JPS6191336A - 合金タ−ゲツト材の製造方法 - Google Patents
合金タ−ゲツト材の製造方法Info
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- JPS6191336A JPS6191336A JP21196784A JP21196784A JPS6191336A JP S6191336 A JPS6191336 A JP S6191336A JP 21196784 A JP21196784 A JP 21196784A JP 21196784 A JP21196784 A JP 21196784A JP S6191336 A JPS6191336 A JP S6191336A
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- powder
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
”この発明は、光磁気記録月として用いられる薄膜を製
造するためのスパッタリングターゲット材である合金タ
ーゲット材の製造方法に関づる。
造するためのスパッタリングターゲット材である合金タ
ーゲット材の製造方法に関づる。
Gd、Tb、Dy、Ho、ErおよびT mからなる群
より選ばれた希土類金属(以下、liE。
より選ばれた希土類金属(以下、liE。
金属と略す)の1種以上と、Fc 、 CoおJ、ひN
iからなる群より選ばれた遷移金属(以下。
iからなる群より選ばれた遷移金属(以下。
T、 v+、゛と略す)の1秤以上とから416合金は
、最近光磁気記録材と−して注目をあつめている。この
合金材料は一般には薄膜で光磁気記録材としての特性が
得られ、この薄膜を作る手段としC大きくわけて下記の
2種類の方法がある。
、最近光磁気記録材と−して注目をあつめている。この
合金材料は一般には薄膜で光磁気記録材としての特性が
得られ、この薄膜を作る手段としC大きくわけて下記の
2種類の方法がある。
■蒸着法
■スパッタリング法
そのうち、■のスパッタリングン六は、j勺〜/C内部
組成で一定の合金元素を含んだクーゲット+4が得られ
さえすれば、スパッタリングW it′l内の1T力を
コントロールしながら組成的に均一な薄膜を得ることが
できる点で有利である。
組成で一定の合金元素を含んだクーゲット+4が得られ
さえすれば、スパッタリングW it′l内の1T力を
コントロールしながら組成的に均一な薄膜を得ることが
できる点で有利である。
このターゲット材を作る方法としては、現在の所、以下
に述べるような合金法と複合法とがある。
に述べるような合金法と複合法とがある。
a)合金法
アーク熔解炉によって作られた合金のインゴットを切断
、rdlrill等により所定寸法に仕上げ、ターゲッ
ト材とする方法である。
、rdlrill等により所定寸法に仕上げ、ターゲッ
ト材とする方法である。
b)複合法
Tlv+、合金板上にR,E、金属ショットを適当閤の
せることにより、ターゲット材とする方法である。(こ
のターゲット材を用いで、そのままスパッタリングする
。) 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記のターゲット材を作る二方法のうち、b)複合法に
は、次のような問題点がある、即ち、(I)T、M、合
金とR,’E、金属とで異常放電することがある。
せることにより、ターゲット材とする方法である。(こ
のターゲット材を用いで、そのままスパッタリングする
。) 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記のターゲット材を作る二方法のうち、b)複合法に
は、次のような問題点がある、即ち、(I)T、M、合
金とR,’E、金属とで異常放電することがある。
(II)板上にR,E、金属ショットを並べただけなの
で、実際の生産においては薄膜の組成を均一化するため
ターゲットを回転させる心数があるが、この複合ターゲ
ット材では回転が困テ「である。
で、実際の生産においては薄膜の組成を均一化するため
ターゲットを回転させる心数があるが、この複合ターゲ
