JPS6183930A - 圧力・差圧伝送器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 °　本発明は受圧ダイヤフラムを設けた圧力・差圧伝送
器に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

受圧ダイヤフラムを設けた差圧伝送器としては図に示す
ような構成のものが知られている。

図において、高圧側被測定流体が流入する流入口１ａを
有するフランク１と、低圧側被測定流体が流入する流入
口２ａを有する７ランジ２とはそれぞれ受圧ダイヤフラ
ム３および４を介してケーシング５，６および７に密着
固定されているうまた、上記ケーシング５，６および７
には上記受圧ダイヤフラム３および４に対向して受圧ダ
イヤプラム座、？Ａ、４Ａが設けられている。上記ケー
シング５，６．７は７ランノ１および２に対してシール
部８によって液密にシールされており、また、ケーシン
グ５，６間には中間ダイヤフラム９が介在されている。

そしてこの中間ダイヤフラム９と前記受圧ダイヤフラム
３によって形成される第１の空間１０（これはケーシン
グ５両側に形成される）には圧力伝達媒体１２Ａが充填
され、同様に中間ダイヤフラム９と前記受圧ダイヤフラ
ム４によって形成される第２の空間ＩＪ（これはケーシ
ング６両側に形成される）には圧力伝達媒体１２Ｂが充
填されている。また、前記ケーシング７内には半導体感
圧素子１３が設けられていて、この感圧素子１３はそれ
ぞれ連通孔１４．１５を介して上記空間１０．１１に連
通され、圧力伝達媒体１２Ａおよび１２Ｂで伝達される
差圧力を検知して電気信号に変換し、リード綜１６を介
して外部に出力するようになっている。

上記差圧伝送器において、中間ダイヤフラム９は過大差
圧力を保護する目的で設けられたものであり、その剛性
が受圧ダイヤフラム３，４の剛性に比べて充分大きくな
るように配慮して設計されている。例えば高圧側に、低
圧側に比べて大きい圧力が加わると、中間ダイヤフラム
９は図の右方向に移動し、その撓みによって生じた容積
分だけ受圧ダイヤフラム３が右方向に移動する。さらに
大きな圧力が高圧側に加わると、中間ダイヤフラム９は
更に右方向に移動するが、受圧ダイヤフラム３は受圧ダ
イヤフラム座３Ａに着座してそれ以上の移動が起こらな
いので、着座後はさらに大きい圧力が受圧ダイヤフラム
３に加わりても圧力伝達媒体１２ｋには着座時の圧力が
そのまま保持され感圧素子１３に対して過大差圧が加わ
り、破損させるおそれはなくなる。受圧ダイヤフラム４
側についても同様のことがいえる。

一方、受圧ダイヤフラム３，４は被測定流体と圧力伝達
媒体１２に、１２Ｔ３を分離するためのもので、圧力を
できる限り損失なく伝えるように、剛性の低いことが望
ましい。

一般的には中間ダイヤフラム９と受圧ダイヤフラム３，
４の剛性比を５０：１以上に設定すれば、圧力損失率（
受圧ダイヤフラム３，４の外側の差圧が内側に伝達され
る際の損失の割合）は３．９チ以下となり、実用上差し
支えない程度に向上する。上記のように受圧ダイヤフラ
ム３゜４の剛性を低く抑えるためには板厚を可能な限り
薄くシ、かつ有効径をできるだけ大きくすることが考え
られる。

しかし、従来ダイヤプラムとして用いられているＳＵＳ
　３１６　Ｌ等の板厚を薄くして剛性を低くしようとす
ると、材料の加工性、強度の点より５０μｍ程度が限度
といえる。また、有効径を大きくしようとするとケーシ
ング自体も大きくせざるを得す、軽量、小型化の要求に
反し、実用性に乏しい。

更に圧力損失率が低く、シかも使用環境の影響を受けず
、被測定流体に対して優れた耐食性を有する等の特性を
満たすことは、従来の５ＵＳ３１６Ｌ等の材料では困難
である。

〔発明の目的〕

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、軽量、
小型で、圧力損失率が低く、更には耐環境性、耐食性に
優れた圧力・差圧伝送器を提供しようとするものである
。

