JPS6153930U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6153930U JPS6153930U JP13873284U JP13873284U JPS6153930U JP S6153930 U JPS6153930 U JP S6153930U JP 13873284 U JP13873284 U JP 13873284U JP 13873284 U JP13873284 U JP 13873284U JP S6153930 U JPS6153930 U JP S6153930U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- support pin
- electrode
- substrate support
- supports
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
Description
第１図は、本考案による基板支持ピーンの一実
施例を示す電極部の縦断面図、第２図は、第１図
の基板支持ピンの詳細縦断面図である。 １０…電極、２０…基板支持ピン、２１…上部
ピン、２２…下部ピン。
施例を示す電極部の縦断面図、第２図は、第１図
の基板支持ピンの詳細縦断面図である。 １０…電極、２０…基板支持ピン、２１…上部
ピン、２２…下部ピン。
Claims (1)
- 電極を貫通して設けられ該電極への基板の載置
並びに除去時に該基板を被処理面反対面側から支
持する基板支持ピンにおいて、前記基板支持ピン
を着脱可能に長手方向で少なくても二分割したこ
とを特徴とする基板支持ピン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13873284U JPS6153930U (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13873284U JPS6153930U (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6153930U true JPS6153930U (ja) | 1986-04-11 |
Family
ID=30697128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13873284U Pending JPS6153930U (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6153930U (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63179525A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 | Tokyo Electron Ltd | アッシング装置 |
| JPS63244643A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-12 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JPH0258336U (ja) * | 1988-10-19 | 1990-04-26 | ||
| JPH08279473A (ja) * | 1995-04-06 | 1996-10-22 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 半導体ウエハーの熱処理装置 |
| JP2019083307A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-05-30 | バット ホールディング アーゲー | 動的靭帯バランシングシステム |
-
1984
- 1984-09-14 JP JP13873284U patent/JPS6153930U/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63179525A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 | Tokyo Electron Ltd | アッシング装置 |
| JPS63244643A (ja) * | 1987-03-30 | 1988-10-12 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JPH0258336U (ja) * | 1988-10-19 | 1990-04-26 | ||
| JPH08279473A (ja) * | 1995-04-06 | 1996-10-22 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 半導体ウエハーの熱処理装置 |
| JP2019083307A (ja) * | 2017-08-31 | 2019-05-30 | バット ホールディング アーゲー | 動的靭帯バランシングシステム |