ット材では回転が困テ「である。
したがって、組成の均一な薄膜が冑にくい、。
(I[[)特に、微量合金元素を添加づ゛る場合、ター
ゲット板上に占める合金元素の面(i比が場所によって
大きく変化し、79膜の組成の不均一化の1j;(囚と
なる。
ゲット板上に占める合金元素の面(i比が場所によって
大きく変化し、79膜の組成の不均一化の1j;(囚と
なる。
(TV)マグネトロンスパッタリングの場合、T、M、
は磁力線のヨーク材(磁束密匪が高い材料)なので、T
、M、合金板の厚さによってしLR,E、金属に磁力線
がこない場合が生じる。
は磁力線のヨーク材(磁束密匪が高い材料)なので、T
、M、合金板の厚さによってしLR,E、金属に磁力線
がこない場合が生じる。
(V)スパッタ装置の構造からターグツi・を斜め又は
下向きにして使用することがあるが、複合法によるター
ゲット材ではこのような使用の仕1jをすることができ
ない。
下向きにして使用することがあるが、複合法によるター
ゲット材ではこのような使用の仕1jをすることができ
ない。
又、a)合金法には、次のような問題点がある。
(I)アーク熔解によるので、インゴット中に微量合金
元素を添加する場合は特に偏析しやすく、内部の組成が
均一なインゴットひいてはターゲット材が得にくい。
元素を添加する場合は特に偏析しやすく、内部の組成が
均一なインゴットひいてはターゲット材が得にくい。
(It)G析を極力避けるためにはアーク熔解時間を長
・−しなければならないが、アーク熔解時間を艮くする
と、R,E、金属はT、M、よりも蒸気圧か高い元素な
ので、成分の組成が変化してしまう。
・−しなければならないが、アーク熔解時間を艮くする
と、R,E、金属はT、M、よりも蒸気圧か高い元素な
ので、成分の組成が変化してしまう。
(1) irJられるターゲット材の大きさはアーク熔
解炉の大きさに依存するため、この方法で得られるター
ゲット材の直径はせいぜい20〜30mであり、大きな
断面1III(大口径)のターゲット材が得にくい。
解炉の大きさに依存するため、この方法で得られるター
ゲット材の直径はせいぜい20〜30mであり、大きな
断面1III(大口径)のターゲット材が得にくい。
(IV )アーク熔解だけでは一定形状の合金ターゲッ
ト材(特に、薄肉の合金ターゲット材)が骨にくく、後
加工を特徴とする特に、マグネト0ンスパツタリング法
では磁力線の関係より薄肉なターゲット材を必要とする
が、後加工を必要とするこの方法では非効率的である。
ト材(特に、薄肉の合金ターゲット材)が骨にくく、後
加工を特徴とする特に、マグネト0ンスパツタリング法
では磁力線の関係より薄肉なターゲット材を必要とする
が、後加工を必要とするこの方法では非効率的である。
(V)アーク熔解は1回毎行なうが、その廓に(I)、
(II)の理由により組成が変化してしまい、肖現性を
17るのが難しい。即ち、ロフト間のバラツキが大きい
。
(II)の理由により組成が変化してしまい、肖現性を
17るのが難しい。即ち、ロフト間のバラツキが大きい
。
したがって、この発明の目的は、1つのターゲット材の
内部組成が均一で、しかも組成が全く同じターゲット材
を再現性良く多@ 製Z、M−dることができ、又、大
口径のターゲット材もv!A6nすることができ、薄肉
のターゲット材も簡単に製造することができる、合金タ
ーグツl−材のvjAiQ方法を提出することである。
内部組成が均一で、しかも組成が全く同じターゲット材
を再現性良く多@ 製Z、M−dることができ、又、大
口径のターゲット材もv!A6nすることができ、薄肉
のターゲット材も簡単に製造することができる、合金タ
ーグツl−材のvjAiQ方法を提出することである。
本発明者らは、秤々研究の結果、
(イ)R,E、金属とT、M、どのアーク熔解により得
られた合金インゴットはもろいので、容易に粉砕するこ
とができること、 (ロ)インゴットの粉砕により得られた合金粉末をモー
ルド中に入れ、ホットプレスすることにより、内部組成
の均一なターゲット材を再現性良く多数製造することが
でき、しかも、小口(¥から大口径まで、また任意の形
状の、薄肉の(〃ざ:1〜3 ttm )ターゲット材
