JPS6197086A - 被検物の搬送装置 - Google Patents
被検物の搬送装置Info
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- JPS6197086A JPS6197086A JP59218297A JP21829784A JPS6197086A JP S6197086 A JPS6197086 A JP S6197086A JP 59218297 A JP59218297 A JP 59218297A JP 21829784 A JP21829784 A JP 21829784A JP S6197086 A JPS6197086 A JP S6197086A
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- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
業の
この発明はウェーハなどの被検物の表面の傷、ゴミ、よ
ごれなどの異常などを検査するための表面検査装置にお
いて被検物を搬送するための搬送装置に関するものであ
る。
ごれなどの異常などを検査するための表面検査装置にお
いて被検物を搬送するための搬送装置に関するものであ
る。
1股立良1
従来、ウェーハなどの被検物(以下単にウェーハを例に
とって説明する)の表面にレーザービームを照射して、
この反射ビームを検出することによりウェーハの表面の
傷、ゴミ、よごれなどの異常を検査する表面検査装置は
よく知られている。
とって説明する)の表面にレーザービームを照射して、
この反射ビームを検出することによりウェーハの表面の
傷、ゴミ、よごれなどの異常を検査する表面検査装置は
よく知られている。
この種の表面検査装置においては、多数のウェーハを予
めキャリヤやカセットなどの収納ケース部にセットして
おき、収納ケース部から各ウェーハを順次取りだして、
チャック部でウェーハを固定した状態のまま、ウェーハ
を順次検査装置本体の測定部に搬送していき、水平面内
で移動させ、その際に測定部でウェーハの表面検査を行
い、そのように検査されたウェーハを順次別の収納ケー
ス部に搬送して収納するようになっていた。
めキャリヤやカセットなどの収納ケース部にセットして
おき、収納ケース部から各ウェーハを順次取りだして、
チャック部でウェーハを固定した状態のまま、ウェーハ
を順次検査装置本体の測定部に搬送していき、水平面内
で移動させ、その際に測定部でウェーハの表面検査を行
い、そのように検査されたウェーハを順次別の収納ケー
ス部に搬送して収納するようになっていた。
ところが、そのような搬送装置はウェーハの寸法が大き
くなるにしたがって大型化する、のが一般的であり、設
置スペースの問題が最近重視されるようになってきた。
くなるにしたがって大型化する、のが一般的であり、設
置スペースの問題が最近重視されるようになってきた。
そこで、この種の表面検査装置の全体の寸法を小型化す
ることが重要な技術上の課題となってきたのである。
ることが重要な技術上の課題となってきたのである。
が ゛しようとしている。 1、
このような観点から種々の提案がなされているが、従来
のものはいずれも、一方の収納ケース部から他方の収納
ケース部までの間においてウェーハをたんに平面上での
み移動搬送していたため、装置の小型化の上で限界があ
った。最近のようにウェーハの寸法が大きくなってくる
と、装置全体を設置するための有効床面積が大幅に増大
するという欠点があった。
のものはいずれも、一方の収納ケース部から他方の収納
ケース部までの間においてウェーハをたんに平面上での
み移動搬送していたため、装置の小型化の上で限界があ
った。最近のようにウェーハの寸法が大きくなってくる
と、装置全体を設置するための有効床面積が大幅に増大
するという欠点があった。
Rヱレ11」1
この発明はこのような従来技術の欠点を解消して、ウェ
ーハ等の被検物を立体的に移動させることにより、被検
物を搬送するだめの搬送部と被検物を固定して搬送しつ
つ測定するためのチャック部との干渉を避けて、搬送装
置の寸法と(に有効床面積等を小さくして。
ーハ等の被検物を立体的に移動させることにより、被検
物を搬送するだめの搬送部と被検物を固定して搬送しつ
つ測定するためのチャック部との干渉を避けて、搬送装
置の寸法と(に有効床面積等を小さくして。
表面検査装置全体み小型化を可能にすることを目的とし
ている。
ている。
11悲11
この目的を達成するための本発明の要旨とするところは
、複数の被検物を゛収納するための第1および第2収納
ケース部と、第1収納ケース部から被検物を水平面内で
移動搬送するための第1搬送部と、第1搬送部により搬
送されてきた被検物を下方から保持して上下方向に移動
させるための第1被検物受台部と、第1被検物受台部に
より上方位置に移動された被検物の下方に到来するよう
に移動して第1被検物受台部から被検物を受け取り固定
保持して水平面内で移動搬送させるためのチャック部と
、チャック部により移動1般送されてきた被検物が固定
状態から解放状態になったあと被検物を下方から保持し
て上下方向に移動させるための第2被検物受台部と、第
2被検物受台から被検物を受け取って水平面内で移a搬
送して第2収納ケース部に被検物を収納するための第2
搬送部とを備えた被検物の搬送装置にある。
、複数の被検物を゛収納するための第1および第2収納
ケース部と、第1収納ケース部から被検物を水平面内で
移動搬送するための第1搬送部と、第1搬送部により搬
