JPS62121016A - ウエハのブレ−ク装置 - Google Patents
ウエハのブレ−ク装置Info
- Publication number
- JPS62121016A JPS62121016A JP60262887A JP26288785A JPS62121016A JP S62121016 A JPS62121016 A JP S62121016A JP 60262887 A JP60262887 A JP 60262887A JP 26288785 A JP26288785 A JP 26288785A JP S62121016 A JPS62121016 A JP S62121016A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cutting groove
- elastic sheet
- cutting
- cut
- Prior art date
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- Pending
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
この発明はウェハを各チップ毎に分離させるウェハのブ
レーク装置の改良に関するものである。
レーク装置の改良に関するものである。
〔従来の技術）
第４図ないし第６図はこの種の従来装置を示すもので、
（１）は装置本体、（２）はこの装置本体（１）上でｘ
Ｙ方向に移動し得るＸＹテーブル、（３）はこのＸＹテ
ーブル（２）に装着された弾性材、（４）はこの弾性材
（３）上に位置される保護シート、（５）は２７８〜３
／４だけ切断溝（５ａ）が形成されＴこウェハ、（６）
はこのウェハ（５）上を覆う塩ビシートからなる弾性シ
ート。
（１）は装置本体、（２）はこの装置本体（１）上でｘ
Ｙ方向に移動し得るＸＹテーブル、（３）はこのＸＹテ
ーブル（２）に装着された弾性材、（４）はこの弾性材
（３）上に位置される保護シート、（５）は２７８〜３
／４だけ切断溝（５ａ）が形成されＴこウェハ、（６）
はこのウェハ（５）上を覆う塩ビシートからなる弾性シ
ート。
（７）はこの弾性シート（６）トを転勤するローラであ
る。
る。
上記のように構成されたものにおいては、弾性材（３）
上には保護シート（４）を介してウェハ（５）が位置さ
れており、ＸＹテーブル（２）が移動するとウェハ（５
） ｋを弾性シート（６）を介してローラ（７）が転動
することになる。この１こめ、切断溝（５ａ］の部分か
らウェハ（５）はブレークされ１例えばＸ方向の切断が
終了する。次にＸＹテーブル（２）が直角に回転し、ウ
ェハ（５）のＹ方向のブレーク作業が同様基こ実施され
る。
上には保護シート（４）を介してウェハ（５）が位置さ
れており、ＸＹテーブル（２）が移動するとウェハ（５
） ｋを弾性シート（６）を介してローラ（７）が転動
することになる。この１こめ、切断溝（５ａ］の部分か
らウェハ（５）はブレークされ１例えばＸ方向の切断が
終了する。次にＸＹテーブル（２）が直角に回転し、ウ
ェハ（５）のＹ方向のブレーク作業が同様基こ実施され
る。
ところで、ウェハ（５）のブレークに際しては、ローラ
（７）が転動することにより、全ての切断溝（５ａ）の
部分において、ウェハ（５）が切断されることになるが
、ウェハ（５）の周囲は第６図のように面取り部（５ｂ
〕が形成されており、縁部のチップを切断する場合、ロ
ーラ（７）が面取り部（５ｂ）の傾斜によって逃げるこ
とになり１例えば、第５図多こおいてＡで示す部分のチ
ップの切断溝（５ａ）部分がブレークされないまま、残
存することになる。
（７）が転動することにより、全ての切断溝（５ａ）の
部分において、ウェハ（５）が切断されることになるが
、ウェハ（５）の周囲は第６図のように面取り部（５ｂ
〕が形成されており、縁部のチップを切断する場合、ロ
ーラ（７）が面取り部（５ｂ）の傾斜によって逃げるこ
とになり１例えば、第５図多こおいてＡで示す部分のチ
ップの切断溝（５ａ）部分がブレークされないまま、残
存することになる。
〔発明が解決しようとする問題点］
従来のウェハのブレーク装置は以上のように構成されて
いたので、ブレークされないチップが残存したり、チッ
プ表面にローラーで圧力を加えて割る為、ブレーク時に
溝底部以外からも余分な割れくずが出易すく、隣のチッ
プ表面に飛び移って傷をつけたり、ダイボンド時に吸着
コレット先端に付着して相手チップに傷を付け１こりす
る等の不具合を生じ１歩留りが低下するという問題点か
あつ１こ。
いたので、ブレークされないチップが残存したり、チッ
