JPS62157522A - 磁気式エンコ−ダ - Google Patents
磁気式エンコ−ダInfo
- Publication number
- JPS62157522A JPS62157522A JP29954985A JP29954985A JPS62157522A JP S62157522 A JPS62157522 A JP S62157522A JP 29954985 A JP29954985 A JP 29954985A JP 29954985 A JP29954985 A JP 29954985A JP S62157522 A JPS62157522 A JP S62157522A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- thin film
- film body
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
この発明は、主に、自動工作機械や製図機などのNo機
器の位置検出およびロボットのアームの回転角度検出に
使用される磁気式エンコーダに関する。
器の位置検出およびロボットのアームの回転角度検出に
使用される磁気式エンコーダに関する。
(ロ)従来の技術
従来、この種の磁気式エンコーダには、N極および8極
の磁極が着磁された磁気スケールとその磁極による磁界
の変化を検出する磁気ヘッドとを備えたもの(例えば、
特開昭55−146007号公報参照)や、その磁気ヘ
ッドの代りにホール素子や磁気抵抗素子を使用したもの
(例えば、特開昭58−14011号公報参照)などが
見られる。
の磁極が着磁された磁気スケールとその磁極による磁界
の変化を検出する磁気ヘッドとを備えたもの(例えば、
特開昭55−146007号公報参照)や、その磁気ヘ
ッドの代りにホール素子や磁気抵抗素子を使用したもの
(例えば、特開昭58−14011号公報参照)などが
見られる。
(ハ)発明が解決しようとする問題点
しかしながら、このような従来の磁気式エンコーダにお
いては、磁気スケールと前述した各種の磁気センサとは
互に接触しないよう一定の間1!を有して配置され、そ
の間隙の大きさは主に磁気式エンコーダの機械的加工精
度および組立精度から決定される。
いては、磁気スケールと前述した各種の磁気センサとは
互に接触しないよう一定の間1!を有して配置され、そ
の間隙の大きさは主に磁気式エンコーダの機械的加工精
度および組立精度から決定される。
従って、磁気式エンコーダの分解能はその加工および組
立精度によって制限され、それ以上の分解能を望むこと
は難かしいという問題点があった。
立精度によって制限され、それ以上の分解能を望むこと
は難かしいという問題点があった。
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので
、磁気スケールに磁気検出素子を具備した薄膜体よりな
る磁気センサの薄膜体面を接触させることにより、さら
に分解能を向上させることが可能な磁気式エンコーダを
提供するものである。
、磁気スケールに磁気検出素子を具備した薄膜体よりな
る磁気センサの薄膜体面を接触させることにより、さら
に分解能を向上させることが可能な磁気式エンコーダを
提供するものである。
に)問題点を解決するための手段
磁気スケールと、磁気スケールの着磁面の磁界を検出す
る磁気検出素子を非磁性薄膜体に具備した磁気セン4と
よりなり、かつ、薄膜体は磁気スケールの着磁面に当接
して配置され、しかも磁気スケールがVj膜体に対して
相対的に移動可能に設置されてなる磁気式エンコーダで
ある。
る磁気検出素子を非磁性薄膜体に具備した磁気セン4と
よりなり、かつ、薄膜体は磁気スケールの着磁面に当接
して配置され、しかも磁気スケールがVj膜体に対して
相対的に移動可能に設置されてなる磁気式エンコーダで
ある。
磁気スケールは、アルミニウム、ステンレス鋼などのン
ト磁性体からなるコアーに樹脂磁石体が一体成形され、
その樹脂磁石体の外面が多重着磁されて構成される。樹
脂磁石体は、バリウムフェライト、ストロンチウムフェ
ライトなどの強磁、性粉末とポリアミド樹脂、ポリエチ
レン樹脂などの合成樹脂粉末とからなり、公知の配合割
合で公知の製造法により成形される。
ト磁性体からなるコアーに樹脂磁石体が一体成形され、
その樹脂磁石体の外面が多重着磁されて構成される。樹
脂磁石体は、バリウムフェライト、ストロンチウムフェ
ライトなどの強磁、性粉末とポリアミド樹脂、ポリエチ
レン樹脂などの合成樹脂粉末とからなり、公知の配合割
合で公知の製造法により成形される。
磁気スケールは全体を樹脂磁石体で成形し、成形後に必
要箇所を着磁して構成してもよい。
要箇所を着磁して構成してもよい。
さらに、磁気スケールは回転式の円盤状であってもよい
し、直線状であってもよい。
し、直線状であってもよい。
F−膜体には、可撓性、耐′摩耗性や潤滑性が要求され
るが、ポリイミド樹脂やポリエステル樹脂あるいは超高