送されてきた被検物を下方から保持して上下方向に移動
させるための第1被検物受台部と、第1被検物受台部に
より上方位置に移動された被検物の下方に到来するよう
に移動して第1被検物受台部から被検物を受け取り固定
保持して水平面内で移動搬送させるためのチャック部と
、チャック部により移動1般送されてきた被検物が固定
状態から解放状態になったあと被検物を下方から保持し
て上下方向に移動させるための第2被検物受台部と、第
2被検物受台から被検物を受け取って水平面内で移a搬
送して第2収納ケース部に被検物を収納するための第2
搬送部とを備えた被検物の搬送装置にある。
叉Ju源
第1図は、搬送装置を備えていて、それによりウェーハ
等の被検物(以下単にウェーハを例にとるで説明する)
を搬送して、その途中で検査するための検査装置の概略
を示している。
等の被検物(以下単にウェーハを例にとるで説明する)
を搬送して、その途中で検査するための検査装置の概略
を示している。
検査装置の測定部10は周知のように光源11からレー
ザをウェーハ14に照射して表面の異常によって生ずる
散乱反射光をフォトマルチプライヤ−管などの充電変換
素子12により受光して電気的信号として取り出し、そ
の電気信号を制御装置13に送り、そこで所定のデータ
処理をして、ウェーハ14の表面上の傷、ゴミ、よごれ
などを計測してブラウン管(CRT)15などの表示器
やプリンター16に出力するようになっている。
ザをウェーハ14に照射して表面の異常によって生ずる
散乱反射光をフォトマルチプライヤ−管などの充電変換
素子12により受光して電気的信号として取り出し、そ
の電気信号を制御装置13に送り、そこで所定のデータ
処理をして、ウェーハ14の表面上の傷、ゴミ、よごれ
などを計測してブラウン管(CRT)15などの表示器
やプリンター16に出力するようになっている。
ウェーハ14は第1図の測定状態のとぎにはターンテー
ブル式のチャック部11にバキュウム作用によって固定
されている。チャック部17のバキュウム穴17aはバ
キュウム源18に接続されており、必要に応じてつ工−
ハ14をバキュウムにより固定保持できるようになって
いる。
ブル式のチャック部11にバキュウム作用によって固定
されている。チャック部17のバキュウム穴17aはバ
キュウム源18に接続されており、必要に応じてつ工−
ハ14をバキュウムにより固定保持できるようになって
いる。
第1収納ケース部20と第2収納ケース部23がそれぞ
れ出発側と終点側に設けられていて、多数のウェーハ1
4が第1収納ケース部20に収納されており、その収納
ケース部20から1枚ずつウェーハ14を水平面内で第
1搬送部21により搬送するようになっている。そして
、各ウェーハ14は後述の第1被検物受台部29を介し
てチャック部17に移され、そこにバキュウムにより固
定保持される。チャック部17は測定部10を通過して
反対側の第2搬送部22に後述の第2被検物受台部42
を介して移される。この第2搬送部22により搬送され
て各ウェーハ14は第2収納ケース部23に順次収納さ
れる。
れ出発側と終点側に設けられていて、多数のウェーハ1
4が第1収納ケース部20に収納されており、その収納
ケース部20から1枚ずつウェーハ14を水平面内で第
1搬送部21により搬送するようになっている。そして
、各ウェーハ14は後述の第1被検物受台部29を介し
てチャック部17に移され、そこにバキュウムにより固
定保持される。チャック部17は測定部10を通過して
反対側の第2搬送部22に後述の第2被検物受台部42
を介して移される。この第2搬送部22により搬送され
て各ウェーハ14は第2収納ケース部23に順次収納さ
れる。
第2図と第3図に詳細に示しであるように、第1搬送部
21はフレーム25の両側にそれぞれ柔軟なエンドレス
状の搬送メンバー26.27によりコンベヤの形になっ
ており、搬送メンバー26.27でウェーハ14の周縁
部を支持して、第1収納ケース部20から第1被検物受
台部29にウェーハ14を搬送するようになっている。
21はフレーム25の両側にそれぞれ柔軟なエンドレス
状の搬送メンバー26.27によりコンベヤの形になっ
ており、搬送メンバー26.27でウェーハ14の周縁
部を支持して、第1収納ケース部20から第1被検物受
台部29にウェーハ14を搬送するようになっている。
搬送メンバー26.27の駆動力はベルト28を介して
モータ19から伝達される。
モータ19から伝達される。
エレベータ30は搬送メンバー26.27の一端側に配
置してあり、その上の所定位置に第1収納ケース部20
が着脱自在にセットできるようになっている。エレベー
タ−30の上部は全体がぽぼH形状をしており、その上
面にセットした第1収納ケース部20を上下方向に所定
の量だけ移動させることができる。このエレベータ−3
0にはメネジ部(図示せず)が形成してあり、それが垂
直のネジ棒31と係合しており、さらにそのネジ棒31
は歯車32を介してモータ33側のギアに接続されてい
る。つまり、モータ33の駆動力がネジ棒31に伝えら
れて、エレベータ−30を上下方向に移動させるように
なっている。
置してあり、その上の所定位置に第1収納ケース部20
が着脱自在にセットできるようになっている。エレベー
タ−30の上部は全体がぽぼH形状をしており、その上
面にセットした第1収納ケース部20を上下方向に所定
の量だけ移動させることができる。このエレベータ−3
0にはメネジ部(図示せず)が形成してあり、それが垂
直のネジ棒31と係合しており、さらにそのネジ棒31
は歯車32を介してモータ33側のギアに接続されてい
