JPS61275168A - 高熱伝導性焼結体およびその製造方法 - Google Patents
高熱伝導性焼結体およびその製造方法Info
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- JPS61275168A JPS61275168A JP60117179A JP11717985A JPS61275168A JP S61275168 A JPS61275168 A JP S61275168A JP 60117179 A JP60117179 A JP 60117179A JP 11717985 A JP11717985 A JP 11717985A JP S61275168 A JPS61275168 A JP S61275168A
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- thermal conductivity
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、たとえば放熱基板材料として有効な特性を
有する、立方晶窒化硼素からなる高熱伝導性焼結体およ
びその製造方法に関する。
有する、立方晶窒化硼素からなる高熱伝導性焼結体およ
びその製造方法に関する。
[従来の技術]
立方晶窒化硼素(以下、CBNと略す。)は、ダイヤモ
ンドに次ぐ硬度を有し、熱的および化学的に極めて安定
であるため、工具用材料として注目されている。さらに
、cBNは、硬度のみならず、熱伝導性においてもダイ
ヤモンドに次ぐものであるため、たとえば放熱基板材料
のような用途への応用も期待されている。
ンドに次ぐ硬度を有し、熱的および化学的に極めて安定
であるため、工具用材料として注目されている。さらに
、cBNは、硬度のみならず、熱伝導性においてもダイ
ヤモンドに次ぐものであるため、たとえば放熱基板材料
のような用途への応用も期待されている。
ところで、放熱基板材料としては、従来より、。
第1表に示す特性を有する種々の材料が用いられている
。
。
第1表から、ダイヤモンドが他の材料に比べてはるかに
高い熱伝導率を示すことがわかる。
高い熱伝導率を示すことがわかる。
他方、スラック(5lack)は、ジャーナル・オブ・
フィジカル・ケミストリー・ソリツズ(J。
フィジカル・ケミストリー・ソリツズ(J。
Phys 、 Chem 、 5olids ) 、第
34巻く1972年)第321頁において、純粋な単結
晶のCBNは、室温にて約13W/am・℃の熱伝導率
を有することを予想しており、かつ放熱基板材料として
の可能性を示唆している。
34巻く1972年)第321頁において、純粋な単結
晶のCBNは、室温にて約13W/am・℃の熱伝導率
を有することを予想しており、かつ放熱基板材料として
の可能性を示唆している。
しかしながら、瑛在までのところ、大型のcBN単結晶
は得られておらず1.シたがって13W/Cff1・℃
の熱伝導率は確認されていない。
は得られておらず1.シたがって13W/Cff1・℃
の熱伝導率は確認されていない。
また、結合相を含むCBN焼結体の熱伝導率としては、
2W/cm・℃が報告されているにすぎない。これは、
結合相が大きなフォノン散乱源となり、熱伝導率を極端
に低下させるためと推測される。
2W/cm・℃が報告されているにすぎない。これは、
結合相が大きなフォノン散乱源となり、熱伝導率を極端
に低下させるためと推測される。
また、結合相を含まない高熱伝導性のcBN焼結体全体
造する方法として、たとえば特開昭54−33510号
には、出発物質として熱分解型窒化硼素(pBN)を用
い、直接変換法により稠密な高熱伝導性のcBN焼結体
全体造する方法が開示されている。
造する方法として、たとえば特開昭54−33510号
には、出発物質として熱分解型窒化硼素(pBN)を用
い、直接変換法により稠密な高熱伝導性のcBN焼結体