分子量ポリエチレン樹脂などの合成樹脂のフィルムが用
いられる。
るが、ポリイミド樹脂やポリエステル樹脂あるいは超高
分子量ポリエチレン樹脂などの合成樹脂のフィルムが用
いられる。
薄膜体の厚さは1〜300μm1好ましくは6〜100
tsmであることが実験的ic!認されている。
tsmであることが実験的ic!認されている。
薄膜体の磁気スケールに接する面は静電気を除去するた
め導電性材料、たとえば、カーボングラファイトをコー
ティングしてもよい。
め導電性材料、たとえば、カーボングラファイトをコー
ティングしてもよい。
磁気検出素子としては、磁気抵抗素子を用いることが好
ましい。その場合、磁気抵抗素子は薄膜体の裏面に磁気
抵抗素子材料のIn−8b 、0r02゜Ni−Fe又
はNi−Coなどが蒸着又はスパッタリング法によって
付着されて構成される。
ましい。その場合、磁気抵抗素子は薄膜体の裏面に磁気
抵抗素子材料のIn−8b 、0r02゜Ni−Fe又
はNi−Coなどが蒸着又はスパッタリング法によって
付着されて構成される。
また、薄膜体の表面が導電性材料でコーティングされる
場合にはコーティング部をエンコーダの他の接地回路に
電気的に接続することが好ましい。
場合にはコーティング部をエンコーダの他の接地回路に
電気的に接続することが好ましい。
(ホ)作用
裏面に磁気検出素子を固着した薄膜体の表面が磁気スケ
ールの着磁面に弾性的に当接するよう薄膜体が配置され
ているので、磁気スケールと薄膜体との対向する位置関
係が変動しても、可撓性を有する薄膜体は磁気スケール
に追従して常に接触を維持する。従って磁気スケールと
磁気検出素子の間隔は常に薄膜体の厚さに保持される。
ールの着磁面に弾性的に当接するよう薄膜体が配置され
ているので、磁気スケールと薄膜体との対向する位置関
係が変動しても、可撓性を有する薄膜体は磁気スケール
に追従して常に接触を維持する。従って磁気スケールと
磁気検出素子の間隔は常に薄膜体の厚さに保持される。
(へ)実施例
以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明を詳述する
。なお、これによってこの発明が限定されるものではな
い。
。なお、これによってこの発明が限定されるものではな
い。
第1図はこの発明をロータリーエンコーダに適用した場
合の一実施例を示す説明図であり、(1)は磁気スケー
ルを構成するロータ、(2)はシャフト(3)を有する
アルミ製のファー、(4)は外周面に多極磁極が着磁さ
れた樹脂磁石リング、(5)は厚さ50μmのポリイミ
ドフィルム、(6)は支持台、(7)は支持台に設けら
れた凹部、(8)はフィルム(5)の両端を巻付けて凹
部に装着されるピンである。フィルム(5)の表面はカ
ーボングラファイトがコーティングされ、フィルム(5
)の裏面にはリング(5)の着磁面に対向して磁気抵抗
素子(9)が蒸着され、フィルム(5)の表面のコーテ
ィング部と図示しないアース部とはリード線QQによっ
て接続されている。
合の一実施例を示す説明図であり、(1)は磁気スケー
ルを構成するロータ、(2)はシャフト(3)を有する
アルミ製のファー、(4)は外周面に多極磁極が着磁さ
れた樹脂磁石リング、(5)は厚さ50μmのポリイミ
ドフィルム、(6)は支持台、(7)は支持台に設けら
れた凹部、(8)はフィルム(5)の両端を巻付けて凹
部に装着されるピンである。フィルム(5)の表面はカ
ーボングラファイトがコーティングされ、フィルム(5
)の裏面にはリング(5)の着磁面に対向して磁気抵抗
素子(9)が蒸着され、フィルム(5)の表面のコーテ
ィング部と図示しないアース部とはリード線QQによっ
て接続されている。
このような構成において、フィルム(5)は第1図のよ
うに半円弧状に固定されてリング(4)の外周面に弾性
的に配置されている。ロータ(1)が回転するとき、リ
ング(4)の外周面の仕上げ精度やシャフト(3)の組
立て精度などに起因して、リング(4)の外周面の位置
がフィルム(5)の表面位置に対して変動しても、フィ
ルム(5)の表面はその変動に追従して常にリング(4
)の外周面に接触する。
うに半円弧状に固定されてリング(4)の外周面に弾性
的に配置されている。ロータ(1)が回転するとき、リ
ング(4)の外周面の仕上げ精度やシャフト(3)の組
立て精度などに起因して、リング(4)の外周面の位置
がフィルム(5)の表面位置に対して変動しても、フィ
ルム(5)の表面はその変動に追従して常にリング(4
)の外周面に接触する。
従って、ロータリーエンコーダを構成する部品の加工精
度や組立精度に大きく左右されることなく、リング(4
)の着磁面と磁気抵抗素子(9)の間隙は常にフィルム
(5)の厚さに保持されると共に、フィルム(5)の厚
さは従来の間隙に比べて十分小さくすることができるの
で、ロータリーエンコーダの分解能が大きく向上する。
度や組立精度に大きく左右されることなく、リング(4
)の着磁面と磁気抵抗素子(9)の間隙は常にフィルム