る。つまり、モータ33の駆動力がネジ棒31に伝えら
れて、エレベータ−30を上下方向に移動させるように
なっている。
他方、第1搬送部21の搬送メンバー26.27の他端
側には第1被検物受台部29が8Tけである。この、第
1被検物受台部29の中心部には円形の穴が形成されて
おり、その穴の縁にウェーハの大きさに対応した大きさ
をもつ段付き形状の受部29aが形成されている。
側には第1被検物受台部29が8Tけである。この、第
1被検物受台部29の中心部には円形の穴が形成されて
おり、その穴の縁にウェーハの大きさに対応した大きさ
をもつ段付き形状の受部29aが形成されている。
この段付き形状の受部29aは、搬送メンバー26によ
り搬送されるウェーハ14を定まった位置に支持すると
ともに、後述するチャック部17に接合されているシャ
フト45が干渉しない形状に構成される。ウェーハ14
の周縁部はその受部29aに入って支持されるようにな
っている。
り搬送されるウェーハ14を定まった位置に支持すると
ともに、後述するチャック部17に接合されているシャ
フト45が干渉しない形状に構成される。ウェーハ14
の周縁部はその受部29aに入って支持されるようにな
っている。
この第1被検物受台部29は、測定をするウェーハの大
きさに対応して交換可能になっており、ウェーハが大型
の場合には、点線Nで示す大きさの受台を有する受台部
が取付けられる。
きさに対応して交換可能になっており、ウェーハが大型
の場合には、点線Nで示す大きさの受台を有する受台部
が取付けられる。
第2搬送部22の側にも前述の第1搬送部21と同様の
搬送機構が備えられており、同じ参照符号を付してその
説明は省略する。
搬送機構が備えられており、同じ参照符号を付してその
説明は省略する。
第4図及び5図に示されているように、第1被検物受台
部29は垂直に配置した2本の連結棒35の上端にナツ
ト36により着脱可能に固定されている。これらの連結
棒35はガイド37によりガイドされつつ上下に移動可
能となっている。連結棒35の下端は第5図に示すよう
に平板状の従動体38に固定されている。モータ39の
回転軸40が偏心カム41に固定されており、その偏心
カム41が前述の従動体38と係合している。そのため
、モータ39の回転に応じて偏心カム41の作用によっ
て連結棒35と第1被検物受け台部29が一緒に上下方
向に移動可能となっている。
部29は垂直に配置した2本の連結棒35の上端にナツ
ト36により着脱可能に固定されている。これらの連結
棒35はガイド37によりガイドされつつ上下に移動可
能となっている。連結棒35の下端は第5図に示すよう
に平板状の従動体38に固定されている。モータ39の
回転軸40が偏心カム41に固定されており、その偏心
カム41が前述の従動体38と係合している。そのため
、モータ39の回転に応じて偏心カム41の作用によっ
て連結棒35と第1被検物受け台部29が一緒に上下方
向に移動可能となっている。
第2被検物受台部42は前述の第1被検物29と同様の
上下移動機構を有しているので、同じ参照符号を符して
、その説明は省略する。
上下移動機構を有しているので、同じ参照符号を符して
、その説明は省略する。
測定部10の作動機構について詳細に説明すると、テー
ブル式のチャック部17の中心にバキュウム穴17aが
形成されており、このバキュウム穴17aが前述のよう
にバキュウム源18に接続されている。チャック部17
はモータ46のシャフト45に結合されており、モータ
46に隣接してエンコーダ47が設けである。このよう
な構成によりモーター46の回転力がチャック部17に
伝達されて所定の速度で回転するようになっている。
ブル式のチャック部17の中心にバキュウム穴17aが
形成されており、このバキュウム穴17aが前述のよう
にバキュウム源18に接続されている。チャック部17
はモータ46のシャフト45に結合されており、モータ
46に隣接してエンコーダ47が設けである。このよう
な構成によりモーター46の回転力がチャック部17に
伝達されて所定の速度で回転するようになっている。
チャック部17やモータ46その他はフレーム52にユ
ニットとして固定されていて、全体的にガイドレール5
0,51に沿って第4図において左右方向に移動可能と
なっている。
ニットとして固定されていて、全体的にガイドレール5
0,51に沿って第4図において左右方向に移動可能と
なっている。
横方向に配置したネジ棒53がフレーム52側のメネジ
部(図示せず)とネジ係合しており、そのネジ棒53は
ベルト54を介してモータ55によって回転されるよう
になっている。
部(図示せず)とネジ係合しており、そのネジ棒53は
ベルト54を介してモータ55によって回転されるよう
になっている。
なお、本実施例ではチャック部17は、つ工−ハを一転
させながら同時に水平面内で搬送するように構成してい
るが、ウェーハに照射するレーザ光をスキャンさせるよ
うに構成すれば、チアツク部17は回転させる必要はな
い。
させながら同時に水平面内で搬送するように構成してい
るが、ウェーハに照射するレーザ光をスキャンさせるよ
うに構成すれば、チアツク部17は回転させる必要はな
い。
第2図と第6図に示すように、第1搬送部21と第2W
i送部22の特にfレベーター30の収納ケース設置部
分には、収納ケース部用の形状検出手段が設けである。
i送部22の特にfレベーター30の収納ケース設置部
分には、収納ケース部用の形状検出手段が設けである。
すなわち、エレベータ−30の収納ケース設置部分の上
面に3つの穴30a 、30b 、30cを形成し、そ
