JPS62153597A - 真空ポンプ - Google Patents

真空ポンプ

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Publication number
JPS62153597A
JPS62153597A JP60292727A JP29272785A JPS62153597A JP S62153597 A JPS62153597 A JP S62153597A JP 60292727 A JP60292727 A JP 60292727A JP 29272785 A JP29272785 A JP 29272785A JP S62153597 A JPS62153597 A JP S62153597A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
purge gas
annular groove
oil
pump
gas annular
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60292727A
Other languages
English (en)
Inventor
Minoru Taniyama
実 谷山
Masahiro Mase
正弘 真瀬
Takashi Nagaoka
隆司 長岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Family has litigation
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Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Priority to EP86117681A priority patent/EP0228040B1/en
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Priority to US06/947,282 priority patent/US4734018A/en
Publication of JPS62153597A publication Critical patent/JPS62153597A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid
    • F16J15/406—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid by at least one pump
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08—Sealings
    • F04D29/10—Shaft sealings
    • F04D29/102—Shaft sealings especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/104—Shaft sealings especially adapted for elastic fluid pumps the sealing fluid being other than the working fluid or being the working fluid treated

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は吐出口を大気圧とする真空ポンプに係り、特に
詳しくはポンプ吐出口とロータを駆動する駆動機構部と
のシール構造に関するものであろう〔従来の技術〕 従来、ロータを取付けてなる駆動軸を有する駆動機構部
とポンプ吐出口、すなわちポンプ本体内空間部側とを完
全に遮断することは不可能であるため、真空ポンプによ
り吸気する腐食性ガスやダスト等を含む駆動機構部にと
って有害なガスが駆動機構部内に侵入して、駆動機構部
の各部品を腐食させたり、ダストの侵入によって損傷す
る問題があり、これを改善するために例えば実公昭６０
−９４３９号では駆動機構部内にパージガスを充填させ
ている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来例では駆動機構部内に常にパージガスを流入さ
せ、ポンプ本体空間部からの有害ガスの流入を遮断１７
ている。これにはポンプ本体内空間部の圧力に打ち勝っ
て駆動機構部内からのパージガスの流出を行うためには
大量のパージガスが必要になる。
そこで、上記従来例では駆動機構部内に充填させたパー
ジガスをポンプ本体内空間部に流出させるための間隙部
にスパイラル溝を形成し、スパイラル溝の回転によって
駆動機構部内のパージガスをポンプ本体空間部に吐出す
るようにしている。
しかし、この場合においてもパージガスの使用量が多く
なるのを避けられない問題がある。
本発明の目的とするところは有害なガス、ダストが駆動
