JPS62112044A - Inspecting instrument for flat matrix display panel - Google Patents
Inspecting instrument for flat matrix display panelInfo
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- JPS62112044A JPS62112044A JP60252462A JP25246285A JPS62112044A JP S62112044 A JPS62112044 A JP S62112044A JP 60252462 A JP60252462 A JP 60252462A JP 25246285 A JP25246285 A JP 25246285A JP S62112044 A JPS62112044 A JP S62112044A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、二枚のガラスの如き通明基板二二形成された
多数の電極が対向した形態で構成される例えばデユティ
駆動の液晶パネルの如きフラノトマトリソクスディスプ
レイバＺル用検査装置に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is applicable to a liquid crystal panel, for example, a duty-driven liquid crystal panel, which is constructed of two transparent substrates such as glass, in which a large number of electrodes are formed facing each other. The present invention relates to an inspection device for Furano tomato litox display bar Z.
〔従来の技術］
この種のフラットマトリックスディスプレイパネルは、
液晶デユティ駆動の場合、第６図に例示した如く、ガラ
ス基板Ｇ１ の表面に酸化インジウム（ＩＴＯ）等を蒸
着せしめることにより形成された多数のデータ側電極Ｄ
Ｅとガラス基板Ｇ２の表面に同様に形成された多数の走
査側電極ＳＥとがマトリックス状に対向するように配列
されて、これら両ガラス基板Ｇ１．Ｇｚ間に液晶が封入
されることにより構成されるが、これらのパネルの検査
においては、電気的特性（短絡９オープンリーク等）の
みならず、表面の輝度ムラ、干渉縞の有無等を検査する
必要があるため、パネルを動作状態にして目視により検
査を行う必要がある。又この種パネルにおける電ＩＤＥ
、ＳＥのピンチは、近年増々望まれる絵素の高密度化に
伴い０．２１程度の微小ピッチが要求されている。とこ
ろで、第７図はこのような微小ピッチの多数の電極ＤＥ
。[Prior art] This type of flat matrix display panel is
In the case of liquid crystal duty drive, as illustrated in FIG. 6, a large number of data side electrodes D are formed by depositing indium oxide (ITO) on the surface of the glass substrate G1.
E and a large number of scanning side electrodes SE formed in the same manner on the surface of the glass substrate G2 are arranged to face each other in a matrix shape, and these glass substrates G1. These panels are constructed by sealing a liquid crystal between G and Z, but when inspecting these panels, we inspect not only the electrical characteristics (short circuits 9 open leaks, etc.), but also the uneven brightness of the surface, the presence of interference fringes, etc. Therefore, it is necessary to visually inspect the panel with the panel in operation. Also, electric IDE in this kind of panel
, SE pinch is required to have a minute pitch of about 0.21 as picture element density is increasingly desired in recent years. By the way, FIG. 7 shows a large number of electrodes DE with such a fine pitch.
.
ＳＥを有するディスプレイパネルＰの検査に好適に使用
し得るテスターへノドの一例を示しているが、このテス
ターヘッドＨは、パネルＰの電極ＤＥ、、ＳＥのピッチ
に対応するピンチで形成された多数のスリットＳを配列
して成る例えばメタクリル樹脂製の本体と、各スリット
Ｓ内に弾性変形された状態で夫々収納されていて両端部
に本体の頂面及び下面より夫々突出するように形成され
た接触部Ｃ１及び接倚部Ｃ２を有するリン青銅の如きハ
ネ性を有する金属製の接触・端子Ｃとから成っている。An example of a tester head that can be suitably used for testing a display panel P having SE is shown. A main body made of, for example, methacrylic resin, which is made of an array of slits S, and each slit S is housed in an elastically deformed state and formed at both ends so as to protrude from the top and bottom surfaces of the main body, respectively. It consists of a contact/terminal C made of resilient metal such as phosphor bronze and having a contact portion C1 and a contact portion C2.