れぞれの穴30a 、30b 、30Cにマイクロスイ
ッチ50を設定して、そこにセットされる第1収納ケー
ス部20の形状(とくに寸法を検出できるようにしであ
る。例えば3種類の収納ケース部20が使用される場合
、大型のものをセットしたとき外側の穴30aに設けた
マイクロスイッチ50が作動し、中型のものがセットさ
れたときは中側の穴30bのマイクロスイッチ50が作
動し、小型のものがセットされたときは内側の穴30c
のマイクロスイッチ50が作動するようになっている。
面に3つの穴30a 、30b 、30cを形成し、そ
れぞれの穴30a 、30b 、30Cにマイクロスイ
ッチ50を設定して、そこにセットされる第1収納ケー
ス部20の形状(とくに寸法を検出できるようにしであ
る。例えば3種類の収納ケース部20が使用される場合
、大型のものをセットしたとき外側の穴30aに設けた
マイクロスイッチ50が作動し、中型のものがセットさ
れたときは中側の穴30bのマイクロスイッチ50が作
動し、小型のものがセットされたときは内側の穴30c
のマイクロスイッチ50が作動するようになっている。
これらのマイクロスイッチ50は前述の制御装置13(
第1図)に電気的に接続されている。
第1図)に電気的に接続されている。
また、第1被検物受台部29と第2被検物受台部42に
も、その形状、とくに受部29a、42aの寸法を検出
するlこめの手段が設けられている。すなわち、第7図
に示すように、これらの被検物受台部29.42の裏面
にそれぞれ3つの穴29b (図には1つのみを示しで
あるが実際には3つある)を形成して、それに対応して
マイクロスイッチ52が設定しである。3つのマイクロ
スイッチ52のうち、どのマイクロスイッチ52が作動
するかにより、実際に装着された第1被検物受台部29
と第2被検物42の形状を検出するようになっているの
である。これらのマイクロスイッチ52も制御装置13
に接続されている。
も、その形状、とくに受部29a、42aの寸法を検出
するlこめの手段が設けられている。すなわち、第7図
に示すように、これらの被検物受台部29.42の裏面
にそれぞれ3つの穴29b (図には1つのみを示しで
あるが実際には3つある)を形成して、それに対応して
マイクロスイッチ52が設定しである。3つのマイクロ
スイッチ52のうち、どのマイクロスイッチ52が作動
するかにより、実際に装着された第1被検物受台部29
と第2被検物42の形状を検出するようになっているの
である。これらのマイクロスイッチ52も制御装置13
に接続されている。
第1および第2収納ケース部20.23と第1および第
2被検物受台部29.42の形状が一致したときにのみ
、検査装置全体が作動可能となるように予め制御装置1
3(第1図)が設定しである。
2被検物受台部29.42の形状が一致したときにのみ
、検査装置全体が作動可能となるように予め制御装置1
3(第1図)が設定しである。
第8図は前述のような搬送装置を備えた表面検査装置の
外観の一例を示している。表面検査装置の下方部に検査
装置本体60が配置してあり、その検査装置本体60の
内部に制御装置13、プリンタ16、その他の主要な部
材が配置しである。検査装置本体60の上部にはエレベ
ータ30、第1搬送部21、第2112送部22、チャ
ック部17などが配置してあり、吾のチャック部17の
ところに前述のカバ一部65によりカバーされた測定部
10が配置しであるのである。この測定部10の上部に
にクリーンユニット62が設けである。クリーンユニッ
ト62と検査装置本体60との間に狭小なりリーンスペ
ース63が形成しである。測定部10はそのクリーンス
ペース63の中に配置してあり、測定部10が極めてク
リーンな状態で使用できるようになっている。クリーン
ユニット62ばクリーンスペース63内の空気をきれい
にするための周知の空気清浄機構を備えており、清浄な
空気を下方に送る。カバ一部65は、測定部10に有害
な外光が混入しないように、かつ上方からの空気により
クリーンスペース63内に測定の支障となる乱気流が起
きないような形状に構成されている。クリーンスペース
63は3方あるいは4方の透明の板によって形成されて
いる。もちろん、4方の透明の板によって密閉状態に保
たれた場合には、前方の透明な板は必要に応じて開閉で
きるようになっている。
外観の一例を示している。表面検査装置の下方部に検査
装置本体60が配置してあり、その検査装置本体60の
内部に制御装置13、プリンタ16、その他の主要な部
材が配置しである。検査装置本体60の上部にはエレベ
ータ30、第1搬送部21、第2112送部22、チャ
ック部17などが配置してあり、吾のチャック部17の
ところに前述のカバ一部65によりカバーされた測定部
10が配置しであるのである。この測定部10の上部に
にクリーンユニット62が設けである。クリーンユニッ
ト62と検査装置本体60との間に狭小なりリーンスペ
ース63が形成しである。測定部10はそのクリーンス
ペース63の中に配置してあり、測定部10が極めてク
リーンな状態で使用できるようになっている。クリーン
ユニット62ばクリーンスペース63内の空気をきれい
にするための周知の空気清浄機構を備えており、清浄な
空気を下方に送る。カバ一部65は、測定部10に有害
な外光が混入しないように、かつ上方からの空気により
クリーンスペース63内に測定の支障となる乱気流が起
きないような形状に構成されている。クリーンスペース
63は3方あるいは4方の透明の板によって形成されて
いる。もちろん、4方の透明の板によって密閉状態に保
