JPS6196453A - 検査装置 - Google Patents

検査装置

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Publication number
JPS6196453A
JPS6196453A JP59217907A JP21790784A JPS6196453A JP S6196453 A JPS6196453 A JP S6196453A JP 59217907 A JP59217907 A JP 59217907A JP 21790784 A JP21790784 A JP 21790784A JP S6196453 A JPS6196453 A JP S6196453A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sector
center point
inspected
ultrasonic
ultrasonic wave
Prior art date
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Pending
Application number
JP59217907A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoto Yamada
直人 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP59217907A priority Critical patent/JPS6196453A/ja
Publication of JPS6196453A publication Critical patent/JPS6196453A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24Probes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば超音波を用いて被検材中の欠陥や介在
物の有無を検査する検査装置、特にその超音波入射中心
点の位置ずれ防止に関するものである。
〔従来の技術〕
第4図は従来の検査装置を示す斜視図、第5図はその断
面図、第6図は動作を説明するための断面図−Cあり、
(llゆ被検材、(□)は。。被検材(1)K対向する
超音波プローブ、 (31Uこの超音波プローブを保持
するホルダ、(4)はこのホルダに取り付けられかつ被
検材(1)に接触するシューである。また(5)は第1
のジンバルフレーム、(6)はこの第1のジンバルフレ
ームに取り付けられかつホルダ(3)ヲ回転支持する第
1のピン、(7)は第2のジンバルフレーム、(8)は
この第2のジンバルフレームに取り付けられ、かつ第1
のジンバルフレーム(5)ヲ回転支持する第2のピンで
ありジンバル機構を構成している。
従来の検査装置は上記のように構成され9例えは被検材
(11が搬送されてくると、第2のジンバルフレーム(
7)勿第2のピン(8)とげ、水平かつ直角方向に支持
する検査装置押し付は機構(図示せず)によって、シュ
ー(4)は被検材(1)に接触させられる。
被検材(1)に曲が夛等の不整がある場合は、ホルダ(
3)およびシュー(4)が、上記被検材(11の不整に
対し第1のピン(6)とホルダ(3)および、第2のピ
ン(8)と第1のジンバルフレーム(5)との回転動作
さらに。
検査装置押し付は機構による上下動作によって倣い、超
音波プローブ(2)が、被検材(1)の表面の法線方向
に一致するようになっている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記のような従来の検査装置では9例えば被検材(1)
の左端からLのところに超音波入射中心点Aを定め検査
する場合、第5図に示すように被検材(1)が水平状態
の場合は、第2のピン(8)の回転中心Bと、超音波入
射中心黒人は共に被検材(1)の左端からLの距離のと
ころにあシ所定の検査をすることができるが、第6図に
示すように被検材(11が例えば超音波入射中心点Aま
わシに左方上に傾いた場合には、第2のピン(8)の回
転中心Bは、被検材(1)の左端からLの距離のところ
におるが、超音波入射中心点Aは、第2のピン(8)の
回転中心Bのまわシに回転、左方上Xに移動する。従っ
て超音波入射中心点は水平距離換算でΔLだけ左方に移
動しておシ、被検材(11の左端からLの距離のところ
の検査音することができないという問題点があった。
ここでは第2のピン(8)の回転中心Bのまわりについ
て述べたが、第1のピン(6)の回転についても同様の
問題点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、被検材が例えば超音波入射中心点まわシに傾いた
場合でも、超音波入射中心点が移動せず所定の位置の検
査をすることができる検査装[11−得ることを目的と
する。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る検査装置は、超音波入射中心点を中心に
、超音波プローブを保持するホルダおよびシューが揺動
動作できるように構成した揺動部をフレームに取りつけ
たものでおる。
〔作用〕。
この発明においては、超音波入射中心点と、超音波プロ
ーブの回転中心が一致しているので、被検材が例えば超
音波入射中心点まわシに傾いていても、超音波入射中心
点が移動することがない。
〔実施例〕
第1図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第2図はそ
の断面図、第3図は動作を説明するための断面図でろ、
j5.(1)は被検材、(2)〜(4)は上記従来装置
と全く同一のものである。(9)はホルダ(3)全支持
し超音波入射中心点を中心とする円の一部で作られた第
1のセクタ、員はこの第1のセクタを揺動動作させる第
1のセクタガイド、住υは上記第1のセクタガイドa1
に取り付けられ、上記第1のセクタ(9)および第1の
セクタガイド顛による揺動動作方向とは直角方向に揺動
動作しかつ超音波入射中心点を中心とする円の一部で作
られた第2のセクタ、(t2はこの第2のセクタを揺動
動作させる第2のセクタガイドであり、揺動部を構成し
ている。
また(I3は第2のセクタガイドfi3’を支持するフ
レームである。
上記のように構成された検査装置においては。
第1のセクタ(9)および第2のセクタαυとも超音波
入射中心点を中心にもつ円の一部で作られているので、
超音波プローブ(2)、ホルダ+3)およびシュー(4
)は、超音波入射中心点すわりに揺動動作することがで
きるので、被検材(1)の左端からLのところに超音波
入射中心点Avr一定め検査する場合、第2図に示すよ
うに被検材(1)が水平状態でも、第3図に示すように
被検材(1)が例えば超音波入射中心点Atわりに左方
上に傾いた状態においても、超音波プローブ(2)の、
超音波入射中心点Aは移動せずに、被検材(1)の左端
からLのところにあって検査することができる。
〔発明の効果〕
この発明は以上説明したとおシ、超音波スロープが超音
波入射中心点を中心に持つ円の一部で作られたセクタ上
を揺動動作することにより、被検材が傾いた場合でも超
音波入射中心点が位置ずれを起こさないという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第2図はそ
の断面図、第3図は動作を説明するための断面図、第4
図は従来の検査装置の斜視図、第5図はその断面図、第
6図は動作を説明するための断面図である。 図において、(2)は超音波プローブ、(3)はホルダ
。 (4)けシュー、(9)は第1のセクタ、α値は第1の
セクタガイド、αυけ第2のセクタ、 (12は第2の
セクタガイド、α1はフレームである。 なお1図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 被検材に対向する超音波プローブ、この超音波プローブ
    を保持するホルダ、このホルダに取り付けられ、上記被
    検材に接触するシュー、上記超音波プローブの超音波入
    射中心点を中心にもつ円の一部で作られた第1のセクタ
    、この第1のセクタを揺動動作させる第1のセクタガイ
    ド、上記第1のセクタガイドに取り付けられ、上記第1
    のセクタおよび第1のセクタガイドの揺動動作方向とは
    直角方向に揺動動作しかつ超音波入射中心点を中心にも
    つ円の一部で作られた第2のセクタ、この第2のセクタ
    を揺動動作をさせる第2のセクタガイドを備えたことを
    特徴とする検査装置。
JP59217907A 1984-10-17 1984-10-17 検査装置 Pending JPS6196453A (ja)