(5)の厚さに保持されると共に、フィルム(5)の厚
さは従来の間隙に比べて十分小さくすることができるの
で、ロータリーエンコーダの分解能が大きく向上する。
なお、フィルム(5)は本実施例の円弧状に限定されず
、例えば、水平状に固定してもよい。
、例えば、水平状に固定してもよい。
(ト)発明の効果
この発明によれば、磁気検出素子を非磁性薄膜体に具備
した磁気センサの″#、膜体面を、磁気スケールの着磁
面に常に接触させているので、その着磁面と磁気↓ンサ
との間隔がきわめて小さくなり、。
した磁気センサの″#、膜体面を、磁気スケールの着磁
面に常に接触させているので、その着磁面と磁気↓ンサ
との間隔がきわめて小さくなり、。
磁気センサの分解能が大きく向上する。さらに、磁気ス
ケールの着磁面の加工精度や組立て精度が薄膜体の弾性
により吸収される。
ケールの着磁面の加工精度や組立て精度が薄膜体の弾性
により吸収される。
第1図はこの発明をロータリーエンコーダに適用した一
実施例を示す説i図である。 (1)・・・ロータ、(2)・・・コアー、(3)・・
・シャフト、(4)・・・樹脂磁石リング、(5)・・
・フィルム、(6)・・・支詩台、(7)・・・凹部、
(8)・・・ピン、(9)・・・磁気抵抗素子、αO・
・・リード線。 第1図 手続補正書 昭和61年2月14日 1、事件の表示 昭和60年特許願第299549号 2、発明の名称 磁気式エンコーダ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 枚方市招捉田近二丁目七番地名 称 山
内ゴム工業株式会社 代表者 折 目 誠一部 4、代理人 〒530 住 所 大阪市北区西天満5丁目1−3クォーター・
ワンビル5、補正命令の日付 自 発 補正の内容 1.明lB書第5頁第3〜9行の[カーボングラファイ
ト」を「カーボンブラック、グラフフィト等Jに補正す
る。 2、同書第6頁第18行の「カーボングラフフィト」を
「グラフフィトJに補正する。 3、第1図を別紙のとおり補正する(文字r91a石抵
抗素子」を「9磁気抵抗素子Jに補正する)。 第114
実施例を示す説i図である。 (1)・・・ロータ、(2)・・・コアー、(3)・・
・シャフト、(4)・・・樹脂磁石リング、(5)・・
・フィルム、(6)・・・支詩台、(7)・・・凹部、
(8)・・・ピン、(9)・・・磁気抵抗素子、αO・
・・リード線。 第1図 手続補正書 昭和61年2月14日 1、事件の表示 昭和60年特許願第299549号 2、発明の名称 磁気式エンコーダ 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 枚方市招捉田近二丁目七番地名 称 山
内ゴム工業株式会社 代表者 折 目 誠一部 4、代理人 〒530 住 所 大阪市北区西天満5丁目1−3クォーター・
ワンビル5、補正命令の日付 自 発 補正の内容 1.明lB書第5頁第3〜9行の[カーボングラファイ
ト」を「カーボンブラック、グラフフィト等Jに補正す
る。 2、同書第6頁第18行の「カーボングラフフィト」を
「グラフフィトJに補正する。 3、第1図を別紙のとおり補正する(文字r91a石抵
抗素子」を「9磁気抵抗素子Jに補正する)。 第114
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、磁気スケールと、磁気スケールの着磁面の磁界を検
出する磁気検出素子を非磁性薄膜体に具備した磁気セン
サとよりなり、かつ、薄膜体は磁気スケールの着磁面に
当接して配置され、しかも磁気スケールが薄膜体に対し
て相対的に移動可能に設置されてなる磁気式エンコーダ
。 2、薄膜体が可撓性を有する薄膜体である特許請求の範
囲第1項の磁気式エンコーダ。 3、薄膜体が合成樹脂フィルムである特許請求の範囲第
1項又は第2項の磁気式エンコーダ。 4、合成樹脂フィルムがポリイミド樹脂、ポリエステル
樹脂又は超高分子量ポリエチレン樹脂からなる特許請求
の範囲第3項の磁気式エンコーダ。 5、薄膜体が1〜300μmの厚さを有する特許請求の
範囲第1項、第2項、第3項又は第4項の磁気式エンコ
ーダ。 6、磁気センサが薄膜体に接着された磁気抵抗素子より
なる特許請求の範囲第1項の磁気式エンコーダ。 7、薄膜体が導電材料でコーティングされてなる特許請
求の範囲第1項、第2項、第3項、第4項、第5項又は
第6項の磁気式エンコーダ。 8、磁気スケールが、非磁性体よりなるコアに、外面を
着磁した樹脂磁石体を固着してなる特許請求の範囲第1
項の磁気式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29954985A JPS62157522A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 磁気式エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29954985A JPS62157522A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 磁気式エンコ−ダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62157522A true JPS62157522A (ja) | 1987-07-13 |
Family
ID=17874054
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29954985A Pending JPS62157522A (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 磁気式エンコ−ダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62157522A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01142414A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Canon Electron Inc | 磁気検出器 |
JPH02236120A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気エンコーダ |
JPH03189565A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-08-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気エンコーダ |
US6324023B1 (en) | 1998-06-15 | 2001-11-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Position detector and lens barrel |
JP2011064604A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Nsk Ltd | 永久磁石エンコーダの検査方法及び検査装置 |
JP2014202615A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | ハイデンハイン株式会社 | リニアエンコーダ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5937564B2 (ja) * | 1976-06-14 | 1984-09-11 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品の端面電極形成方法 |
-
1985
- 1985-12-28 JP JP29954985A patent/JPS62157522A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5937564B2 (ja) * | 1976-06-14 | 1984-09-11 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品の端面電極形成方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01142414A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Canon Electron Inc | 磁気検出器 |
JPH02236120A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気エンコーダ |
JPH03189565A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-08-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気エンコーダ |
US6324023B1 (en) | 1998-06-15 | 2001-11-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Position detector and lens barrel |
JP2011064604A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Nsk Ltd | 永久磁石エンコーダの検査方法及び検査装置 |
JP2014202615A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | ハイデンハイン株式会社 | リニアエンコーダ |
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