をもI!l!造することが(さること、 以上、(イ)〜(ロ)の事項を見い出しIC0この発明
は、上記知見事項に基いて発明されたものであり、 (1) Gd 、 Tb 、 Dy 、 Ho 、 E
rおよびTmからなる群より選ばれた希土類金属の1
種以上と、Fc、GoおよびNiからなる群より選ばれ
た遷移金属の1神以上とからなる合金ターゲット材を製
造づる方法において、所定ωの希土類金属と遷移金属と
をアーク熔解炉で熔解して合金のインゴットとし、前記
の合金インゴットを粉砕し、1qられた合金粉末をホッ
トプレスにより成形することを特徴とする合金ターゲッ
ト材の製造方法。
られた合金インゴットはもろいので、容易に粉砕するこ
とができること、 (ロ)インゴットの粉砕により得られた合金粉末をモー
ルド中に入れ、ホットプレスすることにより、内部組成
の均一なターゲット材を再現性良く多数製造することが
でき、しかも、小口(¥から大口径まで、また任意の形
状の、薄肉の(〃ざ:1〜3 ttm )ターゲット材
をもI!l!造することが(さること、 以上、(イ)〜(ロ)の事項を見い出しIC0この発明
は、上記知見事項に基いて発明されたものであり、 (1) Gd 、 Tb 、 Dy 、 Ho 、 E
rおよびTmからなる群より選ばれた希土類金属の1
種以上と、Fc、GoおよびNiからなる群より選ばれ
た遷移金属の1神以上とからなる合金ターゲット材を製
造づる方法において、所定ωの希土類金属と遷移金属と
をアーク熔解炉で熔解して合金のインゴットとし、前記
の合金インゴットを粉砕し、1qられた合金粉末をホッ
トプレスにより成形することを特徴とする合金ターゲッ
ト材の製造方法。
(2)合金粉末をホットプレスする前に、同様にして得
られた異なった組成を有する他の合金粉末と混合し、成
分組成を調整する特許請求の範囲第1項記載の合金ター
ゲット材の製造方法である。
られた異なった組成を有する他の合金粉末と混合し、成
分組成を調整する特許請求の範囲第1項記載の合金ター
ゲット材の製造方法である。
以下、この発明の詳細な説明する。
■ アーク熔解工程
インゴット中の内部組成をできるだけ均一化するために
、R,E、金属とT、M、とをアーク熔解することが必
要である。アーク熔解の1コツ1〜間のバラツキを少な
くするため、アーク熔解時間tよR,E、金属の蒸発が
できるだけ起こらないような短時間(原料の重さ、アー
ク熔解炉の能力に6よるが、例えば、10分以内)とす
ることが望ましい。
、R,E、金属とT、M、とをアーク熔解することが必
要である。アーク熔解の1コツ1〜間のバラツキを少な
くするため、アーク熔解時間tよR,E、金属の蒸発が
できるだけ起こらないような短時間(原料の重さ、アー
ク熔解炉の能力に6よるが、例えば、10分以内)とす
ることが望ましい。
■ 粉砕工程
アーク熔解により得られたR、E、金属どT、M、とか
らなる合金インゴットはbろいので、粉砕は短時間で容
易に行なうことができる。
らなる合金インゴットはbろいので、粉砕は短時間で容
易に行なうことができる。
粉砕は、例えば、窒素ガス中でスタンプミル等により粗
粉砕をし、次いで、振動ミル、ボールミル等を用いて湿
式(有櫟溶媒中)による微粉砕をすればよい。
粉砕をし、次いで、振動ミル、ボールミル等を用いて湿
式(有櫟溶媒中)による微粉砕をすればよい。
最終的な粉末粒度は、平均粒径1〜10μmが望ましい
。
。
アーク熔解を短時間で行なった場合には、R,E、金属
の蒸発は余り起こらず、偏析が起こるが、粉砕により、
偏析の影響をなく寸ことかできる。
の蒸発は余り起こらず、偏析が起こるが、粉砕により、
偏析の影響をなく寸ことかできる。
■ 混合・調整工程
アーク熔解工程が長時間の場合はもとより短時間で行な
われた場合にもR,E、金属の蒸発はある程度起こるの
で、粉砕により得られた合金粉末の組成は、アーク熔解
炉への仕込み重用比とは異なっている。したがって、R
,E、金属の蒸発損失分を見込まないでアーク熔解炉へ
原料を仕込んだ場合には、同様にして得られた異なった
組成をhする他の合金粉末と混合し、成分′組成を所望
の組成に調整する必要がある。
われた場合にもR,E、金属の蒸発はある程度起こるの
