JPH08304846A - Inspection device for liquid crystal display element - Google Patents
Inspection device for liquid crystal display elementInfo
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- JPH08304846A JPH08304846A JP7135738A JP13573895A JPH08304846A JP H08304846 A JPH08304846 A JP H08304846A JP 7135738 A JP7135738 A JP 7135738A JP 13573895 A JP13573895 A JP 13573895A JP H08304846 A JPH08304846 A JP H08304846A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、液晶表示素子の検査
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device inspection apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、ＬＣＤ量産プロセスにおける液
晶パネルに通電して、機能の良否を検査する電気検査を
行う場合、プローブ（探針）やバンプ（凸起端子）を用
いた方式が知られている。図４は、プローブ方式による
ＬＣＤ電気検査装置の一例を示す側面断面図である。検
査ワークであるＬＣＤの液晶パネル１は、対向面に電極
が形成された例えばコモン電極基板とセグメント電極基
板、あるいは走査電極基板と表示電極基板といったよう
に、ガラス等による透明な対向２枚の基板２、３間に液
晶を介してなっている。図中、下側の一方の基板２は上
側の他方の基板３よりも一回り大きく形成され、上側の
基板３と対向しない周辺部分は端子部２ａとして、画素
数に応じた数百以上の本数の入力端子（図示せず）が導
出されている。それら入力端子にテスト電圧を印加して
通電により機能検査を行う場合、プローブカード４と呼
ばれるプローブ支持基板が使用され、リード線によりテ
スト電圧を印加するプローブ５を支持してなっている。
したがって、量産ラインでは検査ワークの液晶パネル１
が次々と図の位置に搬送され、その液晶パネル１に対し
てプローブカード４を上下動させながら、プローブ５の
弾性を利用してパネル側入力端子に機械的に押し当て
る。液晶パネル１の背後には実装品と同一仕様のバック
ライトユニットもしくは検査用照明装置６が配置されて
いて、ここから光を照射しつつプローブ５をパネル側入
力端子に電気的に接触させて点灯試験を行うものであ
る。一方、図５は、バンプ方式によるＬＣＤ電気検査装
置の一例を示す側面断面図である。この装置では、配線
パターンを形成したポリイミド樹脂等によるフィルム配
線７がパネル試験駆動回路８に接続されていて、このフ
ィルム配線７の先端には液晶パネル１の入力端子に相当
する多数のバンプ７ａが設けられている。検査時は、バ
ンプ７ａを上方から押圧ツール９で液晶パネル１側の入
力端子に押しあてて通電する。2. Description of the Related Art Generally, a method using a probe (probe) or a bump (protruding terminal) is known when conducting an electrical inspection for inspecting a function by energizing a liquid crystal panel in an LCD mass production process. There is. FIG. 4 is a side sectional view showing an example of the LCD electrical inspection device by the probe method. A liquid crystal panel 1 of an LCD, which is an inspection work, has two transparent opposing substrates made of glass or the like, such as a common electrode substrate and a segment electrode substrate having electrodes formed on opposing surfaces, or a scanning electrode substrate and a display electrode substrate. Liquid crystal is interposed between two and three. In the figure, one substrate 2 on the lower side is formed to be slightly larger than the other substrate 3 on the upper side, and a peripheral portion which does not face the upper substrate 3 is a terminal portion 2a, and the number of hundreds or more depending on the number of pixels. The input terminal (not shown) of is derived. When a test voltage is applied to these input terminals to perform a function test by energizing, a probe support substrate called a probe card 4 is used, and a lead wire supports the probe 5 to which the test voltage is applied.