全体造する方法が開示されている。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、特開昭54−33510号の方法では、
熱伝導率4W/cm・℃以上の焼結体を製造するには、
圧カフGPa 、8度2000℃以上の厳しい条件が必
要であり、また再現性の点でも問題があった。さらに、
EIBNは、極めて高価なものであもある。
熱伝導率4W/cm・℃以上の焼結体を製造するには、
圧カフGPa 、8度2000℃以上の厳しい条件が必
要であり、また再現性の点でも問題があった。さらに、
EIBNは、極めて高価なものであもある。
他方、比較的緩和な条件で、しかも安価に、結合相を含
まないCBN焼結体を製造する方法が、たとえばマテリ
アル・リサーチ・ブレチン(M at。
まないCBN焼結体を製造する方法が、たとえばマテリ
アル・リサーチ・ブレチン(M at。
Res、 3u11):第7巻(1972年)第999
頁において若槻等の論文に示されている。ここでは、低
結晶性の六方晶型窒化硼素(hBN)を出発物質とし、
直接変換法によりOBN焼結体が得られる。
頁において若槻等の論文に示されている。ここでは、低
結晶性の六方晶型窒化硼素(hBN)を出発物質とし、
直接変換法によりOBN焼結体が得られる。
しかしながら、出発物質として用いる低結晶性hBNは
、化学的に不安定であり、空気中の酸素と反応しやすく
、したがって焼結体全体にわたり均一かつ十分に焼結し
たものを得ることが困難である。
、化学的に不安定であり、空気中の酸素と反応しやすく
、したがって焼結体全体にわたり均一かつ十分に焼結し
たものを得ることが困難である。
それゆえに、この発明の目的は、熱伝導性に優れた安価
なcBN焼結体全体定に供給することにある。
なcBN焼結体全体定に供給することにある。
[問題点を解決するため手段]
本願発明者達は、高熱伝導性の焼結体を安価にしかも再
現良く製造すべく、種々の方法により合成実験を繰返し
た。その結果、特開昭58−176179号および特開
昭59−57967号に開示されている方法、すなわち
hBNにアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼窒化
物を混合し、あるいは拡散担持させ、これをcBNの熱
力学的に安定な条件下で1350℃以上の高温に保ち、
cBN焼結体全体成する方法が最も適していることを見
い出した。これらの先行技術は、熱伝導性に優れた焼結
体を提供するためになされたものではなく、主に透光性
に優れた焼結体を提供すべくなされたものであるが、こ
こでは添加された硼窒化物の一部または全部が、高圧下
で焼結するに際し、系外に拡散除去され、その結果実質
的に100%のcBNからなる焼結体が容易に得られる
。
現良く製造すべく、種々の方法により合成実験を繰返し
た。その結果、特開昭58−176179号および特開
昭59−57967号に開示されている方法、すなわち
hBNにアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼窒化
物を混合し、あるいは拡散担持させ、これをcBNの熱
力学的に安定な条件下で1350℃以上の高温に保ち、
cBN焼結体全体成する方法が最も適していることを見
い出した。これらの先行技術は、熱伝導性に優れた焼結
体を提供するためになされたものではなく、主に透光性
に優れた焼結体を提供すべくなされたものであるが、こ
こでは添加された硼窒化物の一部または全部が、高圧下
で焼結するに際し、系外に拡散除去され、その結果実質
的に100%のcBNからなる焼結体が容易に得られる
。
上記のようにして得られた焼結体の熱伝導度を測定した
ところ、平均2〜3W10111・℃と、他のバインダ
を用いた焼結体に比べて比較的高い値を示すことがわか
ンた。もっとも、場合によっては、1.7W/cm・℃
と低い値を示すものがあるなど、ばらつきも大きかった
。
ところ、平均2〜3W10111・℃と、他のバインダ
を用いた焼結体に比べて比較的高い値を示すことがわか
ンた。もっとも、場合によっては、1.7W/cm・℃