〔発明の概要〕

本発明者らは下記式に示す受圧ダイヤプラムの圧力−変
位特性、 （ここでＰは圧力、Ｗはダイヤプラムの中心変位量、Ｒ
はダイヤプラムの有効半径、ｔは板厚、Ｅは縦弾性係数
、ｑはダイヤフラムの波形状による形状係数である） をもとにして、ｑ　ｐ　Ｒ、を一定条件下での圧力・差
圧伝送器の圧力伝達性に及ぼす縦弾性係数Ｅの影響につ
いて鋭意研究を行なった。その結果、受圧ダイヤスラム
を構成する弾性金属薄板の縦弾性係数を１５０００　＃
／ｗｎ２以下にすると、５ＵＳ３１６Ｌに比べ、同一有
効半径、同一板厚でも圧力損失率が実用上差し支えない
ところまで低下して圧力伝達性が向上し、受圧ダイヤプ
ラムの小径化を達成できることを見出した。

すなわち本発明の圧力・差圧伝送器は、受圧ダイヤプラ
ムを構成する弾性金属薄板の縦弾性係数Ｅが２０００〜
１５０００　ｋｇ／咽であることを特徴とするものであ
る。

本発明において、縦弾性係数を上記範囲としたのは、１
５０００ｋｌ？廊２を超えるとＳＵＳ　３１６　Ｌ（Ｅ
　＝　２００００　ｋｙ／＝２）よりなる受圧ダイヤフ
ラムによる圧力伝達性と大差がなく、効果が顕著に認め
られないためであり、一方、２０００ｋｉ２未満である
と剛性が低すぎて強度上の問題より構造材として不適当
となるためである。

本発明に用いる弾性金属薄板としては、例えばアルミニ
ウム合金、チタン合金、ベリリウム合金、銅合金等の結
晶質低弾性金属薄板や液体急冷金属薄板が挙げられるが
、より強度の太きい非晶質合金を用いることが好ましい
。

このような非晶質合金としては、次式 ％式％ （ただし、Ｍ　＝　Ｆｅ　、　ＣｏまたはＮｉのうち少
なくとも１種、 Ｔ＝Ｔ’　＋Ｚｒ＊Ｈｆ　＋Ｖ＋ＮｂｔＴａ、Ｃｕ＋Ｃ
ｒ＋Ａｕ＋Ａｇ＋Ｍｏ、’Ｗ、Ｍｎ１Ｒｅ　＋Ｒｕ＋Ｒ
ｈ＋　Ｉｒ、Ｐｔ＋Ｐｄ　ｒ　Ｓｎ　＊　Ｐｂ　＊　Ｓ
ｂ　＊　Ｂｔ　、　Ｙ　ｒ希土類元素のうち少なくとも
１種、 Ｚ＝Ｂ　、Ｐ！りなるグループとＳｉ＋Ｇ＠＋Ｃ＊Ａｔ
よりなるグループとのそれぞれのうちから少なくとも１
種、 ０≦ａ≦０．３．１０≦ｍ°≦４０） で表わされるものを用いると、高強度、高信頼性で小壓
、軽量の高性能圧力・差圧伝送器を得ることができる。

上記非晶質合金を構成する成分のうちＭ（Ｆｅ。

Ｃｏ　＋　Ｎｌ　）は強靭低弾性非晶質合金を得るため
の必須成分である。

また、Ｔは非晶質合金の結晶化温度を上昇させて熱安定
性を向上させ、しかも熱膨張係数の大きさを調整してケ
ーシング材の熱膨張係数の大きさに合わせる作用を有す
るとともに耐食性゛、゛耐熱性を向上させて信頼性の高
い圧力・差圧伝送器を得るのに有効な元素である。Ｔの
添加量を示す数値ａを上記範囲としたのは、ａが０．３
を超えると、アモルファス化することが困難になるため
である。Ｔの各元素は少量の添加により上記作用を示す
が、実用上は０．０１≦ａ≦０．１２の範囲とすること
が望ましい。

更に、２のうちＢ、Ｐは非晶質合金の製造性を向上せし
める元素であり、Ｓｌ、Ｇｅ、Ｃ，Ａｚは非晶質合金の
結晶化温度を上昇させるとともに縦弾性係数を低くシ、
強靭低弾性特性を得るのに有効な元素である。これらの
両グループからそれぞれ少なくとも１種が選択された２
の添加量を示す数値ｍを上記範囲としたのは、ｍが１０
未満では強靭低弾性特性が得られず、一方ｍが４０を超
えると非晶質合金の製造が困難となるためである。

