JPS6148146A - 光デイスク用スタンパ - Google Patents
光デイスク用スタンパInfo
- Publication number
- JPS6148146A JPS6148146A JP16789184A JP16789184A JPS6148146A JP S6148146 A JPS6148146 A JP S6148146A JP 16789184 A JP16789184 A JP 16789184A JP 16789184 A JP16789184 A JP 16789184A JP S6148146 A JPS6148146 A JP S6148146A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stamper
- praseodymium
- thin film
- forming
- ion plating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は光ディスクの製造に使用されるスタンパに関す
る。
る。
従来スタンパの作製方法としては種々の方法が知られて
いる。その代表的な方法では、力゛ラス基板上にプライ
マーとしてシランカップリング剤を塗布しその上に潜像
記録材料であるフォトレジスト（例えばＡＺ−１３５０
）層を塗布して原盤を製作し次いでこの原盤をカッティ
ングマシーンにかげ次いでＡｒレーザ光（波長４５７９
Ａ）でフォトレジスト層な選択的に露光しこれによって
必要々信号をフォトレジ２ト層に書ぎ込み現像をして凹
凸を形成する。これがガラス原盤であシこれから複製さ
れる金型はガラス原盤の凹凸を正確に転写しなお且つ長
寿命が要求される。それ故、Ｎ１電鋳前の表面導体化（
メンブレン）の方法やＮ１電鋳後のスタンパ表面の硬化
方法に工夫がなされている。前者の方法としてはレジス
ト凹凸面ＫＮ１ま冬はＮ１およびＣｒをスパッタリング
により付着させることが提案されているが、スタンパ表
面がＮ１の場合は硬度が充分でなく且つ成形後の剥離性
が悪くまたスタンパ表面がＣｒの場合は硬度が充分であ
るが表面が粗いため成形後の剥離性が非常に悪いという
欠点がある。さらＫ、スタンパは繰シ返し使用されるの
で成形後の剥離性がよいことも大切である。
いる。その代表的な方法では、力゛ラス基板上にプライ
マーとしてシランカップリング剤を塗布しその上に潜像
記録材料であるフォトレジスト（例えばＡＺ−１３５０
）層を塗布して原盤を製作し次いでこの原盤をカッティ
ングマシーンにかげ次いでＡｒレーザ光（波長４５７９
Ａ）でフォトレジスト層な選択的に露光しこれによって
必要々信号をフォトレジ２ト層に書ぎ込み現像をして凹
凸を形成する。これがガラス原盤であシこれから複製さ
れる金型はガラス原盤の凹凸を正確に転写しなお且つ長
寿命が要求される。それ故、Ｎ１電鋳前の表面導体化（
メンブレン）の方法やＮ１電鋳後のスタンパ表面の硬化
方法に工夫がなされている。前者の方法としてはレジス
ト凹凸面ＫＮ１ま冬はＮ１およびＣｒをスパッタリング
により付着させることが提案されているが、スタンパ表
面がＮ１の場合は硬度が充分でなく且つ成形後の剥離性
が悪くまたスタンパ表面がＣｒの場合は硬度が充分であ
るが表面が粗いため成形後の剥離性が非常に悪いという
欠点がある。さらＫ、スタンパは繰シ返し使用されるの
で成形後の剥離性がよいことも大切である。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みてなされたものであ
って、その目的は光ディスクの製作に必要なスタンパの
初期品質の維持と寿命の延長にある。
って、その目的は光ディスクの製作に必要なスタンパの
初期品質の維持と寿命の延長にある。
上記目的を達成するために、本発明はスタンパの表面に
プラセオジム、タンタル、ニオブまたはモリブデンのい
ずれかの層を設けることである。
プラセオジム、タンタル、ニオブまたはモリブデンのい
ずれかの層を設けることである。
次に本発明を実施例について説明する。
従来方式のうち最も一般的な方法であるＮｉ導体化（メ
ンブレン）とＮ１電鋳で作製されたスタンパ表面にイオ
ンブレーティング法でプラセオジム（Ｐ、ｒ ）薄膜を
約０．０５μｍの膜厚で形成した。
ンブレン）とＮ１電鋳で作製されたスタンパ表面にイオ
ンブレーティング法でプラセオジム（Ｐ、ｒ ）薄膜を
約０．０５μｍの膜厚で形成した。
イオンブレーティング条件は１３．５６ ＭＨｚの高周
波（ＲＦ ）、出力５００Ｗ、基板印加電圧−２ＫＶ（
ＤＣ）、アルゴンガス（Ａｒ）、電気抵抗加熱法、真空
度３ Ｘ Ｉ Ｑ−４Ｔｏｒｒおよびブレーティング速
度６０人／ｓｅｃであった。
波（ＲＦ ）、出力５００Ｗ、基板印加電圧−２ＫＶ（
ＤＣ）、アルゴンガス（Ａｒ）、電気抵抗加熱法、真空
度３ Ｘ Ｉ Ｑ−４Ｔｏｒｒおよびブレーティング速
度６０人／ｓｅｃであった。
なお、酸化膜（Ｐｒ０２）を作製する場合は蒸着物質に
酸化プラセオジム（Ｐｒ６０１１）を用いそして蒸発源
を電子ビームとし酸素ガス雰囲気中でイオンブレーティ
ングを行った。
酸化プラセオジム（Ｐｒ６０１１）を用いそして蒸発源
を電子ビームとし酸素ガス雰囲気中でイオンブレーティ
ングを行った。
上述のようにして作製したスタンパ表面にプラセオジム
薄膜を設けた本発明のスタンパを用いて光ディスク（材
質、ポリメチルメタクリレート樹脂）を成形したところ
、１８０００枚も成形できた。これに対し、従来のスタ
ンパによれば約７０００枚しか成形できなかった。なお
、プラセオジム以外にタンタル（Ｔａ ）、ニオブ（Ｎ
ｂ）およびモリブデン（ＭＯ）を用いてスタンパ表面を
同様に処理したところ同様の効果を得ることができた。
薄膜を設けた本発明のスタンパを用いて光ディスク（材
質、ポリメチルメタクリレート樹脂）を成形したところ
、１８０００枚も成形できた。これに対し、従来のスタ
ンパによれば約７０００枚しか成形できなかった。なお
、プラセオジム以外にタンタル（Ｔａ ）、ニオブ（Ｎ
ｂ）およびモリブデン（ＭＯ）を用いてスタンパ表面を
同様に処理したところ同様の効果を得ることができた。
本発明のスタンパは表面が非常に滑らかであるので成形
後の剥離も容易であって転写・複製が忠実に行なわれ成
形回数（約１８０００枚）も多くなる。
後の剥離も容易であって転写・複製が忠実に行なわれ成
形回数（約１８０００枚）も多くなる。
Claims (1)
- スタンパの表面にプラセオジム、タンタル、ニオブまた
はモリブデンのいずれかの層を設けたことを特徴とする
、光ディスク用スタンパ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16789184A JPS6148146A (ja) | 1984-08-13 | 1984-08-13 | 光デイスク用スタンパ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16789184A JPS6148146A (ja) | 1984-08-13 | 1984-08-13 | 光デイスク用スタンパ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148146A true JPS6148146A (ja) | 1986-03-08 |
Family
ID=15857980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16789184A Pending JPS6148146A (ja) | 1984-08-13 | 1984-08-13 | 光デイスク用スタンパ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6148146A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01143036A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-05 | Toppan Printing Co Ltd | 光ディスク用スタンパー |
| JPH01253847A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-11 | Toppan Printing Co Ltd | 光ディスク用スタンパーの製造方法 |
-
1984
- 1984-08-13 JP JP16789184A patent/JPS6148146A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01143036A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-05 | Toppan Printing Co Ltd | 光ディスク用スタンパー |
| JPH01253847A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-10-11 | Toppan Printing Co Ltd | 光ディスク用スタンパーの製造方法 |
| JP2526980B2 (ja) * | 1988-04-01 | 1996-08-21 | 凸版印刷株式会社 | 光ディスク用スタンパ―の製造方法 |
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