テストに際しては、一対のテスターへノドＨが使用され
、水平に保持されたパネルＰの下側から一方のテスター
ヘッドの接触端Ｃの接触部Ｃ２がデータ側電極ＤＥに、
また該パネルＰの上側から他方のテスターへノドの接触
端子Ｃの接触部Ｃ１が走査側電極ＳＨに夫々接触せしめ
られるが、この場合、データ側電極ＤＥとこれに接触せ
しめられるべき接触端子Ｃの位置合せは下記の如く行な
われる。即ち、先づ真空吸着装置によりパネルＰが水平
に保持され、次に上方より顕微鏡を覗きながら左右、上
下及び回転方向に移動調整可能のステージを用いて該ス
テージに装着されたテスターヘッドＨを動かすことによ
りデータ側電極ＤＥと対応する接触端子Ｃとの位置合せ
が行われ、最後にステージを上昇させ対応する接触端子
Ｃをデータ側電極ＤＥに接触させると共に適宜の圧力を
加えることにより位置合せを完了するようになっている
。During the test, a pair of tester heads H is used, and the contact portion C2 of the contact end C of one tester head is connected to the data side electrode DE from the bottom of the panel P held horizontally.
Also, the contact portions C1 of the contact terminals C of the throat of the other tester are brought into contact with the scanning side electrodes SH from the upper side of the panel P, but in this case, the data side electrode DE and the contact terminals C that are to be brought into contact therewith are brought into contact with the scanning side electrodes SH. The alignment is performed as follows. That is, first, the panel P is held horizontally by a vacuum suction device, and then, while looking through a microscope from above, a tester head H attached to the stage is moved using a stage that can be moved horizontally, vertically, and in rotational directions. By doing this, the data side electrode DE and the corresponding contact terminal C are aligned, and finally, the stage is raised and the corresponding contact terminal C is brought into contact with the data side electrode DE, and the alignment is performed by applying appropriate pressure. It is set to be completed.
上述の如き位置合せ方法による場合は上方より顕微鏡を
覗きながら位置合せを行うようになっているため、テス
ターヘッドＨを上方から下降せしめることの必要な走査
側接触端子Ｃと走査側電極ＳＥとの位置合せは不可能で
、この場合の位置合せは他の方法によらざるを得なかっ
た。When using the alignment method described above, alignment is performed while looking through the microscope from above, so the tester head H must be lowered from above to connect the scanning side contact terminal C and the scanning side electrode SE. Alignment was impossible, and in this case alignment had to be achieved by other methods.
本発明は、かかる事情に鑑み、上記ステージを利用して
走査側接触端子と走査側電極との位置合せをも行い得る
この種検査装置を提供することを目的とする。In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to provide this type of inspection device that can also perform alignment between the scanning side contact terminal and the scanning side electrode using the above-mentioned stage.
〔問題点を解決するための手段及び作用３本検査装置に
よれば、データ側電極に接触すべきデータ側接触端子を
有するテスターへメトを装架した位置合せ用ステージに
データ側接触端子と所定の位置関係を持つように走査側
接触端子を存するもう一つのテスターヘッドが装架され
ていて、データ側電極とデータ側接触端子との位置合せ
が行われると同時に走査側電極と走査側接触端子との位
置合せが完了するようになっている。好ましくは、デー
タ側接触端子群には、データ側電壜が形成されている基
板に設けられた少なくとも二つの位置合せ用ダミーパタ
ーンに夫々接触し得る少なくとも二つのダミー接触端子
が含まれていて、データ側電極とデータ側接触端子との
位置合セが一層容易に行われ得るようになっている。[Means and effects for solving the problem (3) According to this testing device, the data side contact terminal and the predetermined position are placed on the positioning stage on which the meter is mounted on the tester having the data side contact terminal that should be in contact with the data side electrode. Another tester head having a scanning side contact terminal is mounted so that the positional relationship between the scanning side electrode and the scanning side contact terminal is achieved. The alignment is now complete. Preferably, the data-side contact terminal group includes at least two dummy contact terminals that can respectively contact at least two alignment dummy patterns provided on the substrate on which the data-side electric bottle is formed, The data side electrode and the data side contact terminal can be aligned more easily.