また、次式 ％式％ （ただし、Ｍ’＝　Ｆｅ又はＣｏのうち少なくとも１種
、 Ｔ’＝Ｔｔ　、Ｖ、Ｍｎ、ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔ
ａ、Ｗ、希土類元素のうち少なくとも１種、 Ｚ＝Ｂ　、Ｐよりなるグループと８１．Ｇｅ、Ｃ。

Ａｔよりなるグループとのそれぞれのうちから少なくと
も１種、 Ｍ’＝Ｆｅのときｂ≦０．３　、Ｍ’＝Ｃｏのときｂ≦
０．４．０≦Ｃ≦０．３．１０≦ｍ≦４０） で表わされる非磁性のＮ１基非晶質合金を用いた場合に
は、優れた圧力伝達性を示すとともに環境による圧力伝
達性の変化が小さい。なお、非磁性とは使用される環境
下で強磁性体でないことを意味する。

上記非晶質合金を構成する成分のうちＭ’（Ｆｅ。

Ｃｏ）の添加量を示す数値すは、Ｆｅの場合０．３以下
、ｃｏの場合０．４以下であり、いずれも含まなくても
よい。これらの成分Ｍ′が上記範囲を超えると、非晶質
合金のキーリ一温度が高くなり、縦弾性係数が磁場によ
って大きく変化するので、圧力・差圧伝送器としての優
れた特性が得られなくなる。

また、Ｔ′は主に非晶質合金の耐熱性及び機械的特性を
向上させる元素である。Ｔ′の添加量を示す数値Ｃが０
．３を超えると、アモルファス化することが困難である
。

更に、２の添加理由、添加量の限定理由は前述したと同
様である。

なお、Ｔ′の添加量を示す数値ＣがＯ≦Ｃ≦０．２０．
２の添加量を示す数値ｍが１２≦ｍ≦３０の範囲の非晶
質合金を用いた場合には、特に耐環境性に優れている。

また、次式 ％式％ （ただし、Ｍ　＝　Ｆｅ　、　Ｃｏ又はＮｌのうち少な
くとも１種、 Ｔ”＝　Ｃｒ　、　Ｃｕ　、白金族元素のうち少なくと
も１種、 Ｚ＝Ｂ　、ＰよりなるグループとＳｉ、Ｇｅ、Ｃ。

Ａｔよりなるグループとのそれぞれのうちから少なくと
も１種、 ０．０２≦ｄ≦０．３０，１０≦ｍ≦４０）で表わされ
る非晶質合金を用いれば、優れた圧力伝達性を示すとと
もに、優れた耐食性を示す。

上記非晶質合金を構成する成分のうちＴ“は、非晶質合
金の耐食性を改善する作用を有する元素である。その添
加量を示す数値ｄを上記範囲としたのは、ｄが０．０２
未満では耐食性を改善する効果が小さく、一方ｄが０，
２０を超えるとアモルファス化が困難となるためである
。また、２の添加理由、添加量の限定理由は前述したと
同様である。

更に、次式 ％式％ （ただし、Ｍ’＝　Ｆｅ又はＣｏのうち少なくとも１種
、 Ｔ’＝Ｔｉ　ｒＶｒＭｎ＊Ｚｒ、ＮｂｒＭｏ＊Ｈｆ　、
Ｔａ、Ｗ、希土類元素のうち少なくとも１種、 Ｚ＝Ｂ　、ＰよりなるグループとＳｉ＋Ｇｅ＋Ｃ＋Ａｔ
よりなるグループとのそれぞれのうちから少なくとも１
種、 Ｍ’＝Ｆｓのときｅ≦０．３　、Ｍ’＝Ｃｏのときｅ≦
０，４、Ｏ≦ｆ≦０．２０，０．０２≦ｇ≦０．２０．
０．０２≦ｆ＋ｇ≦０．３０．１０≦ｍ≦４０）で表わ
される非磁性のＮｌ基非晶質合金を用いれば、優れた圧
力伝達性を示すとともに、優れた耐環境性及び耐食性を
示す。