Priority Applications (1)

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JP59217907A JPS6196453A (ja) 1984-10-17 1984-10-17 検査装置

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JP59217907A JPS6196453A (ja) 1984-10-17 1984-10-17 検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6196453A true JPS6196453A (ja) 1986-05-15

Family

ID=16711616

Family Applications (1)

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JP59217907A Pending JPS6196453A (ja) 1984-10-17 1984-10-17 検査装置

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JP (1) JPS6196453A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009051241A1 (ja) * 2007-10-19 2009-04-23 Kabushiki Kaisha Toshiba 倣い装置
WO2009051242A1 (ja) 2007-10-19 2009-04-23 Kabushiki Kaisha Toshiba 倣い装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009051241A1 (ja) * 2007-10-19 2009-04-23 Kabushiki Kaisha Toshiba 倣い装置
WO2009051242A1 (ja) 2007-10-19 2009-04-23 Kabushiki Kaisha Toshiba 倣い装置
JP2009101428A (ja) * 2007-10-19 2009-05-14 Toshiba Corp 倣い装置
JP2009115782A (ja) * 2007-10-19 2009-05-28 Toshiba Corp 倣い装置
EP2192406A1 (en) * 2007-10-19 2010-06-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Profiling apparatus
EP2192406A4 (en) * 2007-10-19 2011-05-04 Toshiba Kk PROFILE DEVICE
US7987723B2 (en) 2007-10-19 2011-08-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Copying apparatus
KR101147368B1 (ko) * 2007-10-19 2012-05-23 가부시끼가이샤 도시바 모방 장치
US8191422B2 (en) 2007-10-19 2012-06-05 Kabushiki Kaisha Toshiba Copying apparatus

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