たれた場合には、前方の透明な板は必要に応じて開閉で
きるようになっている。
また、ウェーハ14の測定結果を示すためのブラウン管
15がクリーンユニット62に内蔵されている。このブ
ラウン管15は、外光の反射を受けずに、測定者が観察
し易いように下方に傾けて内蔵されている。
15がクリーンユニット62に内蔵されている。このブ
ラウン管15は、外光の反射を受けずに、測定者が観察
し易いように下方に傾けて内蔵されている。
第9図は第1〜7図に示した搬送装置の作用を示すため
の説明図である。まず、第1および第2収納ケース部2
0.23をエレベータ30にセットして、表面検査装置
のスタートボタンを押すと、第2図に示す初期設定の状
態になる。すなわち、両方の収納ケース部20.23が
最も上昇した状態でエレベータ30の上面に配置されて
いる。この後、出発側の第1収納ケース部20の収納段
の一段分だけ下降し、それと平行して終点側の第2収納
ケース部23は最下方位置まで下降される。
の説明図である。まず、第1および第2収納ケース部2
0.23をエレベータ30にセットして、表面検査装置
のスタートボタンを押すと、第2図に示す初期設定の状
態になる。すなわち、両方の収納ケース部20.23が
最も上昇した状態でエレベータ30の上面に配置されて
いる。この後、出発側の第1収納ケース部20の収納段
の一段分だけ下降し、それと平行して終点側の第2収納
ケース部23は最下方位置まで下降される。
しかるのち出発側の第1収納ケース部20が一段分下が
ることに一枚のウェーハ14が第1搬送部21の搬送メ
ンバー26.27の上に設置され、それにより矢印1の
方向に搬送される。ウェーハ14が第1被検物受台部2
9のところにきたとき、第1被検物受台部29が矢印、
2の方向に上昇して、ウェーハ14は第1搬送部21か
ら第1被検物受台部2つに移される。そしてウェーハ1
4は第1被検物受台部29に保持されてさらに矢印2の
方向に上昇する。その後チャック部17がそのウェーハ
14の下側に矢印3の方向から移動してきて停止する。
ることに一枚のウェーハ14が第1搬送部21の搬送メ
ンバー26.27の上に設置され、それにより矢印1の
方向に搬送される。ウェーハ14が第1被検物受台部2
9のところにきたとき、第1被検物受台部29が矢印、
2の方向に上昇して、ウェーハ14は第1搬送部21か
ら第1被検物受台部2つに移される。そしてウェーハ1
4は第1被検物受台部29に保持されてさらに矢印2の
方向に上昇する。その後チャック部17がそのウェーハ
14の下側に矢印3の方向から移動してきて停止する。
しかるのち第1被検物受台部29が矢印4の方向に下降
する。モしてウェーハ14は第1被検物受台部29から
チャック部17に移され、そのチャック部17によって
バキューム作用で固定される。そして、チせツク部17
が回転しつつ矢印5の方向に移動し、その間に測定部1
0より所定の測定が行なわれる。チャック部17が第2
被検物受台部42のところにくると、チャック部17の
バキューム作用が停止してウェーハ14が解放状態とな
る。しかるのち第2被検物受台部42が矢印6の方向に
上昇してチャック部17からウェーハ14を受けとる。
する。モしてウェーハ14は第1被検物受台部29から
チャック部17に移され、そのチャック部17によって
バキューム作用で固定される。そして、チせツク部17
が回転しつつ矢印5の方向に移動し、その間に測定部1
0より所定の測定が行なわれる。チャック部17が第2
被検物受台部42のところにくると、チャック部17の
バキューム作用が停止してウェーハ14が解放状態とな
る。しかるのち第2被検物受台部42が矢印6の方向に
上昇してチャック部17からウェーハ14を受けとる。
その後チャック部17は矢印7.3の方向に移動する。
その間に第2被検物受台部42は再び矢印8の方向に下
降する。かくしてつ工−ハ14は第2被検物受台部42
から第2搬送部22に移され、第2搬送部22により矢
印9の方向に搬送される。最終的に第2搬送部22から
終点側の第2収納ケース部23の最上段のしかるべき位
置に収納される。
降する。かくしてつ工−ハ14は第2被検物受台部42
から第2搬送部22に移され、第2搬送部22により矢
印9の方向に搬送される。最終的に第2搬送部22から
終点側の第2収納ケース部23の最上段のしかるべき位
置に収納される。
以上のような搬送・測定動作を各ウェーハ14毎に繰り
返し行い、出発側の第1収納ケース部20の各ウェーハ
14を終点側の第2収納ケース部23の所定の段に順次
上段から下方に向かって収納していくのである。
返し行い、出発側の第1収納ケース部20の各ウェーハ
14を終点側の第2収納ケース部23の所定の段に順次
上段から下方に向かって収納していくのである。
第1図は搬送装置を備えた検査装置の概略を示すブロッ
ク図、第2図は搬送装置の概略を示す斜視図、第3図は
搬送装置のうち第1搬送部を示す概略斜視図、第4図は
搬送装置のうちチャック部の関連機構を示す概略斜視図
、第5図は被検物受台の駆動機構の一部を示す概略正面
図、第6図は搬送装置の収納ケース設置部分を拡大して
示す平面図、第7図は被検物受け台部の形式検出手段を
示す概略断面図、第8図は被検物の表面検査装置の外観
を示す概略斜視図、第9図は被検物の搬送経路を示す概
略説明図である。 10・・・・・・測定部 21・・・・・・第1搬送部 22・・・・・・第2搬送部 20.23・・・収納ケース部 14・・・・・・被検物(ウェーハ) 30・・・・・・エレベータ− 29,42・・・被検物受台部 17・・・・・・チャック部 13・・・・・・制御装置 15・・・・・・ブラウン管 60・・・・・・検査装置本体 62・・・・・・クリーンユニット 63・・・・・・クリーンスペース 第1図 第2図 第3図 第5図 第6図 第7図