Therefore, in the mass production line, the inspection work liquid crystal panel 1
Are successively conveyed to the positions shown in the figure, and while the probe card 4 is moved up and down with respect to the liquid crystal panel 1, the elasticity of the probe 5 is used to mechanically press the probe card 4 against the panel-side input terminal. A backlight unit having the same specifications as the mounted product or an inspection illumination device 6 is arranged behind the liquid crystal panel 1, and the probe 5 is electrically contacted with the panel-side input terminal while illuminating light to light up. It is a test. On the other hand, FIG. 5 is a side sectional view showing an example of a bump type LCD electrical inspection device. In this device, a film wiring 7 made of polyimide resin or the like having a wiring pattern is connected to a panel test drive circuit 8, and a large number of bumps 7a corresponding to the input terminals of the liquid crystal panel 1 are provided at the tip of the film wiring 7. It is provided. At the time of inspection, the bump 7a is pressed against the input terminal on the liquid crystal panel 1 side from above by the pressing tool 9 to energize.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、図４で示さ
れたプローブ方式によるＬＣＤ電気検査装置の場合、検
査初期の段階でプローブ５を液晶パネル１側の入力端子
に目視して位置合わせするため、検査作業に精度誤差な
どが生じる不具合がある。一方、図５のバンプ方式によ
るＬＣＤ電気検査装置の場合は、フィルム配線７の先端
に形成された多数のバンプ７ａを液晶パネル１側の入力
端子に目視により位置合わせする際の作業が困難であ
る。さらに、フィルム配線７自体が薄く柔軟であるか
ら、いわゆる腰の強さがないためにバンプ７ａの押しあ
て作業に不便感がある。この発明は、液晶パネルへのテ
スト通電検査時の接続が効率的かつ的確に行えて信頼性
の高い検査を可能にした液晶表示素子の検査装置を提供
することを目的としている。By the way, in the case of the probe type LCD electrical inspection device shown in FIG. 4, the probe 5 is visually aligned with the input terminal on the liquid crystal panel 1 side at the initial stage of the inspection. However, there is a problem that accuracy error occurs in inspection work. On the other hand, in the case of the bump-type LCD electrical inspection apparatus of FIG. 5, it is difficult to visually align a large number of bumps 7a formed at the tip of the film wiring 7 with the input terminals on the liquid crystal panel 1 side. . Further, since the film wiring 7 itself is thin and flexible, it does not have so-called waist strength, which makes it inconvenient to press the bumps 7a. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device inspection device capable of efficiently and accurately connecting to a liquid crystal panel during a test energization inspection and enabling highly reliable inspection.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明による請求項１記載の液晶表示素子の検査
装置は、それぞれに複数の電極を有する一対の基板間に
液晶が封入され、前記一対の基板の一方の基板の他方の
基板に対し延出された入力端子部上に前記電極に接続さ
れた入力端子が導出され、少なくともいずれかの基板に
アライメントマークを有するものであって、前記液晶表
示素子のアライメントマークに対応するアライメントマ
ークを有するステージを備え、このアライメントマーク
に前記液晶表示素子のアライメントマークを位置合わせ
し、前記液晶表示素子の入力端子にテスト電圧を印加す
るように構成されている。また、この発明の請求項２記
載の液晶表示素子の検査装置は、前記ステージは、前記
他方の基板の周縁より広く、前記一方の基板の周縁より
狭い開口部と、前記開口部の周囲に前記一方の基板の入
力端子にテスト電圧を印加するテスト端子とを有し、前
記開口部の下方に光源が備えられてなっている。さら
に、この発明の請求項３記載の液晶表示素子の検査装置
は、前記液晶表示素子に実装されて駆動するドライバ用
半導体チップと同一仕様のテスター用半導体チップが、
前記テスト端子に接続されてなっている。In order to achieve the above object, a liquid crystal display device inspection apparatus according to a first aspect of the present invention is characterized in that liquid crystal is sealed between a pair of substrates each having a plurality of electrodes. An input terminal connected to the electrode is led out on an input terminal portion extended to the other substrate of the one substrate of the pair of substrates, and has an alignment mark on at least one of the substrates. A stage having an alignment mark corresponding to the alignment mark of the liquid crystal display element is provided, the alignment mark of the liquid crystal display element is aligned with the alignment mark, and a test voltage is applied to an input terminal of the liquid crystal display element. ing. Also, in the liquid crystal display element inspection device according to claim 2 of the present invention, the stage has an opening wider than a peripheral edge of the other substrate and narrower than a peripheral edge of the one substrate, and the stage surrounding the opening. A test terminal for applying a test voltage to an input terminal of one of the substrates is provided, and a light source is provided below the opening. Further, in the liquid crystal display element inspection device according to claim 3 of the present invention, a tester semiconductor chip having the same specifications as a driver semiconductor chip mounted on the liquid crystal display element and driven,
It is connected to the test terminal.