（実施例〕
先づ第１図及び第２闇に基づき本発明の第一実施例を説
明すれば、図中、ｌは装置の本体フレーム、２は本体フ
レーム１上に固着されたヘース、３はベース２上に摺動
可能に装架されていて周知のネジ機構を介して粗微動ハ
ンドル４を回すことにより一方向へ移動可能のＸステー
ジ、５はＸステージ３上に摺動可能に装架されていて周
知のネジ機構を介して粗微動ハンドル６を回すことによ
りＸステージ３に対して直交する一方向へ移動可能のｙ
ステージ、７はｙステージ５に上下摺動可能に装架され
ていて周知のラック−ピニオン機構を介して粗微動ハン
ドル８を回すことにより上下方向へ移動可能の２ステー
ジ、９は２ステージ７上に回転可能に装架されたθステ
ージ、１０はθステージ９上に固着されていてデータ側
テスターへノド載置部１０ａと後述する走査側テスター
ヘッド支持装置ｌｌを装備したテスターヘッド支持ステ
ージ、１２は本体フレームｌに取付けられていてテスタ
ーヘッド支持ステージ１０のデータ側テスターヘッド載
置部１０ａの直上部に配設された真空吸着装置、１３は
テスターヘッド支持ステージ１０上に回動可能に取付け
られた移動ネジ、１４はテスターヘッド支持ステージ１
０上に摺動可能に載置されていて移動ネジ１３に螺着さ
れたブロック、１５はブロック１４上に枢着されていて
先端部１５ａがＬ字状に起立せしめられた挟持用レバー
、１６は挟持用レバー１５に進退可能に螺着された調整
ネジ、１７は調整ネジ１６の小径部に緩く嵌合せしめら
れていてブロック１４上に挾持用レバー１５と同心的に
枢着されたテスターヘッド支持部材、１８は挾持用レバ
ー１５とテスターヘッド支持部材１７との間に張架され
ていて両者を互いに離れるように弾圧するスプリング、
１９は走査側テスターヘッドＨ３のためのリードクラン
パーである。データ側テスターへノドＨ９はテスター５
ノド支持ステージ１０のデータ側テスターへ、上載置部
１０ａ上の所定位置に取付はネジ２０．２０により固着
され、２１はステージｌＯ上に固定されたデータ側テス
ターへノドＨ０のためのり−ドクランパーである。尚、
テスターヘッド支持ステージＩＯ及びテスターヘッド支
持装置１）は、検査されるべきディスプレイパネルＰ、
走査側テスターヘッドＨ３及びデータ側テスターヘッド
Ｈ０が夫々上記の如き所定位置に保持された時、各テス
ターへノドＨ５及びＨｏの接触端子Ｃｓ 、Ｃｏは上記
パネルＰの走査側電極ＳＥ及びデータ側電極ＤＢと夫々
対応し得るように、相互の位置が予め設計されている。(Embodiment) First, a first embodiment of the present invention will be described based on FIG. 1 and FIG. 5 is an X stage that is slidably mounted on the base 2 and can be moved in one direction by turning a coarse/fine movement handle 4 through a well-known screw mechanism. The y is suspended and can be moved in one direction orthogonal to the X stage 3 by turning the coarse and fine movement handle 6 via a well-known screw mechanism.
A stage 7 is mounted on the y-stage 5 so as to be vertically slidable, and is movable vertically by turning a coarse/fine movement handle 8 via a well-known rack-pinion mechanism. A θ stage 10 is rotatably mounted on the θ stage 9, and a tester head support stage 12 is equipped with a gutter mounting portion 10a for the data side tester and a scanning side tester head support device ll to be described later. 13 is a vacuum suction device attached to the main body frame L and disposed directly above the data side tester head mounting portion 10a of the tester head support stage 10; 13 is rotatably attached to the tester head support stage 10; 14 is the tester head support stage 1
A block 15 is slidably mounted on the block 14 and is screwed onto the moving screw 13; a clamping lever 15 is pivotally mounted on the block 14 and has a tip 15a erected in an L-shape; 17 is an adjustment screw that is screwed into the clamping lever 15 so that it can move forward and backward, and 17 is a tester head that is loosely fitted into the small diameter part of the adjustment screw 16 and pivoted on the block 14 concentrically with the clamping lever 15. A support member 18 is a spring stretched between the clamping lever 15 and the tester head support member 17 and urging them apart from each other.