と低い値を示すものがあるなど、ばらつきも大きかった
。
そこで、本願発明者達は、種々の条件を変えて多数の実
験を繰返したところ、焼結体の熱伝導率は、焼結時の条
件よりも、むしろ焼結処理前の原料組成、すなわちhB
N中へのアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼窒化
物の添加量に大きく支配されることを見出した。さらに
、高熱伝導性焼結体を得るには、アルカリ土類金属また
はアルカリ金属の硼窒化物の添加量を、0.6モル%以
上、1.2モル%以下の範囲内に制御することが必要で
あるとわかった。
験を繰返したところ、焼結体の熱伝導率は、焼結時の条
件よりも、むしろ焼結処理前の原料組成、すなわちhB
N中へのアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼窒化
物の添加量に大きく支配されることを見出した。さらに
、高熱伝導性焼結体を得るには、アルカリ土類金属また
はアルカリ金属の硼窒化物の添加量を、0.6モル%以
上、1.2モル%以下の範囲内に制御することが必要で
あるとわかった。
以上の内容を、原料としてホットプレスしたh8N成形
体を、添加剤としてマグネシウム硼窒化物(MOa B
2 N4 )を用いた場合につき、具体的に説明する。
体を、添加剤としてマグネシウム硼窒化物(MOa B
2 N4 )を用いた場合につき、具体的に説明する。
まず、hBN中にM(J a B2 N4を添加する際
の温度条件を変え、処理温度と添加されたMQ・82
N−!との関係を求めたところ、M7図に示す結果が得
られた。
の温度条件を変え、処理温度と添加されたMQ・82
N−!との関係を求めたところ、M7図に示す結果が得
られた。
次に、第1図の結果を利用し、MOs 82 N4添加
量の異なる数個の原料組成物を作成し、それぞれ、一定
の温度・圧力条件下において処理し、焼結体を得た。得
られた焼結体の熱伝導率を測定し、原料中に添加したM
Q s 82 N4 Ilkとの関係を求めたところ、
第2図に示す結果が得られた。
量の異なる数個の原料組成物を作成し、それぞれ、一定
の温度・圧力条件下において処理し、焼結体を得た。得
られた焼結体の熱伝導率を測定し、原料中に添加したM
Q s 82 N4 Ilkとの関係を求めたところ、
第2図に示す結果が得られた。
第2図において、MO*BzN+の添加量が、約0.8
モル%以下では、熱伝導率は、MQ s B2N4添加
堡が多くなるほど高い値を示すことがわかる。これは、
Mga 82 N4添加最が多いほど、cBNの単位粒
径が大きくなり、粒界におけるフォノン散乱が減少し、
その結果熱伝導率が高くなるからと推測される。第3図
に、M(lsB2N4添加量と、得られた焼結体の平均
単位粒径との関係を示す。第3図より、Mgs B2
N4の添加量が多いほど、粒径が大きくなることがわか
る。
モル%以下では、熱伝導率は、MQ s B2N4添加
堡が多くなるほど高い値を示すことがわかる。これは、
Mga 82 N4添加最が多いほど、cBNの単位粒
径が大きくなり、粒界におけるフォノン散乱が減少し、
その結果熱伝導率が高くなるからと推測される。第3図
に、M(lsB2N4添加量と、得られた焼結体の平均
単位粒径との関係を示す。第3図より、Mgs B2
N4の添加量が多いほど、粒径が大きくなることがわか
る。
しかしながら、第2図において、M(II s 82
N4添加量が約0.9モル%で熱伝導率が最高値6゜2
W/cra・℃を示し、0.9モル%以上になると、逆
に熱伝導率の低下する傾向のあることがわかる。
N4添加量が約0.9モル%で熱伝導率が最高値6゜2
W/cra・℃を示し、0.9モル%以上になると、逆
に熱伝導率の低下する傾向のあることがわかる。
MO382N4を0.9モル%以上添加すると、得られ
た焼結体中に0.5重量%以上のMgを含むこととなる
。この残留Maがフォノン散乱源となり、熱伝導率の低
下を招くものと考えられる。
た焼結体中に0.5重量%以上のMgを含むこととなる
