JPS62112044A - フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 - Google Patents
フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置Info
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- JPS62112044A JPS62112044A JP60252462A JP25246285A JPS62112044A JP S62112044 A JPS62112044 A JP S62112044A JP 60252462 A JP60252462 A JP 60252462A JP 25246285 A JP25246285 A JP 25246285A JP S62112044 A JPS62112044 A JP S62112044A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、二枚のガラスの如き通明基板二二形成された
多数の電極が対向した形態で構成される例えばデユティ
駆動の液晶パネルの如きフラノトマトリソクスディスプ
レイバＺル用検査装置に関するものである。
多数の電極が対向した形態で構成される例えばデユティ
駆動の液晶パネルの如きフラノトマトリソクスディスプ
レイバＺル用検査装置に関するものである。
〔従来の技術］
この種のフラットマトリックスディスプレイパネルは、
液晶デユティ駆動の場合、第６図に例示した如く、ガラ
ス基板Ｇ１ の表面に酸化インジウム（ＩＴＯ）等を蒸
着せしめることにより形成された多数のデータ側電極Ｄ
Ｅとガラス基板Ｇ２の表面に同様に形成された多数の走
査側電極ＳＥとがマトリックス状に対向するように配列
されて、これら両ガラス基板Ｇ１．Ｇｚ間に液晶が封入
されることにより構成されるが、これらのパネルの検査
においては、電気的特性（短絡９オープンリーク等）の
みならず、表面の輝度ムラ、干渉縞の有無等を検査する
必要があるため、パネルを動作状態にして目視により検
査を行う必要がある。又この種パネルにおける電ＩＤＥ
、ＳＥのピンチは、近年増々望まれる絵素の高密度化に
伴い０．２１程度の微小ピッチが要求されている。とこ
ろで、第７図はこのような微小ピッチの多数の電極ＤＥ
。
液晶デユティ駆動の場合、第６図に例示した如く、ガラ
ス基板Ｇ１ の表面に酸化インジウム（ＩＴＯ）等を蒸
着せしめることにより形成された多数のデータ側電極Ｄ
Ｅとガラス基板Ｇ２の表面に同様に形成された多数の走
査側電極ＳＥとがマトリックス状に対向するように配列
されて、これら両ガラス基板Ｇ１．Ｇｚ間に液晶が封入
されることにより構成されるが、これらのパネルの検査
においては、電気的特性（短絡９オープンリーク等）の
みならず、表面の輝度ムラ、干渉縞の有無等を検査する
必要があるため、パネルを動作状態にして目視により検
査を行う必要がある。又この種パネルにおける電ＩＤＥ
、ＳＥのピンチは、近年増々望まれる絵素の高密度化に
伴い０．２１程度の微小ピッチが要求されている。とこ
ろで、第７図はこのような微小ピッチの多数の電極ＤＥ
。
ＳＥを有するディスプレイパネルＰの検査に好適に使用
し得るテスターへノドの一例を示しているが、このテス
ターヘッドＨは、パネルＰの電極ＤＥ、、ＳＥのピッチ
に対応するピンチで形成された多数のスリットＳを配列
して成る例えばメタクリル樹脂製の本体と、各スリット
Ｓ内に弾性変形された状態で夫々収納されていて両端部
に本体の頂面及び下面より夫々突出するように形成され
た接触部Ｃ１及び接倚部Ｃ２を有するリン青銅の如きハ
ネ性を有する金属製の接触・端子Ｃとから成っている。
し得るテスターへノドの一例を示しているが、このテス
ターヘッドＨは、パネルＰの電極ＤＥ、、ＳＥのピッチ
に対応するピンチで形成された多数のスリットＳを配列
して成る例えばメタクリル樹脂製の本体と、各スリット
Ｓ内に弾性変形された状態で夫々収納されていて両端部
に本体の頂面及び下面より夫々突出するように形成され
た接触部Ｃ１及び接倚部Ｃ２を有するリン青銅の如きハ
ネ性を有する金属製の接触・端子Ｃとから成っている。
