JPH06328336A - チャック装置 - Google Patents
チャック装置Info
- Publication number
- JPH06328336A JPH06328336A JP14424393A JP14424393A JPH06328336A JP H06328336 A JPH06328336 A JP H06328336A JP 14424393 A JP14424393 A JP 14424393A JP 14424393 A JP14424393 A JP 14424393A JP H06328336 A JPH06328336 A JP H06328336A
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- Japan
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- chuck
- chuck device
- work
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ワークチャック面の精度の管理が高精度で可能
であり、しかも傷や打痕等による精度が劣化しても、そ
の精度の回復を容易に行うことができるチャック装置を
提供すること。 【構成】基板に対して設定されて、ワークを着脱可能に
設定するためのチャック装置であり、上記基板に対して
浮かせて位置調整するための位置調整手段を備えるチャ
ック装置。
であり、しかも傷や打痕等による精度が劣化しても、そ
の精度の回復を容易に行うことができるチャック装置を
提供すること。 【構成】基板に対して設定されて、ワークを着脱可能に
設定するためのチャック装置であり、上記基板に対して
浮かせて位置調整するための位置調整手段を備えるチャ
ック装置。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークを着脱可能に設
定するためのチャック装置に関するものである。
定するためのチャック装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ワークを着脱可能に設定するためのチャ
ック装置は、工作機械のテーブル等に設定される。たと
えば、図12に示すような通常の平面研削盤のテーブル
3に対してチャック装置4を設定する。このチャック装
置4のワークチャック面2にワークをチャックする。
ック装置は、工作機械のテーブル等に設定される。たと
えば、図12に示すような通常の平面研削盤のテーブル
3に対してチャック装置4を設定する。このチャック装
置4のワークチャック面2にワークをチャックする。
【0003】テーブル3に対してチャック装置4を装着
した状態で、平面度を向上するために、このチャック装
置4のワークチャック面2をいわゆるセルフカットする
ことが行われている。このセルフカットとは、テーブル
3上のワークチャック面2と、加工する砥石1の回転軸
直角度を合せるために、機上の砥石1で直接ワークチャ
ック面2を切り込むことにより、ワークチャック面2の
高精度化を図るのである。
した状態で、平面度を向上するために、このチャック装
置4のワークチャック面2をいわゆるセルフカットする
ことが行われている。このセルフカットとは、テーブル
3上のワークチャック面2と、加工する砥石1の回転軸
直角度を合せるために、機上の砥石1で直接ワークチャ
ック面2を切り込むことにより、ワークチャック面2の
高精度化を図るのである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
セルフカット方式によるワークチャック面の精度の向上
には限界があり、たとえばプラスマイナス1μm程度が
限界である。また、このワークチャック面2の精度の維
持が困難である。すなわち、ワークチャック面2に傷や
打痕やチャック面の摩耗あるいはゴミや研削粉等の介入
によりワークチャック面2の平面度が悪くなってしまう
という問題があった。
セルフカット方式によるワークチャック面の精度の向上
には限界があり、たとえばプラスマイナス1μm程度が
限界である。また、このワークチャック面2の精度の維
持が困難である。すなわち、ワークチャック面2に傷や
打痕やチャック面の摩耗あるいはゴミや研削粉等の介入
によりワークチャック面2の平面度が悪くなってしまう
という問題があった。
【0005】本発明は上記課題を解消するためになされ
たものであり、ワークチャック面の精度の管理が高精度
で可能であり、しかも傷や打痕等による精度が劣化して
も、その精度の回復を容易に行うことができるチャック
