JPH0547935B2 - - Google Patents

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JPH0547935B2
JPH0547935B2 JP59204599A JP20459984A JPH0547935B2 JP H0547935 B2 JPH0547935 B2 JP H0547935B2 JP 59204599 A JP59204599 A JP 59204599A JP 20459984 A JP20459984 A JP 20459984A JP H0547935 B2 JPH0547935 B2 JP H0547935B2
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JP
Japan
Prior art keywords
electrode
quadrupole
main
ion source
main electrode
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP59204599A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6182653A (ja
Inventor
Tosha Kubodera
Hiroto Itoi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP59204599A priority Critical patent/JPS6182653A/ja
Publication of JPS6182653A publication Critical patent/JPS6182653A/ja
Publication of JPH0547935B2 publication Critical patent/JPH0547935B2/ja
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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34—Dynamic spectrometers
    • H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は定性分析や定量分析に用いられる四重
極質量分析装置に関するものである。
（従来の技術） 四重極質量分析装置は、イオン源、四重極電極
及び検出器からなり、イオン源で生成したイオン
が四重極電極によつて作られる高周波の双曲面電
場を通過する時、特定のｍ／ｚ（質量数と電荷数
の比）をもつイオンのみが安定な軌道を描いてそ
の電場を通り抜け検出器に達するのに対し、その
他のｍ／ｚをもつイオンは検出器に達することが
できないようにすることにより、質量によるイオ
ンの選別を行なう。したがつて、四重極電極の加
工精度や組立精度が悪いときは、特に高質量域に
おいて感度や分解能が低下する。
従来の四重極質量分析装置において、一般に
ｍ／ｚ＝1000を十分な感度と分解能で検出するに
は１〜3μm程度の加工・組立精度が必要とされて
いる。
（発明が解決しようとする問題点） １〜3μm程度の精度を達成しようとすれば、非
常に高度な加工技術と計測器が必要となるだけで
なく、歩止りが悪くなるという問題がある。
本発明は容易に達成できる精度に加工・組立て
が行なわれた四重極電極であつても、高感度・高
分解能を達成することのできる四重極質量分析装
置を提供することを目的とするものである。
（問題点を解決するための手段） 本発明の四重極質量分析装置では、その四重極
電極が主四重極電極（以下、主電極という）と、
この主電極とイオン源との間に設けられ、この主
電極と同軸上でこの主電極に対し所定の回転角を
もつて固定された補助四重極電極（以下、補助電
極という）とを備えている。
（作用） イオン源から出て主電極に入射するイオンは、
補助電極により主電極への入射位置と入射角が調
整された後、主電極において従来の四重極電極と
同様の双曲面電場により選別される。
補助電極は主電極への入射イオンの入射条件を
調整することにより、主電極の不完全さに起因す
る電場の乱れの影響を少なくする。
（実施例） 第１図は一実施例における四重極電極を表わ
す。２は主電極、４は補助電極で、Ａ側にイオン
源（図示略）、Ｂ側に検出器（図示略）が位置す
る。主電極２と補助電極４は同一断面形状をもつ
四重極電極で、それぞれの加工・組立て精度は
10μm程度である。補助電極４は主電極２よりも
短い。（例えば主電極２は200mm、補助電極４は50
mmである。）主電極２と補助電極４は同軸上で接
触しないようにしてできるだけ接近して設けら
れ、両電極２，４には直流と高周波交流を重ね合
わせた同一の電圧が印加される。主電極２と補助
電極４の相対的な回転角Θは、両電極２，４に所
定の電圧を印加しイオンを入射させて測定を行な
いつつ、補助電極４を回転させて感度や分解能が
最も改善される位置で固定される。
第２図は電極の加工・組立て精度が約10μmの
従来の四重極質量分析装置によるPFTBA（パー
フルオロトリブチルアミン）のｍ／ｚ＝502近傍
のスペクトルである。一方、第３図は、電極の加
工・組立て精度は同じく約10μmであるが補助電
極を備えた本発明の一実施例の四重極質量分析装
置において、最適な状態に調整したときの同じ試
料によるｍ／ｚ＝502近傍のスペクトルである。
従来の装置ではｍ／ｚ＝502と503のピークが分離
されていないのに対し、本実施例による方はｍ／
ｚ＝502と503のピークが十分分離されており、感
度・分解能ともに改善されていることがわかる。
実施例では主電極２と補助電極４に同一の電圧
が印加されているが、補助電極４への印加電圧を
主電極２への印加電圧と異なるものとすることも
できる。その場合、主電極２へのイオンの入射条
件は、補助電極４の回転角Θと印加電圧の両方に
より調整することができるようになり、その調整
の自由度が大きくなる。イオン源の種類、例えば
電子衝撃型イオン源、化学イオン化イオン源、
FD（Field Desorption）型イオン源、FAB（Fast
Atom Bombardment）型イオン源、SIMS
（Secondary Ion Mass Spectrometry）型イオ
ン源など、の相違によつて、また負イオンの場合
などによつて、主電極へのイオン入射条件が異な
つてくるが、その場合でも補助電極の回転角Θと
印加電圧をともに調整することにより最適なイオ
ン入射条件を得ることが容易になる。
（発明の効果） 本発明によれば、例えば10μm程度というよう
な比較的容易に達成できる加工・組立て精度で構
成された四重極質量分析装置においても、十分な
感度と分解能を実現することができる。
四重極電極の生産においては高度な加工技術と
計測器を必要とせず、また歩止りが向上するため
生産コストを低くすることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は一実施例における四重極電極を示す斜
視図、第２図及び第３図はそれぞれ同程度の精度
で製造された従来装置と本発明の一実施例の装置
におけるスペクトルを示す図である。 ２……主電極、４……補助電極。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ イオン源、四重極電極、及び検出器を備えた
    ものにおいて、 前記四重極電極が主四重極電極と、この主四重
    極電極とイオン源との間に設けられ、この主四重
    極電極と同軸上でこの主四重極電極に対し所定の
    回転角をもつて固定された補助四重極電極とを備
    えていることを特徴とする四重極質量分析装置。
JP59204599A 1984-09-28 1984-09-28 四重極質量分析装置 Granted JPS6182653A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59204599A JPS6182653A (ja) 1984-09-28 1984-09-28 四重極質量分析装置

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JP59204599A JPS6182653A (ja) 1984-09-28 1984-09-28 四重極質量分析装置

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Publication Number Publication Date
JPS6182653A JPS6182653A (ja) 1986-04-26
JPH0547935B2 true JPH0547935B2 (ja) 1993-07-20

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ID=16493127

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59204599A Granted JPS6182653A (ja) 1984-09-28 1984-09-28 四重極質量分析装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Also Published As

Publication number Publication date
JPS6182653A (ja) 1986-04-26

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