テストに際しては、一対のテスターへノドＨが使用され
、水平に保持されたパネルＰの下側から一方のテスター
ヘッドの接触端Ｃの接触部Ｃ２がデータ側電極ＤＥに、
また該パネルＰの上側から他方のテスターへノドの接触
端子Ｃの接触部Ｃ１が走査側電極ＳＨに夫々接触せしめ
られるが、この場合、データ側電極ＤＥとこれに接触せ
しめられるべき接触端子Ｃの位置合せは下記の如く行な
われる。即ち、先づ真空吸着装置によりパネルＰが水平
に保持され、次に上方より顕微鏡を覗きながら左右、上
下及び回転方向に移動調整可能のステージを用いて該ス
テージに装着されたテスターヘッドＨを動かすことによ
りデータ側電極ＤＥと対応する接触端子Ｃとの位置合せ
が行われ、最後にステージを上昇させ対応する接触端子
Ｃをデータ側電極ＤＥに接触させると共に適宜の圧力を
加えることにより位置合せを完了するようになっている
。
、水平に保持されたパネルＰの下側から一方のテスター
ヘッドの接触端Ｃの接触部Ｃ２がデータ側電極ＤＥに、
また該パネルＰの上側から他方のテスターへノドの接触
端子Ｃの接触部Ｃ１が走査側電極ＳＨに夫々接触せしめ
られるが、この場合、データ側電極ＤＥとこれに接触せ
しめられるべき接触端子Ｃの位置合せは下記の如く行な
われる。即ち、先づ真空吸着装置によりパネルＰが水平
に保持され、次に上方より顕微鏡を覗きながら左右、上
下及び回転方向に移動調整可能のステージを用いて該ス
テージに装着されたテスターヘッドＨを動かすことによ
りデータ側電極ＤＥと対応する接触端子Ｃとの位置合せ
が行われ、最後にステージを上昇させ対応する接触端子
Ｃをデータ側電極ＤＥに接触させると共に適宜の圧力を
加えることにより位置合せを完了するようになっている
。
上述の如き位置合せ方法による場合は上方より顕微鏡を
覗きながら位置合せを行うようになっているため、テス
ターヘッドＨを上方から下降せしめることの必要な走査
側接触端子Ｃと走査側電極ＳＥとの位置合せは不可能で
、この場合の位置合せは他の方法によらざるを得なかっ
た。
覗きながら位置合せを行うようになっているため、テス
ターヘッドＨを上方から下降せしめることの必要な走査
側接触端子Ｃと走査側電極ＳＥとの位置合せは不可能で
、この場合の位置合せは他の方法によらざるを得なかっ
た。
本発明は、かかる事情に鑑み、上記ステージを利用して
走査側接触端子と走査側電極との位置合せをも行い得る
この種検査装置を提供することを目的とする。
走査側接触端子と走査側電極との位置合せをも行い得る
この種検査装置を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段及び作用３本検査装置に
よれば、データ側電極に接触すべきデータ側接触端子を
有するテスターへメトを装架した位置合せ用ステージに
データ側接触端子と所定の位置関係を持つように走査側
接触端子を存するもう一つのテスターヘッドが装架され
ていて、データ側電極とデータ側接触端子との位置合せ
が行われると同時に走査側電極と走査側接触端子との位
置合せが完了するようになっている。好ましくは、デー
タ側接触端子群には、データ側電壜が形成されている基
板に設けられた少なくとも二つの位置合せ用ダミーパタ
ーンに夫々接触し得る少なくとも二つのダミー接触端子
が含まれていて、データ側電極とデータ側接触端子との
位置合セが一層容易に行われ得るようになっている。
よれば、データ側電極に接触すべきデータ側接触端子を
有するテスターへメトを装架した位置合せ用ステージに
データ側接触端子と所定の位置関係を持つように走査側
接触端子を存するもう一つのテスターヘッドが装架され
ていて、データ側電極とデータ側接触端子との位置合せ
が行われると同時に走査側電極と走査側接触端子との位
置合せが完了するようになっている。好ましくは、デー
タ側接触端子群には、データ側電壜が形成されている基
板に設けられた少なくとも二つの位置合せ用ダミーパタ
ーンに夫々接触し得る少なくとも二つのダミー接触端子
が含まれていて、データ側電極とデータ側接触端子との
位置合セが一層容易に行われ得るようになっている。
（実施例〕
先づ第１図及び第２闇に基づき本発明の第一実施例を説
明すれば、図中、ｌは装置の本体フレーム、２は本体フ