【０００５】[0005]
【作用】請求項１記載の発明では、液晶表示素子に設け
られたアライメントマークを、それに応じてステージに
設けられたアライメントマークに容易に位置合わせでき
るので液晶表示素子の入力端子に一括してテスト電圧を
印加することができ、これにより液晶表示素子を点灯さ
せ、検査することができる。請求項２記載の発明では、
ステージが他方の基板の周縁より広く、一方の基板の周
縁より狭い開口部と、開口部の周囲に一方の基板の入力
端子にテスト電圧を印加するテスト電圧とを有している
ので、アライメントマークにより位置合わせされた液晶
表示素子は、その他方の基板を下側に向けて開口部に挿
入できるため、他方の基板が阻害することなく、液晶表
示素子の一方の基板の入力端子部の入力端子をテーブル
のテスト端子上に載置させることにより良好に接続する
ことができる。また、開口部の下方に光源が備えられて
いるので液晶表示素子の点灯状態がより明確に判断で
き、さらにバックライト型液晶表示素子の検査であれ
ば、わざわざバックライト及びバックライトに接続され
た電源を液晶表示素子に付帯させてから検査する必要が
ないので、簡便に位置合わせして点灯検査を行うことが
できる。According to the first aspect of the present invention, the alignment mark provided on the liquid crystal display element can be easily aligned with the alignment mark provided on the stage accordingly, so that the input terminals of the liquid crystal display element are collectively tested. A voltage can be applied so that the liquid crystal display element can be turned on and tested. According to the invention of claim 2,
Since the stage has an opening wider than the peripheral edge of the other substrate and narrower than the peripheral edge of the one substrate, and a test voltage for applying a test voltage to the input terminal of the one substrate around the opening, the alignment mark Since the other substrate can be inserted into the opening with the other substrate facing downward, the other substrate is not obstructed and the input terminal of the input terminal part of one substrate of the liquid crystal display device Can be satisfactorily connected by placing on the test terminal of the table. Further, since the light source is provided below the opening, the lighting state of the liquid crystal display element can be more clearly determined. Further, in the case of the inspection of the backlight type liquid crystal display element, it was purposely connected to the backlight and the backlight. Since it is not necessary to inspect the liquid crystal display element after attaching the power source to the liquid crystal display element, the lighting inspection can be easily performed by aligning the position.
【０００６】[0006]
【実施例】以下、この発明による液晶表示素子の検査装
置の実施例について図面を用いて説明する。図１〜図３
は、実施例の電気検査装置によって検査ワークである液
晶パネル１０に通電させるときの形態を示す側面断面
図、正面図および斜視図である。装置の主要部は、ガラ
ス等の透明なステージ２０、このステージ２０上に液晶
パネル１０の一方の基板１１の入力端子１４に対応した
配線パターンでもってテスト電圧を印加通電する複数の
テスト端子２１、このテスト端子２１に上から接触して
設けられたシート状の導通部材（以下、これをコネクタ
２６という）などからなっている。また、この発明でい
う相対的移動の一例として、例えば液晶パネル１０をス
テージ２０に対し押しあて、コネクタ２６を介して一方
の基板１１の入力端子１４をテスト端子２１に接続させ
るものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a liquid crystal display device inspection apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3
FIG. 4A is a side sectional view, a front view, and a perspective view showing a mode in which the liquid crystal panel 10 as an inspection work is energized by the electric inspection device of the embodiment. The main part of the device is a transparent stage 20 such as glass, and a plurality of test terminals 21 for applying and energizing a test voltage with a wiring pattern corresponding to the input terminals 14 of one substrate 11 of the liquid crystal panel 10 on the stage 20. The test terminal 21 includes a sheet-shaped conductive member (hereinafter referred to as a connector 26) provided in contact with the test terminal 21 from above. Further, as an example of the relative movement in the present invention, for example, the liquid crystal panel 10 is pressed against the stage 20 and the input terminal 14 of one substrate 11 is connected to the test terminal 21 via the connector 26.