ク図、第2図は搬送装置の概略を示す斜視図、第3図は
搬送装置のうち第1搬送部を示す概略斜視図、第4図は
搬送装置のうちチャック部の関連機構を示す概略斜視図
、第5図は被検物受台の駆動機構の一部を示す概略正面
図、第6図は搬送装置の収納ケース設置部分を拡大して
示す平面図、第7図は被検物受け台部の形式検出手段を
示す概略断面図、第8図は被検物の表面検査装置の外観
を示す概略斜視図、第9図は被検物の搬送経路を示す概
略説明図である。 10・・・・・・測定部 21・・・・・・第1搬送部 22・・・・・・第2搬送部 20.23・・・収納ケース部 14・・・・・・被検物(ウェーハ) 30・・・・・・エレベータ− 29,42・・・被検物受台部 17・・・・・・チャック部 13・・・・・・制御装置 15・・・・・・ブラウン管 60・・・・・・検査装置本体 62・・・・・・クリーンユニット 63・・・・・・クリーンスペース 第1図 第2図 第3図 第5図 第6図 第7図
Claims (1)
- 複数の被検物を収納するための第1および第2収納ケ
ース部と、第1収納ケース部から被検物を水平面内で移
動搬送するための第1搬送部と、第1搬送部により搬送
されてきた被検物を下方から保持して上下方向に移動さ
せるための第1被検物受台部と、第1被検物受台部によ
り上方位置に移動された被検物の下方に到来するように
移動して第1被検物受台部から被検物を受け取り固定保
持して水平面内で移動搬送させるためのチャック部と、
チャック部により移動搬送されてきた被検物が固定状態
から解放状態になったあと被検物を下方から保持して上
下方向に移動させるための第2被検物受台部と、第2被
検物受台から被検物を受け取って水平面内で移動搬送し
て第2収納ケース部に被検物を収納するための第2搬送
部とを備えた被検物の搬送装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59218297A JPH0620922B2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 被検物の搬送装置 |
EP85307455A EP0186945B1 (en) | 1984-10-19 | 1985-10-16 | A transfer machine for a surface inspection apparatus |
DE8585307455T DE3570754D1 (en) | 1984-10-19 | 1985-10-16 | A transfer machine for a surface inspection apparatus |
KR1019850007708A KR900000654B1 (ko) | 1984-10-19 | 1985-10-18 | 반도체 웨이퍼 표면검사장치의 이송기구 |
US06/789,088 US4787800A (en) | 1984-10-19 | 1985-10-18 | Transfer machine in a surface inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59218297A JPH0620922B2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 被検物の搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6197086A true JPS6197086A (ja) | 1986-05-15 |
JPH0620922B2 JPH0620922B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=16717624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59218297A Expired - Lifetime JPH0620922B2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 被検物の搬送装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4787800A (ja) |
EP (1) | EP0186945B1 (ja) |
JP (1) | JPH0620922B2 (ja) |
KR (1) | KR900000654B1 (ja) |
DE (1) | DE3570754D1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3731120A1 (de) * | 1987-09-16 | 1989-03-30 | Leitz Ernst Gmbh | Universeller objekthalter fuer mikroskope |
US5022619A (en) * | 1988-12-09 | 1991-06-11 | Tokyo Aircraft Instrument Co., Ltd. | Positioning device of table for semiconductor wafers |
JPH0734116B2 (ja) * | 1991-05-29 | 1995-04-12 | 株式会社オーク製作所 | 自動露光装置におけるワークの位置決め方法 |