装置を提供することを目的としている。
たものであり、ワークチャック面の精度の管理が高精度
で可能であり、しかも傷や打痕等による精度が劣化して
も、その精度の回復を容易に行うことができるチャック
装置を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、基板に対して設定されて、ワークを着脱可能に
設定するためのチャック装置であり、上記基板に対して
浮かせて位置調整するための位置調整手段を備えるチャ
ック装置により、達成される。
っては、基板に対して設定されて、ワークを着脱可能に
設定するためのチャック装置であり、上記基板に対して
浮かせて位置調整するための位置調整手段を備えるチャ
ック装置により、達成される。
【0007】本発明にあっては、好ましくは前記位置調
整手段は、3つの位置に設けられた支持部材を備え、こ
の3つの支持部材のうちの2つの支持部材を調整するこ
とにより、上記基板に対して浮かせて位置調整するよう
に構成されている。また、本発明にあっては、好ましく
はクーラント流路を有する。また、本発明にあっては、
好ましくはバキュームチャックである。さらに好ましく
は前記基板はマグネットチャックである。
整手段は、3つの位置に設けられた支持部材を備え、こ
の3つの支持部材のうちの2つの支持部材を調整するこ
とにより、上記基板に対して浮かせて位置調整するよう
に構成されている。また、本発明にあっては、好ましく
はクーラント流路を有する。また、本発明にあっては、
好ましくはバキュームチャックである。さらに好ましく
は前記基板はマグネットチャックである。
【0008】
【作用】基板に対してチャック装置を設定し、その基板
上で位置調整手段を調整して基板に対するチャック装置
の位置合わせをする。好ましくは3点で支持されたチャ
ック装置では、そのうちの3点の支持部材を調整するこ
とにより、基板に対するチャック装置の位置合わせをす
る。クーラント流路を設けておけば、チャック装置にチ
ャックした加工物を加工する時に発生する熱を除去する
ことができる。
上で位置調整手段を調整して基板に対するチャック装置
の位置合わせをする。好ましくは3点で支持されたチャ
ック装置では、そのうちの3点の支持部材を調整するこ
とにより、基板に対するチャック装置の位置合わせをす
る。クーラント流路を設けておけば、チャック装置にチ
ャックした加工物を加工する時に発生する熱を除去する
ことができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、本
発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々
の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明
において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、こ
れらの態様に限られるものではない。
づいて詳細に説明する。尚、以下に述べる実施例は、本
発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々
の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明
において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、こ
れらの態様に限られるものではない。
【0010】図1は、本発明のチャック装置の好ましい
実施例を示す斜視図である。また図2は、図1のA−A
線における断面図である。さらに図3は、図1のチャッ
ク装置の側面を示している。図1において、チャック装
置10は、本体12と複数のバキュームプレート14お
よび3つの支持部材16,16,18を備えている。
実施例を示す斜視図である。また図2は、図1のA−A
線における断面図である。さらに図3は、図1のチャッ
ク装置の側面を示している。図1において、チャック装
置10は、本体12と複数のバキュームプレート14お
よび3つの支持部材16,16,18を備えている。
【0011】本体12は長方形状の部材であり、6つの
バキュームプレート14が2列に並べて配置されてい
る。これらのバキュームプレート14は、図2に示すよ
うにエアチェンバー14aを介して通路22に接続され
ている。
バキュームプレート14が2列に並べて配置されてい
る。これらのバキュームプレート14は、図2に示すよ
うにエアチェンバー14aを介して通路22に接続され
ている。
【0012】この通路22は吸気孔20に接続されてい
る。吸気孔20は図1に示すようにバキューム吸引手段
24に接続されている。各バキュームプレート14は、
たとえば多孔質のパットである。そして、吸引手段24
を作動することにより、図2に示すように、バキューム
プレート14上に設定されたワークWを真空で着脱可能
に吸引して設定することができる。
る。吸気孔20は図1に示すようにバキューム吸引手段
24に接続されている。各バキュームプレート14は、
たとえば多孔質のパットである。そして、吸引手段24
を作動することにより、図2に示すように、バキューム
プレート14上に設定されたワークWを真空で着脱可能
に吸引して設定することができる。
【0013】図1と図3に示す3つの支持部材16,1
6,18は、いわゆるチャック装置10を、基板として
のマグネットチャックテーブル40に対して、浮かして
位置調整するための位置調整手段を構成している。
6,18は、いわゆるチャック装置10を、基板として
のマグネットチャックテーブル40に対して、浮かして
位置調整するための位置調整手段を構成している。
【0014】まず、1つの支持部材18は、図3に示す
ように、たとえば8ミリ径の鋼球を圧入したものであ
る。この支持部材18は、本体12の下面12aとマグ
ネットチャックテーブル40の面47との間に間隔Dを
形成することができる。この間隔Dは、好ましくは5μ
m以下である。この支持部材18は、図1と図4に示す
ように、本体12の短辺側の中央付近に配置されてい
る。
ように、たとえば8ミリ径の鋼球を圧入したものであ
る。この支持部材18は、本体12の下面12aとマグ
ネットチャックテーブル40の面47との間に間隔Dを
形成することができる。この間隔Dは、好ましくは5μ
m以下である。この支持部材18は、図1と図4に示す
ように、本体12の短辺側の中央付近に配置されてい
る。
【0015】これに対して、2つの支持部材16,16
は、図1と図4に示すように、本体14のもう1つの短
辺側の一方の角部と他方の角部に位置されている。
は、図1と図4に示すように、本体14のもう1つの短
辺側の一方の角部と他方の角部に位置されている。
【0016】図3と図4に示すように、支持部材16
は、それぞれジャッキボルト16bとこのジャッキボル
ト16bを操作する操作部16aを有している。しかも
ジャッキボルト16aの下端は、半球状の支持端16c
となっている。この操作部16aを操作者が手動で回す
ことにより、図1に示すように、矢印R方向および矢印
Q方向にそって本体12の傾きの調整を、図3に示すマ
グネットチャックテーブル40の上面47に関して行う
ことができる。
は、それぞれジャッキボルト16bとこのジャッキボル
ト16bを操作する操作部16aを有している。しかも
ジャッキボルト16aの下端は、半球状の支持端16c
となっている。この操作部16aを操作者が手動で回す
ことにより、図1に示すように、矢印R方向および矢印
Q方向にそって本体12の傾きの調整を、図3に示すマ
グネットチャックテーブル40の上面47に関して行う
ことができる。
【0017】図5と図6を参照すると、本体12の下面
12aには複数本の溝30が形成されている。この溝3
0は、放熱用のものであり、本体12が熱変形をするの
を抑えるために設けられている。たとえば、図に示すワ
ークWに対して研削を行う場合に、この溝30にクーラ
ントである研削液を通過させて本体12から熱を奪い、
本体12が熱変形するのを抑えるのである。これにより
チャック装置10の本体12の上面の仕上げ面の精度を
向上することができる。
12aには複数本の溝30が形成されている。この溝3
0は、放熱用のものであり、本体12が熱変形をするの
を抑えるために設けられている。たとえば、図に示すワ
ークWに対して研削を行う場合に、この溝30にクーラ
ントである研削液を通過させて本体12から熱を奪い、
本体12が熱変形するのを抑えるのである。これにより
チャック装置10の本体12の上面の仕上げ面の精度を
向上することができる。
【0018】次に、図1に示すチャック装置10のワー
クチャック面45の高精度化について説明する。この実
施例では、基板40は、図8に示す通常の研削盤もマグ
ネットチャック基板を例にして説明する。まず外段取り
で、図7に示すワークチャック面45をラッピング等で
平面度をたとえば0.1μm以下に仕上げる。
クチャック面45の高精度化について説明する。この実
施例では、基板40は、図8に示す通常の研削盤もマグ
ネットチャック基板を例にして説明する。まず外段取り
で、図7に示すワークチャック面45をラッピング等で
平面度をたとえば0.1μm以下に仕上げる。