【０００７】検査装置のステージ２０に対して量産ライ
ンで搬送されてくる液晶パネル１０は、液晶を封入した
ガラス等の透明な対向する２枚の基板１１、１２などか
らなっていて、駆動方式によってここでは特に基板の形
態を特定しないが、例えば基板対向面にはＩＴＯ等によ
る画素電極や共通電極などが形成されている。この液晶
パネル１０は、その製造時に位置合わせのためのアライ
メントマーク３２が設けられている。この発明でいう一
方の基板としての上側の基板１１は下側の他方の基板１
２よりも一回り大きく形成されて、下側の基板１２と対
向しない周辺部分は画素電極から導出される入力端子の
端子部１３となっており、ここには画素電極数に応じた
多数の入力端子１４が引き出されている。The liquid crystal panel 10 conveyed on a mass production line to the stage 20 of the inspection apparatus is composed of two transparent substrates 11 and 12 facing each other such as glass in which liquid crystal is sealed. Although the form of the substrate is not particularly specified here, for example, a pixel electrode or a common electrode made of ITO or the like is formed on the surface facing the substrate. The liquid crystal panel 10 is provided with an alignment mark 32 for alignment during manufacturing. The upper substrate 11 as one substrate in the present invention is the other lower substrate 1
The peripheral portion which is formed to be slightly larger than 2 and which does not face the lower substrate 12 is a terminal portion 13 of an input terminal led out from the pixel electrode. Here, a large number of inputs corresponding to the number of pixel electrodes are provided. The terminal 14 is pulled out.
【０００８】多くの場合、これら入力端子１４に接続さ
せて画素電極を駆動するＩＣやＬＳＩチップによるドラ
イバ半導体チップが実装される。電気検査の際は入力端
子１４にテスト電圧を印加して通電することにより、液
晶が駆動されてパネル輝度や表示品位等の品質良否を判
定するパネル機能検査が行われる。In many cases, a driver semiconductor chip such as an IC or LSI chip that is connected to these input terminals 14 and drives a pixel electrode is mounted. At the time of the electrical inspection, a liquid crystal is driven by applying a test voltage to the input terminal 14 to energize it, and a panel function inspection for determining quality such as panel brightness and display quality is performed.
【０００９】そうした検査を行う装置側は、ガラスなど
による透明な矩形平板状のステージ２０が装置本体とし
て設けられている。このステージ２０の上面には、液晶
パネル１０の上記入力端子１４の数に対応した配線パタ
ーンでもってテスト電圧印加端子であるテスト端子２１
が形成されている。テスト端子２１は、図２で明らかな
ように、実施例ではステージ２０上の５個所に設けられ
ている。また、各テスト端子２１には液晶パネル１０に
実装されるパネル駆動用のＩＣやＬＳＩチップによるド
ライバ半導体チップと同一仕様のテスター用ドライバ半
導体チップ２２が接続してある。これらドライバ用半導
体チップ２２は、フレキシブルプリント配線板２３を介
して検査装置の一環をなすパネル試験駆動回路２４に接
続されている。したがって、ドライバ半導体チップ２２
への通電により液晶パネル１０の機能検査の結果が良品
と判定されると、そのドライバ半導体チップ２２と同一
仕様の実装品チップを後工程で実装することができる。On the side of the apparatus that performs such inspection, a transparent rectangular flat plate-shaped stage 20 made of glass or the like is provided as the apparatus main body. On the upper surface of the stage 20, a test terminal 21 which is a test voltage applying terminal is formed with a wiring pattern corresponding to the number of the input terminals 14 of the liquid crystal panel 10.