US6473157B2 (en) * | 1992-02-07 | 2002-10-29 | Nikon Corporation | Method of manufacturing exposure apparatus and method for exposing a pattern on a mask onto a substrate |
US5498118A (en) * | 1992-02-07 | 1996-03-12 | Nikon Corporation | Apparatus for and method of carrying a substrate |
JPH06300697A (ja) * | 1992-04-28 | 1994-10-28 | Texas Instr Inc <Ti> | 非改質性検査プラテン |
NL9201825A (nl) * | 1992-10-21 | 1994-05-16 | Od & Me Bv | Inrichting voor het vervaardigen van een matrijs voor een schijfvormige registratiedrager. |
KR100291110B1 (ko) * | 1993-06-19 | 2001-06-01 | 히가시 데쓰로 | 프로우브장치 및 그것을 사용한 피검사체의 검사방법 |
US5684654A (en) * | 1994-09-21 | 1997-11-04 | Advanced Digital Information System | Device and method for storing and retrieving data |
US5781367A (en) * | 1995-11-13 | 1998-07-14 | Advanced Digital Information Corporation | Library for storing data-storage media |
JPH09321102A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-12 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
US6202482B1 (en) * | 1998-03-23 | 2001-03-20 | Lehighton Electronics, Inc. | Method and apparatus for testing of sheet material |
US6163431A (en) * | 1998-04-17 | 2000-12-19 | Advanced Digital Information Corporation | Door hinge |
US6198984B1 (en) | 1998-04-17 | 2001-03-06 | Advanced Digital Information Corporation | Library for storing data-storage media and having an improved media transporter |
US6266574B1 (en) | 1998-04-17 | 2001-07-24 | Advanced Digital Information Corporation | Library for storing data-storage media and having a removable interface module |
USD409166S (en) | 1998-04-17 | 1999-05-04 | Advanced Digital Information Corp. | Data storage-media library |
USD425878S (en) | 1999-09-17 | 2000-05-30 | Advanced Digital Information Corporation | Data-storage library front door |
USD432541S (en) | 1999-11-01 | 2000-10-24 | Advanced Digital Information Corporation | Data-storage library front door |
JP4818767B2 (ja) * | 2006-03-22 | 2011-11-16 | 株式会社メガトレード | 外観検査装置 |
CN113751335B (zh) * | 2021-08-30 | 2023-10-03 | 绵阳伟成科技有限公司 | 一种单片机pin绕脚检测设备及检测方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6041045U (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体ウエハプロ−バ |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3272350A (en) * | 1964-09-25 | 1966-09-13 | Westinghouse Electric Corp | Method and apparatus for semiconductor wafer handling |