【0019】次に、図8に示すような通常の研削盤のマ
グネットチャック面47に、図7のチャック装置10を
チャックする。このマグネットチャック面47は、図9
に示すようにして、予めたとえば2μm以下程度の平面
度までセルフグライディングを行っておく。このセルフ
グライディングは、通常行われているセルフグライディ
ングで良い。
グネットチャック面47に、図7のチャック装置10を
チャックする。このマグネットチャック面47は、図9
に示すようにして、予めたとえば2μm以下程度の平面
度までセルフグライディングを行っておく。このセルフ
グライディングは、通常行われているセルフグライディ
ングで良い。
【0020】図7に示すように、研削盤のマグネットチ
ャック面47と、チャック装置10のワークチャック面
(バキュームチャック面)45との精度を、2つの支持
部材16,16を用いて調整をする。この時に、図1の
バキュームプレート(バキュームチャックプレートとも
言う)14は、磁力によりマグネットチャック面47側
にチャックしたままで、精度の調整を行う。この支持部
材16aによる調整代は、高々たとえば4μm程度であ
る。
ャック面47と、チャック装置10のワークチャック面
(バキュームチャック面)45との精度を、2つの支持
部材16,16を用いて調整をする。この時に、図1の
バキュームプレート(バキュームチャックプレートとも
言う)14は、磁力によりマグネットチャック面47側
にチャックしたままで、精度の調整を行う。この支持部
材16aによる調整代は、高々たとえば4μm程度であ
る。
【0021】次に、図10と図11により、上述したマ
グネットチャック面47に対するチャック装置10のワ
ークチャック面45の精度の調整方法(傾き調整方法)
について説明する。
グネットチャック面47に対するチャック装置10のワ
ークチャック面45の精度の調整方法(傾き調整方法)
について説明する。
【0022】まず、図10は、X軸方向の傾きを調整す
る場合を示している。図10において、ダイヤルゲージ
もしくは非接触式変位計100は、固定側のコラム11
0に対して設定されている。このダイヤルゲージまたは
非接触式変位計100は、1つの支持部材16側に対応
するワークチャック面45の傾きを測定する。
る場合を示している。図10において、ダイヤルゲージ
もしくは非接触式変位計100は、固定側のコラム11
0に対して設定されている。このダイヤルゲージまたは
非接触式変位計100は、1つの支持部材16側に対応
するワークチャック面45の傾きを測定する。
【0023】このX軸方向の傾きの測定を行う場合に
は、マグネットチャックテーブル40は、X軸方向にテ
ーブル送りされる。これにより、X軸方向に関するバキ
ュームチャック面45の傾きを測定して、支持部材16
を調整することにより、バキュームチャック面45のX
軸方向の傾きを調整する。
は、マグネットチャックテーブル40は、X軸方向にテ
ーブル送りされる。これにより、X軸方向に関するバキ
ュームチャック面45の傾きを測定して、支持部材16
を調整することにより、バキュームチャック面45のX
軸方向の傾きを調整する。
【0024】次に、図10は、バキュームチャック面4
5のY軸方向の傾きの調整を示している。このY軸方向
の傾きの調整を行う場合には、マグネットチャックテー
ブル40はY軸方向に送られる。これにより、ダイヤル
ゲージまたは非接触式変位計100は、バキュームチャ
ック面45のY軸方向に関する傾きを測定することがで
きる。これに基づいて支持部材16を調整することによ
り、バキュームチャック面45のY軸方向の傾きを調整
する。
5のY軸方向の傾きの調整を示している。このY軸方向
の傾きの調整を行う場合には、マグネットチャックテー
ブル40はY軸方向に送られる。これにより、ダイヤル
ゲージまたは非接触式変位計100は、バキュームチャ
ック面45のY軸方向に関する傾きを測定することがで
きる。これに基づいて支持部材16を調整することによ
り、バキュームチャック面45のY軸方向の傾きを調整
する。
【0025】ところで、このバキュームチャック面45
に、傷が付いたり打痕あるいは摩耗等により、いわゆる
機上での主軸との直角度が維持できなくなる場合があ
る。この場合には、チャック装置10のみをマグネット
チャックテーブル40から取り外して、外段取りで図7
のバキュームチャック面45のみをラッピングすること
により平面度出しを行うことができ、そのバキュームチ
ャック面45の所定の精度の回復をすることが可能であ
る。
に、傷が付いたり打痕あるいは摩耗等により、いわゆる
機上での主軸との直角度が維持できなくなる場合があ
る。この場合には、チャック装置10のみをマグネット
チャックテーブル40から取り外して、外段取りで図7
のバキュームチャック面45のみをラッピングすること
により平面度出しを行うことができ、そのバキュームチ
ャック面45の所定の精度の回復をすることが可能であ
る。
【0026】さらに、すでに説明したように、図5と図
6に示すように本体12の底面もしくは下面(もしくは
着座面ともいう。)には複数本の溝30が形成されてお
り、実際に図9で示す砥石60でワークを研削する場合
等には、この溝32にクーラントである研削液が流れる
ので、加工熱による本体12の熱変形を抑えることがで
きる。
6に示すように本体12の底面もしくは下面(もしくは
着座面ともいう。)には複数本の溝30が形成されてお
り、実際に図9で示す砥石60でワークを研削する場合
等には、この溝32にクーラントである研削液が流れる
ので、加工熱による本体12の熱変形を抑えることがで
きる。
【0027】実際に、このようなチャック装置10を用
いることにより、たとえば0.1μm単位でのワークチ
ャック面(バキュームチャック面ともいう)45の平面
度あるいは真直度もしくは直角度等の管理が可能であ
る。また、傷や打痕等により、ワークチャック面45が
精度劣化をしても、その精度の回復は容易に行える。さ
らに既存の設備で、ワークチャック面45の高精度化が
可能である。しかも加工熱によるワークチャック面45
の変形を抑制することができる。
いることにより、たとえば0.1μm単位でのワークチ
ャック面(バキュームチャック面ともいう)45の平面
度あるいは真直度もしくは直角度等の管理が可能であ
る。また、傷や打痕等により、ワークチャック面45が
精度劣化をしても、その精度の回復は容易に行える。さ
らに既存の設備で、ワークチャック面45の高精度化が
可能である。しかも加工熱によるワークチャック面45
の変形を抑制することができる。
【0028】このように、本発明の実施例によれば、通
常の平面研削盤のチャック面の平面度、真直度、直角度
の向上の方法として、平面度出しを外段取りで行ったバ
キュームプレートを3点支持方式のジャッキボルトによ
り、平面研削盤のマグネットチャックより、5μm程度
浮かせてマグネット吸着し、機上で、前述のジャッキボ
ルトにより平面度、真直度、直角度の調整を行う。
常の平面研削盤のチャック面の平面度、真直度、直角度
の向上の方法として、平面度出しを外段取りで行ったバ
キュームプレートを3点支持方式のジャッキボルトによ
り、平面研削盤のマグネットチャックより、5μm程度
浮かせてマグネット吸着し、機上で、前述のジャッキボ
ルトにより平面度、真直度、直角度の調整を行う。
【0029】また、バキュームプレートの底面に溝を設
けて、研削液がこの溝を通過する際に熱を奪い、その結
果放熱性を向上して、熱変形を抑える構造となってい
る。以上のことから、加工仕上げ面精度を向上すること
ができる。
けて、研削液がこの溝を通過する際に熱を奪い、その結
果放熱性を向上して、熱変形を抑える構造となってい
る。以上のことから、加工仕上げ面精度を向上すること
ができる。
【0030】ところで本発明は上記実施例に限定されな
い。たとえば溝30の本数は、特に5本に限定されるも
のではない。また、図2に示すワークチャック面45
は、真空チャックのみに限定されるものではない。さら
に、実施例では、位置調整手段を、3つの支持部材1
6,16,18で構成しているが、3つに限らずたとえ
ば4つ以上を用いても勿論可能である。
い。たとえば溝30の本数は、特に5本に限定されるも
のではない。また、図2に示すワークチャック面45
は、真空チャックのみに限定されるものではない。さら
に、実施例では、位置調整手段を、3つの支持部材1
6,16,18で構成しているが、3つに限らずたとえ
ば4つ以上を用いても勿論可能である。
【0031】
【発明の効果】以上述べたように、請求項1と請求項2
の発明によれば、ワークチャック面の精度の管理が高精
度で可能であり、しかも傷や打痕等による精度が劣化し
ても、再びその精度の回復を容易に行うことができる。
また、請求項3の発明によれば、加工の際に発生する熱
による変形を抑えることができ、高い精度を維持するこ
とができる。
の発明によれば、ワークチャック面の精度の管理が高精
度で可能であり、しかも傷や打痕等による精度が劣化し
ても、再びその精度の回復を容易に行うことができる。
また、請求項3の発明によれば、加工の際に発生する熱
による変形を抑えることができ、高い精度を維持するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のチャック装置の好ましい実施例を示す