機構部であるモータケース内に侵入するのを最小のパー
ジガスを防止し、潤滑油蒸気のポンプ本体内に洩れるの
を防いだクリーンな真空ポンプを提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点は吸込口と吐出口を有するケーシング内、ケ
ーシング内に配置されたステータと、ステータ間に配置
され駆動軸に固定されたロータと、駆動軸を駆動するた
めにこの軸に設けられたモータロータと、モータロータ
が対向するケーシングに設けられたモータステータと、
モータロータとモータステータからなるモ７夕の上下端
に設けられた油潤滑軸受と、油潤滑軸受に駆動軸軸心に
設けた油路を経て油を供給する潤滑油溜を備えて構成さ
れる真空ポンプにおいて、ポンプ機構下部と油潤滑軸受
の上部との間に位置する軸貫通部の回転部材周囲の静止
部材にパージガス環状溝を掘設し、パージガス環状溝に
パージガスを外部より供給するパージガス路を設けかつ
パージガス環状溝とポンプ機構との間の回転部材周囲の
静止部材に吐出ガス環状溝を掘設し、吐出ガス環状溝を
ポンプ機構の吐出ガス路に接続することによって解決さ
れる。
〔作用〕
ロータおよびステータからなるポンプ機構の最終段に、
円板摩擦損失が小さく圧縮比の犬きくとれる渦流形圧縮
ポンプ段を配置した場合にはモータを支承する上部油潤
滑軸受の周辺よシ圧力が低下するが、軸貫通部の静止部
材に設けたパージガス環状溝に外部よシパージガスを導
入することによってモータケース内の油蒸気のポンプ本
体部への侵入を遮断し、かつこのパージガス環状溝とポ
ンプ機構最終段との間の軸貫通部の静止部材に設けた吐
出ガス環状溝にポンプ本体部からの吐出ガスを導入する
ことによってパージガスの洩れを遮断できる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図、第２図にょシ説明す
る。
第１図において、吸込口１ａと吐出口１ｂを有するケー
シング１内にはこの軸心方向に沿って複数のステータ２
が配置されており、このステータ間にはロータ３が駆動
軸４に固定され配置されている。この駆動軸４には駆動
軸４を駆動するためのモータロータ５ａが固定されてい
る。駆動軸４は油潤滑軸受６，７により支承されており
、オーバハング構造になっている。
上記モータロータ５ａに対向する面のモータケース８に
はモータステータ５ｂが設けられている。
上記駆動軸４の下端は油溜めケーシング９内の油に浸漬
されており、この軸４の軸心に穿った油路１０を通って
汲上げ軸受６，７を潤滑する。
上記ステータ２とロータ３からなるポンプ機構の吸込口
ｌａ側は遠心圧縮段Ａを構成しておシ、部の回転部材３
ａに対向する静止部材２ａにはパージガス環状溝１１が
設けられパージガス路１２を経て外部よりパージガスが
導入される。この環状溝１１と渦流圧縮ポンプ段との間
の静止部材２ａには吐出ガス環状溝１３が設けられ吐出
口１ｂのガスを吐出ガス路１４を介して導くようは構成
されている。
環状溝１１．１３が設けられる静止部材２ａは回転部材
３ａに対向し、第２図に示すようにラビリンスシールあ
るいはねじシール１５を設けるようにしてもよい。モー
タケース８の上部にはこの内、外を連通ずる小孔１６が
設けられておシ、モータケース８内は常に大気圧に保た
れる。
本実施例は上記のように構成されており、モータロータ
５ａ、モータステータ５ｂよりなるモータＶＣ通電する
ことによって駆動軸４は回転し遠心圧縮ポンプ段Ａと渦
流圧縮ポンプ段Ｂは連動回転する。排気すべき気体は吸
込口１ａより吸引され遠心圧縮ポンプ段Ａで圧縮され渦
流圧縮ポンプ段Ｂに入る。ここで、さらに圧縮され吐出
口１ｂより大気に排気される。
この場合、最終段の渦流ポンプ段Ｂの羽根車背面側は負
圧になるが、吐出ガス環状溝１３に吐出ガスが導かれて
おシ、パージガス環状溝１１から洩れたパージガスの一
部は吐出ガス環状溝１３を通り、吐出ガス路１４を経て
吐出口１ｂより吐出ガスと共に排気される。また、軸受
６部を通って小孔１６よりモータケース８外に吐出され
る。
〔発明の効果〕
本発明によれば、軸貫通部に外部よりパージガスを導く
パージガス環状溝と、このパージガス環状溝とポンプ機
構部との間にポンプ吐出ガスを導く吐出ガス環状溝を設
けたので、パージガス環状溝前後の圧力差が小さくなり
パージガスの供給量を低減でき、また潤滑油蒸気のポン
プ本体内に洩れるのを防げるからクリーンな真空ポンプ
を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の真空ポンプの縦断図、第２図は第１図
の要部拡大断面図である。 １ａ・・・吸込口、ｌｂ・・・吐出口、１・・・ケーシ
ング、２・・・ステータ、３・・・ロータ、４・・・駆
動軸、６，７・・・油潤滑軸受、８・・・モータケース
、９・・・油溜めケーシング、１０・・・油路、１１・
・・パージガス環状溝、１２・・・パージガス路、１３
・・・吐出ガス壇状溝、１４・・・吐出ガス路、Ａ・・
・遠心圧縮ポンプ段、Ｂ・・・渦流圧縮ポンプ段。 竿　Ｉ　口 第　２　口