19 is a lead clamper for the scanning side tester head H3. Nod H9 to data side tester is tester 5
The data side tester of the gutter support stage 10 is fixed at a predetermined position on the upper mounting part 10a with screws 20 and 20, and 21 is a screw clamper for the gutter H0 to the data side tester fixed on the stage lO. be. still,
The tester head support stage IO and the tester head support device 1) include a display panel P to be tested,
When the scanning side tester head H3 and the data side tester head H0 are respectively held at the predetermined positions as described above, the contact terminals Cs and Co of the nodes H5 and Ho to each tester are the scanning side electrode SE and the data side electrode of the panel P. Their mutual positions are designed in advance so that they can correspond to each DB.
次に上記装置の作用を説明する。Next, the operation of the above device will be explained.
第１図は、ディスプレイパネルＰが検査位置に保持され
且つ走査側テスターヘノドＨ８及びデータ側テスターヘ
ッドＨゎが何れも作動位置にセットされている状態を示
しているが、全検査すべきディスプレイパネルを新しく
セットする場合につき第１図を参照して説明すれば、先
づ調整ネジ１６を回してこれを上昇させると、これに追
従してテスターヘッド支持部材１７が僅かに右旋せしめ
られ、走査側接触端子Ｃ３がパネルＰの走査側電極ＳＥ
より一斉に離れて上昇する。この状態で移′動ネジ１３
を回してテスタ−ヘッド支持装置１）全体を第３図の位
置から右方へ移動せしめ、走査側接触端子Ｃ３をパネル
Ｐから遠ざける。次にハンドル８を回してデータ側テス
ターヘッドＨ０を僅かに下降させ、真空吸着装置１２レ
リーズして検査すべき新しいディスプレイパネルを所定
位置にセットし、真空吸着装置１２を再び働かせて該パ
ネルをその位置に固定させる。この状態で本体フレーム
ｌの上方位置に装備された図示しない顕微鏡を覗きなが
ら、ハンドル４及び６を操作して上記パネルのデータ側
電極ＤＢとデータ側テスターヘッドＨＤの接触端子ＣＤ
との位置合せを行う。FIG. 1 shows a state in which the display panel P is held in the inspection position and the scanning side tester head H8 and the data side tester head H2 are both set in the operating position. To explain the case of setting a new one with reference to FIG. 1, first turn the adjustment screw 16 to raise it, and the tester head support member 17 will follow this and turn slightly to the right, moving to the scanning side. Contact terminal C3 is scanning side electrode SE of panel P
They rise further apart in unison. In this state, move screw 13
3 to move the entire tester head support device 1) to the right from the position shown in FIG. 3, and move the scanning side contact terminal C3 away from the panel P. Next, turn the handle 8 to lower the data side tester head H0 slightly, release the vacuum suction device 12 to set a new display panel to be tested in the predetermined position, and operate the vacuum suction device 12 again to move the panel to its original position. fixed in position. In this state, while looking through a microscope (not shown) installed above the main body frame l, operate the handles 4 and 6 to connect the data side electrode DB of the panel and the contact terminal CD of the data side tester head HD.
Perform alignment with
次にハンドル８を再び操作してデータ側テスターヘッド
Ｈｏを上昇させ、データ側接触端子Ｃ０をデータ側電極
ＤＥへ夫々圧接させる。かくして後、移動ネジ１３を上
記とは反対の方向へ回してテスターヘッド支持袋２１）
全体を図示しないストッパーに当接するまで即ち図示位
置まで左方へ移動せしめ、上記パネルの走査側電極ＳＥ
上へ走査側テスターヘッドＨ、の接触端子Ｃ３を持ち来
たす。Next, the handle 8 is operated again to raise the data side tester head Ho and bring the data side contact terminals C0 into pressure contact with the data side electrodes DE. After doing this, turn the moving screw 13 in the opposite direction to the above to remove the tester head support bag 21).
The entire body is moved to the left until it comes into contact with a stopper (not shown), that is, to the position shown, and the scanning side electrode SE of the panel is
Bring the contact terminal C3 of the scanning side tester head H upwards.