レーム１上に固着されたヘース、３はベース２上に摺動
可能に装架されていて周知のネジ機構を介して粗微動ハ
ンドル４を回すことにより一方向へ移動可能のＸステー
ジ、５はＸステージ３上に摺動可能に装架されていて周
知のネジ機構を介して粗微動ハンドル６を回すことによ
りＸステージ３に対して直交する一方向へ移動可能のｙ
ステージ、７はｙステージ５に上下摺動可能に装架され
ていて周知のラック−ピニオン機構を介して粗微動ハン
ドル８を回すことにより上下方向へ移動可能の２ステー
ジ、９は２ステージ７上に回転可能に装架されたθステ
ージ、１０はθステージ９上に固着されていてデータ側
テスターへノド載置部１０ａと後述する走査側テスター
ヘッド支持装置ｌｌを装備したテスターヘッド支持ステ
ージ、１２は本体フレームｌに取付けられていてテスタ
ーヘッド支持ステージ１０のデータ側テスターヘッド載
置部１０ａの直上部に配設された真空吸着装置、１３は
テスターヘッド支持ステージ１０上に回動可能に取付け
られた移動ネジ、１４はテスターヘッド支持ステージ１
０上に摺動可能に載置されていて移動ネジ１３に螺着さ
れたブロック、１５はブロック１４上に枢着されていて
先端部１５ａがＬ字状に起立せしめられた挟持用レバー
、１６は挟持用レバー１５に進退可能に螺着された調整
ネジ、１７は調整ネジ１６の小径部に緩く嵌合せしめら
れていてブロック１４上に挾持用レバー１５と同心的に
枢着されたテスターヘッド支持部材、１８は挾持用レバ
ー１５とテスターヘッド支持部材１７との間に張架され
ていて両者を互いに離れるように弾圧するスプリング、
１９は走査側テスターヘッドＨ３のためのリードクラン
パーである。データ側テスターへノドＨ９はテスター５
ノド支持ステージ１０のデータ側テスターへ、上載置部
１０ａ上の所定位置に取付はネジ２０．２０により固着
され、２１はステージｌＯ上に固定されたデータ側テス
ターへノドＨ０のためのり−ドクランパーである。尚、
テスターヘッド支持ステージＩＯ及びテスターヘッド支
持装置１）は、検査されるべきディスプレイパネルＰ、
走査側テスターヘッドＨ３及びデータ側テスターヘッド
Ｈ０が夫々上記の如き所定位置に保持された時、各テス
ターへノドＨ５及びＨｏの接触端子Ｃｓ 、Ｃｏは上記
パネルＰの走査側電極ＳＥ及びデータ側電極ＤＢと夫々
対応し得るように、相互の位置が予め設計されている。
明すれば、図中、ｌは装置の本体フレーム、２は本体フ
レーム１上に固着されたヘース、３はベース２上に摺動
可能に装架されていて周知のネジ機構を介して粗微動ハ
ンドル４を回すことにより一方向へ移動可能のＸステー
ジ、５はＸステージ３上に摺動可能に装架されていて周
知のネジ機構を介して粗微動ハンドル６を回すことによ
りＸステージ３に対して直交する一方向へ移動可能のｙ
ステージ、７はｙステージ５に上下摺動可能に装架され
ていて周知のラック−ピニオン機構を介して粗微動ハン
ドル８を回すことにより上下方向へ移動可能の２ステー
ジ、９は２ステージ７上に回転可能に装架されたθステ
ージ、１０はθステージ９上に固着されていてデータ側
テスターへノド載置部１０ａと後述する走査側テスター
ヘッド支持装置ｌｌを装備したテスターヘッド支持ステ
ージ、１２は本体フレームｌに取付けられていてテスタ
ーヘッド支持ステージ１０のデータ側テスターヘッド載
置部１０ａの直上部に配設された真空吸着装置、１３は
テスターヘッド支持ステージ１０上に回動可能に取付け
られた移動ネジ、１４はテスターヘッド支持ステージ１
０上に摺動可能に載置されていて移動ネジ１３に螺着さ
れたブロック、１５はブロック１４上に枢着されていて
先端部１５ａがＬ字状に起立せしめられた挟持用レバー
、１６は挟持用レバー１５に進退可能に螺着された調整
ネジ、１７は調整ネジ１６の小径部に緩く嵌合せしめら
れていてブロック１４上に挾持用レバー１５と同心的に
枢着されたテスターヘッド支持部材、１８は挾持用レバ
ー１５とテスターヘッド支持部材１７との間に張架され
ていて両者を互いに離れるように弾圧するスプリング、
１９は走査側テスターヘッドＨ３のためのリードクラン
パーである。データ側テスターへノドＨ９はテスター５
ノド支持ステージ１０のデータ側テスターへ、上載置部
１０ａ上の所定位置に取付はネジ２０．２０により固着
され、２１はステージｌＯ上に固定されたデータ側テス
ターへノドＨ０のためのり−ドクランパーである。尚、
テスターヘッド支持ステージＩＯ及びテスターヘッド支
持装置１）は、検査されるべきディスプレイパネルＰ、
走査側テスターヘッドＨ３及びデータ側テスターヘッド
Ｈ０が夫々上記の如き所定位置に保持された時、各テス
ターへノドＨ５及びＨｏの接触端子Ｃｓ 、Ｃｏは上記
パネルＰの走査側電極ＳＥ及びデータ側電極ＤＢと夫々
対応し得るように、相互の位置が予め設計されている。
次に上記装置の作用を説明する。
第１図は、ディスプレイパネルＰが検査位置に保持され
且つ走査側テスターヘノドＨ８及びデータ側テスターヘ
ッドＨゎが何れも作動位置にセットされている状態を示
しているが、全検査すべきディスプレイパネルを新しく
セットする場合につき第１図を参照して説明すれば、先
づ調整ネジ１６を回してこれを上昇させると、これに追
従してテスターヘッド支持部材１７が僅かに右旋せしめ
られ、走査側接触端子Ｃ３がパネルＰの走査側電極ＳＥ
より一斉に離れて上昇する。この状態で移′動ネジ１３
を回してテスタ−ヘッド支持装置１）全体を第３図の位
置から右方へ移動せしめ、走査側接触端子Ｃ３をパネル
Ｐから遠ざける。次にハンドル８を回してデータ側テス
ターヘッドＨ０を僅かに下降させ、真空吸着装置１２レ
リーズして検査すべき新しいディスプレイパネルを所定
位置にセットし、真空吸着装置１２を再び働かせて該パ
ネルをその位置に固定させる。この状態で本体フレーム
ｌの上方位置に装備された図示しない顕微鏡を覗きなが
ら、ハンドル４及び６を操作して上記パネルのデータ側
電極ＤＢとデータ側テスターヘッドＨＤの接触端子ＣＤ
との位置合せを行う。
且つ走査側テスターヘノドＨ８及びデータ側テスターヘ
ッドＨゎが何れも作動位置にセットされている状態を示
しているが、全検査すべきディスプレイパネルを新しく
セットする場合につき第１図を参照して説明すれば、先
づ調整ネジ１６を回してこれを上昇させると、これに追
従してテスターヘッド支持部材１７が僅かに右旋せしめ
られ、走査側接触端子Ｃ３がパネルＰの走査側電極ＳＥ
より一斉に離れて上昇する。この状態で移′動ネジ１３
を回してテスタ−ヘッド支持装置１）全体を第３図の位
置から右方へ移動せしめ、走査側接触端子Ｃ３をパネル
Ｐから遠ざける。次にハンドル８を回してデータ側テス
ターヘッドＨ０を僅かに下降させ、真空吸着装置１２レ
リーズして検査すべき新しいディスプレイパネルを所定
位置にセットし、真空吸着装置１２を再び働かせて該パ
ネルをその位置に固定させる。この状態で本体フレーム
ｌの上方位置に装備された図示しない顕微鏡を覗きなが
ら、ハンドル４及び６を操作して上記パネルのデータ側
電極ＤＢとデータ側テスターヘッドＨＤの接触端子ＣＤ
との位置合せを行う。
次にハンドル８を再び操作してデータ側テスターヘッド
Ｈｏを上昇させ、データ側接触端子Ｃ０をデータ側電極
ＤＥへ夫々圧接させる。かくして後、移動ネジ１３を上
記とは反対の方向へ回してテスターヘッド支持袋２１）
全体を図示しないストッパーに当接するまで即ち図示位
置まで左方へ移動せしめ、上記パネルの走査側電極ＳＥ
上へ走査側テスターヘッドＨ、の接触端子Ｃ３を持ち来
たす。
Ｈｏを上昇させ、データ側接触端子Ｃ０をデータ側電極
ＤＥへ夫々圧接させる。かくして後、移動ネジ１３を上
記とは反対の方向へ回してテスターヘッド支持袋２１）
全体を図示しないストッパーに当接するまで即ち図示位
置まで左方へ移動せしめ、上記パネルの走査側電極ＳＥ
上へ走査側テスターヘッドＨ、の接触端子Ｃ３を持ち来
たす。
この状態で調整ネジ１６を上記とは反対の方向へ回して
テスターヘッド支持部材１７を僅かに左旋せしめ、走査
側接触端子Ｃ５を上記パヌルの走査側電極Ｓ已に夫々圧
接せしめることにより七ノド操作を完了する。この場合
、走査側接触端子Ｃ３は走査側電極ＳＢを形成したガラ
ス基板Ｇ２を下方へ押圧してパネルを吸着位置から剥が
す方向へ押圧する結果となるが、上記ガラス基板Ｇ２は
走査側接触端子Ｃ５と挾持レバー１５とにより挟持され
るから、パネルの吸着位置がずれるようなことはなく、
データ側接触端子Ｃ０のデータｌ！１．１）電極ＤＢへ
の位置合せと同時に走査側接触端子Ｃ５の走査側電極Ｓ
Ｂへの位置合せが正確且つ自動的に行われ得る。
テスターヘッド支持部材１７を僅かに左旋せしめ、走査
側接触端子Ｃ５を上記パヌルの走査側電極Ｓ已に夫々圧
接せしめることにより七ノド操作を完了する。この場合
、走査側接触端子Ｃ３は走査側電極ＳＢを形成したガラ
ス基板Ｇ２を下方へ押圧してパネルを吸着位置から剥が
す方向へ押圧する結果となるが、上記ガラス基板Ｇ２は
走査側接触端子Ｃ５と挾持レバー１５とにより挟持され
るから、パネルの吸着位置がずれるようなことはなく、
データ側接触端子Ｃ０のデータｌ！１．１）電極ＤＢへ
の位置合せと同時に走査側接触端子Ｃ５の走査側電極Ｓ
Ｂへの位置合せが正確且つ自動的に行われ得る。
第３図は本発明の他の実施例を示している。この実施例
は、走査側テスターヘッド支持装置１）の構成の点で上
述の実施例とは異なる。即ち、テスターへノド支持ステ
ージ１０上にはレバー２２ａを有する冶具ブロック２２
が回動可能に装架されていて、この冶具ブロック２２に
は走査側テスターヘッドＨ５が取付けられており、更に
この治具ブロック２２はレバー２２３の実線図示位置と
鎖線図示位置との間を回動して各位置にクリック装置等
により保持され得るようになっている。尚、レバー２２
３が鎖線位置へ持ち来された時は、真空吸着装置１２に
より本体フレーム１の所定位置に保持されたフラノドパ
ふルＰの走査側電極ＳＥに走査側テスターヘノ’ｔ”Ｈ
ｓの接触端子Ｃｓが適当な押圧力で夫々接触し得るよう
に予め設計されており、又レバー２２ａが鎖線位置にあ
る状態での走査側接触端子Ｃ５とデータ側接触端子Ｃ０
との相互関係がパネルＰの走査側電極ＳＥとデータ側電
極ＤＥとの相互位置関係と同一になるように設計され取
付けられている。この実施例は−１：記のように構成さ
れているから、検査されるべきフラットパネルの七ノド
を行う場合には、先づレバー２２ａを鎖線位置から実線
位置まで回して走査側テスターヘッドＨ３を図示位置ま
で移動させ、次に既述の如き手順で新しいフラットパネ
ルの所定位置への装填、顕微鏡を利用してのデータ側′
准槻ＤＥとデータ側接触端子Ｃ８の位置合せ及びステー
ジ９の上昇によるデータ側接触端子Ｃ０のデータ側電極
Ｄ’Ｅへの加圧接触を行わせ、しかる後、レバー２２３
を実線位置から鎖線位置まで回すだけで、走査側接触端
子Ｃ８を正しく走査側電極已に接触せしめることができ
る。この説明で明らかな如く、本実施例によれば操作が
より簡単になると云う利点がある。
は、走査側テスターヘッド支持装置１）の構成の点で上
述の実施例とは異なる。即ち、テスターへノド支持ステ
ージ１０上にはレバー２２ａを有する冶具ブロック２２
が回動可能に装架されていて、この冶具ブロック２２に
は走査側テスターヘッドＨ５が取付けられており、更に
この治具ブロック２２はレバー２２３の実線図示位置と
鎖線図示位置との間を回動して各位置にクリック装置等
により保持され得るようになっている。尚、レバー２２
３が鎖線位置へ持ち来された時は、真空吸着装置１２に
より本体フレーム１の所定位置に保持されたフラノドパ
ふルＰの走査側電極ＳＥに走査側テスターヘノ’ｔ”Ｈ
ｓの接触端子Ｃｓが適当な押圧力で夫々接触し得るよう
に予め設計されており、又レバー２２ａが鎖線位置にあ
る状態での走査側接触端子Ｃ５とデータ側接触端子Ｃ０
との相互関係がパネルＰの走査側電極ＳＥとデータ側電
極ＤＥとの相互位置関係と同一になるように設計され取
付けられている。この実施例は−１：記のように構成さ
れているから、検査されるべきフラットパネルの七ノド
を行う場合には、先づレバー２２ａを鎖線位置から実線
位置まで回して走査側テスターヘッドＨ３を図示位置ま
で移動させ、次に既述の如き手順で新しいフラットパネ
ルの所定位置への装填、顕微鏡を利用してのデータ側′
准槻ＤＥとデータ側接触端子Ｃ８の位置合せ及びステー
ジ９の上昇によるデータ側接触端子Ｃ０のデータ側電極
Ｄ’Ｅへの加圧接触を行わせ、しかる後、レバー２２３
を実線位置から鎖線位置まで回すだけで、走査側接触端
子Ｃ８を正しく走査側電極已に接触せしめることができ
る。この説明で明らかな如く、本実施例によれば操作が
より簡単になると云う利点がある。
上記何れの実施例の場合も、問題となるのは、第４図に
黒点で示す如く、データ側電極ＤＥとデータ側接触端子
ＣＤとの接続は完全に行われてもデータ側電極ＤＥとデ
ータ側接触端子Ｃ９との接触点の正規の位ｆｉＲからの
ずれにより走査側電極ＳＥと走査側接触端子Ｃ３との接
続が行われない場合かあると云うことである。この場合
の対策として、本発明によれば、データ側電極ＤＥの形
成されているガラス基板Ｇ１ の少なくとも三箇所に位
置合せ用ダミーパターン２３を配設し、その中心部標示
マーク２３ａ内にデータ側テスターヘットＨ９に対応し
て設けられたダミー接触端子２４を位置合せ（第５図参
照）することができるようになっている。これによりデ
ータ側接触端子ＣＤの正規の位置Ｒからの左右のずれを
防止することができ、走査側接触端子Ｃ３の走査側電極
ＳＥへの確実な接続を保証することが出来るばかりか、
ダミーパターン２３はデータ側電極ＤＥの存在しない部
位に形成することが可能であるため顕微鏡を通して見易
くダミー接触端子２４の位置合せが極めて容易である上
に、自動パターン認識を導入した自動化のためにも有効
である。
黒点で示す如く、データ側電極ＤＥとデータ側接触端子
ＣＤとの接続は完全に行われてもデータ側電極ＤＥとデ
ータ側接触端子Ｃ９との接触点の正規の位ｆｉＲからの
ずれにより走査側電極ＳＥと走査側接触端子Ｃ３との接
続が行われない場合かあると云うことである。この場合
の対策として、本発明によれば、データ側電極ＤＥの形
成されているガラス基板Ｇ１ の少なくとも三箇所に位
置合せ用ダミーパターン２３を配設し、その中心部標示
マーク２３ａ内にデータ側テスターヘットＨ９に対応し
て設けられたダミー接触端子２４を位置合せ（第５図参
照）することができるようになっている。これによりデ
ータ側接触端子ＣＤの正規の位置Ｒからの左右のずれを
防止することができ、走査側接触端子Ｃ３の走査側電極
ＳＥへの確実な接続を保証することが出来るばかりか、
ダミーパターン２３はデータ側電極ＤＥの存在しない部
位に形成することが可能であるため顕微鏡を通して見易
くダミー接触端子２４の位置合せが極めて容易である上
に、自動パターン認識を導入した自動化のためにも有効
である。
以上実施例では、フラットマトリックスディスプレイパ
ネルとして液晶パネルを対象に説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、対向′：ｒＬ極を有する
プラズマディスプレイパネル等二二も適用できることは
云うまでもない。又目視検査が不要の場合にも適用でき
、走査側とデータ側を上下逆にして用いても良いことは
云うまでもない。
ネルとして液晶パネルを対象に説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、対向′：ｒＬ極を有する
プラズマディスプレイパネル等二二も適用できることは
云うまでもない。又目視検査が不要の場合にも適用でき
、走査側とデータ側を上下逆にして用いても良いことは
云うまでもない。
上述の如く本発明によれば、対向電極を持つフラットマ
トリックスディスプレイパネル用検査装置において、位
置合せが不可能な走査側電照と走査側接触・端子をデー
タ側電極とデータ側接触’５８ｆ子の位置合せを行うだ
けで自動的に位置合せすることが可能であり、面もパネ
ルに何らの１員傷を与えずに必要なテストを実行できる
と云う利点を有する。
トリックスディスプレイパネル用検査装置において、位
置合せが不可能な走査側電照と走査側接触・端子をデー
タ側電極とデータ側接触’５８ｆ子の位置合せを行うだ
けで自動的に位置合せすることが可能であり、面もパネ
ルに何らの１員傷を与えずに必要なテストを実行できる
と云う利点を有する。
第１図は本発明による検査装置の一実施例の一部を破断
して示す側面図、第２図は第１図のｎ■線に沿う拡大断
面図、第３図は本発明による検査装置の他の実施例の要
部側面図、第４図は本発明に係るフラットマトリックス
ディスプレイパネルの一実施例を示す平面図、第５図は
位置合せ用ダミーパターンとダミー接触端子との位置合
せ状態を示す拡大図、第６図はフラットマトリックスデ
ィスプレイパネルの一従来例を示しくＡ）はその平面図
、（Ｂ）は右側面図、（Ｃ）は底面図、第７図はテスタ
ーヘッドの一従来例を示しくＡ）はその斜視図、（Ｂ）
は斜視図（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 Ｉ・・・・本体フレーム、２・・・・ベース、３・・・
・Ｘステージ、４．・・・粗微動ハンドル、５・・・・
ｙステージ、６・・・・粗微動ハンドル、７・・・、２
ステージ、８・・・・粗微動ハンドル、９・・・・θス
テージ、１０・・・・テスターヘッド支持ステージ、１
）・・・・走査側テスターヘッド支持装置、１２・・・
・真空吸着装置、１３・・・、移動ネジ、１４・・・・
ブロック、１５・・・・挾持用レバー、１６・・・・調
整ネジ、１７・・・・テスターヘッド支持部材、１８・
・・・スプリング、１９・・・・リードクランパー、２
０・・・・取付はネジ、２１・・・リードクランパー、
２２・・・・治具ブロック、２３・・・・位置合せ用ダ
ミーパターン、２４・・・・ダミー接触端子、Ｐ・・・
・フラットマトリックスディスプレイパネル、ＤＥ・・
・・データ側電極、ＳＥ・・・・走査側電極、Ｇ、、Ｇ
、・・・・基板、Ｈａ・・・・データ側テスターへノド
、Ｃｏ””データ側接触端子、Ｈ５・・・・走査側テス
ターヘッド、Ｃ３・・・・走査側接触端子。 代理人 篠 原 泰 司 ：、二、・
第３図 才４図 オフ図 （Ａ） （Ｂ） 第５図 ′ｌｉ′６図 （Ａ）（Ｂ）
して示す側面図、第２図は第１図のｎ■線に沿う拡大断
面図、第３図は本発明による検査装置の他の実施例の要
部側面図、第４図は本発明に係るフラットマトリックス
ディスプレイパネルの一実施例を示す平面図、第５図は
位置合せ用ダミーパターンとダミー接触端子との位置合
せ状態を示す拡大図、第６図はフラットマトリックスデ
ィスプレイパネルの一従来例を示しくＡ）はその平面図
、（Ｂ）は右側面図、（Ｃ）は底面図、第７図はテスタ
ーヘッドの一従来例を示しくＡ）はその斜視図、（Ｂ）
は斜視図（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 Ｉ・・・・本体フレーム、２・・・・ベース、３・・・
・Ｘステージ、４．・・・粗微動ハンドル、５・・・・
ｙステージ、６・・・・粗微動ハンドル、７・・・、２
ステージ、８・・・・粗微動ハンドル、９・・・・θス
テージ、１０・・・・テスターヘッド支持ステージ、１
）・・・・走査側テスターヘッド支持装置、１２・・・
・真空吸着装置、１３・・・、移動ネジ、１４・・・・
ブロック、１５・・・・挾持用レバー、１６・・・・調
整ネジ、１７・・・・テスターヘッド支持部材、１８・
・・・スプリング、１９・・・・リードクランパー、２
０・・・・取付はネジ、２１・・・リードクランパー、
２２・・・・治具ブロック、２３・・・・位置合せ用ダ
ミーパターン、２４・・・・ダミー接触端子、Ｐ・・・
・フラットマトリックスディスプレイパネル、ＤＥ・・
・・データ側電極、ＳＥ・・・・走査側電極、Ｇ、、Ｇ
、・・・・基板、Ｈａ・・・・データ側テスターへノド
、Ｃｏ””データ側接触端子、Ｈ５・・・・走査側テス
ターヘッド、Ｃ３・・・・走査側接触端子。 代理人 篠 原 泰 司 ：、二、・
第３図 才４図 オフ図 （Ａ） （Ｂ） 第５図 ′ｌｉ′６図 （Ａ）（Ｂ）
Claims (4)
- （１）二枚の基板上に形成された各々の電極が互いに対
向するように配置されて成るフラットマトリックスディ
スプレイパネル用検査装置において、上記パネルの一方
の電極群に接触し得るデータ側接触端子群を装備した位
置合せ用ステージ上に、上記データ側接触端子群に対し
所定の位置関係を有していて上記パネルの他方の電極群
に接触し得る走査側接触端子群を装備したことを特徴と
するフラットマトリックスディスプレイパネル用検査装
置。 - （２）前記走査側接触端子群は、上記位置合せ用ステー
ジ上に回転可能に装架された治具上に固定されている、
特許請求の範囲（１）に記載の検査装置。 - （３）前記データ側接触端子群は少なくとも二つのダミ
ー接触端子を含み、前記パネル上には上記ダミー接触端
子に対応した位置合せ用ダミーパターンが配設されてい
る、特許請求の範囲（１）に記載の検査装置。 - （４）前記走査側接触端子群が接触する側の上記パネル
面に対向する側の面に、接触圧力を加えるに従い反力が
加わるようにして成る、特許請求の範囲（１）に記載の
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60252462A JPH063476B2 (ja) | 1985-11-11 | 1985-11-11 | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60252462A JPH063476B2 (ja) | 1985-11-11 | 1985-11-11 | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62112044A true JPS62112044A (ja) | 1987-05-23 |
| JPH063476B2 JPH063476B2 (ja) | 1994-01-12 |
Family
ID=17237716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60252462A Expired - Fee Related JPH063476B2 (ja) | 1985-11-11 | 1985-11-11 | フラツトマトリツクスデイスプレイパネル用検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063476B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124740A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体の検査装置 |
| JPH05134227A (ja) * | 1991-11-13 | 1993-05-28 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 液晶表示パネルの検査装置 |
| JPH0862142A (ja) * | 1995-04-24 | 1996-03-08 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体の検査装置 |
| US5542866A (en) * | 1994-12-27 | 1996-08-06 | Industrial Technology Research Institute | Field emission display provided with repair capability of defects |
-
1985
- 1985-11-11 JP JP60252462A patent/JPH063476B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124740A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体の検査装置 |
| JPH05134227A (ja) * | 1991-11-13 | 1993-05-28 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 液晶表示パネルの検査装置 |
| US5542866A (en) * | 1994-12-27 | 1996-08-06 | Industrial Technology Research Institute | Field emission display provided with repair capability of defects |
| JPH0862142A (ja) * | 1995-04-24 | 1996-03-08 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体の検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH063476B2 (ja) | 1994-01-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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