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、吸込口と吐出口を有するケーシングと、前記ケーシ
    ング内に配置されたステータと、前記ステータ間に配置
    され駆動軸に固定されたロータと、前記駆動軸を駆動す
    るために該軸に設けられたモータロータと、前記モータ
    ロータが対向するケーシングに設けられたモータステー
    タと、前記モータロータと前記モータステータからなる
    モータの上下端に設けられた油潤滑軸受と、前記油潤滑
    軸受に前記駆動軸軸心に設けた油路を経て油を供給する
    潤滑油溜を備えて構成される真空ポンプにおいて、前記
    ポンプ機構下部と前記油潤滑軸受の上部との間に位置す
    る軸貫通部の回転部材周囲の静止部材にパージガス環状
    溝を掘設し、前記パージガス環状溝にパージガスを外部
    より供給するパージガス路を設けかつ前記パージガス環
    状溝と前記ポンプ機構との間の前記回転部材周囲の静止
    部材に吐出ガス環状溝を掘設し、前記吐出ガス環状溝を
    前記ポンプ機構の吐出ガス路に接続してなることを特徴
    とする真空ポンプ。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記ポンプ機構は
    遠心圧縮ポンプ段と渦流圧縮ポンプ段の組合せからなる
    ことを特徴とする真空ポンプ。
JP60292727A 1985-12-27 1985-12-27 真空ポンプ Pending JPS62153597A (ja)

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JP60292727A JPS62153597A (ja) 1985-12-27 1985-12-27 真空ポンプ
EP86117681A EP0228040B1 (en) 1985-12-27 1986-12-18 Vacuum pump
DE8686117681T DE3669356D1 (de) 1985-12-27 1986-12-18 Vakuumpumpe.
US06/947,282 US4734018A (en) 1985-12-27 1986-12-29 Vacuum pump with plural labyrinth seal portions

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01237397A (ja) * 1988-03-18 1989-09-21 Hitachi Ltd 真空ポンプ