で、粉砕により得られた合金粉末の組成は、アーク熔解
炉への仕込み重用比とは異なっている。したがって、R
,E、金属の蒸発損失分を見込まないでアーク熔解炉へ
原料を仕込んだ場合には、同様にして得られた異なった
組成をhする他の合金粉末と混合し、成分′組成を所望
の組成に調整する必要がある。
■ 成形工程
ポットプレスの際に用いるモールドは、例えばグラファ
イト製のモールドである。モールドの形状及び大ささを
適当に選ぶことにより、任意の形状及び大きさ、例えば
小口径から大口径までのターゲット材を製造することが
でき、又、モールドへの合金粉末の充填量を調節するこ
とにより、ターゲット材の厚みを薄く(1〜3 tan
)することもできる。
イト製のモールドである。モールドの形状及び大ささを
適当に選ぶことにより、任意の形状及び大きさ、例えば
小口径から大口径までのターゲット材を製造することが
でき、又、モールドへの合金粉末の充填量を調節するこ
とにより、ターゲット材の厚みを薄く(1〜3 tan
)することもできる。
ホットプレスは、真空度5X10(〜1X104tor
rの真空中又はArガスを5〜20t/1n、程度流し
た雰囲気中で、圧力100〜300Ky / aAで加
圧しながら、1000〜1300℃の温度で、0.5〜
3時間加熱するのが望ましい。
rの真空中又はArガスを5〜20t/1n、程度流し
た雰囲気中で、圧力100〜300Ky / aAで加
圧しながら、1000〜1300℃の温度で、0.5〜
3時間加熱するのが望ましい。
以下、実施例によりこの発明の構成を詳しく述べる。
実施例 1
純度が99.8%のTbの小ブロツク体を98 ’?
。
。
純度が99.99%のFeの小ブロツク体を102g秤
恐し1この原料を水冷ハースを有するアーク熔解炉へ挿
入する。そして、純度が99.9999%のA「ガスを
流速2〜5t/分で流しながら、W電極から前記原料へ
電圧20V、電流100Aの条件でアークを発生させる
ことにより、3分間アーク熔解を行なう。次に、前記原
料をアームにより上下反転し、再熔解を3分間行なう。
恐し1この原料を水冷ハースを有するアーク熔解炉へ挿
入する。そして、純度が99.9999%のA「ガスを
流速2〜5t/分で流しながら、W電極から前記原料へ
電圧20V、電流100Aの条件でアークを発生させる
ことにより、3分間アーク熔解を行なう。次に、前記原
料をアームにより上下反転し、再熔解を3分間行なう。
更に、前記原料を再び上下反転し、再々熔解を3分間行
なう。
なう。
このようにして、合49分間のアーク熔解を行ない、A
rガスを流しながら炉冷することにより、合金のインゴ
ットを得る。
rガスを流しながら炉冷することにより、合金のインゴ
ットを得る。
このインゴットをスタンプミルにより窒素ガス中におい
て■目;)砕し、42メツシユ以下の粉末とし1次いで
、この粉末をステンレスポット中にスデンレスポールと
ともに入れ、トルエンを充填した後、2時間1辰動ミル
による粉砕を行ない、平均粒径4〜5μmの微粉末とし
、これを乾燥させる。
て■目;)砕し、42メツシユ以下の粉末とし1次いで
、この粉末をステンレスポット中にスデンレスポールと
ともに入れ、トルエンを充填した後、2時間1辰動ミル
による粉砕を行ない、平均粒径4〜5μmの微粉末とし
、これを乾燥させる。
1″1られた乾燥粉末(以下、乾燥粉末Aという)を分
析したところ、Tb:47.8重量%、 Fe :52
.2重量%の分析値を有した。
析したところ、Tb:47.8重量%、 Fe :52
.2重量%の分析値を有した。
別に、アーク熔解炉への仕込み原料を、Tbを101g
、Feを99gとすることを除いては同様に、前記のア
ーク熔解及び粉砕・乾燥工程を行ない、Tb:50.6
重量%、Fe:49.4重lit % (7) 分析(
1n@有′する乾燥粉末(以下、乾燥粉末Bという)を
11 Iこ 。
、Feを99gとすることを除いては同様に、前記のア
ーク熔解及び粉砕・乾燥工程を行ない、Tb:50.6
重量%、Fe:49.4重lit % (7) 分析(
1n@有′する乾燥粉末(以下、乾燥粉末Bという)を
11 Iこ 。
乾燥粉末A:114gと乾燥粉末B:85.7gとをボ