この状態で調整ネジ１６を上記とは反対の方向へ回して
テスターヘッド支持部材１７を僅かに左旋せしめ、走査
側接触端子Ｃ５を上記パヌルの走査側電極Ｓ已に夫々圧
接せしめることにより七ノド操作を完了する。この場合
、走査側接触端子Ｃ３は走査側電極ＳＢを形成したガラ
ス基板Ｇ２を下方へ押圧してパネルを吸着位置から剥が
す方向へ押圧する結果となるが、上記ガラス基板Ｇ２は
走査側接触端子Ｃ５と挾持レバー１５とにより挟持され
るから、パネルの吸着位置がずれるようなことはなく、
データ側接触端子Ｃ０のデータｌ！１．１）電極ＤＢへ
の位置合せと同時に走査側接触端子Ｃ５の走査側電極Ｓ
Ｂへの位置合せが正確且つ自動的に行われ得る。In this state, turn the adjustment screw 16 in the opposite direction to the above to slightly rotate the tester head support member 17 to the left, and press the scanning side contact terminals C5 to the scanning side electrodes S of the panel, respectively, to perform a seven-node operation. complete. In this case, the scanning side contact terminal C3 presses the glass substrate G2 on which the scanning side electrode SB is formed downward and in the direction of peeling off the panel from the adsorption position, but the scanning side contact terminal C5 Since the panel is held between the holding lever 15 and the holding lever 15, the adsorption position of the panel will not shift.
Data l of data side contact terminal C0! 1.1) Scanning side electrode S of scanning side contact terminal C5 at the same time as alignment with electrode DB
The alignment to B can be performed accurately and automatically.
第３図は本発明の他の実施例を示している。この実施例
は、走査側テスターヘッド支持装置１）の構成の点で上
述の実施例とは異なる。即ち、テスターへノド支持ステ
ージ１０上にはレバー２２ａを有する冶具ブロック２２
が回動可能に装架されていて、この冶具ブロック２２に
は走査側テスターヘッドＨ５が取付けられており、更に
この治具ブロック２２はレバー２２３の実線図示位置と
鎖線図示位置との間を回動して各位置にクリック装置等
により保持され得るようになっている。尚、レバー２２
３が鎖線位置へ持ち来された時は、真空吸着装置１２に
より本体フレーム１の所定位置に保持されたフラノドパ
ふルＰの走査側電極ＳＥに走査側テスターヘノ’ｔ”Ｈ
ｓの接触端子Ｃｓが適当な押圧力で夫々接触し得るよう
に予め設計されており、又レバー２２ａが鎖線位置にあ
る状態での走査側接触端子Ｃ５とデータ側接触端子Ｃ０
との相互関係がパネルＰの走査側電極ＳＥとデータ側電
極ＤＥとの相互位置関係と同一になるように設計され取
付けられている。この実施例は−１：記のように構成さ
れているから、検査されるべきフラットパネルの七ノド
を行う場合には、先づレバー２２ａを鎖線位置から実線
位置まで回して走査側テスターヘッドＨ３を図示位置ま
で移動させ、次に既述の如き手順で新しいフラットパネ
ルの所定位置への装填、顕微鏡を利用してのデータ側′
准槻ＤＥとデータ側接触端子Ｃ８の位置合せ及びステー
ジ９の上昇によるデータ側接触端子Ｃ０のデータ側電極
Ｄ’Ｅへの加圧接触を行わせ、しかる後、レバー２２３
を実線位置から鎖線位置まで回すだけで、走査側接触端
子Ｃ８を正しく走査側電極已に接触せしめることができ
る。この説明で明らかな如く、本実施例によれば操作が
より簡単になると云う利点がある。FIG. 3 shows another embodiment of the invention. This embodiment differs from the above embodiment in the configuration of the scanning side tester head support device 1). That is, on the gutter support stage 10 for the tester, there is a jig block 22 having a lever 22a.
is rotatably mounted, and a scanning side tester head H5 is attached to this jig block 22. Furthermore, this jig block 22 rotates between the position shown by the solid line and the position shown by the chain line of the lever 223. It can be moved and held in each position by a click device or the like. In addition, lever 22
3 is brought to the chain line position, the scanning side tester is attached to the scanning side electrode SE of the flannel dopful P held at a predetermined position on the main body frame 1 by the vacuum suction device 12.