。この残留Maがフォノン散乱源となり、熱伝導率の低
下を招くものと考えられる。
第4図は、Mga B2 N4添加量を変えて合成した
各焼結体の熱伝導率とビッカース硬度との関係を示す。
各焼結体の熱伝導率とビッカース硬度との関係を示す。
熱伝導率が2〜3W/cm・℃のものは、部分的に硬度
が低く、焼結状態にもむらがあることを示している。焼
結状態が良好でない部分、すなわち硬度の低い部分は、
粒子間の結合が不十分であるため、粒界におけるフォノ
ン散乱が多く、その結果焼結体全体として比較的低い熱
伝導率を示していると考えられる。他方、硬度にむらの
なく、5000 kg/mm2以上の焼結体は、4W/
[1・℃以上の熱伝導率を有する。
が低く、焼結状態にもむらがあることを示している。焼
結状態が良好でない部分、すなわち硬度の低い部分は、
粒子間の結合が不十分であるため、粒界におけるフォノ
ン散乱が多く、その結果焼結体全体として比較的低い熱
伝導率を示していると考えられる。他方、硬度にむらの
なく、5000 kg/mm2以上の焼結体は、4W/
[1・℃以上の熱伝導率を有する。
第2図に示したMQs、B2 N4添加量と熱伝導率と
の関係より、Mga B2 N4添加量を0.6モル%
以上、1.2モル%以下とすることにより、4W/cn
+・℃以上の高熱伝導性の焼結体を安定に得られること
がわかる。
の関係より、Mga B2 N4添加量を0.6モル%
以上、1.2モル%以下とすることにより、4W/cn
+・℃以上の高熱伝導性の焼結体を安定に得られること
がわかる。
したがって、この発明は、六方晶窒化硼素中に、0.6
モル%以上、1.2モル%以下のアルカリ土類金属また
はアルカリ金属の硼窒化物を均一に拡散担持させ、立方
晶窒化硼素の熱力学的に安定な条件下で1350℃以上
の温度で高圧焼結することにより得られる、実質的に1
00%立方晶窒化硼素からなる高熱伝導性焼結体であり
、また上記のようにして高熱伝導性焼結体を得る製造方
法である。
モル%以上、1.2モル%以下のアルカリ土類金属また
はアルカリ金属の硼窒化物を均一に拡散担持させ、立方
晶窒化硼素の熱力学的に安定な条件下で1350℃以上
の温度で高圧焼結することにより得られる、実質的に1
00%立方晶窒化硼素からなる高熱伝導性焼結体であり
、また上記のようにして高熱伝導性焼結体を得る製造方
法である。
熱伝導率4W/am・℃以上の高熱伝導性焼結体は、粒
径5μm以上、マイクロヌープ硬度5000 ka/
nun’以上、Mg含有量が0.5重量%以下である。
径5μm以上、マイクロヌープ硬度5000 ka/
nun’以上、Mg含有量が0.5重量%以下である。
このことから逆に、焼結体の粒径、硬度および不純物量
より、該焼結体の熱伝導性を知ることも可能である。
より、該焼結体の熱伝導性を知ることも可能である。
[実施例]
実施例1
常圧下、窒素雰囲気中で、1160〜1175℃の範囲
の種々の温度にて、MQsNtをhBN成形体中に拡散
含浸させ1、hBN焼結体中で反応により生じたMOa
BzN重量が、0.4〜1゜3モル%の範囲のもの8種
類を得た。これらを、それぞれ、容器内に充填し、ベル
ト型装置を用い、5.5GPa 、1450℃の温度下
に30分間保持した。
の種々の温度にて、MQsNtをhBN成形体中に拡散
含浸させ1、hBN焼結体中で反応により生じたMOa
BzN重量が、0.4〜1゜3モル%の範囲のもの8種
類を得た。これらを、それぞれ、容器内に充填し、ベル
ト型装置を用い、5.5GPa 、1450℃の温度下
に30分間保持した。
得られた焼結体は、直径3011I11厚さ約1.51
の単相の緻密な焼結体であった。試料番号1の焼結体は
、一部未変換のhBNが残留していたが、他の焼結体は
、外見上全面にわたり均一にかつ強固に焼結していた。
の単相の緻密な焼結体であった。試料番号1の焼結体は
、一部未変換のhBNが残留していたが、他の焼結体は
、外見上全面にわたり均一にかつ強固に焼結していた。
この結果より、100%c3=B2N4添加量が約0.