Are formed. As apparent from FIG. 2, the test terminals 21 are provided at five points on the stage 20 in the embodiment. Further, a tester driver semiconductor chip 22 having the same specifications as a driver semiconductor chip formed by a panel driving IC or LSI chip mounted on the liquid crystal panel 10 is connected to each test terminal 21. These driver semiconductor chips 22 are connected via a flexible printed wiring board 23 to a panel test drive circuit 24 which is a part of an inspection apparatus. Therefore, the driver semiconductor chip 22
When the result of the function test of the liquid crystal panel 10 is determined to be a non-defective product by energizing the device, a mounted product chip having the same specifications as the driver semiconductor chip 22 can be mounted in a subsequent process.
【００１０】また、ステージ２０の中央部には、液晶パ
ネル１０の他方の基板１２の大きさよりも多少大き目の
矩形状開口孔２５が設けられている。液晶パネル１０
は、通電検査時はパネル反転させて他方の基板１２を下
側にしたとき、その基板１２をステージ２０の中央開口
孔２５に係入させることで、基板１２の板厚分がステー
ジ２０に干渉せず避けられるようになっている。つま
り、開口孔２５を設けた理由は、この開口孔２５に下側
になった他方の基板１２を係合させることで、上側にな
った一方の基板１１側の入力端子１４が、後述のコネク
タ２６を介しステージ２０上のテスト端子２１に接続す
るのに支障がないようにするためである。A rectangular opening hole 25, which is slightly larger than the size of the other substrate 12 of the liquid crystal panel 10, is provided at the center of the stage 20. Liquid crystal panel 10
When the power is inspected, when the panel 12 is turned upside down and the other substrate 12 is placed on the lower side, the substrate 12 is inserted into the central opening hole 25 of the stage 20 so that the thickness of the substrate 12 interferes with the stage 20. It can be avoided without doing so. In other words, the reason why the opening hole 25 is provided is that the other substrate 12 on the lower side is engaged with the opening hole 25 so that the input terminal 14 on the one substrate 11 on the upper side is connected to the connector described later. This is because there is no problem in connecting to the test terminal 21 on the stage 20 via 26.
【００１１】ステージ２０上の５個所のテスト端子２１
においては、各端子群の全幅にわたって帯状シートに成
形されたコネクタ２６が隣合う端子同士、その１本１本
にわたって上から接触して重なり合って配置されてい
る。コネクタ２６は、異方性の導電性フィルムでこの厚
さ方向へは電気的に導通可能である。すなわち、コネク
タ２６は、この上側になるパネル側入力端子１４と下側
になるテスト端子２１において、上下方向で対向する個
々の入力端子１４とテスト端子２１同士の導通は可能で
あるが、横に隣合う入力端子１４または横に隣合うテス
ト端子２１の個々同士はコネクタ２６でつながっていて
も、電気的に導通させない異方導電性特性を有する。Five test terminals 21 on the stage 20
In the above, the connector 26 formed into a strip-shaped sheet over the entire width of each terminal group is arranged such that adjacent terminals are in contact with each other from above and overlap each other. The connector 26 is an anisotropic conductive film and can be electrically conducted in the thickness direction. That is, in the connector 26, in the panel-side input terminal 14 on the upper side and the test terminal 21 on the lower side, the individual input terminals 14 and the test terminals 21 facing each other in the vertical direction can be electrically connected to each other, Even if the input terminals 14 adjacent to each other or the test terminals 21 adjacent to each other laterally are connected to each other by the connector 26, they have anisotropic conductive characteristics such that they are not electrically connected.
