）を用いて正確に一致させられる。
この中心を一致させる中心位置検出装置には、例えば、
光学的に非接触で行う特願昭62-214694号公報に開示さ
れた装置が知られている。
り回転テーブル２の上へ搬送されるとともに、ノッチウ
ェハ１の中心と回転テーブル２の回転中心とは中心位置
検出装置（図示せず）を用いて正確に一致させられる。
この中心を一致させる中心位置検出装置には、例えば、
光学的に非接触で行う特願昭62-214694号公報に開示さ
れた装置が知られている。
【００１５】さて、回転テーブル２を回転させると、Ｓ
ＰＤ５にノッチウェハ１の各円周位置のエッジ像Ｅが結
像レンズ４により順次結像されるが、ノッチ１ａ以外の
エッジ部が結像している時は、ＳＰＤ５上には図２
（ａ）に示すようなエッジ像Ｅが結像する。この場合、
ＳＰＤ５にはスリットが接着されているので、実際にＳ
ＰＤ５で受光する受光像は、図３（ａ）にハッチングで
示すようになり、ＳＰＤ５ａ，５ｂの出力は同量だが共
に小さいレベルである。
ＰＤ５にノッチウェハ１の各円周位置のエッジ像Ｅが結
像レンズ４により順次結像されるが、ノッチ１ａ以外の
エッジ部が結像している時は、ＳＰＤ５上には図２
（ａ）に示すようなエッジ像Ｅが結像する。この場合、
ＳＰＤ５にはスリットが接着されているので、実際にＳ
ＰＤ５で受光する受光像は、図３（ａ）にハッチングで
示すようになり、ＳＰＤ５ａ，５ｂの出力は同量だが共
に小さいレベルである。
【００１６】次に、ＳＰＤ５上にノッチウェハ１のノッ
チ１ａが結像されるようになる時、つまり図２（ｂ）に
示すようにノッチ１ａ部分のエッジ像ＥがＳＰＤ５の範
囲に少し入ってくると、ＳＰＤ５に受光される受光像
は、図３（ｂ）のように、ＳＰＤ５ａではほとんど変化
が見られないが、ＳＰＤ５ｂでは受光される像は大きく
なり、ＳＰＤ５ｂの出力は増加する。
チ１ａが結像されるようになる時、つまり図２（ｂ）に
示すようにノッチ１ａ部分のエッジ像ＥがＳＰＤ５の範
囲に少し入ってくると、ＳＰＤ５に受光される受光像
は、図３（ｂ）のように、ＳＰＤ５ａではほとんど変化
が見られないが、ＳＰＤ５ｂでは受光される像は大きく
なり、ＳＰＤ５ｂの出力は増加する。
【００１７】さらに、ノッチ１ａ部分のエッジ像Ｅが、
図２（ｃ）に示すように、２つのＳＰＤ５ａ，５ｂに対
して対称的に結像すると、ＳＰＤ５の受光像は図３
（ｃ）のようになり、図３（ａ）の状態に比べて、ＳＰ
Ｄ５ａ，５ｂの出力はともに大きく、かつＳＰＤ５ａの
出力とＳＰＤ５ｂの出力は同量レベルとなる。
図２（ｃ）に示すように、２つのＳＰＤ５ａ，５ｂに対
して対称的に結像すると、ＳＰＤ５の受光像は図３
（ｃ）のようになり、図３（ａ）の状態に比べて、ＳＰ
Ｄ５ａ，５ｂの出力はともに大きく、かつＳＰＤ５ａの
出力とＳＰＤ５ｂの出力は同量レベルとなる。
【００１８】制御部７はＳＰＤ５ａ，５ｂの出力をモニ
ターして、ノッチ１ａ部以外のエッジ像がＳＰＤ５ａ，
５ｂに結像されているときの出力信号よりも大きく、か
つ各々の出力が同出力（つまり、ＳＰＤ５ａの出力とＳ
ＰＤ５ｂの出力の差が０）となる位置に、回転テーブル
２を止めるようにモータ８を制御する。このような制御
をおこなうことにより、ノッチウェハ１のノッチ１ａは
図２（ｃ）の位置に再現性良く位置決めされる。
ターして、ノッチ１ａ部以外のエッジ像がＳＰＤ５ａ，
５ｂに結像されているときの出力信号よりも大きく、か
つ各々の出力が同出力（つまり、ＳＰＤ５ａの出力とＳ
ＰＤ５ｂの出力の差が０）となる位置に、回転テーブル
２を止めるようにモータ８を制御する。このような制御
をおこなうことにより、ノッチウェハ１のノッチ１ａは
図２（ｃ）の位置に再現性良く位置決めされる。
【００１９】なお、上記実施形態では、切欠き部である
ノッチ１ａの検出からノッチウェハの位置決めを行って
いるが、オリエンテーションフラットを有するウェハに
も同様にして適用できる。また、２つのスリット開口Ｓ
の配置は、上記実施形態のように互いに平行でなくとも
よく、円形基板の半径方向を中心に２つのスリット開口
が互いに線対称の位置にあれば、例えば、八の字状に配
置してもよい。
ノッチ１ａの検出からノッチウェハの位置決めを行って
いるが、オリエンテーションフラットを有するウェハに
も同様にして適用できる。また、２つのスリット開口Ｓ
の配置は、上記実施形態のように互いに平行でなくとも
よく、円形基板の半径方向を中心に２つのスリット開口
が互いに線対称の位置にあれば、例えば、八の字状に配
置してもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、照明手段の照明により得られた円形基板のエ
ッジ像を結像手段で結像し、この結像された鮮明な輪郭
を持ったエッジ像を、しかもスリットを通して受光素子
で受光しているので、円形基板の回転位置を感度よく検
出でき、円形基板の位置決め精度を向上できる。更に、
２つの受光素子を設けているので、両受光素子の出力信
号の比較等により、正確な円形基板の回転位置を決定で
きる。
によれば、照明手段の照明により得られた円形基板のエ
ッジ像を結像手段で結像し、この結像された鮮明な輪郭
を持ったエッジ像を、しかもスリットを通して受光素子
で受光しているので、円形基板の回転位置を感度よく検
出でき、円形基板の位置決め精度を向上できる。更に、
２つの受光素子を設けているので、両受光素子の出力信
号の比較等により、正確な円形基板の回転位置を決定で
きる。
【００２１】また、光学的手段により、円形基板とは非
接触で位置決めを行っているので、円形基板に与えるダ
メージの軽減、ゴミの発生の低減などの効果が得られ
る。更に、少ない構成部品で装置を構成できるため、安
価な位置決め装置を提供することが可能である。
接触で位置決めを行っているので、円形基板に与えるダ
メージの軽減、ゴミの発生の低減などの効果が得られ