45モル%以上必要であることがわかる。
45モル%以上必要であることがわかる。
試料番号2〜8の焼結体から、2.5x2.5x1,5
gueの試料片を切り出し、各試料片につき一1InS
b赤外線放射顕微鏡を用いた直接測温法により、室温に
おける熱伝導率を測定した。得られた結果を、下記の第
2表に示す。
gueの試料片を切り出し、各試料片につき一1InS
b赤外線放射顕微鏡を用いた直接測温法により、室温に
おける熱伝導率を測定した。得られた結果を、下記の第
2表に示す。
原料hBN成形体中へのMO82N4添加量が0.6モ
ル%以上、1.2モル%以下の場合には、得られた焼結
体が、約4W/CI・℃以上の熱伝導率を有することが
わかる。
ル%以上、1.2モル%以下の場合には、得られた焼結
体が、約4W/CI・℃以上の熱伝導率を有することが
わかる。
実施例2
高熱伝導性焼結体となるための必要特性を調べるため、
実施例1で得られた試料番号2〜8の焼結体の粒径、硬
度および不純物量を調べた。
実施例1で得られた試料番号2〜8の焼結体の粒径、硬
度および不純物量を調べた。
粒径は、焼結体の表面をKOHでエツチングし、粒界を
明瞭にした後、SEMにて実測した。
明瞭にした後、SEMにて実測した。
硬度は、ビッカース圧子を用い、荷重10にり。
圧入時間15秒にて行なった。
不純物すなわちMO含有量の測定は、イオンマイクロア
ナライザを用いて行なった。
ナライザを用いて行なった。
結果を、下記の第3表に示す。
それぞれの試料につき、イオンマイクロアナライザによ
り、Mg以外の不純物につき分析したところ、C,A1
1.C,aおよびSiが検出されたが、いずれも200
ppm以下であった。
り、Mg以外の不純物につき分析したところ、C,A1
1.C,aおよびSiが検出されたが、いずれも200
ppm以下であった。
実施例1の結果、および第3表に示した結果より、熱伝
導率4W10N・℃以上の高熱伝導性焼結体は、単位粒
径5μm以上、ビッカース硬度5000 kg/ mm
2以上、さらにMO含有量が0.5重量%以下となって
いることがわかる。
導率4W10N・℃以上の高熱伝導性焼結体は、単位粒
径5μm以上、ビッカース硬度5000 kg/ mm
2以上、さらにMO含有量が0.5重量%以下となって
いることがわかる。
1i1と
実施例1におけるMOs82N*に代え、1−is B
N2 、Ca s B2 N4および5rsBzN4を
、それぞれ、hBN中に0.6〜1.2モル%拡散担持
させ、実施例1と同様にして焼結体を得た。熱伝導率は
、すべて4W/Cm・℃以上であり、粒径、硬度および
不純物量とも、はぼ実施例2の結果と同様であった。
N2 、Ca s B2 N4および5rsBzN4を
、それぞれ、hBN中に0.6〜1.2モル%拡散担持
させ、実施例1と同様にして焼結体を得た。熱伝導率は
、すべて4W/Cm・℃以上であり、粒径、硬度および
不純物量とも、はぼ実施例2の結果と同様であった。
[発明の効果]
この発明によれば、0.6モル%以上、1.2モル%以
下のアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼窒化物が
、六方晶窒化硼素中に均一に担持させた状態で焼結が行
なわれるので、熱伝導率が4〜6W/am−’Cと、S
t C,AQN、A120、など他の焼結体材料に比べ
、飛躍的に高い高熱伝導性焼結体を得ることが可能とな
る。したがって、たとえば放熱基板材料として用いれば
、半導体レーザ素子、マイクロ波素子などの電気的特性
および寿命を大幅に改善することができ、同時にICや
メモリにおいても電気的特性の安定化および長野分化を
果たすことが可能となる。
下のアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼窒化物が
、六方晶窒化硼素中に均一に担持させた状態で焼結が行
なわれるので、熱伝導率が4〜6W/am−’Cと、S
t C,AQN、A120、など他の焼結体材料に比べ
、飛躍的に高い高熱伝導性焼結体を得ることが可能とな
る。したがって、たとえば放熱基板材料として用いれば
、半導体レーザ素子、マイクロ波素子などの電気的特性
および寿命を大幅に改善することができ、同時にICや
メモリにおいても電気的特性の安定化および長野分化を
果たすことが可能となる。
さらに、この発明の製造方法によれば、上記高熱伝導性
焼結体を安定にかつ安価に供給することが可能となる。
焼結体を安定にかつ安価に供給することが可能となる。
第1図は、hBN成形体中へのMQa 82 N4拡散
担持処理における処理温度と、添加されたMOs BZ
N4量との関係を示す図である。第2図は、この発明
の焼結体の熱伝導率と、原料のhBN中へのMgs 8
2 N4添加量との関係を示す図である。第3図は、こ
の発明の焼結体の単位粒径と、原料のhBN−中へM!
