SU1590670A1 - Турбомолекул рный насос - Google Patents
Турбомолекул рный насос Download PDFInfo
- Publication number
- SU1590670A1 SU1590670A1 SU884483675A SU4483675A SU1590670A1 SU 1590670 A1 SU1590670 A1 SU 1590670A1 SU 884483675 A SU884483675 A SU 884483675A SU 4483675 A SU4483675 A SU 4483675A SU 1590670 A1 SU1590670 A1 SU 1590670A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- rotor
- pump
- bearing assembly
- turbomolecular pump
- disks
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к вакуумной технике и позвол ет повысить надежность насоса путем бесконсольной установки ротора (Р) 8. Подшипниковый узел (ПУ) 3 расположен над Р 8 и снабжен газодинамическим уплотнением 10, предотвращающим попадание паров смазки на сторону всасывани насоса. В Р 8 выполнены каналы 11, сообщенные с проточной частью, через которые пары смазки отвод тс на сторону нагнетани насоса. 1 ил.
Description
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.
Цель изобретения - повышение надежности.
На чертеже представлен турбомолекулярный насос, продольный разрез.
Турбомолекулярный насос содержит вертикальный корпус 1 со статорными дисками 2 и верхним 3 и нижним 4 подшипниковыми узлами, установленный по оси корпуса 1 на опорах 5 и 6 подшипниковых узлов 3 и 4 вал 7 и закрепленный на нем полый ротор 8 с роторными дисками 9, образующими со статорными дисками 2 проточную часть. Верхний подшипниковый узел 3 расположен над ротором 8 и снабжен газодинамическим уплотнением 10, отделяющим полость подшипникового узла 3 от проточной части, а в роторе 8 выполнены каналы 11, сообщающие полость верхнего подшипникового узла 3 с проточной частью.
Насос работает следующим образом.
При вращении вала 7 и соответственно ротора 8 молекулы откачиваемого газа, взаимодействуя со статорными 2 и роторными 9 дисками проточной части, переносятся со стороны всасывания на сторону нагнетания. Пары смазки из нижнего подшипникового узла 4 попадают непосредственно на сторону нагнетания и удаляются из корпуса 1 внешним насосом. Пары смазки из подшипникового узла 3 через каналы 11 отводятся к промежуточным ступеням проточной части, а оттуда 5 на сторону нагнетания насоса. Наличие газодинамического уплотнения 10 предотвращает попадание паров смазки на сторону всасывания насоса. Повышение надежности обеспечивается бесконсоль10 ным креплением ротора на опорах, уменьшающим его вибрацию и нагрузку на опоры.
Claims (1)
- Формула изобретения 15Турбомолекулярный насос, содержащий вертикальный корпус со статорными дисками и верхним и нижним подшипниковыми узлами,, установленный по. 20 оси корпуса на опорах подшипниковых узлов вал и закрепленный на валу полый ротор с роторными дисками, образующими со статорными дисками проточную часть, о т.личающийся тем, что. с целью повышения 25 надежности, верхний подшипниковый узел расположен над ротором и снабжен газодинамическим уплотнением, отделяющим полость подшипникового узла от проточной части, а в роторе выполнены 30 каналы, сообщающие полость верхнего подшипникового узла с проточной частью.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884483675A SU1590670A1 (ru) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | Турбомолекул рный насос |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884483675A SU1590670A1 (ru) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | Турбомолекул рный насос |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1590670A1 true SU1590670A1 (ru) | 1990-09-07 |
Family
ID=21399724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU884483675A SU1590670A1 (ru) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | Турбомолекул рный насос |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1590670A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013107667A1 (de) * | 2012-01-21 | 2013-07-25 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
-
1988
- 1988-06-06 SU SU884483675A patent/SU1590670A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| За вка DE Nfe 3032967. кл. F 04 D 19/04, опублик. 1982. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013107667A1 (de) * | 2012-01-21 | 2013-07-25 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5597293A (en) | Counterweight drag eliminator | |
| US7492069B2 (en) | Pressurized bearing system for submersible motor | |
| JPS62153597A (ja) | 真空ポンプ | |
| EP0967707A3 (en) | Divisible lamination brushless pump-motor having fluid cooling system | |
| US6698929B2 (en) | Turbo compressor | |
| US5536148A (en) | Turbo vacuum pump | |
| JP2001027195A (ja) | 真空ポンプ | |
| US11913455B2 (en) | Scroll compressor having a centrifugal oil pump | |
| KR840002074A (ko) | 스크로울형 압축기용 베어링 | |
| SU1590670A1 (ru) | Турбомолекул рный насос | |
| AU2016222258A1 (en) | A self-lubricating pump arrangement | |
| US6884047B1 (en) | Compact scroll pump | |
| JP2002310092A (ja) | 真空ポンプ | |
| EP0477924A1 (en) | Turbo vacuum pump | |
| KR890004931B1 (ko) | 밀폐형 스크로울 압축기 | |
| US20020153789A1 (en) | Pressurized bearing system for submersible motor | |
| SU1285198A1 (ru) | Двухступенчатый турбомолекул рный вакуумный насос | |
| SU1571306A1 (ru) | Турбомолекул рный вакуумный насос | |
| KR100273376B1 (ko) | 터보압축기 | |
| CN221170016U (zh) | 一种多级屏蔽泵 | |
| RU1798537C (ru) | Двухступенчатый масл ный насос дл герметичного компрессора | |
| RU2016255C1 (ru) | Молекулярный вакуумный насос | |
| KR100208186B1 (ko) | 소형 터보 압축기의 베어링구조 | |
| KR100273374B1 (ko) | 터보압축기의 스러스트 베어링 구조 | |
| KR100253247B1 (ko) | 터보압축기의 스러스트 베어링 구조 |