【００１２】一方、装置側ステージ２０は液晶パネル１
０を押しあてるとき、入力端子１４を下方のテスト端子
２１に位置合わせする便宜のために、アライメントマー
ク３１が少なくとも左右両側に２組設けられている。ア
ライメントマーク３１は、液晶パネル１０のマーク３２
に対応する位置に表示して設けてある。それら両マーク
３１、３２には例えば図示のように「＋」字形同士を重
ね合わせるものなどを用いることができる。基板１１お
よびステージ２０は共にガラス等による透明な材料が用
いられているため、検査初期に基板１１側のマーク３２
を下方のステージ２０側のマーク３１に合わせ易い。On the other hand, the apparatus side stage 20 is the liquid crystal panel 1.
For the convenience of aligning the input terminal 14 with the lower test terminal 21 when 0 is pressed, two sets of alignment marks 31 are provided at least on the left and right sides. The alignment mark 31 is the mark 32 of the liquid crystal panel 10.
Is provided at a position corresponding to. As the marks 31 and 32, for example, those in which “+”-shaped characters are overlapped as shown in the drawing can be used. Since the substrate 11 and the stage 20 are both made of a transparent material such as glass, the marks 32 on the substrate 11 side are initially formed at the initial inspection.
Is easily aligned with the mark 31 on the lower stage 20 side.
【００１３】以上によって、実施例の電気検査装置では
次のように作用する。装置側ステージ２０では、パネル
試験駆動回路２４をオン状態にして、常時フレキシブル
プリント配線板２３からテスト端子２１に所要の電流を
流して待機状態にしておくことができる。検査ワークの
液晶パネル１０が搬送されてくると、ステージ２０側の
アライメントマーク３１に対してパネル側基板１１のア
ライメントマーク３２を上方から自動位置合わせ手段に
よって位置合わせする。基板１１とステージ２０は透明
なガラス板であるので、アライメントマーク３０の位置
合わせは容易で正確に合わせられる。As described above, the electrical inspection device of the embodiment operates as follows. In the apparatus-side stage 20, the panel test drive circuit 24 can be turned on, and a required current can be constantly supplied from the flexible printed wiring board 23 to the test terminals 21 to be in a standby state. When the liquid crystal panel 10 of the inspection work is conveyed, the alignment mark 32 on the panel substrate 11 is aligned with the alignment mark 31 on the stage 20 side from above by the automatic alignment means. Since the substrate 11 and the stage 20 are transparent glass plates, the alignment marks 30 can be easily and accurately aligned.
【００１４】基板１１の位置合わせが行われた段階で押
圧ツール等による押圧手段（図示せず）を作動させ、液
晶パネル１０全体をステージ２０に押しあてる。液晶パ
ネル１０側の下向きになった他方の基板１２はステージ
２０の中央の開口孔２５に係合し、その孔に板厚分を吸
収される。下側の他方の基板１２は支障とならないの
で、一方の基板１１の入力端子部１３はステージ２０側
に密接することができる。すなわち、入力端子部１３に
おける入力端子１４はステージ２０側のコネクタ２６に
密接することで、下方のテスト端子２１に接続する。When the substrate 11 is aligned, a pressing means (not shown) such as a pressing tool is activated to press the entire liquid crystal panel 10 against the stage 20. The other substrate 12 facing downward on the liquid crystal panel 10 side is engaged with the opening hole 25 at the center of the stage 20, and the hole absorbs the plate thickness. Since the other substrate 12 on the lower side does not hinder, the input terminal portion 13 of the one substrate 11 can be brought into close contact with the stage 20 side. That is, the input terminal 14 in the input terminal portion 13 is in close contact with the connector 26 on the stage 20 side, and is connected to the lower test terminal 21.
【００１５】テスト端子２１にはパネル試験駆動回路２
４から試験電流が供給されているので、テスト端子２１
からパネル側入力端子１４に対してテスト電圧が印加さ
れる。入力端子１４とテスト端子２１は上下方向で対応
する個々同士が電気的に導通する。このときテスト電圧
は液晶パネル１０のすべての画素が点灯するように所定
の入力端子１４に印加される。こうした液晶パネル１０
への通電による機能検査で品質良否が判定される。機能
検査で一定の品質を有する良品とみなされた場合は、ス
テージ２０上のドライバ半導体チップ２２と同一仕様の
実装品チップを後工程で実装することができる。The panel test drive circuit 2 is connected to the test terminal 21.