1IsBzN*添加量との関係を示す図である。第4図
は、この発明の焼結体のビッカース硬度と、熱伝導率と
の関係を示す図である。 第2図 7原料ILBNへのM9382/1114添加量(一杯
)第3図 、原料にBNへのMg38zN+溪力υ蓋(机−色)手
続補正書 昭和61年2月lz日 1、事件の表示 昭和60年特許願第 117179 号2、発明の名
称 高熱伝導性焼結体およびその製造方法 3、補正をする者 事件との間係 特許出願人 住所 大阪市 全区 北浜 5丁目15番地名称
(213)住友電気工業株式会社代表者川上哲部 4、代理人 住 所 大阪市全区平野町2丁目8番地の1 平野町八
千代ピル5、補正命令の日付 自発補正 6、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄および発明の詳細な説明の
欄 7、補正の内容 (1) 明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正す
る。 (2) 明細書第10頁第12行の「マイクロヌープ」
とあるのを、「ビッカース」に補正する。 以上 2、特許請求の範囲 (1) 六方晶窒化硼素中に0.6モル%以上1.2モ
ル%以下のアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼窒
化物を均一に拡散担持させ、立方晶窒化硼素の熱力学的
に安定な条件下で1350℃以上の温度にて高圧焼結す
ることにより得られ、実質的に100%の立方晶窒化硼
素からなり、室温における熱 導率がIなくとも4W/
CI・℃である、高熱伝導性焼結体。 (2) 前記焼結体の平均単位粒径は、5μ口以上であ
る、特許請求の範囲第1項記載の高熱伝導性焼結体。 (3) 前記焼結体のビッカース硬度が、5000 k
M−一2以上である、特許請求の範囲第1項記載の高熱
伝導性焼結体。 (4) 前記焼結体中の不純物含有量が、0゜5重量%
以下である、特許請求の範囲第1項記載の高熱伝導性焼
結体。 (5) 六方晶窒化硼素中に、0.6モル%以上1.2
モル%以下のアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼
窒化物を均一に拡散担持させ、これを立方晶窒化硼素の
熱力学的に安定な条件下で1350’C以上の温度で高
圧焼結することを特徴とする、高熱伝導性焼結体の製造
方法。
担持処理における処理温度と、添加されたMOs BZ
N4量との関係を示す図である。第2図は、この発明
の焼結体の熱伝導率と、原料のhBN中へのMgs 8
2 N4添加量との関係を示す図である。第3図は、こ
の発明の焼結体の単位粒径と、原料のhBN−中へM!
1IsBzN*添加量との関係を示す図である。第4図
は、この発明の焼結体のビッカース硬度と、熱伝導率と
の関係を示す図である。 第2図 7原料ILBNへのM9382/1114添加量(一杯
)第3図 、原料にBNへのMg38zN+溪力υ蓋(机−色)手
続補正書 昭和61年2月lz日 1、事件の表示 昭和60年特許願第 117179 号2、発明の名
称 高熱伝導性焼結体およびその製造方法 3、補正をする者 事件との間係 特許出願人 住所 大阪市 全区 北浜 5丁目15番地名称
(213)住友電気工業株式会社代表者川上哲部 4、代理人 住 所 大阪市全区平野町2丁目8番地の1 平野町八
千代ピル5、補正命令の日付 自発補正 6、補正の対象 明細書の特許請求の範囲の欄および発明の詳細な説明の
欄 7、補正の内容 (1) 明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正す
る。 (2) 明細書第10頁第12行の「マイクロヌープ」
とあるのを、「ビッカース」に補正する。 以上 2、特許請求の範囲 (1) 六方晶窒化硼素中に0.6モル%以上1.2モ
ル%以下のアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼窒
化物を均一に拡散担持させ、立方晶窒化硼素の熱力学的
に安定な条件下で1350℃以上の温度にて高圧焼結す
ることにより得られ、実質的に100%の立方晶窒化硼
素からなり、室温における熱 導率がIなくとも4W/
CI・℃である、高熱伝導性焼結体。 (2) 前記焼結体の平均単位粒径は、5μ口以上であ
る、特許請求の範囲第1項記載の高熱伝導性焼結体。 (3) 前記焼結体のビッカース硬度が、5000 k
M−一2以上である、特許請求の範囲第1項記載の高熱
伝導性焼結体。 (4) 前記焼結体中の不純物含有量が、0゜5重量%
以下である、特許請求の範囲第1項記載の高熱伝導性焼
結体。 (5) 六方晶窒化硼素中に、0.6モル%以上1.2
モル%以下のアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼
窒化物を均一に拡散担持させ、これを立方晶窒化硼素の
熱力学的に安定な条件下で1350’C以上の温度で高
圧焼結することを特徴とする、高熱伝導性焼結体の製造
方法。
Claims (5)
- (1)六方晶窒化硼素中に0.6モル%以上1.2モル
%以下のアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼窒化
物を均一に拡散担持させ、立方晶窒化硼素の熱力学的に
安定な条件下で1350℃以上の温度にて高圧焼結する
ことにより得られる、実質的に100%立方晶窒化硼素
からなる、高熱伝導性焼結体。 - (2)前記焼結体の平均単位粒径は、5μm以上である
