JPS62136428A

JPS62136428A - 角形マスク基板移送機構

Info

Publication number: JPS62136428A
Application number: JP27432285A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Iizuka; 飯塚　信行; Tsunemi Fukushima; 福島　常美
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1985-12-07
Filing date: 1985-12-07
Publication date: 1987-06-19
Also published as: JPH0545489B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業−にの利用分野］この発明は、角形のマスク基板検査装置などにおいて、
収納カセットとの間に角形マスク基板（ワーク）を移送
するための角形マスク基板移送機構に関するものである
。

３、発明の詳細な説明半導体製品であるＩＣデバイスを製造する場合、第１段
階としてマスク基板かつ（られる。マスク基板の素材（
サブストレート）は水晶またはガラスによるもので、形
状は最近では専ら角形（正方形）のものが用いられてお
り、大きさとして１辺が４〜フインチの各種がある。

サブストレートは順次各種のプロセスを経て、その表面
に回路バタンか形成されてマスク基板となり、これをち
ととして投影法によりＩＣが製造される。このように、
マスク基板はＩＣの母体であるので、もしその表面に疵
または塵埃などが存在するときは、製造されるすべての
ＩＣの不良の原因となり影響するところが非常に大きい
ので、各プロセスはもちろん、処理または検査装置の間
におけるワークの着脱−移送の際、表面に接触すること
は極力避けることが７認とされている。また、各種の処
理・検査装置またはそれら付随する着脱・移送の機構に
おける発塵についても厳重に防止を図らなければならな
い。

従来、マスク基板の検査装置においては、収納カセット
に対する供試ワークの移送には、プラスチックのベルト
が使用されているが、ベルトがワークの裏面に接触する
ため疵を生ずる虞がある。

またワークの取り出しおよび挿入には、引き出し台とい
われる機構が用いられているが、機構が複雑で寸法が大
きいばかりでなく、各種のワークサイズに対応するため
には、機構の１部の段取りを変えることが必要であるな
ど不便であり、満足すべきものではない。

［発明の目的］この発明は、角形のマスク基板を収納カセットに挿入す
るための移送・押し込みの機構において、ワークの表面
に非接触で、また各種のサイズのワークに対して段取り
替えを必要とせず、構造が中線な角形マスク基板の移送
機構を提供することをＩ」的とするものである。

［問題点を解決するための丁段コこの発明においては、ワークの移送・押し込みを機械的
に行うものであるが、その機構とワークの接触はワーク
の側面および側面と表・刈面のなす稜線に限るものであ
る。

第１図（ａ）はこの発明に用いたＶ字形のワーク載１δ
台２を示すもので、ワーク１は載置台２のＶ字をなす２
辺のヒに側面の稜線で接触して載置されている。

第１図（ｂ）はこの発明に用いたテーパ付きローラ３を
示すもので、ワーク１は相対するローラ３（１対のみ図
示）の上に稜線で接触して載置されている。ここで押出
具４でワーク１の側面を矢印Ｂの方向に押すときは、ワ
ーク１の進行につれてローラ３が自由回転をするが、両
者の接触は稜線に限られている。

第１図（Ｃ）は、ワーク１．ワーク載置台２およびテー
パ付きローラ３の配置図である。図中の５は前段階に１
−１゛われた検査の位置からワーク載置台２までワーク
１を搬送するための搬送チャックを示す。

第２図は、この発明におけるワーク１の移送の手順を説
明する各段階の小回断面図である。図中で（イ）は、」
二足した搬送チャック５にチャックされたワーク１を示
し、これが降下すると図（ロ）のように、ワーク１は載
１６′台２の」ユに稜線を接して載置される。さらに載
置台２が降下して図（ハ）の状態となると、載置台２は
無関係となり、ワーク１はローラ３に移される。ここで
、押出具４によりワークの側面を矢印Ｂの方向に押圧す
ると、ヒ述の通りワーク１は稜線で接触して移送される
。