US3543035A (en) * | 1966-03-09 | 1970-11-24 | American Kitchen Foods Inc | Apparatus for removing defective areas from materials including scanning materials with photocell having two sections |
US3521074A (en) * | 1968-04-19 | 1970-07-21 | Mandrel Industries | Defect detector with rotating scanner |
GB1338663A (en) * | 1971-08-25 | 1973-11-28 | Andreev J N | Apparatus for checking the surface of resistor bases |
US3902615A (en) * | 1973-03-12 | 1975-09-02 | Computervision Corp | Automatic wafer loading and pre-alignment system |
US3823836A (en) * | 1973-05-22 | 1974-07-16 | Plat General Inc | Vacuum apparatus for handling sheets |
CA1044379A (en) * | 1974-12-28 | 1978-12-12 | Sony Corporation | Wafer transfer device |
US4402613A (en) * | 1979-03-29 | 1983-09-06 | Advanced Semiconductor Materials America | Surface inspection system |
JPS5681533U (ja) * | 1979-11-27 | 1981-07-01 | ||
JPS576307A (en) * | 1980-06-13 | 1982-01-13 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | Method and apparatus of surface failure inspection of circular member |
JPS5739430U (ja) * | 1980-08-14 | 1982-03-03 | ||
US4550239A (en) * | 1981-10-05 | 1985-10-29 | Tokyo Denshi Kagaku Kabushiki Kaisha | Automatic plasma processing device and heat treatment device |
DE3219502C2 (de) * | 1982-05-25 | 1990-04-19 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Vorrichtung zum automatischen Transport scheibenförmiger Objekte |
US4558984A (en) * | 1984-05-18 | 1985-12-17 | Varian Associates, Inc. | Wafer lifting and holding apparatus |
US4597708A (en) * | 1984-06-04 | 1986-07-01 | Tencor Instruments | Wafer handling apparatus |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP59218297A patent/JPH0620922B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-10-16 EP EP85307455A patent/EP0186945B1/en not_active Expired
- 1985-10-16 DE DE8585307455T patent/DE3570754D1/de not_active Expired
- 1985-10-18 US US06/789,088 patent/US4787800A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-10-18 KR KR1019850007708A patent/KR900000654B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6041045U (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体ウエハプロ−バ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0186945B1 (en) | 1989-05-31 |
KR860003495A (ko) | 1986-05-26 |
US4787800A (en) | 1988-11-29 |
DE3570754D1 (en) | 1989-07-06 |
JPH0620922B2 (ja) | 1994-03-23 |
KR900000654B1 (ko) | 1990-02-02 |
EP0186945A1 (en) | 1986-07-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |