JPS6182653A - 四重極質量分析装置 - Google Patents
四重極質量分析装置Info
- Publication number
- JPS6182653A JPS6182653A JP59204599A JP20459984A JPS6182653A JP S6182653 A JPS6182653 A JP S6182653A JP 59204599 A JP59204599 A JP 59204599A JP 20459984 A JP20459984 A JP 20459984A JP S6182653 A JPS6182653 A JP S6182653A
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- JP
- Japan
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- electrode
- quadrupole
- main
- main electrode
- auxiliary
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は定性分析や定量分析に用いられる四重極質量分
析装置に関するものである。
析装置に関するものである。
（従来の技術）
四重極質量分析装置は、イオン源、四重Ｖｉ組電極び検
出器からなり、イオン源で生成したイオンが四重極電極
によって作られる高周波の双曲面電場を通過する時、特
定のｍ／ｚ（質量数と電荷数の比）をもつイオンのみが
安定な軌道を描いてその１！場を通り抜は検出器に達す
るのに対し、その他のｍ／ｚをもつイオンは検出器に達
することができないようにすることにより、質量による
イオンの選別を行なう。したがって、四重ｐｉ？ｌ！極
の加工精度や組立精度が悪いときは、特に高質量域にお
いて感度や分解能が低下する。
出器からなり、イオン源で生成したイオンが四重極電極
によって作られる高周波の双曲面電場を通過する時、特
定のｍ／ｚ（質量数と電荷数の比）をもつイオンのみが
安定な軌道を描いてその１！場を通り抜は検出器に達す
るのに対し、その他のｍ／ｚをもつイオンは検出器に達
することができないようにすることにより、質量による
イオンの選別を行なう。したがって、四重ｐｉ？ｌ！極
の加工精度や組立精度が悪いときは、特に高質量域にお
いて感度や分解能が低下する。
従来の四重極質量分析装置において、一般にｍ／ｚ＝１
０００を十分な感度と分解能で検出するには１〜３μｍ
程度の加工・組立精度が必要とさ九でいる。
０００を十分な感度と分解能で検出するには１〜３μｍ
程度の加工・組立精度が必要とさ九でいる。
（発明が解決しようとする問題点）
１〜３μｍ程度の精度を達成しようとすれば、非常に高
度な加工技術と計測器が必要となるだけでなく１小止り
が悪くなるという問題がある６本発明は容易に達成でき
る精度に加工・組立てが行なわれた四重極電極であって
も、高感度・高分解能を達成することのできる四重極Ｉ
Ｒ量分析装置を提供することを目的とするものである。
度な加工技術と計測器が必要となるだけでなく１小止り
が悪くなるという問題がある６本発明は容易に達成でき
る精度に加工・組立てが行なわれた四重極電極であって
も、高感度・高分解能を達成することのできる四重極Ｉ
Ｒ量分析装置を提供することを目的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明の四重極質量分析装置では、その四重極電極が主
四重極電極（以下、主電極という）と、この主電極とイ
オン源との間に設けられ、この主電極と同軸上でこの主
電極に対し所定の回転角をもって固定された補助四重極
電極（以下、補助電極という）とを備えている。
四重極電極（以下、主電極という）と、この主電極とイ
オン源との間に設けられ、この主電極と同軸上でこの主
電極に対し所定の回転角をもって固定された補助四重極
電極（以下、補助電極という）とを備えている。
（作用）
イオン源から出て主電極に入射するイオンは。
補助電極により主電極への入射位置と入射角が調整され
た後、主電極において従来の四重極電極と同様の双曲面
電場により選別される。
た後、主電極において従来の四重極電極と同様の双曲面
電場により選別される。
補助電極は主電極への入射イオンの入射条件を調整する
ことにより、主電極の不完全さに起因する電場の乱れの
影響を少なくする。
ことにより、主電極の不完全さに起因する電場の乱れの
影響を少なくする。
（実施例）
第１図は一実施例における四重極電極を表わす。
２は主電極、４は補助電極で、Ａ側にイオン源（図示略
）、Ｂ側に検出器（図示略）が位置する。
）、Ｂ側に検出器（図示略）が位置する。
主電極２と補助電極４は同一断面形状をもつ四重極電極
で、それぞれの加工・組立て精度は１゜μｍ程度である
。補助電極４は主電極２よりも短かい。（例えば主？Ｉ
！極２は２００ｍｍ、補助電極４は５０ｍｍである。）
主電極２と補助電極４は同軸上で接触しないようにし
てできるだけ接近して設けられ、両電極２，４には直流
と高周波交流を重ね合わせた同一の電圧が印加される。
で、それぞれの加工・組立て精度は１゜μｍ程度である
。補助電極４は主電極２よりも短かい。（例えば主？Ｉ
！極２は２００ｍｍ、補助電極４は５０ｍｍである。）
主電極２と補助電極４は同軸上で接触しないようにし
てできるだけ接近して設けられ、両電極２，４には直流
と高周波交流を重ね合わせた同一の電圧が印加される。
主電極２と補助電極４の相対的な回転角ｅは、両電極２
．４に所定の電圧を印加しイオンを入射させて測定を行
ないつつ、補助＠極４を回転させて感度や分解能が最も
改善される位置で固定される。
．４に所定の電圧を印加しイオンを入射させて測定を行
ないつつ、補助＠極４を回転させて感度や分解能が最も
改善される位置で固定される。
第２図は電極の加工・組立て精度が約１０μｍの従来の
四重極質量分析装置にょるＰＦＴＢＡ（パーフルオロト
リブチルアミン）の ｍ ／ ｚ ＝５０２近傍のスペ
クトルである。一方、第３図は、電極の加工・組立て精
度は同じく約１０μｍであるが補助電極を備えた本発明
の一実施例の四重極質景分析装置において、最適な状態
に調整したときの同じ試料によるｍ／ｚ＝５０２近傍の
スペクトルである。 従来の装置ではｍ ／ ｚ ＝
５０２と５０３のピークが分離されていないのに対し、
本実施例による方はｍ／ｚ＝５０２と５０３のピークが
十分分、離されており、感度・分解能ともに改善されて
いることがわかる。
四重極質量分析装置にょるＰＦＴＢＡ（パーフルオロト
リブチルアミン）の ｍ ／ ｚ ＝５０２近傍のスペ
クトルである。一方、第３図は、電極の加工・組立て精
度は同じく約１０μｍであるが補助電極を備えた本発明
の一実施例の四重極質景分析装置において、最適な状態
に調整したときの同じ試料によるｍ／ｚ＝５０２近傍の
スペクトルである。 従来の装置ではｍ ／ ｚ ＝
５０２と５０３のピークが分離されていないのに対し、
本実施例による方はｍ／ｚ＝５０２と５０３のピークが
十分分、離されており、感度・分解能ともに改善されて
いることがわかる。
実施例では主電極２と補助電極４に同一の電圧が印加さ
れているが、補助電極４への印加電圧を主電極２への印
加電圧と異なるものとすることもできる。その場合、主
電極２へのイオンの入射条件は、補助電極４の回転角ｅ
と印加電圧の両方により調整することができるようにな
り、その調整の自由度が大きくなる。イオン源の種類１
例えば電子衝撃型イオン源、化学イオン化イオン源。
れているが、補助電極４への印加電圧を主電極２への印
加電圧と異なるものとすることもできる。その場合、主
電極２へのイオンの入射条件は、補助電極４の回転角ｅ
と印加電圧の両方により調整することができるようにな
り、その調整の自由度が大きくなる。イオン源の種類１
例えば電子衝撃型イオン源、化学イオン化イオン源。
Ｆ Ｄ （Ｆｉｅｌｄ Ｄｅｓｏｒｐｔ、１ｏｎ）型イ
オン源、 ＦＡＢ（Ｆａｓｔ、 Ａｔ、ｏＩＩＩＢｏ
ｍｂａｒｄｍｅｎｔ、）型イオン源、ＳＩＭＳ（Ｓｅｃ
ｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ ５ｐｅｃｔ、ｒｏｍ
ｅｔ、ｒｙ）型イオン源など、の相違によって、また負
イオンの場合などによって、主電極へのイオン入射条件
が異なってくるが、その場合でも補助電極の回転角θと
印加電圧をともに調整することにより最適なイオン入射
条件を得ることが容易になる。
オン源、 ＦＡＢ（Ｆａｓｔ、 Ａｔ、ｏＩＩＩＢｏ
ｍｂａｒｄｍｅｎｔ、）型イオン源、ＳＩＭＳ（Ｓｅｃ
ｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ ５ｐｅｃｔ、ｒｏｍ
ｅｔ、ｒｙ）型イオン源など、の相違によって、また負
イオンの場合などによって、主電極へのイオン入射条件
が異なってくるが、その場合でも補助電極の回転角θと
印加電圧をともに調整することにより最適なイオン入射
条件を得ることが容易になる。
（発明の効果）
本発明によれば、例えば１０μｍ程度というような比較
的容易に達成できる加工・組立て精度で構成された四重
ｔ＠質量分析装置においても、十分な感度と分解能を実
現することができる。
的容易に達成できる加工・組立て精度で構成された四重
ｔ＠質量分析装置においても、十分な感度と分解能を実
現することができる。
四重極電極の生産においては高度な加工技術と計測器を
必要とせず、また小止りが向上するため生産コストを低
くすることができる。
必要とせず、また小止りが向上するため生産コストを低
くすることができる。
第１図は一実施例における四重極電極を示す斜視図、第
２図及び第３図はそれぞれ同程度の精度で製造された従
来装置と本発明の一実施例の装置におけるスペクトルを
示す図である。 ２・・・・・・主電極、 ４・・・・・・補助電極。
２図及び第３図はそれぞれ同程度の精度で製造された従
来装置と本発明の一実施例の装置におけるスペクトルを
示す図である。 ２・・・・・・主電極、 ４・・・・・・補助電極。
Claims (1)
- （１）イオン源、四重極電極、及び検出器を備えたもの
において、 前記四重極電極が主四重極電極と、この主四重極電極と
イオン源との間に設けられ、この主四重極電極と同軸上
でこの主四重極電極に対し所定の回転角をもって固定さ
れた補助四重極電極とを備えていることを特徴とする四
重極質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59204599A JPS6182653A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 四重極質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59204599A JPS6182653A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 四重極質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182653A true JPS6182653A (ja) | 1986-04-26 |
| JPH0547935B2 JPH0547935B2 (ja) | 1993-07-20 |
Family
ID=16493127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59204599A Granted JPS6182653A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 四重極質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182653A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6153880A (en) * | 1999-09-30 | 2000-11-28 | Agilent Technologies, Inc. | Method and apparatus for performance improvement of mass spectrometers using dynamic ion optics |
| GB2415088A (en) * | 2004-06-11 | 2005-12-14 | Bruker Daltonik Gmbh | Guides with movable rf multipole segments |
| JP2007095702A (ja) * | 1995-08-11 | 2007-04-12 | Mds Health Group Ltd | 軸電界を有する分析計 |
| US7351963B2 (en) | 2004-08-03 | 2008-04-01 | Bruker Daltonik, Gmbh | Multiple rod systems produced by wire erosion |
| US8314385B2 (en) | 2011-04-19 | 2012-11-20 | Bruker Daltonics, Inc. | System and method to eliminate radio frequency coupling between components in mass spectrometers |
| CN107017150A (zh) * | 2016-01-27 | 2017-08-04 | 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 | 四极杆质谱仪 |
| WO2020121257A1 (en) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Effective potential matching at boundaries of segmented quadrupoles in a mass spectrometer |
| CN113363131A (zh) * | 2020-03-03 | 2021-09-07 | 萨默费尼根有限公司 | 用于减少电容耦合的多极组件配置 |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP59204599A patent/JPS6182653A/ja active Granted
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007095702A (ja) * | 1995-08-11 | 2007-04-12 | Mds Health Group Ltd | 軸電界を有する分析計 |
| JP2009076466A (ja) * | 1995-08-11 | 2009-04-09 | Mds Health Group Ltd | 軸電界を有する分析計 |
| JP4511505B2 (ja) * | 1995-08-11 | 2010-07-28 | エムディーエス アナリティカル テクノロジーズ | 軸電界を有する分析計 |
| JP4688921B2 (ja) * | 1995-08-11 | 2011-05-25 | エムディーエス アナリティカル テクノロジーズ | 軸電界を有する分析計 |
| US6153880A (en) * | 1999-09-30 | 2000-11-28 | Agilent Technologies, Inc. | Method and apparatus for performance improvement of mass spectrometers using dynamic ion optics |
| GB2415088A (en) * | 2004-06-11 | 2005-12-14 | Bruker Daltonik Gmbh | Guides with movable rf multipole segments |
| GB2415088B (en) * | 2004-06-11 | 2008-11-26 | Bruker Daltonik Gmbh | Guides with movable RF multipole segments |
| US7351963B2 (en) | 2004-08-03 | 2008-04-01 | Bruker Daltonik, Gmbh | Multiple rod systems produced by wire erosion |
| US8314385B2 (en) | 2011-04-19 | 2012-11-20 | Bruker Daltonics, Inc. | System and method to eliminate radio frequency coupling between components in mass spectrometers |
| GB2490214B (en) * | 2011-04-19 | 2016-08-31 | Bruker Daltonics Inc | System and method to eliminate radio frequency coupling between components in mass spectrometers field |
| CN107017150A (zh) * | 2016-01-27 | 2017-08-04 | 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 | 四极杆质谱仪 |
| JP2017152368A (ja) * | 2016-01-27 | 2017-08-31 | サーモ フィッシャー サイエンティフィック （ブレーメン） ゲーエムベーハー | 四重極型質量分析計 |
| US9934954B2 (en) | 2016-01-27 | 2018-04-03 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Quadrupole mass spectrometer |
| DE102017000329B4 (de) | 2016-01-27 | 2021-09-30 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Quadrupol-Massenspektrometer |
| WO2020121257A1 (en) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Effective potential matching at boundaries of segmented quadrupoles in a mass spectrometer |
| CN113272936A (zh) * | 2018-12-13 | 2021-08-17 | Dh科技发展私人贸易有限公司 | 质谱仪中分段四极边界处的有效电势匹配 |
| US11798797B2 (en) | 2018-12-13 | 2023-10-24 | Dh Technologies Development Pte Ltd | Effective potential matching at boundaries of segmented quadrupoles in a mass spectrometer |
| CN113363131A (zh) * | 2020-03-03 | 2021-09-07 | 萨默费尼根有限公司 | 用于减少电容耦合的多极组件配置 |
| EP3876262A1 (en) * | 2020-03-03 | 2021-09-08 | Thermo Finnigan LLC | Multipole assembly configurations for reduced capacitive coupling |
| US11201044B2 (en) | 2020-03-03 | 2021-12-14 | Thermo Finnigan Llc | Multipole assembly configurations for reduced capacitive coupling |
| US11756780B2 (en) | 2020-03-03 | 2023-09-12 | Thermo Finnigan Llc | Multipole assembly configurations for reduced capacitive coupling |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0547935B2 (ja) | 1993-07-20 |
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