The scanning side contact terminal C5 and the data side contact terminal C0 are designed in advance so that the contact terminals Cs of s can be brought into contact with each other with an appropriate pressing force, and when the lever 22a is in the chain line position, the scanning side contact terminal C5 and the data side contact terminal C0
They are designed and installed so that the mutual relationship between them is the same as the mutual positional relationship between the scanning side electrode SE and the data side electrode DE of the panel P. This embodiment is constructed as shown in -1. Therefore, when performing seven inspections of the flat panel to be inspected, first turn the lever 22a from the chain line position to the solid line position to move the scanning side tester head H3. Move the panel to the position shown in the figure, then load the new flat panel into the specified position using the procedure described above, and then remove the data side using a microscope.
After aligning Junitsuki DE and the data side contact terminal C8 and raising the stage 9, the data side contact terminal C0 is pressed into contact with the data side electrode D'E, and then the lever 223
By simply turning the switch from the solid line position to the chain line position, the scanning side contact terminal C8 can be brought into correct contact with the scanning side electrode edge. As is clear from this explanation, this embodiment has the advantage of simpler operation.
上記何れの実施例の場合も、問題となるのは、第４図に
黒点で示す如く、データ側電極ＤＥとデータ側接触端子
ＣＤとの接続は完全に行われてもデータ側電極ＤＥとデ
ータ側接触端子Ｃ９との接触点の正規の位ｆｉＲからの
ずれにより走査側電極ＳＥと走査側接触端子Ｃ３との接
続が行われない場合かあると云うことである。この場合
の対策として、本発明によれば、データ側電極ＤＥの形
成されているガラス基板Ｇ１ の少なくとも三箇所に位
置合せ用ダミーパターン２３を配設し、その中心部標示
マーク２３ａ内にデータ側テスターヘットＨ９に対応し
て設けられたダミー接触端子２４を位置合せ（第５図参
照）することができるようになっている。これによりデ
ータ側接触端子ＣＤの正規の位置Ｒからの左右のずれを
防止することができ、走査側接触端子Ｃ３の走査側電極
ＳＥへの確実な接続を保証することが出来るばかりか、
ダミーパターン２３はデータ側電極ＤＥの存在しない部
位に形成することが可能であるため顕微鏡を通して見易
くダミー接触端子２４の位置合せが極めて容易である上
に、自動パターン認識を導入した自動化のためにも有効
である。In any of the above embodiments, the problem is that even if the connection between the data side electrode DE and the data side contact terminal CD is complete, as shown by the black dots in FIG. This means that there are cases where the scanning side electrode SE and the scanning side contact terminal C3 are not connected because the contact point with the side contact terminal C9 deviates from the normal position fiR. As a countermeasure for this case, according to the present invention, alignment dummy patterns 23 are provided at at least three locations on the glass substrate G1 on which the data side electrode DE is formed, and the data side The dummy contact terminals 24 provided corresponding to the tester head H9 can be aligned (see FIG. 5). This not only makes it possible to prevent the data-side contact terminal CD from shifting left and right from the normal position R, but also ensures reliable connection of the scanning-side contact terminal C3 to the scanning-side electrode SE.
Since the dummy pattern 23 can be formed in a region where the data side electrode DE does not exist, it is easy to see through a microscope and alignment of the dummy contact terminal 24 is extremely easy. It is valid.
以上実施例では、フラットマトリックスディスプレイパ
ネルとして液晶パネルを対象に説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、対向′：ｒＬ極を有する
プラズマディスプレイパネル等二二も適用できることは
云うまでもない。又目視検査が不要の場合にも適用でき
、走査側とデータ側を上下逆にして用いても良いことは
云うまでもない。Although the above embodiments have been described with reference to a liquid crystal panel as a flat matrix display panel, the present invention is not limited to this, and it goes without saying that it can also be applied to plasma display panels having opposing ':rL poles, etc. Nor. It goes without saying that it can also be applied to cases where visual inspection is not required, and that the scanning side and data side may be used upside down.