〔発明の実施例〕　　゛ 以下、本発明の詳細な説明する。実施例１〜１０及び比
較例１〜３、 第１表に示す組成を有する幅約５０ｍ、平均板厚３０μ
ｍの非晶質合金薄帯を単ロール法により作成した。これ
らの非晶質合金薄帯より直径４０禦の円形薄帯を打ち抜
き、図に示す受圧ダイヤフラム３，４を作成した。次い
で、これら受圧ダイヤフラム３，４をケーシング５，６
゜７に溶接によシ接合し、シール部８で液密に保持した
状態で７２７ジ１，２を取付けて差圧伝送器を製作した
。なお、比較例１は受圧ダイヤフラム３，４として従来
のＳＵＳ　３１６　Ｌを用いたものでちる。また、差圧
伝送器の受圧ダイヤフラムの有ｓ’ｈ径は３０Ｉｌ１１
１である。

作製された各々の差圧伝送器について縦弾性係数、引張
強さ、圧力伝達性（圧力損失率）を調べた。その結果を
第１表に併記する。なお、縦弾性係数及び引張強さは引
張試験機（インストロン）により求めた値である。また
、圧力損失率は次式 ％式％） 圧力損失率（％）＝　　　差圧入力　　　Ｘ１００によ
り計算した。

第１表から明らかなように比較例１〜３０弾性金属薄板
はいずれも縦弾性係数が１５０００１ＱＦ／１ｍ２を超
えているので、これらを受圧ダイヤフラムとして用いた
差圧伝送器は圧力損失率が大きく実用的ではない。これ
に対して実施例１〜１０の非晶質合金薄板は縦弾性係数
が２０００〜１５０００　ｋ＋？／ｆｉの範囲であり、
これらを受圧ダイヤフラムとして用いた差圧伝送器は圧
力損失率が小さく、有効径３０憫と小型であっても、大
用上差し支えない圧力伝達性を示す。

実施例１１ 非磁性のＮｉ基非晶質合金を用いた場合の圧力伝達性を
調べるために （”０．８５　ＦｅＯ，０５ＮｂＯ，１０）７８　Ｓ’
１０　ＢＴｏ　”２なる組成を有する幅５０喝、平均板
厚３０μｍの非晶質合金薄帯を単ロール法により作成し
た。この非晶質合金は液体ヘリウム温度まで常磁性体で
ある。

この非晶質合金薄帯より直径４０ｍの円形薄帯を打ち抜
き、これを受圧ダイヤフラムとして上記と同様に受圧ダ
イヤフラムの有効径３０ｒｍの差圧伝送器を製作した。

この差圧伝送器の圧力損失率を調べたところ、２．０％
であった。従来のＳＵＳ　３１６　Ｌを受圧ダイヤフラ
ムとして用いた差圧伝送器は、受圧ダイヤフラムの有効
径３０鰭のもので圧力損失率５．０％で実用的ではなく
、実用されている有効径６０ｍのものでも圧力損失率が
２．５チであるのと比較すると、小型で高性能の差圧伝
送器が得られた。

実施例１２．１３ 耐環境性を調べるために第２表に示す組成を有する＠５
０ｆｉ、平均板厚５０μｍの非晶質合金薄帯を単ロール
法により作成した。なお、実施例１２の非晶質合金は液
体ヘリウム温度まで常磁性体であり、実施例１３の非晶
質合金のキュリ温度は３５０℃であった。これらの非晶
質合金薄帯を用い、上記と同様にして受圧ダイヤスラム
の有効径３０ｍの差圧伝送器を製作した。

これら２埋の差圧伝送器と従来のＳＵＳ　３１６　Ｌを
用いた差圧伝送器（受圧ダイヤフラムの有効径６０　ｍ
　）を、磁場の強さの異なる５つの環境下に設置し、出
力信号値及び出力変動幅を調べた。なお、出力変動幅は
出力信号値の平均値を基準として規格化したものである
。これらの結果を第２表に併記する。

第２表から明らかなように実施例１２．１３の差圧伝送
器は、実用されている差圧伝送器（比較例４）と同等か
それ以上の出力信号値を示している。しかし、実施例１
３のものは特に磁場のある環境下では出力の並動が大き
いのに対し、実施例１２のものは環境によらず極めて安
定した特性を示しており、耐環境性が良好である。

実施例１４〜１７ 第３表に示す組成を有する平均板厚５０μｍのＮ１基非
晶質合金を単ロール法により作成した。

これらの非晶質合金はいずれも液体ヘリウム温度まで常
磁性体である。これらの非晶質合金薄帯を用い、上記と
同様にして受圧ダイヤフラムの有効径３０曙の差圧伝送
器を製作した。なお、比較例１はＳＵＳ　３１６　Ｌを
、比較例２は”８０Ｂ２［］なる組成の非晶質合金をそ
れぞれ用いて製作した差圧伝送器である。

これらの差圧伝送器を磁場め強さの異なる５つの環境下
に設置し、圧力損失率を調べた。これらの結果を第３表
に併記する。

第３表から明らかなように、比較例１，２の差圧伝送器
は圧力損失率が大きく、その変動も大きいのに対し、実
施例１４〜１７の差圧伝送器はいずれも圧力損失率が小
さく、その変動”°゛も小さい。

実施例１８〜２５ 第４表に示す組成を有する平均板厚３０μｍの非晶質合
金薄帯を作成し、上記と同様に受圧ダイヤフラムの有効
径３０ｍの差圧伝送器を製作した。なお、比較例１はＳ
ＵＳ　３１６　Ｌを、比較例２は”８０８２０非晶質合
金を用いて製作された差圧伝送器である。

これらの差圧伝送器を用いて、各種の被測定液の差圧を
測定し、圧力損失率を調べた。また、各ダイヤフラムを
各種液体に浸漬して腐食の程度を調べた。これらの結果
を第４表に併記する。

第４表に示すように５ＵＳ３１６Ｌ（比較例１）及びＦ
８０Ｂ２０（比較例２）からなるダイヤプラムはある種
の液体に腐食された形跡がみられ、比較例２は腐食の度
合が最も著しかった。これに対して実施例１８〜２５の
差圧伝送器に用いられるダイヤフラムはどの液体にも優
れた耐食性を示した。また、実施例１８〜２５の差圧伝
送器はいずれも圧力損失率が低く、その変動も実施例２
１のもので若干大きい程度で、それ以外は非常に小さい
ものであった。

〔発明の効果〕

以上詳述した如く本発明によれば、軽量、小型でも圧力
伝達性が良好で、更には耐環境性、耐食性に優れた圧力
・差力伝送器を提供できるものである。

【図面の簡単な説明】

図は差圧伝送器本体の断面図である。 １．２・・・７２ンジ、１ｍ、２ｍ・・・流入口、３゜
４・・・受圧ダイヤフラム、３Ａ、４Ａ・・・受圧ダイ
ヤフラム座、ｓ、ｅｅｖ・・・ケーシング、８・・・シ
ール部、９・・・中間ダイヤフラム、１０・・・第１の
空間、１１・・・第２の空間、１２に、１２Ｂ・・・圧
力伝達媒体、１３・・・半導体感圧素子、１４．１５・
・・連通孔、１６・・・リード線。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）弾性金属薄板よりなる受圧ダイヤフラムを設け、
   被測定流体の圧力を検出して電気信号に変換し、外部に
   出力する感圧素子を備えた圧力・差圧伝送器において、
   前記弾性金属薄板の縦弾性係数Ｅが２０００〜１５００
   ０ｋｇ／ｍｍ＾２であることを特徴とする圧力・差圧伝
   送器。 （２）弾性合金薄板として液体急冷合金薄板を用いたこ
   とを特許請求の範囲第１項記載の圧力・差圧伝送器。 （３）弾性合金薄板として非晶質合金を用いたことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の圧力・
   差圧伝送器。 （４）非晶質合金が、次式 （Ｍ＿１＿−＿ａＴ＿ａ）＿１＿０＿０＿−＿ｍＺ＿ｍ
   （ただし、Ｍ＝Ｆｅ、ＣｏまたはＮｉのうち少なくとも
   １種、 Ｔ＝Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｕ、Ｃｒ、
   Ａｕ、Ａｇ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｒｅ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒ
   、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｙ、希土類元
   素のうち少なくとも１種、 Ｚ＝Ｂ、ＰよりなるグループとＳｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ａｌよ
   りなるグループとのそれぞれのうち から少なくとも１種、 ０≦ａ≦０．３、１０≦ｍ≦４０） で表わされることを特徴とする特許請求の範囲第３項記
   載の圧力・差圧伝送器。 （５）非晶質合金が、次式 （Ｎｉ＿１＿−＿ｂ＿−＿ｃＭ′＿ｂＴ′＿ｃ）＿１＿
   ０＿０＿−＿ｍＺ＿ｍ（ただし、Ｍ′＝Ｆｅ又はＣｏの
   うち少なくとも１種、 Ｔ′＝Ｔｉ、Ｖ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ
   、Ｗ、希土類元素のうち少なくとも１種、 Ｚ＝Ｂ、ＰよりなるグループとＳｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ａｌよ
   りなるグループとのそれぞれのうち から少なくとも１種、 Ｍ′＝Ｆｅのときｂ≦０．３、Ｍ′＝Ｃｏのときｂ≦０
   ．４、０≦ｃ≦０．３、１０≦ｍ≦４０） で表わされる非磁性の非晶質合金であることを特徴とす
   る特許請求の範囲第３項記載の圧力・差圧伝送器。 （６）非晶質合金が、次式 （Ｎｉ＿１＿−＿ｂ＿−＿ｃＭ′＿ｂＴ′＿ｃ）＿１＿
   ０＿０＿−＿ｍＺ＿ｍ（ただし、Ｍ′＝ＦｅまたはＣｏ
   のうち少なくとも１種、 Ｔ′＝Ｔｉ、Ｖ、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ
   、Ｗ、希土類元素のうち少なくとも１種、 Ｚ＝Ｂ、ＰよりなるグループとＳｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ａｌよ
   りなるグループとのそれぞれのうち から少なくとも１種、 Ｍ′＝Ｆｅのときｂ≦０．３、Ｍ′＝Ｃｏのときｂ≦０
   ．４、０≦ｃ≦０．２、１２≦ｍ≦３０） で表わされる非磁性の非晶質合金であることを特徴とす
   る特許請求の範囲第５項記載の圧力・差圧伝送器。 （７）非晶質合金が、次式 （Ｍ＿１＿−＿ｄＴ″＿ｄ）＿１＿０＿０＿−＿ｍＺ＿
   ｍ（ただし、Ｍ＝Ｆｅ、Ｃｏ又はＮｉのうち少なくとも
   １種、 Ｔ″＝Ｃｒ、Ｃｕ、白金族元素のうち少なくとも１種、 Ｚ＝Ｂ、ＰよりなるグループとＳｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ａｌよ
   りなるグループとのそれぞれのうち から少なくとも１種、 ０．０２≦ｄ≦０．３０、１０≦ｍ≦４０）で表わされ
   る耐食性に優れた非晶質合金であることを特徴とする特
   許請求の範囲第３項記載の圧力・差圧伝送器。 （８）非晶質合金が、次式 （Ｎｉ＿１＿−＿ｅ＿−＿ｆ＿−＿ｇＭ′＿ｅＴ′＿ｆ
   Ｔ″＿ｇ）＿１＿０＿０＿−＿ｍＺ＿ｍ（ただし、Ｍ′
   ＝Ｆｅ又はＣｏのうち少なくとも１種、Ｔ′＝Ｔｉ、Ｖ
   、Ｍｎ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、希土類元
   素のうち少なくとも１種、 Ｔ″＝Ｃｒ、Ｃｕ、白金族元素のうち少なくとも１種、 Ｚ＝Ｂ、ＰよりなるグループとＳｉ、Ｇｅ、Ｃ、Ａｌよ
   りなるグループとのそれぞれのうち から少なくとも１種、 Ｍ′＝Ｆｅのときｅ≦０．３、Ｍ′＝Ｃｏのときｅ≦０
   ．４、０≦ｆ≦０．２０、０．０２≦ｇ≦０．２０、０
   ．０２≦ｆ＋ｇ≦０．３０、１０≦ｍ≦４０）で表わさ
   れる非磁性で耐食性に優れた非晶質合金であることを特
   徴とする特許請求の範囲第３項記載の圧力・差圧伝送器
   。