Since the test current is supplied from 4, the test terminal 21
Applies a test voltage to the panel side input terminal 14. The input terminal 14 and the test terminal 21 are electrically connected to each other in the vertical direction. At this time, the test voltage is applied to a predetermined input terminal 14 so that all the pixels of the liquid crystal panel 10 are turned on. Such a liquid crystal panel 10
Whether the quality is good or bad is judged by the function inspection by energizing the. If the functional inspection determines that the product is a non-defective product having a certain quality, a mounted product chip having the same specifications as the driver semiconductor chip 22 on the stage 20 can be mounted in a subsequent process.
【００１６】以上、実施例について説明したが、この発
明はその他にも各種の設計変更が可能である。例えば、
上記実施例ではステージ２０に透明な材質が用いられた
が、アライメントマーク３１、３２同士の重なりを上方
から検出できれば、不透明材質の使用も可能である。上
記実施例ではアライメントマーク３２は液晶パネル１０
の製造時に使用されるものであったが、これに限らず検
査用アライメントマークとして別途形成されてもよい。
また、検査の際、コネクタ２６を介するとよく、直接液
晶パネル１０の入力端子１４とステージ２０のテスト端
子２１とを接触させ導通させてもよい。Although the embodiments have been described above, various other design changes can be made to the present invention. For example,
Although a transparent material is used for the stage 20 in the above embodiment, an opaque material may be used as long as the overlap between the alignment marks 31 and 32 can be detected from above. In the above embodiment, the alignment mark 32 is the liquid crystal panel 10.
However, the present invention is not limited to this and may be formed separately as an inspection alignment mark.
Further, at the time of inspection, the connector 26 may be used, and the input terminal 14 of the liquid crystal panel 10 and the test terminal 21 of the stage 20 may be directly brought into contact with each other for electrical conduction.
【００１７】[0017]
【発明の効果】以上のように、この発明による液晶表示
素子の検査装置は、液晶パネル側基板および検査装置側
ステージの双方にアライメントマークの一方と他方を設
けておけば、検査初期の目視確認が容易になり、位置合
わせの精度を高めることができる。As described above, in the liquid crystal display device inspection apparatus according to the present invention, if one and the other of the alignment marks are provided on both the liquid crystal panel side substrate and the inspection apparatus side stage, visual confirmation at the initial stage of the inspection is possible. Can be facilitated and the alignment accuracy can be improved.
【図１】検査ワークのＬＣＤ液晶パネルに対して電気検
査を行う形態を示す実施例の電気検査装置の側面図。FIG. 1 is a side view of an electrical inspection apparatus of an embodiment showing a mode of performing an electrical inspection on an LCD liquid crystal panel of an inspection work.
【図２】実施例の電気検査装置の平面図。FIG. 2 is a plan view of the electrical inspection device according to the embodiment.
【図３】実施例の電気検査装置の斜視図。FIG. 3 is a perspective view of an electrical inspection device according to an embodiment.
【図４】検査ワークのＬＣＤ液晶パネルに対して電気検
査を行う形態を示すプローブ方式による従来例の電気検
査装置の側面図。FIG. 4 is a side view of a conventional electrical inspection device using a probe method showing a mode of performing an electrical inspection on an LCD liquid crystal panel of an inspection work.
【図５】検査ワークのＬＣＤ液晶パネルに対して電気検
査を行う形態を示すパッド方式による従来例の電気検査
装置の側面図。FIG. 5 is a side view of a conventional pad-type electrical inspection device showing an embodiment of performing an electrical inspection on an LCD liquid crystal panel of an inspection work.