上述の如く本発明によれば、対向電極を持つフラットマ
トリックスディスプレイパネル用検査装置において、位
置合せが不可能な走査側電照と走査側接触・端子をデー
タ側電極とデータ側接触’５８ｆ子の位置合せを行うだ
けで自動的に位置合せすることが可能であり、面もパネ
ルに何らの１員傷を与えずに必要なテストを実行できる
と云う利点を有する。As described above, according to the present invention, in an inspection device for a flat matrix display panel having opposing electrodes, the scanning side illumination and the scanning side contact/terminal, which cannot be aligned, are connected to the data side electrode and the data side contact '58f element. It has the advantage that it can be automatically aligned just by alignment, and that the necessary tests can be carried out without causing any damage to the surface or panel.
第１図は本発明による検査装置の一実施例の一部を破断
して示す側面図、第２図は第１図のｎ■線に沿う拡大断
面図、第３図は本発明による検査装置の他の実施例の要
部側面図、第４図は本発明に係るフラットマトリックス
ディスプレイパネルの一実施例を示す平面図、第５図は
位置合せ用ダミーパターンとダミー接触端子との位置合
せ状態を示す拡大図、第６図はフラットマトリックスデ
ィスプレイパネルの一従来例を示しくＡ）はその平面図
、（Ｂ）は右側面図、（Ｃ）は底面図、第７図はテスタ
ーヘッドの一従来例を示しくＡ）はその斜視図、（Ｂ）
は斜視図（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
Ｉ・・・・本体フレーム、２・・・・ベース、３・・・
・Ｘステージ、４．・・・粗微動ハンドル、５・・・・
ｙステージ、６・・・・粗微動ハンドル、７・・・、２
ステージ、８・・・・粗微動ハンドル、９・・・・θス
テージ、１０・・・・テスターヘッド支持ステージ、１
）・・・・走査側テスターヘッド支持装置、１２・・・
・真空吸着装置、１３・・・、移動ネジ、１４・・・・
ブロック、１５・・・・挾持用レバー、１６・・・・調
整ネジ、１７・・・・テスターヘッド支持部材、１８・
・・・スプリング、１９・・・・リードクランパー、２
０・・・・取付はネジ、２１・・・リードクランパー、
２２・・・・治具ブロック、２３・・・・位置合せ用ダ
ミーパターン、２４・・・・ダミー接触端子、Ｐ・・・
・フラットマトリックスディスプレイパネル、ＤＥ・・
・・データ側電極、ＳＥ・・・・走査側電極、Ｇ、、Ｇ
、・・・・基板、Ｈａ・・・・データ側テスターへノド
、Ｃｏ””データ側接触端子、Ｈ５・・・・走査側テス
ターヘッド、Ｃ３・・・・走査側接触端子。
代理人 篠 原 泰 司 ：、二、・
第３図
才４図
オフ図
（Ａ）
（Ｂ）
第５図
′ｌｉ′６図
（Ａ）（Ｂ）FIG. 1 is a partially cutaway side view of an embodiment of an inspection device according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along line n■ in FIG. 1, and FIG. 3 is an inspection device according to the present invention. FIG. 4 is a plan view showing an embodiment of the flat matrix display panel according to the present invention, and FIG. 5 is a side view of main parts of another embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a state of alignment between the alignment dummy pattern and the dummy contact terminal. 6 shows a conventional example of a flat matrix display panel. A) is a plan view thereof, (B) is a right side view, (C) is a bottom view, and FIG. 7 is a view of one of the tester heads. A) is a perspective view of a conventional example, and (B) is a perspective view thereof.
is a sectional view taken along line BB of the perspective view (A). I...Body frame, 2...Base, 3...
・X stage, 4. ...Coarse and fine movement handle, 5...
y stage, 6... Coarse/fine movement handle, 7..., 2
Stage, 8... Coarse/fine movement handle, 9... θ stage, 10... Tester head support stage, 1
)...Scanning side tester head support device, 12...
・Vacuum suction device, 13..., moving screw, 14...
Block, 15...Lever for clamping, 16...Adjustment screw, 17...Tester head support member, 18...