ールミルを用いて2時間混合して、Tb:49重部%−
トe:51重母%の組成を有する粉末混合物とり−る。
ールミルを用いて2時間混合して、Tb:49重部%−
トe:51重母%の組成を有する粉末混合物とり−る。
次いで、BNを塗布した直径が130mmのグラフフィ
トモールドに、前記の粉末混合物130 ’、1を充填
し、これを10’ torr以下の貞空申ぐ150Kg
/iで加圧しながら1000℃/h1゛で胃温し、11
00℃に達したら、その:扁麿に2時開保持したのち、
圧力をぬいて炉令する。
トモールドに、前記の粉末混合物130 ’、1を充填
し、これを10’ torr以下の貞空申ぐ150Kg
/iで加圧しながら1000℃/h1゛で胃温し、11
00℃に達したら、その:扁麿に2時開保持したのち、
圧力をぬいて炉令する。
炉冷後、得られたターゲット材を取り出し、上下面に付
いたBN粉を研磨によって取除く。このようにして、8
容量%の空孔を含み、−rb:49重量%−Fe:51
重量%の組成をイ1し、直径が127、4. 、厚さが
1.3mのターゲット材が1!lられた。
いたBN粉を研磨によって取除く。このようにして、8
容量%の空孔を含み、−rb:49重量%−Fe:51
重量%の組成をイ1し、直径が127、4. 、厚さが
1.3mのターゲット材が1!lられた。
実施例 2
純度が99.8%のTbを96g、純度が99.’19
%のFeを969.純度が99.9%のCOを8g秤け
し、実施例1と同様にアーク熔解及び粉砕・乾燥工程を
行ない、Tb :47.5[ii%、 (me : 4
8.3重量%、 Co : 4.2重M%の分析値を
有する乾燥粉末A′を得た。
%のFeを969.純度が99.9%のCOを8g秤け
し、実施例1と同様にアーク熔解及び粉砕・乾燥工程を
行ない、Tb :47.5[ii%、 (me : 4
8.3重量%、 Co : 4.2重M%の分析値を
有する乾燥粉末A′を得た。
別に、アーク熔解炉への仕込み原料を、−1川)を10
0g、Feを93g、Goを7gとすることを除いては
同様に、前記のア゛−り熔解及び粉砕・乾燥工程を行な
い、lb:4B、5重[ii%、 Fe :47.7’
gm%、 Co : 3.8fflffi%)分析値
を有する乾燥粉末B−を得た。
0g、Feを93g、Goを7gとすることを除いては
同様に、前記のア゛−り熔解及び粉砕・乾燥工程を行な
い、lb:4B、5重[ii%、 Fe :47.7’
gm%、 Co : 3.8fflffi%)分析値
を有する乾燥粉末B−を得た。
乾燥粉末A=:10(lと乾燥粉末8′:100gとを
実施例1と同様に混合し、Tb:48重ω%−Fe:4
8単量%−CO:4重量%の組成を有する粉末混合物と
する。 A「ガスの流速が101 /sinの
雰囲気とすることを除いては、実施例1と同様にホット
プレスによる成形等を行ない、9容量%の空孔を含み、
パTb:48fflra%−Fe :4Bmm%−CO
:4重量%の組成を右し、直径が127.4mで厚さが
1.2mmのターゲット材を得た。
実施例1と同様に混合し、Tb:48重ω%−Fe:4
8単量%−CO:4重量%の組成を有する粉末混合物と
する。 A「ガスの流速が101 /sinの
雰囲気とすることを除いては、実施例1と同様にホット
プレスによる成形等を行ない、9容量%の空孔を含み、
パTb:48fflra%−Fe :4Bmm%−CO
:4重量%の組成を右し、直径が127.4mで厚さが
1.2mmのターゲット材を得た。
実施例 3
f11!度が99.8%のTb、純度が99.8%のG
d、N度が998%のDy、純度が99.8%のHO2
純度が99.8%のEr、純度が998%のTll、耗
麿が99、99%のFe、純度が99,9%のCO及び
純度が99.99 %I)N i e用意し、実施例1
ど番、■、r l1I4Kにして、□第1表記載の最終
組成を有する直径が12’7.4.で厚□さが 1.2
朧のターゲット材を1′、1k。
d、N度が998%のDy、純度が99.8%のHO2
純度が99.8%のEr、純度が998%のTll、耗
麿が99、99%のFe、純度が99,9%のCO及び
純度が99.99 %I)N i e用意し、実施例1
