JPS6152307A - Method and device for producing pulverous metallic powder - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain pulverous metallic powder having high purity with good productivity by supplying pellets formed by pelletizing a metallic chloride to the melt of the same kind of metal and subjecting the same to plasma heating in the presence of gaseous hydrogen. CONSTITUTION:The pellets P pelletized from the pulverous metallic powder are powder are supplied into a furnace body 1. The supply is preferably executed in an atmosphere of gaseous hydrogen and gaseous argon. The pellets are supplied toward the recess 5 of a crucible 4 and the melt M of the same kind of metal as the pellets P is held in the recess 5. The formation and holding of the melt M are executed by the injection of the plasma arc from a plasma torch 2 using gaseous hydrogen, etc. as a working gas. The supplied pellets P are captured by the melt M and are heated over the entire part by the presence of the gaseous hydrogen. The pellets are immediately reduced to metallic smoke V which is ejected through a discharge port 3. The ejected smoke V is captured and refined by the conventional practice.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は金属の塩化物のペレットをプラズマ加熱する金
属微粉末の製造方法及び装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a method and apparatus for producing fine metal powder by plasma heating pellets of metal chloride.

近年、金属微粉末は、その金属塊には全く見られないよ
うな磁気特性、光学特性、電気特性、化学反応性及び焼
結性等によシ、大容量の磁気メモリー、センサ、太陽熱
吸収塗料、超電導材料、高効率触媒、新焼結体等、その
新規利用分野が急展開している。In recent years, fine metal powders have been developed to have magnetic, optical, electrical, chemical reactivity, and sintering properties that are not found in metal blocks, and are used in large-capacity magnetic memories, sensors, and solar heat-absorbing paints. New fields of use are rapidly developing, such as superconducting materials, high-efficiency catalysts, and new sintered bodies.

本発明は、かかる新規利用に応える高純度の金属微粉末
を生産性良く製造することができる金属微粉末の製造方
法及び装置に関するものである。The present invention relates to a method and apparatus for producing fine metal powder, which can produce fine metal powder with high productivity to meet such new uses.

〈従来の技術とその問題点〉 従来、金属微粉末の製造手段として、化学的手段と物理
的手段が採用されている。前者の化学的手段は、溶液中
での化学反応によシ沈澱物として金属微粉末を得たシ、
或いは金属よシも蒸気圧が大きく且つ融点の低い金属化
合物、例えば金属の塩化物を、加熱蒸発させて水素で還
元し、金属微粉末を捕集するものであるが、これらの従
来手段によると、得られる金属微粉末の粒径が大きく、
また該金属微粉末が水分や副生成物等で汚染されること
を避けられないために純度の低いものとなる問題点があ
る。また後者の物理的手段は、真空蒸発法と通称され、
金属を低圧の不活性ガス中で加熱蒸発させて金属微粉末
を捕集するもので、現在一般的に採用されているが、こ
の従来手段によると、粒径が小さく且つ純度の高いもの
が得られる反面、蒸発速度が遅いために生産性が低く、
シたがって高価なものとなる問題点がある。<Prior art and its problems> Conventionally, chemical means and physical means have been employed as means for producing fine metal powder. The former chemical method involves obtaining fine metal powder as a precipitate through a chemical reaction in a solution;
Alternatively, metal compounds with high vapor pressure and low melting points, such as metal chlorides, are heated and evaporated and reduced with hydrogen to collect fine metal powder, but according to these conventional methods, , the particle size of the obtained metal fine powder is large,
Furthermore, there is a problem that the metal fine powder is inevitably contaminated with moisture, by-products, etc., resulting in low purity. The latter physical method is commonly known as vacuum evaporation method.
This method collects fine metal powder by heating and vaporizing the metal in a low-pressure inert gas, and is currently commonly used.This conventional method yields particles with small particle size and high purity. On the other hand, productivity is low due to slow evaporation rate.
Therefore, there is a problem that it is expensive.

最近、プラズマ水素ガスの金属に対する反応性を利用し
、金属をプラズマ加熱する金属微粉末の製造手段（通称
、ガス中蒸発法）が提案されている（例えば、雑誌「化
学と工業」、第３６巻第８号、７２〜７４頁、１９８３
年）。これは、水素ガス雰囲気下に金属をプラズマ加熱
し、この際、溶融金属の周辺部から激しく発生する所謂
金属煙を捕集するものでちるが、この手段でも依然とし
て、得られる金属微粉末の生産性の点で問題点があシ、
シかも加熱に伴って生じる溶融物の飛散で粒径の大きな
粒が混入する等地の問題点もある。Recently, a method for producing fine metal powder (commonly known as evaporation in gas method) has been proposed, which utilizes the reactivity of plasma hydrogen gas to metal and heats the metal with plasma. Volume No. 8, pp. 72-74, 1983
Year). This method involves plasma heating the metal in a hydrogen gas atmosphere and collecting the so-called metal smoke that is violently generated from the periphery of the molten metal, but even with this method, it is still difficult to produce the resulting fine metal powder. There are problems in terms of sexuality,
However, there are also problems such as particles with large diameters being mixed in due to the scattering of the melt that occurs during heating.

〈発明が解決しようとする問題点〉 本発明は斜上の如き従来手段の問題点を解決するもので
、金属の塩化物のペレットを特定条件下でプラズマ加熱
することを骨子として、高純度の金属微粉末を生産性良
く（具体的には単位時間当たシの処理量や収率を向上す
ること）、シたがって経済的に製造する金属微粉末の製
造方法及び装置を提供するものである。<Problems to be Solved by the Invention> The present invention solves the problems of conventional methods such as slanting. The purpose of the present invention is to provide a method and apparatus for producing fine metal powder with high productivity (specifically, by improving the throughput and yield per unit time) and thus economically. be.

〈問題点を解決するだめの手段〉 しかして本発明者らは、得られる金属微粉末の粒度、純
度及び生産性を平均的に充足する上で従来手段の中では
比較的有効なプラズマ加熱による金属微粉末の製造手段
について鋭意研究した結果、この従来手段において前記
生産性等がなお不充分であるという問題の所在がプラズ
マ加熱で発生させる所謂金属塩（金属蒸気）それ自体の
量的及び質的なところにあシ、かかる問題を解決するに
は、金属の塩化物のペレットを処理対象として、これを
同種金属の溶湯へ一旦捕捉させつつ水素ガス存在下にプ
ラズマ加熱することが極めて有効であることを見出し、
本発明を完成するに到った。<Means to Solve the Problems> However, the present inventors have found that plasma heating is relatively effective among conventional means in achieving the average particle size, purity, and productivity of the obtained metal fine powder. As a result of intensive research on the means for producing fine metal powder, we found that the problem with the above-mentioned productivity, etc., being still insufficient with this conventional method lies in the quantity and quality of the so-called metal salt (metal vapor) itself generated by plasma heating. In order to solve this problem, it is extremely effective to treat metal chloride pellets and heat them with plasma in the presence of hydrogen gas while temporarily trapping them in a molten metal of the same type. I discovered something,
The present invention has now been completed.

すなわち本発明は、 金属の塩化物を造粒してペレットにし、このペレットを
同種金属の溶湯へ供給しつつ水素ガス存在下にプラズマ
加熱することを特徴とする金属微粉末の製造方法に係る
発明と、この製造方法の発明の実施に直接使用するとこ
ろの、 一端にプラズマトーチが装備され且つ他端に排気口が開
口された略々Ｖ字形の炉体であって、該炉体のｔｌぼ中
央底側にルツボが取付けられ、該ルツボには金属の溶湯
を保持する陥部が形成されていて、該ルツボに対向する
前記炉体の上側に金属の塩化物のペレットの供給口が開
口されて成る金属微粉末の製造装置に係る発明とからな
っている。That is, the present invention relates to a method for producing fine metal powder, which comprises granulating a metal chloride into pellets, supplying the pellets to a molten metal of the same kind, and heating the pellets with plasma in the presence of hydrogen gas. and a roughly V-shaped furnace body, which is equipped with a plasma torch at one end and has an exhaust port at the other end, which is directly used in carrying out the invention of this manufacturing method. A crucible is attached to the center bottom side, and the crucible has a recess formed therein for holding molten metal, and a supply port for the pellets of metal chloride is opened at the upper side of the furnace body facing the crucible. The present invention relates to an apparatus for producing fine metal powder.

以下、図面に基づいて本発明の構成を更に詳細に説明す
る。Hereinafter, the configuration of the present invention will be explained in more detail based on the drawings.

第１図は本発明に係る装置の一実施例を示す断面図（一
部省略）、また第２図はその部分拡大図であるが、これ
ら社同時に本発明に係る方法の実施状態をも例示してい
るので、そこで以下、先ず本発明に係る装置の構成を説
明し、次にその作用の項で、本発明に係る方法の構成を
併せて説明する。FIG. 1 is a cross-sectional view (partially omitted) showing an embodiment of the apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged view thereof, which also illustrates the implementation state of the method according to the present invention. Therefore, the structure of the apparatus according to the present invention will be explained first, and then the structure of the method according to the present invention will also be explained in the section of its operation.

略々Ｖ字形の炉体１があシ、この炉体１は当然ではある
が中空に形成されていて、７字形のその一端にはプラズ
マトーチ２が装備され、その他端には排気口３が開口さ
れている。炉体１のほぼ中央底側にはルツボ４が取付け
られておシ、とのルツボ４は銅製で水冷されるようにな
っていて、金属の溶湯Ｍを保持することができる陥部５
が形成されている。そして、このルツボ４に対向するが
如く、炉体１の上側には金属の塩化物のペレットＰの供
給口６が開口されている。図面の場合にはまた、供給口
６の外側に水素ガス及び／又はアルゴンガスの流入ロア
が周設されている。There is a roughly V-shaped furnace body 1, which is naturally hollow, with a plasma torch 2 installed at one end of the 7-shape, and an exhaust port 3 at the other end. It is opened. A crucible 4 is attached to the bottom of the furnace body 1, which is made of copper and is water-cooled, and has a recess 5 that can hold the molten metal M.
is formed. A supply port 6 for metal chloride pellets P is opened in the upper side of the furnace body 1 so as to face the crucible 4 . In the case of the drawing, an inflow lower for hydrogen gas and/or argon gas is also provided around the outside of the supply port 6.

第３図は本発明に使用される他のルツボを例示する拡大
平面図、第４図はそのＡ−Ａ線部分断面図、第５図は同
じ＜Ｂ−Ｂ線部分断面図である。FIG. 3 is an enlarged plan view illustrating another crucible used in the present invention, FIG. 4 is a partial cross-sectional view taken along the line A-A, and FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along the line B-B.

ルツボ８は、外周平面が円形であシ、そのほぼ中央に周
囲を傾斜面９，１０，１１．１２で囲まれている二段階
の陥部１３．１４が形成されているもので、主として陥
没の程度が大きい方の陥部１３に金属の溶湯が保持され
るようになっている。The crucible 8 has a circular outer circumferential plane, and a two-stage recess 13.14 surrounded by inclined surfaces 9, 10, 11.12 is formed at approximately the center of the crucible 8. The molten metal is held in the recess 13 with a greater degree of .

〈作用〉 第１図及び第２図を引用して、本発明に係る装置の作用
を以下に説明するが、ここで併せて、本発明に係る方法
の構成を説明する。本発明において処理対象となるのは
、金属の塩化物を造粒したペレットである。この種のペ
レットは、例えば塩化ニッケル（ＮｉＣ／２）や塩化第
一鉄（ＦｅＣｈ）等の粉体を既によく知られている造粒
機に供して、容易に得ることができる。使用する金属の
塩化物は、結晶水を含むものでも（例えばＮｉＣ／ｚ・
６Ｈ２０）、又は所謂無水物でもよいが、これらの粉体
から造粒したペレットは、以後の処理の安定化等の点で
、乾燥したものを対象とするのが好ましい。<Operation> The operation of the apparatus according to the present invention will be explained below with reference to FIGS. 1 and 2, and the configuration of the method according to the present invention will also be explained here. In the present invention, the object to be treated is pellets obtained by granulating metal chloride. Pellets of this type can be easily obtained, for example, by subjecting a powder of nickel chloride (NiC/2), ferrous chloride (FeCh), or the like to a well-known granulator. The metal chloride used may contain water of crystallization (for example, NiC/z・
6H20) or a so-called anhydride, but it is preferable that the pellets granulated from these powders be dried from the viewpoint of stabilizing subsequent processing.

前記ベレン）Ｐを供給口６から炉体１の内部へ自重落下
により供給する。この場合の供給は、本発明の性質上、
水素ガス及び／又はアルゴンガスの雰囲気中で行うのが
好ましい。そして、供給方向はルツボ４の陥部５である
。この陥部５には予め処理対象であるベレン）Ｐと同種
金属の溶湯Ｍを作成しておき、以後処理中はかかる溶湯
Ｍを保持する。溶湯Ｍの作成及び保持は、前述したよう
な特殊形状のルツボ５による溶湯Ｍの保持効果のもとに
、水素ガス又は、水素ガスとアルゴンガスを作動ガスと
するプラズマトーチ２からのプラズマアーク（プラズマ
ジェット）の噴射によってなされる。したがって、供給
口６から供給されたペレットＰは一旦溶湯Ｍに捕捉され
る。捕捉されたペレットＰは、前記プラズマアークで高
温加熱されている溶湯Ｍによって、炉体１における水素
ガス存在下に、全体を加熱され、直ちに還元されて、所
謂金属煙（金属蒸気）■となる。この金属煙Ｖは前記プ
ラズマアークの噴射流に乗るが如く排気口３から搬出さ
れる。搬出された金属煙Ｖは以下、常法にしだがって気
相で凝縮させてもよいが、金属煙Ｖを高温のｉｔで急冷
水捕集し、これによって生成する懸濁液を固液分離して
、分離した固形分を水素ガス気流中にて例えば３００　
’Ｃ程度で間接加熱し、還元精製するのが好ましい。The above-mentioned belen) P is supplied from the supply port 6 to the inside of the furnace body 1 by falling under its own weight. Due to the nature of the invention, the supply in this case is
It is preferable to carry out in an atmosphere of hydrogen gas and/or argon gas. The supply direction is the recess 5 of the crucible 4. In this depression 5, a molten metal M of the same type of metal as the object to be treated (Belen) P is prepared in advance, and the molten metal M is held during the subsequent treatment. The molten metal M is created and held using hydrogen gas or a plasma arc ( This is done by jetting a plasma jet. Therefore, the pellets P supplied from the supply port 6 are once captured by the molten metal M. The captured pellets P are entirely heated in the presence of hydrogen gas in the furnace body 1 by the molten metal M heated at high temperature by the plasma arc, and are immediately reduced to become so-called metal smoke (metal vapor). . This metal smoke V is carried out from the exhaust port 3 as if riding on the jet flow of the plasma arc. The metal smoke V carried out may be condensed in the gas phase according to the conventional method, but the metal smoke V is collected with quenched water in a high-temperature IT, and the resulting suspension is separated into solid-liquid. The separated solid content is heated, for example, at 300° C. in a hydrogen gas stream.
It is preferable to perform indirect heating at a temperature of about 'C and reductive purification.

本発明では、金属の塩化物を造粒したペレットＰを処理
対象とする。したがって、それを構成する金属より蒸気
圧が高くしかも金属の塩化物自体は昇華によシ直接気化
するため、該ペレノ）Ｐは急速に蒸発し、またその処理
物が融滴となって飛散するようなことがない。加えて、
還元反応が気化した気体分子や電離イオンの形で行われ
るために還元によって生成した金属微粉末の粒径は極め
て小さい。また金属の塩化物を粉体のままで供給口６か
ら炉体１の内部へ供給すると、ペレットＰに比べて供給
速度が大きくとれない上に前記プラズマアークの噴射に
吹き飛ばされて、未反応のまま該粉体が排気口３から搬
出される不都合がある。In the present invention, pellets P, which are granulated metal chlorides, are treated. Therefore, since the vapor pressure is higher than that of the metal composing it, and the metal chloride itself vaporizes directly by sublimation, the pereno)P evaporates rapidly, and the processed product becomes molten droplets and scatters. There is no such thing. In addition,
Since the reduction reaction is carried out in the form of vaporized gas molecules and ionized ions, the particle size of the metal fine powder produced by reduction is extremely small. Furthermore, if metal chloride is fed into the furnace body 1 from the feed port 6 in powder form, the feed rate cannot be as high as that of pellets P, and the unreacted particles are blown away by the plasma arc jet. There is an inconvenience that the powder is carried out from the exhaust port 3 as it is.

したがって必然に、粉体のままで供給する場合には、そ
の供給量を抑制することとなるが、それでもなお、前記
不都合を避は難い。この結果、前述したような生産性及
び純度がともに低くなる。本発明においてベレン）Ｐを
対象とするのは、それが自重落下で連続的に供給される
ためその供給が容易というだけでなく、前記不都合を排
除して前述したような生産性及び純度を向上させること
ができるからである。Therefore, when supplying the powder as it is, the amount of supply must be suppressed, but the above-mentioned disadvantages are still unavoidable. As a result, both productivity and purity as described above become low. The purpose of the present invention is to use Belen) P not only because it is easily supplied because it is continuously supplied by falling under its own weight, but also because it eliminates the above-mentioned disadvantages and improves productivity and purity as described above. This is because it can be done.

まだ本発明では、ペレノ）Ｐを同種金属の溶湯Ｍで一旦
捕捉する。プラズマトーチ２からのプラズマアークで高
温加熱されている溶湯Ｍによって、ペレッ）Ｐの全体が
効率よく且つ均一に加熱され、したがって迅速且つ完全
にペレットＰが還元反応を受けるからであり、併せて溶
湯Ｍがペレッ）Ｐを捕捉することそれ自体によっても前
記不都合を排除できるからである。このような役割の溶
湯Ｍは、処理中において常時、ペレットＰの捕捉及びプ
ラズマアークによる加熱という双方との関係で、ほぼ固
定的に保持される必要がある。ルツボ４に陥部５を形成
しているのは、との陥部５がかかる必要を満たすからで
ある。In the present invention, Pereno) P is once captured in a molten metal M of the same kind of metal. This is because the entire pellet P is efficiently and uniformly heated by the molten metal M heated at high temperature by the plasma arc from the plasma torch 2, so that the pellet P undergoes a reduction reaction quickly and completely. This is because the above-mentioned disadvantage can be eliminated by M capturing P (Pellet) itself. The molten metal M, which plays such a role, needs to be held almost fixedly at all times during processing, both in terms of trapping the pellets P and heating by the plasma arc. The reason why the recess 5 is formed in the crucible 4 is that the recess 5 satisfies this need.

第３図〜第５図に例示したよりなルツボ８を代用すると
、ペレットＰの供給方向が若干ズしても、傾斜面９〜１
２によって結局、陥部１３に保持されてプラズマアーク
で直接加熱される最も温度の高くなった溶湯に捕捉され
ることとなるため、該ルツボ８に限定されるものではな
いが、陥部がその周囲を傾斜面で囲まれている形状のル
ツボが好ましい。第１図において、流入ロアから水素ガ
ス及び／又はアルゴンガスを流入すると、該ガスがペレ
ットＰを溶湯Ｍへ供給するその該当雰囲気Ｃをシールす
る。その結果、ペレットＰの供給方向のズレを抑制でき
るだけでなく、該当雰囲気Ｃの内部を相対的に高濃度の
水素ガス雰囲気とすることもできるため、ペレッ）Ｐの
還元反応をそれだけ促進できる。この際、ルツボ４を水
冷銅製のものとすれば、ルツボ４が消耗しないので、一
層高純度の金属微粉末が得られる。If the straight crucible 8 illustrated in FIGS. 3 to 5 is used instead, even if the feeding direction of the pellets P is slightly shifted,
2, the molten metal will eventually be captured in the hottest molten metal which is held in the recess 13 and directly heated by the plasma arc. A crucible whose periphery is surrounded by an inclined surface is preferable. In FIG. 1, when hydrogen gas and/or argon gas flows in from the inflow lower, the gas seals the corresponding atmosphere C that supplies the pellets P to the molten metal M. As a result, not only can the shift in the supply direction of the pellets P be suppressed, but also the inside of the atmosphere C can be made into a hydrogen gas atmosphere with a relatively high concentration, so that the reduction reaction of the pellets P can be promoted accordingly. At this time, if the crucible 4 is made of water-cooled copper, the crucible 4 will not be consumed, so that fine metal powder of even higher purity can be obtained.

更に本発明では、略々Ｖ字形の炉体１が好適に使用され
る。プラズマアークの噴射流に対する抵抗を少なくし、
該噴射流に乗せて還元生成した金属煙Ｖを排気口３から
搬出させるためであり、同時にその一方で、金属煙Ｖに
比べれば着るしく重い、ペレットＰの未反応破片や炉体
１等に起因する種々の不純物が、排気０．３から搬出さ
れないようにするためである。Further, in the present invention, a substantially V-shaped furnace body 1 is preferably used. Reduces resistance to plasma arc jet flow,
This is to carry out the metal smoke V generated by reduction on the jet stream from the exhaust port 3, and at the same time, it also removes the unreacted fragments of the pellets P, which are considerably heavier than the metal smoke V, the furnace body 1, etc. This is to prevent various impurities caused by this from being carried out from the exhaust gas.

〈発明の効果〉 以上説明した通りであるから、本発明によると、結果的
に高純度の極めて細かい金属微粉末を生産性良く製造す
ることができ、急展開している金属微粉末の新規利用に
対して質的及び量的に充分適応することができる効果が
ある。<Effects of the Invention> As explained above, according to the present invention, extremely fine metal powder of high purity can be produced with good productivity, and new uses of metal fine powder are being rapidly developed. It has the effect of being able to fully adapt to the situation both qualitatively and quantitatively.

〈実施例〉 第１図及び第２図に例示した装置を使用して、次の条件
で処理した。<Example> Using the apparatus illustrated in FIGS. 1 and 2, processing was carried out under the following conditions.

ペレット：無水塩化ニッケル（純度９９．４重量％）を
直径１６ｗＸ厚さ１０＋ｗ の円板状に造粒したもの ペレットの連続供給：１６７ｇ／分×２０分プラズマト
ーチ：出力８４　ＫＷ 作動ガス：水素ガス３ＯＮｌｙ分十アルゴンガス３５Ｎ
ｔｙ分 シールドガス：水素ガス３６０　Ｎ１７分ルツボ：水冷
銅製のもの 炉体の排気口よシ搬出される金属煙を高温のままで急冷
水捕集しく水タンクを３個直列に並び、排気口から排出
される金属煙を順次水中へ通した）、この際得られる懸
濁液を固液分離（濾過）して、分離した固形分を水素ガ
ス気流中で加熱した（３００°Ｃ，２時間／固形分１０
０ｆ）。回収した金属微粉末を分析した結果、試験回数
２０回の総合で、前記金属煙の発生速度は６ｓ、１ｑ／
分、金属微粉末の収率９０重量−以上、純度９８重量−
以上、酸素含有率１．０重量％以下、塩素含有率０．０
１重量％以下であった。Pellet: Anhydrous nickel chloride (purity 99.4% by weight) granulated into a disk shape with a diameter of 16w and a thickness of 10+w Continuous supply of pellets: 167g/min x 20min Plasma torch: Output 84KW Working gas: Hydrogen gas 3ONly argon gas 35N
ty minutes Shielding gas: Hydrogen gas 360N 17 minutes Crucible: Made of water-cooled copper Three water tanks are lined up in series to collect the metal smoke carried out from the exhaust port of the furnace body with quenching water while maintaining its high temperature. The discharged metal fumes were sequentially passed into water), the resulting suspension was subjected to solid-liquid separation (filtration), and the separated solids were heated in a hydrogen gas stream (300°C, 2 hours/ Solid content 10
0f). As a result of analyzing the recovered metal fine powder, the generation rate of the metal smoke was 6s, 1q/
minute, yield of fine metal powder 90% by weight or more, purity 98% by weight
Above, oxygen content 1.0% by weight or less, chlorine content 0.0
It was 1% by weight or less.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明に係る装置の一実施例を示す断面図（一
部省略）、第２図はその部分拡大図、第３図は本発明に
使用されるルツボを例示する拡大平面図、第４図は第３
図のＡ−Ａ線部分断面図、第５図は同じ＜Ｂ−Ｂ線部分
断面図である。 １・・・炉体、　　　　　２・・・プラズマアーク、３
・・・排気口、　　　　４・８°ル２′・５　、１３　
、１４・・陥部、　　６・・・供給口、７・・・流入口
、　　　　　９　、１０　、１１　、１２・・・傾斜面
、Ｐ・・・ペレット、　　　Ｍ・・・溶湯、■・・・金
属煙、 代理人　弁理士　入　山　宏　正 第１図 を 第２図 第３図　　　ｒ、Ｂ 第４図　　　Ｌ′８ ＋４ 第５図 ！４FIG. 1 is a sectional view (partially omitted) showing an embodiment of the device according to the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged view thereof, and FIG. 3 is an enlarged plan view illustrating a crucible used in the present invention. Figure 4 is the third
FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along the line A--A in the figure, and FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along the line B-B. 1...Furnace body, 2...Plasma arc, 3
...Exhaust port, 4.8°le 2'.5, 13
, 14... recess, 6... supply port, 7... inlet, 9, 10, 11, 12... inclined surface, P... pellet, M... molten metal, ■... Metal smoke, agent Hiroshi Iriyama Masashi Figure 1 Figure 2 Figure 3 r, B Figure 4 L'8 +4 Figure 5! 4

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １　金属の塩化物を造粒してペレットにし、このペレッ
トを同種金属の溶湯へ供給しつつ水素ガス存在下にプラ
ズマ加熱することを特徴とする金属微粉末の製造方法。 ２　ペレットを同種金属の溶湯へ供給するその該当雰囲
気を水素ガス及び／又はアルゴンガスでシールする特許
請求の範囲第１項記載の金属微粉末の製造方法。 ３　一端にプラズマトーチが装備され且つ他端に排気口
が開口された略々Ｖ字形の炉体であって、該炉体のほぼ
中央底側にルツボが取付けられ、該ルツボには金属の溶
湯を保持する陥部が形成されていて、該ルツボに対向す
る前記炉体の上側に金属の塩化物のペレットの供給口が
開口されて成る金属微粉末の製造装置。 ４　供給口の外側に水素ガス及び／又はアルゴンガスの
流入口が周設された特許請求の範囲第３項記載の金属微
粉末の製造装置。 ５　ルツボが水冷銅製のものである特許請求の範囲第３
項又は第４項記載の金属微粉末の製造装置。[Scope of Claims] 1. A method for producing fine metal powder, which comprises granulating a metal chloride into pellets, and heating the pellets with plasma in the presence of hydrogen gas while supplying the pellets to a molten metal of the same type. 2. The method for producing fine metal powder according to claim 1, wherein the atmosphere in which the pellets are supplied to a molten metal of the same kind is sealed with hydrogen gas and/or argon gas. 3 A roughly V-shaped furnace body equipped with a plasma torch at one end and an exhaust port opened at the other end, a crucible is attached to the bottom side of the furnace body, and a molten metal is placed in the crucible. 1. An apparatus for producing fine metal powder, comprising: a recess for holding a metal chloride pellet; 4. The apparatus for producing fine metal powder according to claim 3, wherein an inlet for hydrogen gas and/or argon gas is provided around the outside of the supply port. 5 Claim 3 in which the crucible is made of water-cooled copper
The apparatus for producing fine metal powder according to item 1 or 4.