斜視図。
斜視図。
【図2】図1のチャック装置のA−A線における断面
図。
図。
【図3】図1のチャック装置の側面図。
【図4】図1のチャック装置の平面図。
【図5】図4のチャック装置の側面図。
【図6】図4のチャック装置の側面図。
【図7】基板であるマグネットチャックテーブルの上に
設定されている図1のチャック装置を示す側面図。
設定されている図1のチャック装置を示す側面図。
【図8】本発明のチャック装置を設定するための研削盤
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図9】本発明のチャック装置をセルフグラインディン
グしている様子を示す図。
グしている様子を示す図。
【図10】ワークチャック面のX軸方向の傾きの調整を
説明する図。
説明する図。
【図11】ワークチャック面のY軸方向の傾きの調整を
説明するための図。
説明するための図。
【図12】従来のワークチャック面のセルフカットにつ
いて説明する図。
いて説明する図。
10 チャック装置 12 本体 14 バキュームプレート 16,18 支持部材(位置調整手段) 30 溝(クーラント流路) 40 マグネットチャックテーブル(基板) 45 ワークチャック面(バキュームチャック
面)
面)
Claims (5)
- 【請求項1】 基板に対して設定されて、ワークを着脱
可能に設定するためのチャック装置であり、 上記基板に対して浮かせて位置調整するための位置調整
手段を備えることを特徴とするチャック装置。 - 【請求項2】 前記位置調整手段は、3つの位置に設け
られた支持部材を備え、この3つの支持部材のうちの2
つの支持部材を調整することにより、上記基板に対して
浮かせて位置調整するように構成されている、請求項1
に記載のチャック装置。 - 【請求項3】 クーラント流路を有する、請求項1また
は請求項2に記載のチャック装置。 - 【請求項4】 バキュームチャックである、請求項1な
いし請求項3のいずれかに記載のチャック装置。 - 【請求項5】 前記基板はマグネットチャックである請
求項1ないし請求項4のいずれかに記載のチャック装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14424393A JPH06328336A (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | チャック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14424393A JPH06328336A (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | チャック装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06328336A true JPH06328336A (ja) | 1994-11-29 |
Family
ID=15357576
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14424393A Pending JPH06328336A (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | チャック装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06328336A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040077237A (ko) * | 2003-02-28 | 2004-09-04 | 최종진 | 연마 가공물 고정용 지그 |
JP2010110121A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | リニアモータ |
EP2404726A1 (fr) * | 2010-07-09 | 2012-01-11 | Compagnie Plastic Omnium | Moule muni de moyens de verrouillage |
WO2016106678A1 (zh) * | 2014-12-31 | 2016-07-07 | 深圳市配天智造装备股份有限公司 | 一种数控机床及磁力锁紧装置 |
-
1993
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