ど番、■、r l1I4Kにして、□第1表記載の最終
組成を有する直径が12’7.4.で厚□さが 1.2
朧のターゲット材を1′、1k。
これ゛らのターゲット材の内部組成はそれぞれ均一であ
うた。 ゛貢発明の効果
〕 実施例1゛〜3からもわかるように、この発明の方法に
よれば、従来法と比べて格段に大さ゛な自在を有し、し
かも薄肉のターゲット材を製造するととができる。
うた。 ゛貢発明の効果
〕 実施例1゛〜3からもわかるように、この発明の方法に
よれば、従来法と比べて格段に大さ゛な自在を有し、し
かも薄肉のターゲット材を製造するととができる。
又、実施例1〜2によって作られたターゲット材の部位
P、Q及びR(第1図参照)の組成を第2表に系す。
P、Q及びR(第1図参照)の組成を第2表に系す。
第2表及び実施例3からもわかるように、この発明の方
法により得られたターゲット材は、その内部組成が均一
である。したがって、マグネトロンスパッタリングに用
いる場合、従来の複合法によるターゲット材に較べてタ
ーゲット材表面で磁力線が多く、しかも均一に得られる
。
法により得られたターゲット材は、その内部組成が均一
である。したがって、マグネトロンスパッタリングに用
いる場合、従来の複合法によるターゲット材に較べてタ
ーゲット材表面で磁力線が多く、しかも均一に得られる
。
又、1回のアーク熔解から合金粉末を5吊に作第
1 表 ることにより、更には、粉砕により偏析の影響をなくす
ことができるので、従来の合金ターゲットを作る場合に
較べてアーク熔解時間をR0L金属の蒸発が余り起こら
ないような短時間とりることができ、アーク熔解のロフ
ト間のバラツキを小さくすることができるから、組成が
同じターゲット材を再現性良く多数製造することがでさ
るのである。
1 表 ることにより、更には、粉砕により偏析の影響をなくす
ことができるので、従来の合金ターゲットを作る場合に
較べてアーク熔解時間をR0L金属の蒸発が余り起こら
ないような短時間とりることができ、アーク熔解のロフ
ト間のバラツキを小さくすることができるから、組成が
同じターゲット材を再現性良く多数製造することがでさ
るのである。
第 2 表
第1図は、この発明の方法(実施例1〜2)により1q
られたターゲット材の平面図である。 Q・・・円形表面の中心 P、R・・・互いに直交する半径上の、円周から10m
mの部位
られたターゲット材の平面図である。 Q・・・円形表面の中心 P、R・・・互いに直交する半径上の、円周から10m
mの部位
Claims (2)
- (1)Gd、Tb、Dy、Ho、ErおよびTmからな
る群より選ばれた希土類金属の1種以上と、Fe、Co
およびNiからなる群より選ばれた遷移金属の1種以上
とからなる合金ターゲット材を製造する方法において、
所定量の希土類金属と遷移金属とをアーク熔解炉で熔解
して合金のインゴットとし、前記の合金インゴットを粉
砕し、得られた合金粉末をホットプレスにより成形する
ことを特徴とする合金ターゲット材の製造方法。 - (2)合金粉末をホットプレスする前に、同様にして得
られた異なった組成を有する他の合金粉末と混合し、成
分組成を調整する特許請求の範囲第1項記載の合金ター
ゲット材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21196784A JPS6191336A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 合金タ−ゲツト材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21196784A JPS6191336A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 合金タ−ゲツト材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6191336A true JPS6191336A (ja) | 1986-05-09 |
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