［実施例コ第３図にこの発明による角形マスク基板移送機構の１実
施例を示す。ベース板６の中央部に垂直移動軸８に結合
した市直軸８”を設け、該垂直軸８“のし部にＶ字形の
ワーク載置台２をとりつける。モータ９はワーク載置台
２の昇降用である。

ワーク載置台２を挟んで両側に２枚のフレームパー７を
平行に固定して、それぞれに１連のテーパ付きローラ３
を軸支して配列する。

載置台２およびローラ３の大きさ、ならびにローラ３の
隣接の間隔、あるいは対向する間隔などは、供試される
ワークサイズのうちの最小、最大のものを考慮して、各
種のサイズのワークに適用できるように選定するもので
ある。現行の４〜フイン千のワークに対して、これは十
分可能である。

また、このようにすることにより、ワークサイズの変更
に対して段取り替えが不要となる。

押出具４は、２本のガイド棒１３に沿って可動の移動子
１４に取り付けられており、またモータ１２はスチール
ベルト１１を介して移動子１４を移動するものである。

いま、前述した搬送チャック５により、ワーク１が載置
台２の１−に載置されると、シーケンサなどの制御によ
りモータ９が回転して載置台２が降下し、ワーク１はロ
ーラ３に移される。ついでモータ１２の回転により、押
出具４が押出されてワークｌは収納カセット１５の方に
移送されるものである。

［発明の効果コこの発明による角形マスク基板移送機構によれば、当初
に述べた従来のベルト方式においてワーりに生ずる疵、
塵埃の問題および収納カセットの引き出し台における機
構の複雑さと段取り替えの７認性がすべてυＦ除されて
いる。すなわち、Ｖ字形の載置台およびテーパ付きロー
ラを導入してワークの稜線のみに接触し表・裏面には非
接触で移送する方式であるので、ワークの品質を低下す
る虞が全くない。また、ワーク載置台２およびテーパ付
きローラ３はともに各種のサイズのワークに対応できる
ので、段取り替えが不要であり、かつこれらは単純な原
理および簡単な構造のものであるなど優れた性能を有し
ており、１つ導体生産技術に寄与するところ大きいもの
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）はこの発明による角形マスク基板移送機構
に用いるＶ字形ワーク載置台にワークを載置した図、第
１図（ｂ）はこの発明による角形マスク基板移送機構に
用いるテーパ付きローラにワークを載置した図、第１図
（Ｃ）はこの発明による角形マスク基板移送機構におけ
る各部の相互位置を示す配置図、第２図はこの発明によ
る角形マスク基板移送機構におけるワークの移送手順の
説明図、第３図はこの発明による角形マスク基板移送機
構の１実施例の斜視外観図である。１・・・ワーク、　　　　　　２・・・ワーク載置台、
３・・・テーパ付きローラ、４・・・押出具、５・・・
搬送チャック、　　　６・・・ベース板、７・・・フレ
ームバー、　　８・・・垂直駆動機構、８′・・・垂直
移動軸、　　　　９・・・１２・・・モータ、１０・・
・滑ｊｌｉ　、　　　　　　　Ｉ　Ｉ・・・スチールベ
ルト、１３・・・ガイド棒、　　　　Ｉ４・・・移動子
、１５・・・収納カセット部。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ベース板の中心部に設けられ、垂直断面がＶ字形
をなし、該Ｖ字形の上に角形マスク基板（ワーク）を該
ワークの２辺の稜線で支承しかつ垂直の方向に可動のワ
ーク載置台と、該ワーク載置台の両側にあって、上記ベ
ース板に固定された２枚の平行なフレームバーの相対す
る２面に水平に軸支され、該ワーク載置台の下降により
上記ワークを該ワーク載置台から載置替えする２組のテ
ーパ付きのローラと、該ローラの端部にあって該ローラ
の上に載置されている該ワークを押出して移送する押出
機構とよりなることを特徴とする角形マスク基板移送機
構。