... Spring, 19 ... Lead clamper, 2
0...Mounting with screws, 21...Lead clamper,
22... Jig block, 23... Dummy pattern for positioning, 24... Dummy contact terminal, P...
・Flat matrix display panel, DE...
...Data side electrode, SE...Scanning side electrode, G,,G
,... Board, Ha... Data side contact terminal, Co" data side contact terminal, H5... Scanning side tester head, C3... Scanning side contact terminal. Agent Yasushi Shinohara: 2.
Figure 3 Figure 4 Off view (A) (B) Figure 5 'li' Figure 6 (A) (B)
Claims (4)
向するように配置されて成るフラットマトリックスディ
スプレイパネル用検査装置において、上記パネルの一方
の電極群に接触し得るデータ側接触端子群を装備した位
置合せ用ステージ上に、上記データ側接触端子群に対し
所定の位置関係を有していて上記パネルの他方の電極群
に接触し得る走査側接触端子群を装備したことを特徴と
するフラットマトリックスディスプレイパネル用検査装
置。(1) In a flat matrix display panel inspection device in which electrodes formed on two substrates are arranged so as to face each other, a group of data-side contact terminals that can contact one of the electrode groups of the panel. A scanning side contact terminal group having a predetermined positional relationship with the data side contact terminal group and capable of contacting the other electrode group of the panel is provided on the positioning stage equipped with a scanning side contact terminal group. Inspection equipment for flat matrix display panels.
ジ上に回転可能に装架された治具上に固定されている、
特許請求の範囲（１）に記載の検査装置。(2) the scanning side contact terminal group is fixed on a jig rotatably mounted on the alignment stage;
An inspection device according to claim (1).
ー接触端子を含み、前記パネル上には上記ダミー接触端
子に対応した位置合せ用ダミーパターンが配設されてい
る、特許請求の範囲（１）に記載の検査装置。(3) Claim (1), wherein the data side contact terminal group includes at least two dummy contact terminals, and a dummy pattern for alignment corresponding to the dummy contact terminals is disposed on the panel. The inspection device described in .
面に対向する側の面に、接触圧力を加えるに従い反力が
加わるようにして成る、特許請求の範囲（１）に記載の
検査装置。(4) The test according to claim (1), wherein as contact pressure is applied, a reaction force is applied to the surface opposite to the panel surface on the side that the scanning side contact terminal group comes into contact with. Device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60252462A JPH063476B2 (en) | 1985-11-11 | 1985-11-11 | Inspection device for flattomato display panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60252462A JPH063476B2 (en) | 1985-11-11 | 1985-11-11 | Inspection device for flattomato display panel |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62112044A true JPS62112044A (en) | 1987-05-23 |
| JPH063476B2 JPH063476B2 (en) | 1994-01-12 |
Family
ID=17237716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60252462A Expired - Fee Related JPH063476B2 (en) | 1985-11-11 | 1985-11-11 | Inspection device for flattomato display panel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063476B2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124740A (en) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Tokyo Electron Ltd | Inspecting device |
| JPH05134227A (en) * | 1991-11-13 | 1993-05-28 | Nippon Maikuronikusu:Kk | Inspecting device for liquid crystal display panel |
| JPH0862142A (en) * | 1995-04-24 | 1996-03-08 | Tokyo Electron Ltd | Inspection equipment for liquid crystal display |
| US5542866A (en) * | 1994-12-27 | 1996-08-06 | Industrial Technology Research Institute | Field emission display provided with repair capability of defects |
-
1985
- 1985-11-11 JP JP60252462A patent/JPH063476B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124740A (en) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Tokyo Electron Ltd | Inspecting device |
| JPH05134227A (en) * | 1991-11-13 | 1993-05-28 | Nippon Maikuronikusu:Kk | Inspecting device for liquid crystal display panel |
| US5542866A (en) * | 1994-12-27 | 1996-08-06 | Industrial Technology Research Institute | Field emission display provided with repair capability of defects |
| JPH0862142A (en) * | 1995-04-24 | 1996-03-08 | Tokyo Electron Ltd | Inspection equipment for liquid crystal display |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH063476B2 (en) | 1994-01-12 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |