JPS614146A - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
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- JPS614146A JPS614146A JP12574684A JP12574684A JPS614146A JP S614146 A JPS614146 A JP S614146A JP 12574684 A JP12574684 A JP 12574684A JP 12574684 A JP12574684 A JP 12574684A JP S614146 A JPS614146 A JP S614146A
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- JP
- Japan
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- electron beam
- objective lens
- signal
- scanning
- amplifier
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野〕
本発明はエレクトロンチャンネリングパターンを表示す
ることのできる電子線装置に関する。
ることのできる電子線装置に関する。
［従来の技術］
第１図に示すように、試料Ｓに対する電子線の照射点を
入射点Ｐを固定した状態において、電子線をθＸ、θｙ
の２方向に順次角度走査すれば、ブラッグ条件を満す角
度の軌跡として表示画面上に結晶面と平行な２本の線が
表示される。尚、ＯＬは対物レンズを示している。この
ような２本の線の集合から成る像はエレクトロンチャン
ネリングパターンと呼ばれており、このエレクトロンチ
ャンネリングパターンを解析することにより結晶の面癖
、結晶粒界や異相間の結晶方位関係等を知ることができ
るため、近時、このパターンの観察が広く行なわれるよ
うになった。前述したように、このエレクトロンチャン
ネリングパターンを得るためには角度走査が必要である
が、電子線により対物レンズの前焦点面上を走査さゼる
ことにより角度走査を行なうようにした装置においては
、焦点距離Ｆが対物レンズの球面収差のため、ΔＦ＝Ｃ
Ｓ ・θ２ ｃＣ３・（Ｘｉ ２ ＋Ｙｉ ２ ＞・・・（１）だけ
ずれてしまう。但し第（１）式においてＣ８は球面収差
係数、θは電子線のロッキング角を表わしており、Ｘｉ
、Ｙｌは走査信号発生回路より発生するＸ及びＹ方向走
査信号を表わしている。
入射点Ｐを固定した状態において、電子線をθＸ、θｙ
の２方向に順次角度走査すれば、ブラッグ条件を満す角
度の軌跡として表示画面上に結晶面と平行な２本の線が
表示される。尚、ＯＬは対物レンズを示している。この
ような２本の線の集合から成る像はエレクトロンチャン
ネリングパターンと呼ばれており、このエレクトロンチ
ャンネリングパターンを解析することにより結晶の面癖
、結晶粒界や異相間の結晶方位関係等を知ることができ
るため、近時、このパターンの観察が広く行なわれるよ
うになった。前述したように、このエレクトロンチャン
ネリングパターンを得るためには角度走査が必要である
が、電子線により対物レンズの前焦点面上を走査さゼる
ことにより角度走査を行なうようにした装置においては
、焦点距離Ｆが対物レンズの球面収差のため、ΔＦ＝Ｃ
Ｓ ・θ２ ｃＣ３・（Ｘｉ ２ ＋Ｙｉ ２ ＞・・・（１）だけ
ずれてしまう。但し第（１）式においてＣ８は球面収差
係数、θは電子線のロッキング角を表わしており、Ｘｉ
、Ｙｌは走査信号発生回路より発生するＸ及びＹ方向走
査信号を表わしている。
そのため、従来の装置においては、対物レンズの近傍に
ダイナミックフォーカスレンズを設け、前（配電子線Ｅ
Ｂを角度走査するのに同期してＸｉ・＋Ｙ１２に比例し
た信号をダイナミックフォーカスレンズに供給して、前
記ΔＦを相殺するようにしている。ところで、第（１）
式における球面収差係数Ｃ３は対物レンズの焦点距離Ｆ
の関数であるため、対物レンズと試料間の距離である作
動距離Ｗを変化させようとして対物レンズの焦点距離Ｆ
を変化させるとＣｓの値が変化してしまうため、ΔＦの
値が変化してしまう。同様に電子線ＥＢのロッキング角
θの最大値αを変化させるため、倍率可変回路の増幅率
を変化させた際にもΔＦは変化し、更に加速電圧Ｅを変
化させた際にも球面収差係数Ｃ８の値やダイナミックフ
ォーカスレンズのフォーカスシフト量δＦが変化してし
まい、ダイナミックフォーカスレンズをそのままの励磁
状態にしておいた場合には、ダイナミックフォーカスレ
ンズにより対物レンズの焦点距離のずれを精度良く補正
できなくなる。
ダイナミックフォーカスレンズを設け、前（配電子線Ｅ
Ｂを角度走査するのに同期してＸｉ・＋Ｙ１２に比例し
た信号をダイナミックフォーカスレンズに供給して、前
記ΔＦを相殺するようにしている。ところで、第（１）
式における球面収差係数Ｃ３は対物レンズの焦点距離Ｆ
の関数であるため、対物レンズと試料間の距離である作
動距離Ｗを変化させようとして対物レンズの焦点距離Ｆ
を変化させるとＣｓの値が変化してしまうため、ΔＦの
値が変化してしまう。同様に電子線ＥＢのロッキング角
θの最大値αを変化させるため、倍率可変回路の増幅率
を変化させた際にもΔＦは変化し、更に加速電圧Ｅを変
化させた際にも球面収差係数Ｃ８の値やダイナミックフ
ォーカスレンズのフォーカスシフト量δＦが変化してし
まい、ダイナミックフォーカスレンズをそのままの励磁
状態にしておいた場合には、ダイナミックフォーカスレ
ンズにより対物レンズの焦点距離のずれを精度良く補正
できなくなる。
［発明が解決しようとする問題点］
従って、従来の装置においては、対物レンズの焦点距離
Ｆ（あるいは作動距離Ｗ）、ロッキング最大角α（ある
いは倍率可変回路の観察倍率値Ｍ）や加速電圧Ｅを変化
させた際には、その都度ダイナミックフォーカスレンズ
に供給するｘｉ２＋”ｙ’１２なる信号の増幅利得を試
行錯誤により調節しなければならず、操作が極めて繁雑
であった。
Ｆ（あるいは作動距離Ｗ）、ロッキング最大角α（ある
いは倍率可変回路の観察倍率値Ｍ）や加速電圧Ｅを変化
させた際には、その都度ダイナミックフォーカスレンズ
に供給するｘｉ２＋”ｙ’１２なる信号の増幅利得を試
行錯誤により調節しなければならず、操作が極めて繁雑
であった。
本発明は、このような従来の欠点を解決して、前記焦点
距離Ｆ、電子線のロッキング最大角α又は加速電圧Ｅを
切換えても、ダイナミックフォーカスレンズにより自動
的に前記第（１）式で表わされる対物レンズの焦点ずれ
を精度良く相殺することのできる電子線装置を提供する
ことを目的としている。
距離Ｆ、電子線のロッキング最大角α又は加速電圧Ｅを
切換えても、ダイナミックフォーカスレンズにより自動
的に前記第（１）式で表わされる対物レンズの焦点ずれ
を精度良く相殺することのできる電子線装置を提供する
ことを目的としている。
［発明の作用］
以下、本発明において基本になっている考えを詳述する
。
。
ダイナミックフォーカスレンズに供給する励磁電流値を
■、Ｌを対物レンズとダイナミックフォーカスレンズの
主面までの距離、Ｅ＊を電子線の加速電圧の相対論的補
正値、Ａ、ｎをダイナミックフォーカスレンズに固有の
定数とすれば、ダイナミックフォーカスレンズは以下の
式で与えられる量だけ焦点距離をシフトできる。
■、Ｌを対物レンズとダイナミックフォーカスレンズの
主面までの距離、Ｅ＊を電子線の加速電圧の相対論的補
正値、Ａ、ｎをダイナミックフォーカスレンズに固有の
定数とすれば、ダイナミックフォーカスレンズは以下の
式で与えられる量だけ焦点距離をシフトできる。
δＦ＝Ａ・ （Ｗ＋１＞” −Ｉ／７丁Ｔ・・・（２
）この式を変形すれば、以下の第（３）式となる。
）この式を変形すれば、以下の第（３）式となる。
１＝Ａ−０７・δＦ＊／（Ｗ＋Ｌ）”・・・（３）そこ
で、対物レンズの焦点距離Ｆ、電子線のロッキング最大
角α及び加速電圧Ｅを種々変化させた際の対物レンズの
焦点距離のずれΔＦの最大値ΔＦｍａｘを測定し、ΔＦ
ｍａｘとダイナミックフォーカスレンズによる焦点距
離のシフト量の最大値δＦ ｍａｘが一致するように、
ダイナミックフォーカスレンズに供給するＸｉ２＋Ｙｉ
２なる信号の増幅利得を求め、この増幅利得を実現する
ために必要な増幅率可変増幅器への信号値を各Ｆ、α、
Ｅの組に対して記憶装置にテーブルとして記憶させ、対
物レンズの焦点距離（あるいは作動距離Ｗ）。
で、対物レンズの焦点距離Ｆ、電子線のロッキング最大
角α及び加速電圧Ｅを種々変化させた際の対物レンズの
焦点距離のずれΔＦの最大値ΔＦｍａｘを測定し、ΔＦ
ｍａｘとダイナミックフォーカスレンズによる焦点距
離のシフト量の最大値δＦ ｍａｘが一致するように、
ダイナミックフォーカスレンズに供給するＸｉ２＋Ｙｉ
２なる信号の増幅利得を求め、この増幅利得を実現する
ために必要な増幅率可変増幅器への信号値を各Ｆ、α、
Ｅの組に対して記憶装置にテーブルとして記憶させ、対
物レンズの焦点距離（あるいは作動距離Ｗ）。
ロッキング最大角α及び加速電圧Ｅに対応した信号に基
づいてこの記憶装置に記憶された信号のうちから、対応
する増幅利得制御信号を読み出し、この読み出された信
号に基づいて増幅率可変増幅器の増幅利得を制御するよ
うにすれば、繁雑な調節を行なうことなく最適な補正を
行なうことができる。
づいてこの記憶装置に記憶された信号のうちから、対応
する増幅利得制御信号を読み出し、この読み出された信
号に基づいて増幅率可変増幅器の増幅利得を制御するよ
うにすれば、繁雑な調節を行なうことなく最適な補正を
行なうことができる。
［発明の構成］
本発明はこのような考えに基づくもので、Ｘ方向及びＹ
方向走査信号を各々Ｘｉ 、Ｙｉ とするとき、Ｘ及び
Ｙ方向電子線偏向器にｘｉ、’ｙ’ｉを供給して対物レ
ンズの前焦点面を電子線により走査すると共に、該対物
レンズの近傍に配置されたダイナミックフォーカスレン
ズにｘｉ２＋Ｙｉ２に比例した電流を増幅率可変増幅器
を介して供給して、対物レンズの球面収差に基づく電子
線の照射位置の移動を相殺して電子線を角度走査し、該
角度走査に伴う検出信号を該走査に同期走査されている
表示手段に導いてエレクトロンチャンネリングパターン
を表示するようにした装置において、対物レンズの焦点
距離に対応した値をＦｉ、電子線Ｅ、Ｂのロッキング−
大角に対応した値をαｊ。
方向走査信号を各々Ｘｉ 、Ｙｉ とするとき、Ｘ及び
Ｙ方向電子線偏向器にｘｉ、’ｙ’ｉを供給して対物レ
ンズの前焦点面を電子線により走査すると共に、該対物
レンズの近傍に配置されたダイナミックフォーカスレン
ズにｘｉ２＋Ｙｉ２に比例した電流を増幅率可変増幅器
を介して供給して、対物レンズの球面収差に基づく電子
線の照射位置の移動を相殺して電子線を角度走査し、該
角度走査に伴う検出信号を該走査に同期走査されている
表示手段に導いてエレクトロンチャンネリングパターン
を表示するようにした装置において、対物レンズの焦点
距離に対応した値をＦｉ、電子線Ｅ、Ｂのロッキング−
大角に対応した値をαｊ。
電子線の加速電圧に対応した値をＥｋとするとき、６値
Ｆｉ、αｊ、Ｅｋの組に対する前記増幅率可変増幅器の
増幅利得を指定するための信号を記憶するための記憶手
段と、該焦点距離に対応した信号と該ロッキング最大角
に対応した信号と該加速電圧に対応した信号に基づいて
該記憶手段に格納されている信号を読み出し、該読み出
された信号に基づいて該増幅率可変−幅器の増幅利得を
設定するための手段を具備していることを特徴としてい
る。
Ｆｉ、αｊ、Ｅｋの組に対する前記増幅率可変増幅器の
増幅利得を指定するための信号を記憶するための記憶手
段と、該焦点距離に対応した信号と該ロッキング最大角
に対応した信号と該加速電圧に対応した信号に基づいて
該記憶手段に格納されている信号を読み出し、該読み出
された信号に基づいて該増幅率可変−幅器の増幅利得を
設定するための手段を具備していることを特徴としてい
る。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第２図は本発明の一実施例を示すためδもので、第２図
において１は電子銃であり、この電子銃１には加速電源
２より所定の高圧が印加されている。
において１は電子銃であり、この電子銃１には加速電源
２より所定の高圧が印加されている。
この電子銃１よりの電子線ＥＢは集束レンズ３ａ。
３ｂにより集束された後、対物絞り４を通過して偏向系
に入射する。この偏向系はＸ及びＹ方向走査用の第１段
の走査コイル５ａｘ、 ５ａｙと同様の第２段の走査コ
イル５ｂｘ、 ５ｂｙとより成っている。これら走査コ
イルによって偏向された電子線ＥＢはダイナミックフォ
ーカスレンズ６及び対物レンズ７を経て試料８上に照射
される。９は対物レンズ７へ供給する励磁電流を調節す
るための対物レンズ電源である。１−ＯＸは第３図（ａ
）に示す如きＸ方向の走査信号を発５生ずるＸ走査信号
発生回路であり、このＸ走査信号発生回路１０Ｘよりの
走査信号はスイッチ回路１１Ｘ及び倍率可変回路１２を
介して走査コイル５ａｘ及び５ｂ×に供給できるように
なっている。１．ＯＹは第３図（、ｂ ）に示す如きＹ
方向の・走査信号を発生するＹ走査信号発生回路であり
、このＹ走査信号発生回路１０Ｙよりの走査信号もスイ
ッチ回路１１Ｙ及び倍率可変回路１２を介して走査コイ
ル５ａｙ及び５ｂｙに供給できるようになっている。こ
れら走査信号発生回路ｊＯＸ、１０ＹよりのＸ及びＹ方
向走査信号は陰極線管１３の走査コイル１３Ｘ、１３ｙ
、にも供給されており、陰極線管１３は電子線ＥＢの足
車に同期して走査されるようになっている。又、走査信
号発生回路１．ＯＸ、ＩＯＹよりの走査信号は各々スイ
ッチ３ｘ、ｓｙを介し長） て各々二乗回路１４Ｘ、１４Ｙに供給されている。
に入射する。この偏向系はＸ及びＹ方向走査用の第１段
の走査コイル５ａｘ、 ５ａｙと同様の第２段の走査コ
イル５ｂｘ、 ５ｂｙとより成っている。これら走査コ
イルによって偏向された電子線ＥＢはダイナミックフォ
ーカスレンズ６及び対物レンズ７を経て試料８上に照射
される。９は対物レンズ７へ供給する励磁電流を調節す
るための対物レンズ電源である。１−ＯＸは第３図（ａ
）に示す如きＸ方向の走査信号を発５生ずるＸ走査信号
発生回路であり、このＸ走査信号発生回路１０Ｘよりの
走査信号はスイッチ回路１１Ｘ及び倍率可変回路１２を
介して走査コイル５ａｘ及び５ｂ×に供給できるように
なっている。１．ＯＹは第３図（、ｂ ）に示す如きＹ
方向の・走査信号を発生するＹ走査信号発生回路であり
、このＹ走査信号発生回路１０Ｙよりの走査信号もスイ
ッチ回路１１Ｙ及び倍率可変回路１２を介して走査コイ
ル５ａｙ及び５ｂｙに供給できるようになっている。こ
れら走査信号発生回路ｊＯＸ、１０ＹよりのＸ及びＹ方
向走査信号は陰極線管１３の走査コイル１３Ｘ、１３ｙ
、にも供給されており、陰極線管１３は電子線ＥＢの足
車に同期して走査されるようになっている。又、走査信
号発生回路１．ＯＸ、ＩＯＹよりの走査信号は各々スイ
ッチ３ｘ、ｓｙを介し長） て各々二乗回路１４Ｘ、１４Ｙに供給されている。
これら二乗回路１４Ｘ、１４Ｙの出力信号は加算回路１
５に供給されており、加算回路１５の出力信号は増幅率
可変増幅器１６を介して前記ダイナミックフォーカスレ
ンズ６に供給されている。この増１幅率可変増幅器１６
の増幅利得はＤＡ変換器１７を介して中央演算処理装置
１８より供給される一制御信号に基づいて制御できるよ
うになっている。この中央演算処理装置１８には、対物
レンズ電源９より対物レンズ７の焦点距離に対応した信
号がＡＤ変換器１９を介して供給されている午共に、前
記加速電源２よりの加速電圧を表わす信号がＡＤ変換器
２０を介して供給されており、更には倍率可変回路１２
よりのロッキング最大角を表わす信号がＡＤ変換器２４
を介して供給されている。２１はメモリであり、対物レ
ンズの焦点距離をＦ’ｉ （ｉ ＝１．２，３．・・
・、ｐ）、電子線ＥＢのロッキング角度の最大値αｊ（
Ｊ＝１．２．３’、・・・、ｑ）、加速電圧をＥｋ
（ｋ ＝１．２，３．−、ｒ）とするとき、このメモリ
２１には各１’７ｉ、αｊ、Ｅｋの組に対して増幅率可
変増幅器１６の増幅利得を最適に、指、定するためのｐ
−ｘｑｘｒ個の信号が記憶されている。
５に供給されており、加算回路１５の出力信号は増幅率
可変増幅器１６を介して前記ダイナミックフォーカスレ
ンズ６に供給されている。この増１幅率可変増幅器１６
の増幅利得はＤＡ変換器１７を介して中央演算処理装置
１８より供給される一制御信号に基づいて制御できるよ
うになっている。この中央演算処理装置１８には、対物
レンズ電源９より対物レンズ７の焦点距離に対応した信
号がＡＤ変換器１９を介して供給されている午共に、前
記加速電源２よりの加速電圧を表わす信号がＡＤ変換器
２０を介して供給されており、更には倍率可変回路１２
よりのロッキング最大角を表わす信号がＡＤ変換器２４
を介して供給されている。２１はメモリであり、対物レ
ンズの焦点距離をＦ’ｉ （ｉ ＝１．２，３．・・
・、ｐ）、電子線ＥＢのロッキング角度の最大値αｊ（
Ｊ＝１．２．３’、・・・、ｑ）、加速電圧をＥｋ
（ｋ ＝１．２，３．−、ｒ）とするとき、このメモリ
２１には各１’７ｉ、αｊ、Ｅｋの組に対して増幅率可
変増幅器１６の増幅利得を最適に、指、定するためのｐ
−ｘｑｘｒ個の信号が記憶されている。
２２は二次電子検出器であり、この検出器２２よりの出
力信号は増幅器２３を介して陰極線管１３のグリッド１
３ｇに供給されている。
力信号は増幅器２３を介して陰極線管１３のグリッド１
３ｇに供給されている。
このような構成において、加速電源２を操作して加速電
圧をＥａに設定し、次にスイッチ回路１１Ｘ、ＩＩＹを
介して走査コイル５ａＸ、 ５ａｙに走査信号が供給さ
れるようにする。そこで、作動距離Ｗを選択して試料８
を光軸に沿った所定の位置に配置した後、励磁電源９を
操作して、電子線ＥＢが試料８への入射点を固定した状
態においてロッキングされるように対物レンズ７の焦点
距離をＦｂに設定する。更に倍率可変回路１２を調節し
て電子線ＥＢのロッキング角の最大値をαＣに設定する
。そこで、走査信号発生回路１０Ｘ。
圧をＥａに設定し、次にスイッチ回路１１Ｘ、ＩＩＹを
介して走査コイル５ａＸ、 ５ａｙに走査信号が供給さ
れるようにする。そこで、作動距離Ｗを選択して試料８
を光軸に沿った所定の位置に配置した後、励磁電源９を
操作して、電子線ＥＢが試料８への入射点を固定した状
態においてロッキングされるように対物レンズ７の焦点
距離をＦｂに設定する。更に倍率可変回路１２を調節し
て電子線ＥＢのロッキング角の最大値をαＣに設定する
。そこで、走査信号発生回路１０Ｘ。
１０Ｙより第３図＜ａ）及び（ｂ）に示す如きＸ及びＹ
方向走査信号Ｘｉ 、 Ｙｉを発生すれば、加速電圧Ｅ
ａにより加速された電子線が走査コイル５ａｘ、 ５ａ
ｙにより偏向されて対物レンズ７の−前焦点面を走査し
、電子線ＥＢＧま対物レンズ７により試料８への照射点
を略固定した状態において最大角度αＣでロッキングさ
れる。そこで、スイッチｓｘ、ｓｙを閉じれば、走査信
号発生回路１０Ｘ、ＩＯＹよりの走査信号Ｘｉ 、Ｙｉ
が二乗回路１４Ｘ、１４Ｙに供給されるため、加算回路
１５から増幅率可変増幅器１６へＸｉ２＋Ｙｉ２に比例
した信号が供給される。一方中央演算処理装置１８には
、加速電源２．励磁電源９９倍率可変回路１２より各々
設定した加速電圧Ｅａ、対物レンズの焦点距離Ｆｂ、ロ
ッキング最大角αＣを表わす信号が各々ＡＤ変換器２０
，１９．２４を介して供給されているため、中央演算処
理装置１８はこれら供給された信号に基づいてメモリ２
１に格納されている増幅率可変増幅器１６の増幅利得を
指定するための信号のうち、（Ｅａ 、 Ｆｂ 、αＣ
）に対応した信号を読み出し、この信号をＤ’Ａ変換器
１７を介して増幅率可変増幅器１６に供給する。そのた
め、増幅率可変増幅器１６はこのＥａ、Ｆｂ、αＣの条
件において、前記第（２）式で表わされるダイナミック
フォーカスレンズによる焦点シフトδＦによって前記第
（１）式で表わされる対物レンズの焦点ずれΔＦが相殺
されるように、最適な増幅利得に設定される。このため
、増幅率可変増幅器１６によって増幅された信号がダイ
ナミックフォーカスレンズ６に供給されるため、対物レ
ンズ７の焦点ずれは高精度に補正され、電子線ＥＢのロ
ッキングに伴う電子線照射位置の移動は極めて小さなも
のになる。そのため、検出□器２２の出力信号を増幅器
２３を介して陰極線管１３に導けば、試料１８の極微小
領域のエレクトロンチャンネリングパターンを隘８ｉ線
管７３に表示することができる。
方向走査信号Ｘｉ 、 Ｙｉを発生すれば、加速電圧Ｅ
ａにより加速された電子線が走査コイル５ａｘ、 ５ａ
ｙにより偏向されて対物レンズ７の−前焦点面を走査し
、電子線ＥＢＧま対物レンズ７により試料８への照射点
を略固定した状態において最大角度αＣでロッキングさ
れる。そこで、スイッチｓｘ、ｓｙを閉じれば、走査信
号発生回路１０Ｘ、ＩＯＹよりの走査信号Ｘｉ 、Ｙｉ
が二乗回路１４Ｘ、１４Ｙに供給されるため、加算回路
１５から増幅率可変増幅器１６へＸｉ２＋Ｙｉ２に比例
した信号が供給される。一方中央演算処理装置１８には
、加速電源２．励磁電源９９倍率可変回路１２より各々
設定した加速電圧Ｅａ、対物レンズの焦点距離Ｆｂ、ロ
ッキング最大角αＣを表わす信号が各々ＡＤ変換器２０
，１９．２４を介して供給されているため、中央演算処
理装置１８はこれら供給された信号に基づいてメモリ２
１に格納されている増幅率可変増幅器１６の増幅利得を
指定するための信号のうち、（Ｅａ 、 Ｆｂ 、αＣ
）に対応した信号を読み出し、この信号をＤ’Ａ変換器
１７を介して増幅率可変増幅器１６に供給する。そのた
め、増幅率可変増幅器１６はこのＥａ、Ｆｂ、αＣの条
件において、前記第（２）式で表わされるダイナミック
フォーカスレンズによる焦点シフトδＦによって前記第
（１）式で表わされる対物レンズの焦点ずれΔＦが相殺
されるように、最適な増幅利得に設定される。このため
、増幅率可変増幅器１６によって増幅された信号がダイ
ナミックフォーカスレンズ６に供給されるため、対物レ
ンズ７の焦点ずれは高精度に補正され、電子線ＥＢのロ
ッキングに伴う電子線照射位置の移動は極めて小さなも
のになる。そのため、検出□器２２の出力信号を増幅器
２３を介して陰極線管１３に導けば、試料１８の極微小
領域のエレクトロンチャンネリングパターンを隘８ｉ線
管７３に表示することができる。
尚、対物レンズの焦点距離と作動距離は一定の関数関係
にあるため、焦点距離を表わす信号として作動距離を表
わす信号を用いるようにしても良い。
にあるため、焦点距離を表わす信号として作動距離を表
わす信号を用いるようにしても良い。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように、本発明に基づく装置
においては、加速電圧、対物レンズの焦点距離や電子線
゛のロッキング最大角を変化させた際にも、自動的にダ
イナミックフォーカスレンズによる最適な補正を行なう
ことができ、操作性を向上させることができる。
においては、加速電圧、対物レンズの焦点距離や電子線
゛のロッキング最大角を変化させた際にも、自動的にダ
イナミックフォーカスレンズによる最適な補正を行なう
ことができ、操作性を向上させることができる。
第１図はエレクトロンチャンネリングパターンを得るた
めの電子線の走査を説明するための図、第２図は本発明
の一実施例を示すための図、第３図は第２図に示した一
実施例装置の各回路の出力信号を例示するための図であ
る。 １：電子銃、２：加速電源、３ａ、３ｂ：集束レンズ、
４：絞り、５ａｘ、’５ａｙ、５ｂｘ、５ｂｙ：走査コ
イル、６：ダイナミックフォーカスレンズ、７：対物レ
ンズ、８：試料、９：励磁電源、１’ＯＸ、１０Ｙ：走
査信号発生回路、１１Ｘ。 １１Ｙ：スイッチ回路、１２：倍率可変回路、１３：陰
極線管、１’４Ｘ’、 ’１４Ｙ：二乗回路、１５：加
算回路、１６：増幅率可変増幅器、１７：、０’Ａ変換
器、１８：中央演算処理装置、１９．２０゜２４：’Ａ
Ｄ変換器、２２：検出器、２３：増幅器。 第３図
めの電子線の走査を説明するための図、第２図は本発明
の一実施例を示すための図、第３図は第２図に示した一
実施例装置の各回路の出力信号を例示するための図であ
る。 １：電子銃、２：加速電源、３ａ、３ｂ：集束レンズ、
４：絞り、５ａｘ、’５ａｙ、５ｂｘ、５ｂｙ：走査コ
イル、６：ダイナミックフォーカスレンズ、７：対物レ
ンズ、８：試料、９：励磁電源、１’ＯＸ、１０Ｙ：走
査信号発生回路、１１Ｘ。 １１Ｙ：スイッチ回路、１２：倍率可変回路、１３：陰
極線管、１’４Ｘ’、 ’１４Ｙ：二乗回路、１５：加
算回路、１６：増幅率可変増幅器、１７：、０’Ａ変換
器、１８：中央演算処理装置、１９．２０゜２４：’Ａ
Ｄ変換器、２２：検出器、２３：増幅器。 第３図
Claims (1)
- Ｘ方向及びＹ方向走査信号を各々Ｘｉ、Ｙｉとするとき
、Ｘ及びＹ方向電子線偏向器にＸｉ、Ｙｉを供給して対
物レンズの前焦点面を電子線により走査すると共に、該
対物レンズの近傍に配置されたダイナミックフォーカス
レンズにＸｉ＾２＋Ｙｉ＾２に比例した電流を増幅率可
変増幅器を介して供給して、対物レンズの球面収差に基
づく電子線の照射位置の移動を相殺して電子線を角度走
査し、該角度走査に伴う検出信号を該走査に同期走査さ
れている表示手段に導いてエレクトロンチャンネリング
パターンを表示するようにした装置において、対物レン
ズの焦点距離に対応した値をＦｉ、電子線ＥＢのロッキ
ング最大角に対応した値をαｊ、電子線の加速電圧に対
応した値をＥｋとするとき、各値Ｆｉ、αｊ、Ｅｋの組
に対する前記増幅率可変増幅器の増幅利得を指定するた
めの信号を記憶するための記憶手段と、該焦点距離に対
応した信号と該ロッキング最大角に対応した信号と該加
速電圧に対応した信号に基づいて該記憶手段に格納され
ている信号を読み出し、該読み出された信号に基づいて
該増幅率可変増幅器の増幅利得を設定するための手段を
具備していることを特徴とする電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12574684A JPS614146A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12574684A JPS614146A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614146A true JPS614146A (ja) | 1986-01-10 |
| JPH035022B2 JPH035022B2 (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=14917775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12574684A Granted JPS614146A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS614146A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0432143A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-04 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
| JP2012142299A (ja) * | 2012-03-19 | 2012-07-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型荷電粒子顕微鏡装置および走査型荷電粒子顕微鏡装置で取得した画像の処理方法 |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP12574684A patent/JPS614146A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0432143A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-04 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
| JP2012142299A (ja) * | 2012-03-19 | 2012-07-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型荷電粒子顕微鏡装置および走査型荷電粒子顕微鏡装置で取得した画像の処理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH035022B2 (ja) | 1991-01-24 |
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