プ表面にローラーで圧力を加えて割る為、ブレーク時に
溝底部以外からも余分な割れくずが出易すく、隣のチッ
プ表面に飛び移って傷をつけたり、ダイボンド時に吸着
コレット先端に付着して相手チップに傷を付け１こりす
る等の不具合を生じ１歩留りが低下するという問題点か
あつ１こ。
この発明は上記のような問題点を解消するためｆこなさ
れたもので、各チップ毎に確実にブレークでき、又、ブ
レーク時の割れくずの発生を抑制でき１歩留りの向上を
図ることができるウェハのブレーク装置を得ることを目
的とする。
れたもので、各チップ毎に確実にブレークでき、又、ブ
レーク時の割れくずの発生を抑制でき１歩留りの向上を
図ることができるウェハのブレーク装置を得ることを目
的とする。
〔実施例）
以下、この発明の一実施例を第１図ないし第８図で説明
する。図において、αＱは弾性シート（６）の周縁部分
を保持する内リング（１０ａ）と外リング（１０ｂ）と
からなる保持リング、α旧よこの保時リングα０を支承
し１こ支承台、（６）はこの支承金回をＸ方向に駆動す
るモータ、四は同様にＹ方向に駆動するモータ、α４は
ウェハ（５）の切断溝（５ａ）ｉζ順次対向する刃部（
１４ａ）を有する押圧手段で、シリンダＣ１４ｂ）で上
下動され、上記弾性シー’）（６）を介して上記ウェハ
（５）を各切断溝（５ａ）毎に押圧切断する。
する。図において、αＱは弾性シート（６）の周縁部分
を保持する内リング（１０ａ）と外リング（１０ｂ）と
からなる保持リング、α旧よこの保時リングα０を支承
し１こ支承台、（６）はこの支承金回をＸ方向に駆動す
るモータ、四は同様にＹ方向に駆動するモータ、α４は
ウェハ（５）の切断溝（５ａ）ｉζ順次対向する刃部（
１４ａ）を有する押圧手段で、シリンダＣ１４ｂ）で上
下動され、上記弾性シー’）（６）を介して上記ウェハ
（５）を各切断溝（５ａ）毎に押圧切断する。
次に動作について説明する。まず、支承台Ｇηに。
ウェハ（５）を接着しｔこ弾性シート（６）を保持リン
グαＱを介して配置し１次に、支承台叩のＸ方向、Ｙ方
向を各モータＣＬＩＱ３で調整し、その後、最端の切断
溝〔５ａ〕に押圧手段σ４の刃部（１４ａ）を当接させ
、シリンダ（１４ｂ）を駆動して、刃部（１４ａ）と更
に所定寸法上方へ突き上げて、切断溝（５ａ）を全長に
亘って同時に切断する。次に、モータ四を駆動して、刃
部（１４ａ）を次の切断溝（５ａ）に対向させ、同様に
刃部（１４ａ）で切断動作させろ。このようにして各切
断溝（５ａ）が順次切断されることになる。
グαＱを介して配置し１次に、支承台叩のＸ方向、Ｙ方
向を各モータＣＬＩＱ３で調整し、その後、最端の切断
溝〔５ａ〕に押圧手段σ４の刃部（１４ａ）を当接させ
、シリンダ（１４ｂ）を駆動して、刃部（１４ａ）と更
に所定寸法上方へ突き上げて、切断溝（５ａ）を全長に
亘って同時に切断する。次に、モータ四を駆動して、刃
部（１４ａ）を次の切断溝（５ａ）に対向させ、同様に
刃部（１４ａ）で切断動作させろ。このようにして各切
断溝（５ａ）が順次切断されることになる。
この発明に係るウェハのブレーク装置は、各チップサイ
ズ毎にハーフカットされた切断溝を有するウェハ、この
ウェハの切断溝側に設けられり保護シート、上記ウェハ
の他面に接着された弾性シート、この弾性シートの外周
を保持する保持リング、この保持リングを支承する支承
台、上記弾性シートに対面して配置され、上記切断溝に
沿った刃部を有し、各切断溝を順次押圧する押圧手段を
備え１こものである。
ズ毎にハーフカットされた切断溝を有するウェハ、この
ウェハの切断溝側に設けられり保護シート、上記ウェハ
の他面に接着された弾性シート、この弾性シートの外周
を保持する保持リング、この保持リングを支承する支承
台、上記弾性シートに対面して配置され、上記切断溝に
沿った刃部を有し、各切断溝を順次押圧する押圧手段を
備え１こものである。
〔作用）
この発明におけるウェハのブレーク装置は１弾性シート
を介してウェハは押圧手段の刃部で各切断溝毎に順次押
圧され、各切断溝毎に確実に切断される。
を介してウェハは押圧手段の刃部で各切断溝毎に順次押
圧され、各切断溝毎に確実に切断される。
以上のようにこの発明は、各チップサイズ毎にハーフカ
ットされた切断溝を有するウェハ、このウェハの切断溝
側に設けられＴこ保護シート、に化ウェハの他面に接着
されＴこ弾性シート、この弾性シートの外周を保持する
保持リング、この保持リングを支承する支承台、上記弾
性シートに対面して配置され、上記切断溝に沿った刃部
を有し、各切断溝を順次押圧する抑圧手段を備えｔコの
で、切断溝が略直接的に切断されることになり、ウェハ
の周縁部の切断溝も確実に切断でき、又、ブレーク時の
割れくず発生を少なくでき１歩留りを改善できる効果が
ある。
ットされた切断溝を有するウェハ、このウェハの切断溝
側に設けられＴこ保護シート、に化ウェハの他面に接着
されＴこ弾性シート、この弾性シートの外周を保持する
保持リング、この保持リングを支承する支承台、上記弾
性シートに対面して配置され、上記切断溝に沿った刃部
を有し、各切断溝を順次押圧する抑圧手段を備えｔコの
で、切断溝が略直接的に切断されることになり、ウェハ
の周縁部の切断溝も確実に切断でき、又、ブレーク時の
割れくず発生を少なくでき１歩留りを改善できる効果が
ある。
第１図はこの発明の一実施例を示す部分断面側面図、第
２図はその押圧手段の斜視図、第８図は第１図の平面図
、第４図は従来装置の断面図、第５図はそのウェハを示
す拡大図、第６図はその断面を示す拡大断面図である。 図中、（５）はウェハ、αＱは保護リング％叩は支承台
、α４は押圧手段、（１４ａ）は刃部である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
２図はその押圧手段の斜視図、第８図は第１図の平面図
、第４図は従来装置の断面図、第５図はそのウェハを示
す拡大図、第６図はその断面を示す拡大断面図である。 図中、（５）はウェハ、αＱは保護リング％叩は支承台
、α４は押圧手段、（１４ａ）は刃部である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 各チップサイズ毎にハーフカットされた切断溝を有する
ウエハ、このウエハの切断溝側に設けられた保護シート
、上記ウエハの他面に接着された弾性シート、この弾性
シートの外周を保持する保持リング、この保持リングを
支承する支承台、上記弾性シートに対面して配置され、
上記切断溝に沿つた刃部を有し、各切断溝を順次押圧す
る押圧手段を備えたウエハのブレーク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60262887A JPS62121016A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | ウエハのブレ−ク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60262887A JPS62121016A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | ウエハのブレ−ク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62121016A true JPS62121016A (ja) | 1987-06-02 |
Family
ID=17381998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60262887A Pending JPS62121016A (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 | ウエハのブレ−ク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62121016A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103203806A (zh) * | 2012-01-16 | 2013-07-17 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的裂断方法 |
| JP2015185654A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | 株式会社ディスコ | 分割装置 |
-
1985
- 1985-11-21 JP JP60262887A patent/JPS62121016A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103203806A (zh) * | 2012-01-16 | 2013-07-17 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的裂断方法 |
| JP2015185654A (ja) * | 2014-03-24 | 2015-10-22 | 株式会社ディスコ | 分割装置 |
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