る。更に、少ない構成部品で装置を構成できるため、安
価な位置決め装置を提供することが可能である。
【図１】本発明に係る円形基板位置決め装置の一実施形
態を示す概略構成図である。
態を示す概略構成図である。
【図２】図１のノッチウェハの各回転位置に対する、ス
リット付きのＳＰＤ（受光素子）へのエッジ像の結像状
態をスリット側からみた図である。
リット付きのＳＰＤ（受光素子）へのエッジ像の結像状
態をスリット側からみた図である。
【図３】図２のエッジ像の結像状態をＳＰＤ側からみた
図である。
図である。
【図４】従来の円形基板位置決め装置を示す概略構成図
である。
である。
１ ノッチウェハ １ａ ノッチ ２ 回転テーブル ３ 照明手段 ４ 結像レンズ ５，５ａ，５ｂ ＳＰＤ（受光素子） ６ａ，６ｂ スリット ７ 制御部 ８ モータ Ｅ エッジ像 Ｓ スリット開口
Claims (3)
- 【請求項１】 切欠き部を有する円形基板の中心と回転
中心とが一致する状態で、円形基板を保持して回転させ
る回転テーブルと、この回転テーブルの回転駆動を制御
する制御手段と、前記円形基板のエッジ部を照明する照
明手段と、この照明手段の照明による前記円形基板のエ
ッジ像を結像する結像手段と、前記円形基板のエッジ像
が前記結像手段によって結像される位置に配置された、
スリットを有する２つの受光素子とを備えたことを特徴
とする円形基板位置決め装置。 - 【請求項２】 前記２つの受光素子は、それぞれのスリ
ットが同一形状であり、前記結像手段によって結像され
た前記切欠き部のエッジ像が有する前記円形基板の円周
方向の幅又は長さ以下の間隔でスリットが配置され、且
つスリットの長手方向が前記円形基板の半径方向に配置
されていることを特徴とする請求項１記載の円形基板位
置決め装置。 - 【請求項３】 前記２つの受光素子の出力信号が、前記
切欠き部以外のエッジ像が受光素子に結像されていると
きの出力信号よりも大きく、且つ２つの受光素子の出力
信号が同一となる位置に前記制御手段により位置決めさ
れることを特徴とする請求項２記載の円形基板位置決め
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35285896A JPH10173031A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 円形基板位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35285896A JPH10173031A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 円形基板位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10173031A true JPH10173031A (ja) | 1998-06-26 |
Family
ID=18426928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35285896A Pending JPH10173031A (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 円形基板位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10173031A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007168262A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Shikoku Kakoki Co Ltd | 口栓供給装置 |
| CN108666252A (zh) * | 2017-03-30 | 2018-10-16 | 株式会社荏原制作所 | 基板处理装置、基板处理装置的控制方法、存储程序的存储介质 |
| CN109473388A (zh) * | 2017-09-07 | 2019-03-15 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种晶圆寻边装置 |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP35285896A patent/JPH10173031A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007168262A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Shikoku Kakoki Co Ltd | 口栓供給装置 |
| CN108666252A (zh) * | 2017-03-30 | 2018-10-16 | 株式会社荏原制作所 | 基板处理装置、基板处理装置的控制方法、存储程序的存储介质 |
| CN108666252B (zh) * | 2017-03-30 | 2021-08-03 | 株式会社荏原制作所 | 基板处理装置、基板处理装置的控制方法、存储程序的存储介质 |
| CN109473388A (zh) * | 2017-09-07 | 2019-03-15 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种晶圆寻边装置 |
| CN109473388B (zh) * | 2017-09-07 | 2020-11-24 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种晶圆寻边装置 |
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