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2556320B2 (ja) * 1987-03-18 1996-11-20 セイコ−精機株式会社 真空ポンプ
GB8809621D0 (en) * 1988-04-22 1988-05-25 Boc Group Plc Dry pump with closed loop filter
US5020969A (en) * 1988-09-28 1991-06-04 Hitachi, Ltd. Turbo vacuum pump
DE58905785D1 (de) * 1989-07-20 1993-11-04 Leybold Ag Gasreibungspumpe mit mindestens einer auslassseitigen gewindestufe.
KR950007378B1 (ko) * 1990-04-06 1995-07-10 가부시끼 가이샤 히다찌 세이사꾸쇼 진공펌프
JP2928615B2 (ja) * 1990-09-28 1999-08-03 株式会社日立製作所 ターボ真空ポンプ
JP2998441B2 (ja) * 1992-08-19 2000-01-11 株式会社日立製作所 ターボ真空ポンプ
US5501583A (en) * 1992-08-19 1996-03-26 Hitachi, Ltd. Turbo vacuum pump
WO1994007033A1 (en) * 1992-09-23 1994-03-31 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Turbo-molecular blower
US5263825A (en) * 1992-10-26 1993-11-23 Ingersoll-Dresser Pump Company Leak contained pump
GB2272492B (en) * 1992-11-11 1996-05-01 Dowty Defence & Air Syst Gas supply apparatus
EP0683338A1 (de) * 1994-05-17 1995-11-22 Siemens Aktiengesellschaft Wellenabdichtungssystem
GB9526171D0 (en) * 1995-12-21 1996-02-21 Dowty Seals Ltd Gas purge lip seal
US6090222A (en) 1998-11-16 2000-07-18 Seh-America, Inc. High pressure gas cleaning purge of a dry process vacuum pump
DE10004263A1 (de) * 2000-02-01 2001-08-02 Leybold Vakuum Gmbh Dynamische Dichtung
KR100843500B1 (ko) * 2001-04-23 2008-07-04 어니스트 퍼시픽 리미티드 인테그럴 고속 모터에 의해 구동되는 다단 원심 압축기
GB0114417D0 (en) * 2001-06-13 2001-08-08 Boc Group Plc Lubricating systems for regenerative vacuum pumps
DE10207929A1 (de) * 2002-02-23 2003-09-04 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe
US20050152780A1 (en) * 2004-01-13 2005-07-14 Itt Manufacturing Enterprises, Inc. Double motor seal for a close coupled centrifugal pump
US7140847B2 (en) * 2004-08-11 2006-11-28 The Boc Group, Inc. Integrated high vacuum pumping system
CN101506472B (zh) * 2006-08-02 2012-12-12 流体活塞有限公司 混合循环旋转发动机
EP2218998B1 (en) * 2009-02-03 2012-12-19 Ipsen, Inc. A sealing mechanism for a vacuum heat treating furnace
US8840860B2 (en) 2010-07-23 2014-09-23 Meyer Intellectual Properties Limited Contamination free compression of corrosive gas
US20140119881A1 (en) * 2012-10-31 2014-05-01 General Electric Company Apparatus for recirculating a fluid within a turbomachine and method for operating the same
AT513836B1 (de) * 2013-09-23 2014-08-15 Hoerbiger Kompressortech Hold Kompressor mit und Verfahren zur Spülung des Kompressorgehäuses mit Spülgas
US8972760B1 (en) 2013-12-20 2015-03-03 Futurewei Technologies, Inc. Method and apparatus for reducing power consumption in a mobile electronic device using a second launcher
CN107110172B (zh) * 2014-10-31 2020-09-04 特灵国际有限公司 提供润滑剂到轴承的***和方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE464625C (de) * 1926-03-02 1928-08-21 Alfred Heuer Verfahren zum Unschaedlichmachen von Stueckkalk und Schwefelverbindungen in Ziegeln
US1886714A (en) * 1929-08-13 1932-11-08 Gen Electric Motor driven fluid pump
DE585101C (de) * 1930-07-25 1933-09-28 Wilhelm Beyer Dipl Ing Labyrinthdichtung gegen unter UEberdruck stehenden Sattdampf, insbesondere bei Hochdruckdampfanlagen
CH464625A (de) * 1966-10-12 1968-10-31 Sulzer Ag Wellendichtung für ein Gebläse, insbesondere für das Umwälzgebläse einer gasgekühlten Kernreaktoranlage
US3420434A (en) * 1966-12-30 1969-01-07 Judson S Swearingen Rotary compressors and systems employing same using compressor gas as seal gas
FR2075112A5 (ja) * 1970-01-02 1971-10-08 English Electric Co Ltd
US3942716A (en) * 1973-01-15 1976-03-09 Beckman Instruments, Inc. Flow-thru vacuum bushing for ultracentrifuges
US3831381A (en) * 1973-05-02 1974-08-27 J Swearingen Lubricating and sealing system for a rotary power plant
IT1032818B (it) * 1975-05-06 1979-06-20 Rava E Perfezionamento alle pompe turbomo lecolari
US4116592A (en) * 1976-08-20 1978-09-26 Viktor Yakovlevich Cherny Turbomolecular high-vacuum pulp
US4140441A (en) * 1977-04-11 1979-02-20 Patterson Williams G Turbomolecular pump lubrication system
NL7811164A (nl) * 1978-11-10 1980-05-13 Ihc Holland Nv Afdichting van een as.
FR2521650A1 (fr) * 1982-02-16 1983-08-19 Cit Alcatel Pompe rotative a vide eleve
US4477223A (en) * 1982-06-11 1984-10-16 Texas Turbine, Inc. Sealing system for a turboexpander compressor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01237397A (ja) * 1988-03-18 1989-09-21 Hitachi Ltd 真空ポンプ

Also Published As

Publication number Publication date
EP0228040A1 (en) 1987-07-08
US4734018A (en) 1988-03-29
DE3669356D1 (de) 1990-04-12
EP0228040B1 (en) 1990-03-07

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