、特許請求の範囲第1項記載の高熱伝導性焼結体。 - (3)前記焼結体のマイクロヌープ硬度が、5000k
g/mm^2以上である、特許請求の範囲第1項記載の
高熱伝導性焼結体。 - (4)前記焼結体中の不純物含有量が、0.5重量%以
下である、特許請求の範囲第1項記載の高熱伝導性焼結
体。 - (5)六方晶窒化硼素中に、0.6モル%以上1.2モ
ル%以下のアルカリ土類金属またはアルカリ金属の硼窒
化物を均一に拡散担持させ、これを立方晶窒化硼素の熱
力学的に安定な条件下で1350℃以上の温度で高圧焼
結することを特徴とする、高熱伝導性焼結体の製造方法
。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60117179A JPS61275168A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 高熱伝導性焼結体およびその製造方法 |
DE8585116660T DE3584515D1 (de) | 1985-01-11 | 1985-12-31 | Waermesenke unter verwendung eines gesinterten koerpers mit hoher waermeleitfaehigkeit und verfahren zu ihrer herstellung. |
EP8585116660A EP0194358B1 (en) | 1985-01-11 | 1985-12-31 | Heat sink using a sintered body having high heat-conductivity and method of manufacturing thereof |
CA000499395A CA1275560C (en) | 1985-01-11 | 1986-01-10 | Sintered body having high heat-conductivity and method of manufacturing thereof |
US08/046,422 US5332629A (en) | 1985-01-11 | 1993-04-13 | Boron nitride system including an hBN starting material with a catalyst and a sintered cNB body having a high heat conductivity based on the catalyst |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60117179A JPS61275168A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 高熱伝導性焼結体およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61275168A true JPS61275168A (ja) | 1986-12-05 |
Family
ID=14705376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60117179A Pending JPS61275168A (ja) | 1985-01-11 | 1985-05-30 | 高熱伝導性焼結体およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61275168A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005097098A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-04-14 | Showa Denko Kk | 立方晶窒化ホウ素、立方晶窒化ホウ素の製造方法、立方晶窒化ホウ素を用いた砥石および焼結体 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58176179A (ja) * | 1982-04-07 | 1983-10-15 | 科学技術庁無機材質研究所長 | 立方晶系窒化ほう素の焼結体の製造法 |
JPS5957967A (ja) * | 1982-09-27 | 1984-04-03 | 科学技術庁無機材質研究所長 | 透光性立方晶窒化ほう素緻密体の製造法 |
JPS5988375A (ja) * | 1982-11-09 | 1984-05-22 | 住友電気工業株式会社 | 高硬度工具用焼結体およびその製造方法 |
-
1985
- 1985-05-30 JP JP60117179A patent/JPS61275168A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005097098A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-04-14 | Showa Denko Kk | 立方晶窒化ホウ素、立方晶窒化ホウ素の製造方法、立方晶窒化ホウ素を用いた砥石および焼結体 |
JP4684599B2 (ja) * | 2003-08-20 | 2011-05-18 | 昭和電工株式会社 | 立方晶窒化ホウ素の製造方法 |
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