１０ 液晶パネル １１ 一方の基板 １２ 他方の基板 １３ 入力端子部 １４ 入力端子 ２０ ステージ ２１ テスト端子 ２２ ドライバ半導体チップ ２３ フレキシブルプリント配線板 ２４ パネル試験駆動回路 ２５ 開口孔 ２６ コネクタ（導通部材） ３１、３２ アライメントマーク 10 liquid crystal panel 11 one substrate 12 the other substrate 13 input terminal section 14 input terminal 20 stage 21 test terminal 22 driver semiconductor chip 23 flexible printed wiring board 24 panel test drive circuit 25 opening hole 26 connector (conducting member) 31, 32 alignment mark
Claims (3)
板間に液晶が封入され、前記一対の基板の一方の基板の
他方の基板に対し延出された入力端子部上に前記電極に
接続された入力端子が導出され、少なくともいずれかの
基板にアライメントマークを有する液晶表示素子の検査
装置であって、 前記液晶表示素子のアライメントマークに対応するアラ
イメントマークを有するステージを備え、このアライメ
ントマークに前記液晶表示素子のアライメントマークを
位置合わせし、前記液晶表示素子の入力端子にテスト電
圧を印加することを特徴とする液晶表示素子の検査装
置。1. A liquid crystal is sealed between a pair of substrates each having a plurality of electrodes, and is connected to the electrodes on an input terminal portion extending from one of the pair of substrates to the other substrate. An inspection apparatus for a liquid crystal display element, which has an input terminal led out and has an alignment mark on at least one of the substrates, comprising: a stage having an alignment mark corresponding to the alignment mark of the liquid crystal display element, wherein An apparatus for inspecting a liquid crystal display element, wherein an alignment mark of the liquid crystal display element is aligned and a test voltage is applied to an input terminal of the liquid crystal display element.
より広く、前記一方の基板の周縁より狭い開口部と、前
記開口部の周囲に前記一方の基板の入力端子にテスト電
圧を印加するテスト端子とを有し、前記開口部の下方に
光源が備えられていることを特徴とする請求項１記載の
液晶表示素子の検査装置。2. A test in which the stage is wider than a peripheral edge of the other substrate and narrower than a peripheral edge of the one substrate, and a test voltage is applied to an input terminal of the one substrate around the opening. The liquid crystal display element inspection device according to claim 1, further comprising a terminal, and a light source provided below the opening.
ドライバ用半導体チップと同一仕様のテスター用半導体
チップが、前記テスト端子に接続されていることを特徴
とする請求項２記載の液晶表示素子の検査装置。3. A liquid crystal display element according to claim 2, wherein a tester semiconductor chip having the same specifications as a driver semiconductor chip mounted on and driven by the liquid crystal display element is connected to the test terminal. Inspection equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7135738A JPH08304846A (en) | 1995-05-10 | 1995-05-10 | Inspection device for liquid crystal display element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7135738A JPH08304846A (en) | 1995-05-10 | 1995-05-10 | Inspection device for liquid crystal display element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304846A true JPH08304846A (en) | 1996-11-22 |
Family
ID=15158723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7135738A Pending JPH08304846A (en) | 1995-05-10 | 1995-05-10 | Inspection device for liquid crystal display element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08304846A (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6307613B1 (en) * | 1998-11-05 | 2001-10-23 | Nec Corporation | Liquid crystal display panel with plurality of alignment marks within the wiring layer |
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| KR100710149B1 (en) * | 2000-12-28 | 2007-04-20 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Liquid Crystal Display Device |
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| CN108445658A (en) * | 2018-05-16 | 2018-08-24 | 武汉精测电子集团股份有限公司 | A kind of crimping carrier on automatic turning measurement jig |
| CN109917569A (en) * | 2019-04-09 | 2019-06-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Panel detection device |
-
1995
- 1995-05-10 JP JP7135738A patent/JPH08304846A/en active Pending
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| CN108445658B (en) * | 2018-05-16 | 2024-04-19 | 武汉精测电子集团股份有限公司 | Crimping carrier for automatic overturning test fixture |
| CN109917569A (en) * | 2019-04-09 | 2019-06-21 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Panel detection device |
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